JP2014232266A - 測定顕微鏡装置及びコントローラ - Google Patents
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Abstract
Description
コントローラ154は、被測定物を載置するXYステージの移動板151aのXY方向の移動を制御すると共に、スケール152及び検出器153により検出された信号より、XYステージのXY方向の位置を算出する。表示手段155は、コントローラ154が求めたXYステージの移動板151aの位置情報を表示する。
図1は、本実施形態に係る測定顕微鏡装置の構成図である。図1に示す測定顕微鏡装置において、顕微鏡本体1は、ベース10上に被測定物を載置するXYステージ2が取付けられている。XYステージ2には、該ステージ2をX及びY方向に移動するための送り機構であるハンドル23a、23bが設けられている。XYステージ2の内部には、それぞれXYステージ2の移動量を検出する、各軸に対するX検出器22a及びY検出器22bが備えられている。X検出器22a及びY検出器22bは、エンコーダ等からなる検出センサであり、XYステージ2の変位に応じて信号を出力する。X検出器22a及びY検出器22bを区別しない場合には、単に検出部22と表記することもある。
図3は、測定顕微鏡装置の全体構成を示す図であり、測定顕微鏡装置に含まれるコントローラ4の機能をブロック図で示した図である。図3においては、本実施形態に係る測定顕微鏡装置のうち、XYステージ2の移動速度を求めるための構成を中心に記載している。
CPU42は、コントローラ4内の各部の動作を制御する。
図4(a)に示すように、表示部5には、XYステージ2の原点や測定開始位置等の所定の基準位置からの相対位置を表示する位置表示部51と、換算部44が求めたXYステージ2の移動速度を表示する速度表示部52とを有する。
速度表示部52においては、図4に示す例では、許容される移動速度Thに対して現時点の移動速度がどの程度であるかをバーで表示している。速度表示部52の形態としては、図4に例示する以外にも、例えば移動速度やその許容速度を数値表示する等でもよい。
上記の実施形態のように、スケール21と検出器22とからXYステージ2の移動速度を換算する構成以外にも、例えば、速度センサや加速度センサを設けて、これらセンサを用いてXYステージ2の移動速度を検出する構成としてもよい。
2 XYステージ
3 対物レンズ
4 コントローラ
5 表示部
6 ガイド
7 Zステージ
8 観察部
10 ベース
21 スケール
22、22a、22b 検出器
23、23a、23b ハンドル
24 クラッチ
25 ステージ移動板
26 ガイド
41 算出部
42 CPU
43 タイマー
44 換算部
Claims (3)
- 顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体のベース上面に取り付けられ、X方向及びY方向の変位に応じて信号を出力する検出部を備えるXYステージと、前記検出部が出力した信号を取り込み、前記XYステージの位置を算出するコントローラとを有し、被測定物の測定を行う測定顕微鏡装置であって、
前記検出部が出力した信号を用いて、前記XYステージの速度を求める速度演算部と、
前記速度演算部が求めた前記XYステージの移動速度と、該XYステージの移動速度が前記被測定物の測定において許容される所定の範囲内であるか否かを表す情報とを報知する報知部と、
を有することを特徴とする測定顕微鏡装置。 - 前記XYステージは、スケールを更に備え、
前記検出部は、前記スケールの所定の位置を基準とした場合のX方向及びY方向の変位量に応じた信号を出力する
ことを特徴とする請求項1記載の測定顕微鏡装置。 - 顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体のベース上面に取り付けられ、X方向及びY方向の変位に応じて信号を出力する検出部を備えるXYステージと、前記検出部が出力した信号を取り込み、前記XYステージの位置を算出するコントローラとを有し、被測定物の測定を行う測定顕微鏡装置を制御するコントローラであって、
前記検出部が出力した信号を用いて、前記XYステージの速度を求める速度演算部と、
前記速度演算部が求めた前記XYステージの移動速度と、該XYステージの移動速度が前記被測定物の測定において許容される所定の範囲内であるか否かを表す情報とを、報知部において報知するよう制御を行う制御部と、
を有することを特徴とするコントローラ。
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