JP2014233678A - ガス処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】棒状の紫外線ランプを流路部材内における適正な位置に確実にかつ簡単な作業で配置することのできるガス処理装置を提供すること。
【解決手段】このガス処理装置は、少なくともアンモニアガスを含む処理用ガスが内部に流通される管状の流路部材と、流路部材内において流路部材の中心軸上に延在するよう配置された棒状の紫外線ランプと、流路部材内に配置された紫外線ランプを保持するランプキャリアとを具えてなり、ランプキャリアは、流路部材の内面によって支持された構成とされている。ランプキャリアの外面形状は、紫外線ランプの軸方向に垂直な断面において、流路部材の内面形状に適合した形状であることが好ましい。
【選択図】図２

Description

本発明はガス処理装置に関する。特に、排ガスなどの被処理ガス中に含まれる窒素酸化物を還元処理するガス処理装置に関する。

例えば焼却炉若しくは燃焼炉や、ディーゼルエンジン等の内燃機関においては、その使用時に、空気中の窒素と酸素とが反応することにより、或いは燃料等に含まれる窒素と酸素とが反応することにより、一酸化窒素や二酸化窒素等の窒素酸化物が生成されるため、焼却炉等や内燃機関などから排出される排ガス中には、一酸化窒素や二酸化窒素等の窒素酸化物が含まれている。このような窒素酸化物は、それ自体が人体に有害な物質であると共に、光化学スモッグや酸性雨を引き起こす大気汚染原因物質である。そのため、焼却炉等や内燃機関から排出される排ガスについては、それに含まれる窒素酸化物を還元処理することが行われている。

排ガスに含まれる窒素酸化物を還元処理するために用いられるガス処理装置としては、例えば、アンモニアガスに紫外線を照射することによりアンモニアガスを活性化させ、これにより生成されるアンモニアラジカルを含む活性化ガスを還元剤として用い、窒素酸化物を含む排ガスに混入させることにより、排ガス中の窒素酸化物の還元処理を行う構成のものが開示されている（例えば特許文献１参照）。

図１０は、従来のガス処理装置の一例における構成の概略を示す説明図である。このガス処理装置は、アンモニアガス供給源７１およびキャリアガス供給源７２の各々に導管７３，７４を介して接続されたガス混合部７０と、このガス混合部７０に導管７５を介して接続された二重管状のガス流路部材８１を有するアンモニアラジカル発生部８０と、一端（図１０において左端）に例えば焼却炉等の被処理ガス発生源９０が接続され、他端（図１０において右端）にガス排出口７９ａが形成された、被処理ガス発生源９０からの被処理ガスが流通するガス流通管７９を備えている。このガス流通管７９には、被処理ガス発生源９０から排出される被処理ガスを加熱するガス加熱処理部７７が形成されていると共に、このガス加熱処理部７７の被処理ガスの流通方向下流側の位置においてガス還元処理部７８が形成されており、ガス還元処理部７８には、アンモニアラジカル発生部８０が導管７６を介して接続されている。
アンモニアラジカル発生部８０においては、ガス流路部材８１の内管部分に、紫外線を透過する例えば石英ガラスよりなる管状の紫外線透過窓８２が設けられ、この紫外線透過窓８２を構成する石英ガラス管内に、紫外線ランプ８５が設けられている。

このガス処理装置においては、被処理ガス発生源９０からガス流通管７９内に被処理ガス（黒塗りの矢印Ｇ１で示す）が供給され、この被処理ガスＧ１はガス加熱処理部７７において加熱された後、この加熱された被処理ガス（矢印Ｇ２で示す）がガス還元処理部７８に供給される。
一方、ガス混合部７０に、アンモニアガス供給源７１から導管７３を介してアンモニアガス（矢印ｇ１で示す）が供給されると共に、キャリアガス供給源７２から導管７４を介してキャリアガス（矢印ｇ２で示す）が供給されることにより、当該ガス混合部７０においてアンモニアガスｇ１とキャリアガスｇ２とが混合され、更に、ガス混合部７０から導管７５を介してアンモニアガスとキャリアガスとの混合ガス（矢印ｇ３で示す）がアンモニアラジカル発生部８０におけるガス流路部材８１内に供給される。そして、アンモニアラジカル発生部８０においては、紫外線ランプ８５からの紫外線（矢印Ｌで示す）が、紫外線透過窓８２を介してガス流路部材８１内に供給された混合ガスｇ３に照射されることによりアンモニアラジカルが発生する。
そして、ガス還元処理部７８に、アンモニアラジカル発生部８０から導管７６を介してアンモニアラジカルを含有する還元処理用ガス（矢印ｇ４で示す）が供給され、当該ガス還元処理部７８内において、被処理ガスＧ２に還元処理用ガスｇ４が混入されることにより、被処理ガスＧ２中の窒素酸化物が還元処理される。その後、処理済ガス（矢印Ｇ３で示す）がガス流通管７９におけるガス排出口７９ａから外部に排出される。

特開２０１２−０７６０３３号公報

このようなガス処理装置においては、アンモニアガスに効率的に紫外光を照射するためには、ガス流路部材の中心軸上に紫外線ランプが延在するよう配置された構成とされることが望ましいが、紫外線ランプのガス流路部材に対する位置決め作業は相当に手間がかり、効率よく作業することが困難である。また、紫外線ランプの寿命等により紫外線ランプを交換する場合においても、同様の問題が生ずる。

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、棒状の紫外線ランプを流路部材内における適正な位置に確実にかつ簡単な作業で配置することのできるガス処理装置を提供することにある。

本発明のガス処理装置は、少なくともアンモニアガスを含む処理用ガスが内部に流通される管状の流路部材と、当該流路部材内において当該流路部材の中心軸上に延在するよう配置された棒状の紫外線ランプと、当該流路部材内に配置された当該紫外線ランプを保持するランプキャリアとを具えてなり、
前記ランプキャリアは、前記流路部材の内面によって支持されていることを特徴とする。

本発明のガス処理装置においては、前記ランプキャリアの外面形状は、前記紫外線ランプの軸方向に垂直な断面において、前記流路部材の内面形状に適合した形状であることが好ましい。
このような構成のものにおいては、前記ランプキャリアは、前記流路部材の中心軸に沿って延びる樋状のものとすることができる。

また、本発明のガス処理装置においては、前記ランプキャリアは、金属材料で形成されており、
前記紫外線ランプは、発光ガスが内部に封入された発光管と、この発光管の内部に配置された内部電極と、前記発光管の外面に配置された外部電極と具えたエキシマランプであって、当該発光管が当該外部電極を介して当該ランプキャリアに保持されており、
前記流路部材は、接地された金属製保持体によって保持されており、前記ランプキャリアが当該金属製保持体に電気的に接続された状態で固定された構成とされていることが好ましい。

本発明の請求項１に係るガス処理装置によれば、棒状の紫外線ランプがランプキャリアが用いられて流路部材内に配置されていると共に当該ランプキャリアが流路部材の内周面よって支持された構成とされていることにより、紫外線ランプを、流路部材内において中心軸が流路部材の中心軸上に位置された適正な位置に位置決めされた状態で、確実にかつ容易に配置することができる。

本発明の請求項２および請求項３に係るガス処理装置によれば、ランプキャリアの外面形状が、紫外線ランプの軸方向に垂直な断面において、流路部材の内面形状に適合した形状であることにより、紫外線ランプが流路部材の内部においてランプキャリアによって支持される構造のものでありながら、紫外線ランプからの紫外線を効率的に処理用ガスに照射することができて処理効率が低下することを回避することができる。

本発明の請求項４に係るガス処理装置によれば、ランプキャリアの金属製保持体に対する機械的固定と、当該ランプキャリアに保持された紫外線ランプの外部電極の保持体に対する電気的接続とを同時に達成することができるので、紫外線ランプの交換作業を含む紫外線ランプの設置作業を容易にかつ高い作業効率で行うことができる。

本発明のガス処理装置におけるガス活性化装置を構成するガス活性化ユニットの一例における要部の構成を示す、流路部材の中心軸に沿った断面図である。 図１に示すガス活性化ユニットにおけるＡ−Ａ線断面図である。 ランプキャリアの一例における構成の概略を示す平面図である。 本発明のガス処理装置において好適に用いられるキセノンエキシマランプの一例における構成の概略を示す、中心軸に沿った断面図である。 紫外線ランプのランプキャリアに対する装着方法を説明するための斜視図である。 紫外線ランプがランプキャリアに装着された状態を示す斜視図である。 紫外線ランプの流路部材に対する配置方法を説明するための斜視図である。 本発明に係る窒素酸化物処理装置の一例における構成の概略を示す説明図である。 ガス活性化ユニットの他の構成例を概略的に示す説明用断面図である。 従来のガス処理装置の一例における構成の概略を示す説明図である。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本発明のガス処理装置は、少なくともアンモニアガスを含む処理用ガスに紫外線を照射することによりアンモニアガスを活性化するガス活性化装置を備えてなる。

図１は、本発明のガス処理装置におけるガス活性化装置を構成するガス活性化ユニットの一例における要部の構成を示す、流路部材の中心軸に沿った断面図である。図２は、図１に示すガス活性化ユニットにおけるＡ−Ａ線断面図である。
このガス活性化装置は、処理用ガスが内部に流通される円管状の流路部材（以下、「ガス流路管」という。）１２と、このガス流路管１２の内部に配置された円柱棒状の紫外線ランプ２０とよりなるガス活性化ユニット１１を備えている。

ガス流路管１２は、中心軸ＣＲが水平方向に延びる姿勢で、両端部がガス活性化装置の機枠に固定されて接地された例えば金属製保持体４０に固定されている。具体的には、金属製保持体４０は、互いに軸方向に離間した位置において互いに対向して鉛直方向に延びる一対の板状の固定部４１ａ，４１ｂを有する。そして、ガス流路管１２の軸方向における両端の各々に形成された円板状のフランジ部１２ａ，１２ｂがその外面が固定部４１ａ，４１ｂの内面に対接された状態でネジ止めされて固定されている。
金属製保持体４０におけるガス流路管１２の一端（図１において左端）側の一端側固定部４１ａには、ガス流路管１２の一端開口に対応する位置においてガス流路管１２の内径より小さい孔径のガス流通用貫通孔４２ａが形成されている。また、金属製保持体４０におけるガス流路管１２の他端（図１において右端）側の他端側固定部４１ｂには、ガス流路管１２の他端開口に対応する位置においてガス流路管１２の内径と同一の大きさの孔径を有するガス流通用貫通孔４２ｂが形成されている。

ガス流路管１２の構成材料は、ガス流路管１２の内面がアンモニアに対する耐腐食性を有するものであれば特に限定されず、例えばガラスや、ステンレス鋼等の金属等を用いることができる。

紫外線ランプ２０は、ガス流路管１２の内部において、ガス流路管１２内に配置されたランプキャリア３０によって保持されてガス流路管１２の中心軸ＣＲ上に（紫外線ランプ２０の中心軸ＣＬがガス流路管１２の中心軸ＣＲに一致する状態で）延在するよう配置されている。

ランプキャリア３０としては、例えば、ガス流路管１２の中心軸ＣＲに沿って延びる全体が樋状のものが用いられている。このランプキャリア３０は、紫外線ランプ２０の軸方向に垂直な断面において、ガス流路管１２の内面形状に適合した外面形状を有し、その外周面がガス流路管１２の下方領域における内周面に対接された状態で（処理用ガスが流通される空隙を介さずに）ガス流路管１２の内周面によって支持されて配置されている。従って、ランプキャリア３０の内周面による内周面領域を含むガス流路管１２の内周面と、紫外線ランプ２０の発光管の外周面との間には、略円筒状のガス流路Ｒが形成されている。そして、この例においては、ガス流路管１２の他端開口がガス導入口１３ｂとされると共にガス流路管１２の一端開口がガス排出口１３ａとされる。

ランプキャリア３０の構成材料としては、ガス流路管１２と同様の理由により、ガス流路管１２の構成材料として例示したものを用いることができるが、例えばステンレス鋼などの金属材料により構成されていることが好ましい。

このランプキャリア３０には、図３にも示すように、複数（この例では２つのものが図示されている。）の板状のランプ固定部材３１が、ランプキャリア３０の両側縁部の軸方向に互いに離間した位置において、水平方向に延びるよう設けられており、これにより、ランプ固定部材３１の下面とランプキャリア３０の内周面との間に処理用ガスが流通される空間が形成されている。ランプ固定部材３１には、中央部に紫外線ランプ２０に装着された装着用金具３５の脚部３７が挿入係合される装着用開口部３２が形成されていると共に、この装着用開口部３２の幅方向（図３において上下方向）の両側の位置に紫外線ランプ２０からの紫外線を下方に向けて放射するための開口による光取出し窓部３３が形成されている。
また、ランプキャリア３０の軸方向における他端面には、板状のアース接続板３４が上端縁がランプキャリア３０の内周面より上方に突出した状態で設けられている。このアース接続板３４は、金属製保持体４０における他端側固定部４１ｂの外面に例えば固定用ネジ４５によって固定されている。

紫外線ランプ２０としては、アンモニアにおけるＮ−Ｈ結合を切断し得るエネルギーを有する紫外線を放射するものであればよいが、アンモニアの光吸収波長が２２０ｎｍ以下であることから、波長が２２０ｎｍ以下の紫外線を放射するものであることが好ましい。
波長が２２０ｎｍ以下の紫外線を放射するランプとしては、例えばキセノンエキシマランプ（波長１７２ｎｍ，波長１４６ｎｍ）、低圧水銀ランプ（波長１８５ｎｍ）およびエキシマ蛍光ランプなどが挙げられる。

図４は、本発明のガス処理装置において好適に用いられるキセノンエキシマランプの一例における構成の概略を示す、中心軸に沿った断面図である。
このキセノンエキシマランプは、例えば石英ガラスなどの紫外線を透過する材料によって構成された、両端が封止された円筒状の発光管２１を備えている。この発光管２１の内部には、他端（図４における右端）が封止され、一端（図４における左端）が発光管２１の金属箔２６が埋設されている封止部（以下、「金属箔埋設封止部」ともいう。）２２に溶着された内側管２３が、発光管２１の管軸（紫外線ランプの中心軸ＣＬ）に沿って設けられている。また、この内側管２３の外周面と発光管２１の内周面との間に形成された空間に発光ガスとしてのキセノンガスが封入されている。そして、内側管２３の内部には、コイル状の内部電極２５が、内側管２３の内周面に沿って管軸方向に延びるように配設されており、その内部電極２５は金属箔２６に電気的に接続されている。この金属箔２６には、金属箔埋設封止部２２の外端面から外方に突出する外部リード２７が電気的に接続されており、この外部リード２７は、高周波電源（図示せず）に接続されている。また、発光管２１の外周面には、網状の外部電極２８が設けられている。そして、内部電極２５と外部電極２８とが、内側管２３の管壁、内側管２３の外周面と発光管２１の内周面との間の空間および発光管２１の管壁を介して対向する領域において、発光領域が形成されている。

紫外線ランプ２０に装着される装着用金具３５は、例えば、紫外線ランプ（例えば上記キセノンエキシマランプ）２０の発光管２１の一部を受容して保持する、発光管２１の外形形状に適合する断面形状を有するランプ受容部３６と、このランプ受容部３６の下部に連続する板状の一対の脚部３７とにより構成されている。ランプ受容部３６は、上方に向かって狭まって延びるよう構成されており、紫外線ランプ２０の中心軸ＣＬより上方に位置される発光管２１の外周面部分に当接して紫外線ランプ２０を下方に押圧している。脚部３７は、上端部が自由端とされた下方に向かって拡開するよう傾斜して伸びる第１のテーパー部分３９ａと、この第１のテーパー部分３９ａの下端に連続して下方に向かって狭まるよう傾斜して伸びる第２のテーパー部分３９ｂとにより構成された係合部３８を有する。なお、図１および図２における符号２９ａ，２９ｂは、例えばセラミックスよりなるベース部材である。

紫外線ランプ２０のランプキャリア３０に対する装着方法について具体的に説明すると、図５に示すように、装着用金具３５の脚部３７がランプキャリア３０におけるランプ固定部材３１の装着用開口部３２に対して上方から挿入されることにより、装着用金具３５の脚部３７は脚部３７全体が押し狭められるよう弾性的に変形されながら装着用開口部３２内に進入し、その後、図６にも示すように、第１のテーパー部分３９ａの外面がランプ固定部材３１の装着用開口部３２における下側開口縁と対接されて、装着用金具３５が脚部３７それ自体の弾性によってランプ固定部材３１に固定される。これにより、紫外線ランプ２０の発光管２１が外部電極２８および装着用金具３５を介してランプキャリア３０によって保持されると共に外部電極２８がランプキャリア３０に対して電気的に接続される。

而して、上記のガス活性化装置においては、図７に示すように、紫外線ランプ２０をランプキャリア３０によって保持固定させた構造体（ランプユニット）２０ａが、金属製保持体４０における他端側固定部４１ｂの外面側からガス流通用貫通孔４２ｂを介してガス流路管１２内に挿入されることにより、紫外線ランプ２０がガス流路管１２内における所定位置に配置され、ランプキャリア３０におけるアース接続板３４が金属製保持体４０の他端側固定部４１ｂにネジ止めされて固定されることにより、紫外線ランプ２０における外部電極２８がランプキャリア３０を介して金属製保持体４０に対して電気的に接続される。すなわち、金属製保持体４０は接地されていることから、紫外線ランプ２０の外部電極２８が接地された状態（接地電位状態）とされる。このように、ランプキャリア３０は、紫外線ランプ２０をガス流路管１２内における所定位置に保持固定する機能と、外部電極２８を接地させる機能の２つの機能を有している。

ガス活性化装置は、実際には、例えば焼却炉などによる排ガス（被処理ガス）は流量が極めて大きいため、複数のガス活性化ユニット１１を備えた構成とされていることが好ましい。具体的には、複数のガス活性化ユニット１１が各々ガス流路管１２の中心軸が同一水平面内において互いに平行に延びる姿勢で並設された状態で、共通の金属製保持体４０に固定された構成とすることができる。図７には、金属製保持体４０における他端側固定部４１ｂに、複数のガス流通用貫通孔４２ｂが並んで形成された状態が示されている。このような構成のものにおいて、ガス活性化ユニット１１の数は、例えば２〜８である。

上記のガス活性化ユニット１１の一構成例を示すと、ガス流路管１２の全長が１１００ｍｍ、ガス流路管１２の内径がφ５５ｍｍ、肉厚が２ｍｍ、ランプキャリア３０の全長が１０５０ｍｍ、紫外線ランプ２０の全長が１１００ｍｍ（有効発光長が８００ｍｍ）、発光管２１の外径が２０ｍｍ、発光管２１の内径が１８ｍｍ、内側管２３の外径がφ６ｍｍ、内側管２３の内径がφ４ｍｍ、外部電極２８の金属素線径がφ０．５ｍｍである。

図８は、本発明のガス処理装置に係る窒素酸化物処理装置の一例における構成の概略を示す説明図である。
この窒素酸化物処理装置は、一端（図８における下端）に例えば焼却炉、燃焼炉または内燃機関などの被処理ガス発生源（図示せず）が接続された反応器６０と、この反応器６０に対して導管６２を介して接続された上記のガス活性化装置１０と、このガス活性化装置１０に処理用ガスを導管５６を介して供給するガス供給手段５０とを備えている。
ガス供給手段５０は、アンモニアガス供給源５１およびキャリアガス供給源５２と、アンモニアガス供給源５１およびキャリアガス供給源５２の各々に導管５３，５４を介して接続されたガス混合部５５とを有している。図８において、符号５８はアンモニアガス用流量計であり、５９は、キャリアガス用流量計である。
この例におけるガス活性化装置１０は、複数のガス活性化ユニット１１と、複数のガス活性化ユニット１１の各々にガス供給手段５０からの処理用ガスを分岐管１６を介して分配するためのガス分配部１５と、複数のガス活性化ユニット１１からの活性化された処理用ガスを分岐管１８を介して集気するための集気部１７と、各々のガス活性化ユニット１１における紫外線ランプ２０に給電する給電装置６５とを備えている。図８において、符号１９は、ガス活性化ユニット１１に供給される処理用ガス用流量計である。

上記構成の窒素酸化物処理装置においては、被処理ガス発生源から排出された被処理ガス（図８において矢印Ｇ１で示す。）が反応器６０内に供給される。
一方、アンモニアガス供給源５１から導管５３を介してアンモニアガスが供給されると共に、キャリアガス供給源５２から導管５４を介してキャリアガスが供給されることにより、ガス混合部５５においてアンモニアガスとキャリアガスとが混合される。更に、ガス混合部５５から導管５６を介してアンモニアガスとキャリアガスとの混合ガスよりなる処理用ガスがガス活性化装置１０に供給される。
ガス活性化装置１０においては、ガス分配部１５および分岐管１６を介して複数のガス活性化ユニット１１の各々に処理用ガスが供給され、これらの複数のガス活性化ユニット１１の各々において、紫外線ランプ２０からの光、例えば発光ガスとしてキセノンガスを利用したときには、１７２ｎｍの中心波長を有する紫外線が、ガス流路管１２内を流通される処理用ガスに照射されることにより、処理用ガスにおけるアンモニアガスが活性状態となって、例えばＮＨ_２ラジカル、ＮＨラジカル、Ｎラジカルなどのラジカルや、Ｎ^＋イオン、ＮＨ^＋イオン、ＮＨ_２ ^＋イオン、ＮＨ_３ ^＋イオンなどのイオンを含む活性化ガスが生成される。このようにして、複数のガス活性化ユニット１１の各々において得られた活性化ガスが、分岐管１８を介して集気部１７に導入され、活性化ガスが集気部１７から導管６２を介して反応器６０に供給される。
反応器６０内において、被処理ガスＧ１に活性化ガスが混合されることにより、被処理ガスＧ１中の窒素酸化物が活性化ガスによって還元処理される。

而して、上記構成のガス活性化装置１０を備えてなるガス処理装置によれば、ガス活性化装置１０を構成するガス活性化ユニット１１が、紫外線ランプ２０がランプキャリア３０が用いられてガス流路管１２内に配置された構成とされていると共に当該ランプキャリア３０がガス流路管１２の内周面よって支持された構成とされていることにより、棒状の紫外線ランプ２０を、ガス流路管１２内において、中心軸ＣＬがガス流路管１２の中心軸ＣＲ上に位置された適正な位置に位置決めされた状態で確実に配置することができる。しかも、紫外線ランプ２０をランプキャリア３０に保持固定させたランプユニット２０ａを単にガス流路管１２内に挿入するという簡単な作業を行うだけでよいので、紫外線ランプ２０の配置を極めて容易に行うことができる。

そして、上記のガス活性化ユニット１１を構成するに際しては、ランプキャリア３０のガス流路管１２の内周面に対する接触面積を小さくした方がランプユニット２０ａを挿入しやすくなる。従って、例えば図９に示すように、ランプキャリア３０ａとして全体が略平板状のものを用いた構成とすることが考えられるが、このような構成のものにおいては、ランプキャリア３０ａの外面（図９において下面）とガス流路管１２の内周面との間に処理用ガスが流通し得る空隙Ｓが不可避的に形成されるため、ガス流路Ｒ内において、紫外線ランプ２０からの紫外光が当たらない部分（領域）が形成されてしまう。このため、この部分を流通するアンモニアガスには紫外光が照射されなくなり、処理効率が低下するという問題が生ずる。
然るに、ランプキャリア３０の外面形状が、紫外線ランプ２０の軸方向に垂直な断面において、ガス流路管１２の内面形状に適合した形状を有する、例えば樋状のものにより構成されていることにより、上記の構成のガス活性化ユニット１１を備えてなるガス処理装置によれば、ガス流路Ｒにおいて、紫外線ランプ２０からの光が照射されない領域が形成されることが回避されるので、紫外線ランプ２０がガス流路管１２の内部においてランプキャリア３０によって支持される構造のものでありながら、紫外線ランプ２０からの紫外線を効率的に処理用ガスに照射することができて処理効率が低下することを回避することができる。

さらにまた、ガス活性化ユニット１１においては、ランプキャリア３０に設けられたアース接続板３４が金属製保持体４０にネジ止めされて固定されることにより、ランプユニット２０ａの金属製保持体４０に対する機械的固定と、当該ランプユニット２０ａにおける紫外線ランプ２０の外部電極２８の金属製保持体４０に対する電気的接続とが同時に達成されるので、ランプの交換作業を含むランプの設置作業を容易にかつ高い作業効率で行うことができる。また、一の固定用ネジ４５によってランプユニット２０ａが着脱可能に構成されている点においても、上記効果を得ることができる。

１０ ガス活性化装置
１１ ガス活性化ユニット
１２ 流路部材（ガス流路管）
１２ａ，１２ｂ フランジ部
１３ａ ガス排出口
１３ｂ ガス導入口
ＣＲ ガス流路管の中心軸
１５ ガス分配部
１６，１８ 分岐管
１７ 集気部
１９ 処理用ガス用流量計
２０ 紫外線ランプ
２０ａ ランプユニット
２１ 発光管
２２ 封止部（金属箔埋設封止部）
２３ 内側管
２５ 内部電極
２６ 金属箔
２７ 外部リード
２８ 外部電極
２９ａ，２９ｂ ベース部材
ＣＬ 紫外線ランプの中心軸
３０，３０ａ ランプキャリア
３１ ランプ固定部材
３２ 装着用開口部
３３ 光取出し窓部
３４ アース接続板
３５ 装着用金具
３６ ランプ受容部
３７ 脚部
３８ 係合部
３９ａ 第１のテーパー部分
３９ｂ 第２のテーパー部分
４０ 金属製保持体
４１ａ 一端側固定部
４１ｂ 他端側固定部
４２ａ，４２ｂ ガス流通用貫通孔
４５ 固定用ネジ
５０ ガス供給手段
５１ アンモニアガス供給源
５２ キャリアガス供給源
５３，５４，５６，６２ 導管
５５ ガス混合部
５８ アンモニアガス用流量計
５９ キャリアガス用流量計
６０ 反応器
６５ 給電装置
Ｒ ガス流路
７０ ガス混合部
７１ アンモニアガス供給源
７２ キャリアガス供給源
７３，７４，７５，７６ 導管
７７ ガス加熱処理部
７８ ガス還元処理部
７９ ガス流通管
７９ａ ガス排出口
８０ アンモニアラジカル発生部
８１ ガス流路部材
８２ 紫外線透過窓
８５ 紫外線ランプ
９０ 被処理ガス発生源

Claims (4)

1. 少なくともアンモニアガスを含む処理用ガスが内部に流通される管状の流路部材と、当該流路部材内において当該流路部材の中心軸上に延在するよう配置された棒状の紫外線ランプと、当該流路部材内に配置された当該紫外線ランプを保持するランプキャリアとを具えてなり、
   前記ランプキャリアは、前記流路部材の内面によって支持されていることを特徴とするガス処理装置。
2. 前記ランプキャリアの外面形状は、前記紫外線ランプの軸方向に垂直な断面において、前記流路部材の内面形状に適合した形状であることを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置。
3. 前記ランプキャリアは、前記流路部材の中心軸に沿って延びる樋状のものであることを特徴とする請求項２に記載のガス処理装置。
4. 前記ランプキャリアは、金属材料で形成されており、
   前記紫外線ランプは、発光ガスが内部に封入された発光管と、この発光管の内部に配置された内部電極と、前記発光管の外面に配置された外部電極と具えたエキシマランプであって、当該発光管が当該外部電極を介して当該ランプキャリアに保持されており、
   前記流路部材は、接地された金属製保持体によって保持されており、前記ランプキャリアが当該金属製保持体に電気的に接続された状態で固定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のガス処理装置。

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