JP2014203935A - インプリント装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態のインプリント装置100について、図1を参照しながら説明する。インプリント装置は、半導体デバイスなどの製造に使用され、パターンが形成されたモールドを基板上のインプリント材(樹脂)に接触させた状態でインプリント材を硬化させる。インプリント装置は、モールドと基板との間隔を広げ、硬化したインプリント材からモールドを剥離するプロセスによって基板上にパターンを転写するインプリント処理を行う。インプリント技術には、熱を用いる熱サイクル法と光を用いる光硬化法とがある。熱サイクル法では、インプリント材として熱可塑性樹脂が基板上に供給(塗布)される。そして、当該熱可塑性樹脂をガラス転移温度以上の温度に加熱し、樹脂の流動性を高めた状態で当該樹脂を介して基板にモールドを押し付け、冷却した後に樹脂からモールドを剥離することで基板上にパターンを形成することができる。一方で、光硬化法では、インプリント材として未硬化の紫外線硬化樹脂が基板上に供給される。そして、当該紫外線硬化樹脂を介して基板にモールドを押し付けた状態で当該樹脂に紫外線を照射し、紫外線の照射により当該樹脂が硬化した後、樹脂からモールドを剥離することで基板上にパターンを形成することができる。熱サイクル法では、温度制御による転写時間の増大と温度変化による寸法精度の低下といった問題が生じてしまう。その一方で、光硬化法では、そのような問題が生じないため、現時点では、光硬化法が半導体デバイスなどの量産において有利である。第1実施形態のインプリント装置100においては、基板上に紫外線硬化樹脂を供給し、当該樹脂に紫外線(光)を照射する光硬化法を適用している。
本発明の実施形態にかける物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された樹脂に上記のインプリント装置を用いてパターンを形成する工程(基板にインプリント処理を行う工程)と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (9)
- パターンが形成されたモールドと基板上の樹脂とを接触させた状態で当該樹脂を硬化させることによって前記基板上の複数のショット領域にパターンを転写するインプリント装置であって、
前記複数のショット領域に形成された複数のマークのうち第1個数の第1マークを、前記モールドに形成されたマークを介して検出する複数の第1検出部と、
前記第1検出部より広い視野を有し、前記複数のマークのうち前記第1マークとは異なり、かつ前記第1個数より多い第2個数の第2マークを、前記モールドに形成されたマークを介して検出する第2検出部と、
前記第1検出部と前記第2検出部とによる検出結果を用いて、前記複数のショット領域と前記モールドとを位置合わせする制御部と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 前記複数のショット領域は、前記基板の外周を含むように前記基板の周辺部に配置されることにより一部が欠けた欠けショット領域を含み、
前記制御部は、前記欠けショット領域に形成された複数のマークのうち前記複数の第1検出部で同時に検出可能な距離より小さい間隔で配置され前記第2検出部の視野に収まる前記第2個数のマークを前記第2マークとして前記第2検出部に検出させ、前記欠けショット領域に形成された複数のマークのうち前記第2検出部に検出されたマークとは異なる前記第1個数のマークを前記第1マークとして前記第1検出部に検出させ、前記第1検出部と前記第2検出部とによる検出結果を用いて前記欠けショット領域と前記モールドとを位置合わせする、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記欠けショット領域は、前記基板の外周を含まないチップ領域を含み、
前記制御部は、前記チップ領域に対して設けられた複数のマークを前記第2検出部の視野に収め、それらを前記第2マークとして第2検出部に検出させる、ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記欠けショット領域に形成された複数のマークの配置に応じて、当該欠けショット領域に形成された複数のマークの中から前記第1マークと前記第2マークとを決定する、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記欠けショット領域が配置されている基板上の位置に応じて、当該欠けショット領域に形成された複数のマークの中から前記第1マークと前記第2マークとを決定する、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のインプリント装置。
- 前記第1検出部および前記第2検出部はそれぞれ、基板面と平行な方向に移動可能に構成されており、
前記制御部は、前記第1個数の第1マークが前記第1検出部の視野に収まるように当該第1検出部の移動を制御し、前記第2個数の第2マークが前記第2検出部の視野に収まるように当該第2検出部の移動を制御する、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記第1検出部および前記第2検出部はそれぞれ、前記モールドと前記基板上の樹脂とが接触している状態で前記ショット領域に形成されたマークを検出する、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記樹脂を硬化させる光を射出する光源と、
前記第1検出部と前記第2検出部とから射出された光と、前記光源から射出された光とを、前記モールドを介して前記基板に導く光学部材と、
を更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてモールドのパターンを前記基板に形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016201423A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
US10545416B2 (en) | 2018-02-13 | 2020-01-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Detection apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
US10751920B2 (en) | 2015-11-30 | 2020-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
JP2021082672A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105182702B (zh) * | 2015-10-30 | 2017-08-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 对位标记搜寻方法、显示基板和显示装置 |
CN105425478B (zh) | 2016-01-04 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种对盒装置 |
JP7116605B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2022-08-10 | キヤノン株式会社 | インプリント材のパターンを形成するための方法、インプリント装置、インプリント装置の調整方法、および、物品製造方法 |
KR20200045590A (ko) * | 2018-10-22 | 2020-05-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
CN111016149B (zh) * | 2019-12-27 | 2022-10-04 | 江苏源美竹木业有限责任公司 | 同步对花压印***及压印方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006267191A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Pentax Industrial Instruments Co Ltd | 露光装置 |
JP2009212153A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Canon Inc | 露光方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012507882A (ja) * | 2008-11-04 | 2012-03-29 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | エッジ・フィールドでのナノインプリントのためのアライメント |
JP2012084732A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Canon Inc | インプリント方法及び装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005167030A (ja) | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Sony Corp | マスクおよび露光方法 |
US7292326B2 (en) * | 2004-11-30 | 2007-11-06 | Molecular Imprints, Inc. | Interferometric analysis for the manufacture of nano-scale devices |
JP4185941B2 (ja) | 2006-04-04 | 2008-11-26 | キヤノン株式会社 | ナノインプリント方法及びナノインプリント装置 |
JP4848832B2 (ja) | 2006-05-09 | 2011-12-28 | 凸版印刷株式会社 | ナノインプリント装置及びナノインプリント方法 |
CN101833238A (zh) | 2009-03-13 | 2010-09-15 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 压印模具 |
NL2005259A (en) * | 2009-09-29 | 2011-03-30 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography. |
US8691124B2 (en) * | 2009-11-24 | 2014-04-08 | Asml Netherlands B.V. | Alignment and imprint lithography |
JP5697345B2 (ja) * | 2010-02-17 | 2015-04-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
NL2005975A (en) * | 2010-03-03 | 2011-09-06 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography. |
JP5539011B2 (ja) * | 2010-05-14 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、検出装置、位置合わせ装置、及び物品の製造方法 |
JP5597031B2 (ja) | 2010-05-31 | 2014-10-01 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
CN102096348B (zh) | 2010-12-09 | 2013-01-02 | 西安交通大学 | 提高压印对准过程中莫尔条纹图像质量的数字莫尔条纹方法 |
JP5637931B2 (ja) | 2011-05-17 | 2014-12-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 |
JP5938218B2 (ja) * | 2012-01-16 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法およびインプリント方法 |
JP6066565B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2017-01-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
JP6333039B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 |
JP6242099B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-12-06 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置およびデバイス製造方法 |
JP6097704B2 (ja) * | 2014-01-06 | 2017-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
JP2015170815A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、アライメント方法及び物品の製造方法 |
US10331027B2 (en) * | 2014-09-12 | 2019-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint system, and method of manufacturing article |
JP2016100366A (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-30 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、及び物品の製造方法 |
JP6570914B2 (ja) * | 2015-08-03 | 2019-09-04 | 東芝メモリ株式会社 | インプリント方法 |
JP6799397B2 (ja) * | 2015-08-10 | 2020-12-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
-
2013
- 2013-04-03 JP JP2013078093A patent/JP6188382B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2014
- 2014-04-01 CN CN201410127464.9A patent/CN104102090B/zh not_active Expired - Fee Related
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006267191A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Pentax Industrial Instruments Co Ltd | 露光装置 |
JP2009212153A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Canon Inc | 露光方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012507882A (ja) * | 2008-11-04 | 2012-03-29 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | エッジ・フィールドでのナノインプリントのためのアライメント |
JP2012084732A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Canon Inc | インプリント方法及び装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016201423A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
TWI634589B (zh) * | 2015-04-08 | 2018-09-01 | 佳能股份有限公司 | 壓印設備及物品製造方法 |
US10732522B2 (en) | 2015-04-08 | 2020-08-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and article manufacturing method |
US10751920B2 (en) | 2015-11-30 | 2020-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
US10545416B2 (en) | 2018-02-13 | 2020-01-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Detection apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
JP2021082672A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法 |
JP7337670B2 (ja) | 2019-11-15 | 2023-09-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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