JP2014194472A - マイクロレンズアレイ、光変調装置、及びプロジェクター - Google Patents

Abstract

【課題】スペックルノイズを低減することが可能なマイクロレンズアレイを提供する。
【解決手段】複数のマイクロレンズ２０１が二次元的に配列されたマイクロレンズアレイであって、複数のマイクロレンズ２０１のうち一のマイクロレンズ２０１の光軸を含む断面において、一のマイクロレンズ２０１の形状は、曲線状の部分２０２ａと略直線状の部分２０２ｂとを含む。
【選択図】図４

Description

本発明は、マイクロレンズアレイ、光変調装置、及びプロジェクターに関する。

従来より、光源から射出された照明光により光変調素子を照明し、その光変調素子により変調されて射出された画像光を投射光学系によりスクリーンに拡大投射するプロジェクターが広く知られている。

このようなプロジェクターの光源には、超高圧水銀ランプなどの放電ランプが従来より用いられている。一方、この種の放電ランプは、寿命が比較的短い、瞬時点灯が難しい、ランプから放射される紫外線が液晶ライトバルブを劣化させるなどの課題がある。

そこで、放電ランプに代わるプロジェクター用の光源として、高輝度・高出力な光が得られる半導体レーザーなどのレーザー光源が注目されている。レーザー光源は、従来の放電ランプに比べて、小型化が図れることや、色再現性に優れること、瞬時点灯が可能であること、長寿命であることなどの利点を有している。

一方、レーザー光源が発するレーザー光は、コヒーレント（可干渉）光であるため、プロジェクター用の光源として用いた場合、スクリーン上に干渉によって生じたスペックルと呼ばれる斑点模様が表示され、表示品質を低下させる原因となる。

このため、従来のプロジェクターでは、例えば拡散光学素子を用いて、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化することによって、上述したスペックルの発生による表示品質の低下（いわゆるスペックルノイズ）を低減することが行われている（例えば、特許文献１を参照。）。

一方、プロジェクターにおいて表示品質に優れた明るい映像表示を行うためには、光変調素子の複数の画素が配列された画像形成領域に対して、照明光を効率良く入射させる必要がある。

しかしながら、従来のプロジェクターでは、画像形成領域のうち画像光の形成に寄与しない領域、例えば隣り合う画素の間や、画素内のマスク層で覆われた遮光部分などにも照明光が入射することになる。したがって、このような領域に照明光が入射する分だけ照明光の利用効率が悪くなるといった問題があった。

そこで、複数のマイクロレンズが二次元的に配列されたマイクロレンズアレイを用いて、画像形成領域の各画素に対して照明光を効率良く入射させることが行われている（例えば、特許文献２を参照。）。

具体的に、このマイクロレンズアレイは、複数の画素に対応した位置に複数のマイクロレンズがそれぞれ位置するように、画像形成領域の面上に取り付けられている。これにより、画像形成領域の各画素に対して各マイクロレンズにより集光された照明光を入射させることができる。

特開２０１１−１８０２８１号公報 特開２００８−２８１６６９号公報

ところで、従来のマイクロレンズアレイは、画像形成領域の各画素に対して照明光を効率良く入射させるためのものである。したがって、上述したスペックルノイズを低減するためには、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化するための光学素子を別途設ける必要があった。しかしながら、このような光学素子を追加した場合には、プロジェクターの小型（軽量）化だけでなく、コスト面でも不利となってしまう。

本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、スペックルノイズを低減することが可能なマイクロレンズアレイ、並びに、そのようなマイクロレンズアレイを備えた光変調装置、並びに、そのような光変調装置を備えたプロジェクターを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るマイクロレンズアレイは、複数のマイクロレンズが二次元的に配列されたマイクロレンズアレイであって、前記複数のマイクロレンズのうち一のマイクロレンズの光軸を含む断面において、前記一のマイクロレンズの形状は、曲線状の部分と略直線状の部分とを含むことを特徴とする。

上記マイクロレンズアレイの構成によれば、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化することができるため、スペックルの発生を抑制することができる。

また、前記曲線状の部分は、前記一のマイクロレンズの頂部と前記略直線状の部分との間に設けられていることが好ましい。

この構成によれば、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化することができるため、スペックルの発生を抑制することができる。

また、前記一のマイクロレンズの底面に対する前記略直線状の部分の傾斜角は、３０°以上５０°以下であることが好ましい。

この構成によれば、スペックルの発生を抑制しながら、各マイクロレンズにより集光される光の利用効率を高めることができる。

また、前記マイクロレンズは、前記光軸を中心に前記曲線状の部分を回転させることによって得られる曲面部と、前記光軸を中心に前記略直線状の部分を回転させることによって得られる斜面部と、を含む屈折面を備え、前記曲面部が前記斜面部と連続していることが好ましい。

この構成によれば、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化することができるため、スペックルの発生を抑制することができる。

また、本発明に係る光変調装置は、上記何れかのマイクロレンズアレイと、複数の画素が配列された画像形成領域を有する光変調素子と、を備え、前記マイクロレンズアレイは、前記複数の画素のうち一の画素に前記一のマイクロレンズが対応するように設けられていることを特徴とする。

上記光変調装置の構成によれば、投射光学系の射出瞳面における光強度の空間分布を均一化することができる。そのため、スペックルの発生を抑制するとともに、各マイクロレンズにより集光される光を画像形成領域の各画素に対して効率良く入射させることができる。

また、本発明に係るプロジェクターは、照明光を照射する照明装置と、前記照明光を画像情報に応じて変調した画像光を形成する光変調装置と、前記画像光を投射する投射光学系と、を備え、前記光変調装置として、上記の光変調装置を用いることを特徴とする。

上記プロジェクターの構成によれば、画像品質に優れた明るい表示を行うことができる。

また、前記照明装置は、レーザー光源を備えた構成であってもよい。

この構成によれば、高輝度・高出力な光が得られると共に、光源の小型化を図ることができる。

また、前記レーザー光源は、複数の半導体レーザーを配列したアレイ光源であってもよい。

この構成によれば、複数の半導体レーザーを配列したアレイ光源を用いて、更に高輝度・高出力な光を得ることができる。

本発明の実施形態におけるプロジェクターの概略構成を示す模式図である。 マイクロレンズアレイが取り付けられた液晶パネルの概略構成を示す平面図である。 図２中のＨ−Ｈ’線に沿った断面図である。 マイクロレンズを拡大して示す断面図である。 マイクロレンズの製造方法を説明するための断面図である。 マイクロレンズの出射瞳での強度像の面積（径）と、スペックルコントラストとの相対関係を示すグラフである。 マイクロレンズの出射瞳での強度像の均一性と、スペックルコントラストとの相対関係を示すグラフである。 傾斜角θに対する出射瞳での強度像の均一性を求めたグラフである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

（プロジェクター）
先ず、本発明の実施形態として例えば図１に示すプロジェクター１０の一例について説明する。なお、図１は、このプロジェクター１０の概略構成を示す模式図である。

このプロジェクター１０は、図１に示すように、スクリーン（被投射面）ＳＣＲ上にカラー映像（画像）を表示する投射型画像表示装置である。また、このプロジェクター１０は、光変調装置として、各々が赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、青色光（Ｂ）の各色光に対応した３つの液晶ライトバルブ（液晶パネル）を用いている。さらに、このプロジェクター１０は、照明装置の光源として、高輝度・高出力な光が得られる半導体レーザ（レーザ光源）を用いている。

具体的に、このプロジェクター１０は、第１の色光である赤色光（Ｒ）を照射する第１の照明装置１１Ｒと、第２の色光である緑色光（Ｇ）を照射する第２の照明装置１１Ｇと、第３の色光である青色光（Ｂ）を照射する第３の照明装置１１Ｂと、各色光Ｒ，Ｇ，Ｂを画像情報に応じて変調し、各色光Ｒ，Ｇ，Ｂに対応した画像光をそれぞれ形成する光変調装置１２Ｒ，光変調装置１２Ｇ，光変調装置１２Ｂと、各光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂからの画像光を合成する合成光学系１３と、合成光学系１３からの画像光をスクリーンＳＣＲに向かって投射する投射光学系１４とを概略備えている。

第１の照明装置１１Ｒ、第２の照明装置１１Ｇ及び第３の照明装置１１Ｂは、各色光Ｒ，Ｇ，Ｂに対応したレーザー光をそれぞれ射出するレーザー光源１５Ｒ，レーザー光源１５Ｇ，レーザー光源１５Ｂを備える以外は同じ構成を有している。したがって、以下の説明では、第１の照明装置１１Ｒについて説明し、第２の照明装置１１Ｇ及び第３の照明装置１１Ｂの説明は省略するものとする。

第１の照明装置１１Ｒは、レーザー光を射出するレーザー光源１５Ｒと、レーザー光源１５Ｒのからのレーザー光が入射する回折光学素子１６と、回折光学素子１６からの回折光が入射する平行化レンズ１７とを有している。

レーザー光源１５Ｒは、例えば半導体レーザーからなり、コヒーレント光であるレーザー光を回折光学素子１６に向かって射出する。なお、レーザー光源１５Ｒは、１つの半導体レーザーを配置したものに限らず、複数の半導体レーザーを配列したアレイ光源であってもよい。

回折光学素子１６は、例えば計算機合成ホログラム（ＣＧＨ：Computer Generated Hologram）からなる。この回折光学素子１６は、レーザー光源１５Ｒからのレーザー光を回折することによって、光変調装置１２Ｒの画像形成領域に入射する回折光の強度分布を均一化する機能を有する。なお、本発明では、このような回折光学素子１６の代わりに、マルチレンズアレイやロッドレンズなどのインテグレータ光学系を用いて、照明光の強度分布を均一化してもよい。

平行化レンズ１７は、光変調装置１２Ｒの光入射面側に配置されて、この光変調装置１２Ｒに入射する回折光を平行化する機能を有する。

３つの光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ各々は、透過型の液晶ライトバルブ（液晶パネル）を備えている。そして、これら３つの光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂはそれぞれ、色光Ｒ，Ｇ，Ｂを画像情報に応じて変調した画像光を形成する。なお、各光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂの光入射側及び光射出側には、一対の偏光板（図示せず。）が配置されており、特定の方向の直線偏光の光のみを通過させる仕組みとなっている。

合成光学系１３は、クロスダイクロイックプリズムからなり、各光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂから入射した画像光を合成し、この合成された画像光を投射光学系１４に向かって射出する。

投射光学系１４は、投射レンズからなり、合成光学系１３により合成された画像光をスクリーンＳＣＲに向かって拡大投射する。これにより、スクリーンＳＣＲ上には、拡大されたカラー映像（画像）が表示される。

（光変調装置）
ところで、光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂには、例えば図２及び図３に示すようなマイクロレンズアレイ２００が取り付けられた液晶パネル（光変調素子）１００が用いられている。ただし、図３では、後述する表面層２０７を図示していない。なお、図２は、マイクロレンズアレイ２００が取り付けられた液晶パネル１００の概略構成を示す平面図である。図３は、図２中のＨ−Ｈ’線に沿った断面図である。

液晶パネル１００は、素子基板１０１と、この素子基板１０１に対向して配置された対向基板１０２と、素子基板１０１と対向基板１０２との間に配置された液晶層１０３とを概略備えている。

対向基板１０２の液晶層１０３と対向する面上には、平面視矩形枠状の遮光層１０６が形成されている。遮光層１０６の内側は、複数の画素Ｇがマトリクス状に配列された画像形成領域１０７である。さらに、各画素Ｇに対応した領域をマトリクス状に区画する遮光膜１１５が設けられている。遮光膜１１５で覆われた領域は、画像光の形成に寄与しない領域である。

素子基板１０１の液晶層５０と対向する面側には、各画素Ｇに対応して複数の画素電極１１３が設けられている。各画素電極１１３には、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）などのスイッチング素子（図示せず。）が接続されている。液晶パネル１００は、概略上記した構成を備えている。

（マイクロレンズアレイ）
マイクロレンズアレイ２００は、複数のマイクロレンズ２０１が二次元的に配列されたレンズ基板からなり、対向基板１０２の液晶層１０３とは反対側の面に取り付けられている。また、マイクロレンズアレイ２００は、複数の画素Ｇに対応した位置に複数のマイクロレンズ２０１がそれぞれ位置するように、画像形成領域１０７の面上に位置決め配置されている。つまり、マイクロレンズアレイ２００は、１つの画素Ｇに１つのマイクロレンズ２０１が対応するように設けられている。

図４は、１つのマイクロレンズ２０１を拡大して示す断面図である。
マイクロレンズ２０１の光軸Ｚを含む断面において、マイクロレンズ２０１の形状は、略直線状の部分２０２ｂと曲線状の部分２０２ａとを含む。曲線状の部分２０２ａは、マイクロレンズ２０１の頂部ＡＰと略直線状の部分２０２ｂとの間に設けられている。

そして、マイクロレンズ２０１は、光軸Ｚを中心に曲線状の部分２０２ａを回転させることによって得られる曲面部２０３ａと、光軸Ｚを中心に略直線状の部分２０２ｂを回転させることによって得られる斜面部２０３ｂと、を含む屈折面２０４を備える。屈折面２０４において、前記曲面部は前記斜面部と連続している。

次に、図５を用いてマイクロレンズ２０１の製造方法について説明する。図５は、マイクロレンズ２０１の光軸Ｚとなる軸Ｚ’を含むレンズ基板２０５の断面図である。

初めに、レンズ基板２０５の一面の上に、レンズ基板よりもエッチングレートが高い表面層２０７を成膜する。

次に、表面層２０７の上に、ピンホール２１０を有するマスク層２０８を形成する。そして、ピンホール２１０を介して、ウェットエッチングによって表面層２０７とレンズ基板２０５とをエッチングする。表面層２０７のエッチングレートはレンズ基板２０５のエッチングレートよりも高いため、レンズ基板２０５と比較して表面層２０７のエッチングは、レンズ基板２０５の面と平行な方向へ早く進む。

これにより、レンズ基板２０５の一面上に、マイクロレンズ２０１の型となる凹部２１１が形成される。マスク２０８を除去した後、例えば紫外線硬化樹脂からなるレンズ部材２０６を凹部２１１に充填することにより、マイクロレンズ２０１を形成することができる。

曲線状の部分２０２ａは、図５に示した断面図におけるマスク層２０８の開口端２０９を中心とする円弧として近似することができる。その場合、略直線状の部分２０２ｂは曲線状の部分２０２ａの端部における接線であると近似することができる。なお、マスク層２０８の開口に対応する凹部２１１の領域２１２は平坦部となる。したがって、マイクロレンズ２０１の頂部ＡＰには平坦部が形成される。

また、ウェットエッチングによってマイクロレンズ２０１を形成した場合、マイクロレンズ２０１の幅ｗと高さｔと、ピンホール２１０の直径ＡＤとは、以下の式に示す関係を有している。
Ｗ＝２×（ＡＤ／２＋ｔ／ｓｉｎθ）

曲面部２０３ａは、マイクロレンズ２０１の平面視中央部分において、凸レンズとして機能する部分であり、この曲面部２０３ａに入射した光は、集光されながら画素Ｇの有効領域（画像光の形成に寄与する領域）に向かって射出される。

一方、斜面部２０３ｂは、マイクロレンズ２０１の平面視周囲部分において、プリズムレンズとして機能する部分である。斜面部２０３ｂに入射した光は、斜面部２０３ｂによって屈折され、画素Ｇの有効領域（画像光の形成に寄与する領域）に向かって射出される。

ここで、投射光学系１４の出射瞳での光源像の面積（径）と、スペックルコントラストとの相対関係を示すグラフを図６に示す。
図６に示すように、光源像の面積（径）が大きいほど、スペックルコントラストが低下する。スペックルコントラストが低下する、ということは、スペックルノイズが観察者に認識されにくい、ということである。これは、投射光学系１４の出射瞳での光源像が大きいほど、スクリーンへ入射する光の強度の角度分布が広がるためである。

また、投射光学系１４の出射瞳での光強度分布の均一性と、スペックルコントラストとの相対関係を示すグラフを図７に示す。
図７に示すように、出射瞳での光強度分布の均一性が高いほど、スペックルコントラストが低下することになる。スペックルコントラストを低くするためには、光強度分布を出射瞳全体にわたって均一にすることが好ましい。

図８は、マイクロレンズの底面に対する略直線状の部分２０２ｂの傾斜角θが異なるマイクロレンズＭＬ１〜マイクロレンズＭＬ６について、投射光学系１４の出射瞳での光強度分布の均一性と傾斜角θとの関係を示す図である。なお、出射瞳での光強度分布の均一性は、光変調装置から射出される光の強度の角度分布によって定めることができる。

光変調装置から射出される光の強度の角度分布が広く均一なほど、出射瞳での光強度分布の均一性が高い。図８に示す光強度分布の均一性は、コンピュータシミュレーションによって求めた射出光の強度の角度分布から求めた値を、その最大値によって規格化した値である。

また、曲線状の部分２０２ａは、図５に示した断面図におけるマスク層２０８の開口端２０９を中心とする円弧として近似し、略直線状の部分２０２ｂは曲線状の部分２０２ａの端部における接線であると近似して、コンピュータシミュレーションを行った。

マイクロレンズＭＬ１〜マイクロレンズＭＬ６について、図４に示した傾斜角θ、高さｔ、底面２０３ｃから液晶層１０３までの距離ｚ、幅Ｗを表１に示す。

図８に示すように、傾斜角θが４５°のマイクロレンズＭＬ４の場合、光強度分布の均一性が最も高い。一方、傾斜角θが５５°のマイクロレンズＭＬ６の場合、光強度分布の均一性がマイクロレンズＭＬ１〜マイクロレンズＭＬ６の中では最も低い。

表２に、各マイクロレンズＭＬ１〜マイクロレンズＭＬ６を用いた場合のスペックルノイズの認識されにくさを示す。表２では、スペックルノイズの認識されにくさを＋の数で表し、＋の数が多いほどスペックルノイズの認識されにくいことを表している。

マイクロレンズＭＬ４を用いた場合、スペックルノイズは最も認識されにくい。また、マイクロレンズＭＬ６を用いた場合、スペックルノイズを低減する効果はマイクロレンズＭＬ１〜マイクロレンズＭＬ６の中では最も低い。マイクロレンズＭＬ６を用いた場合のスペックルノイズを低減する効果は、マイクロレンズＭＬ５とマイクロレンズＭＬ６との間のレベルであった。

なお、従来技術によるマイクロレンズは略直線状の部分を備えておらず、傾斜角θが９０°の場合に相当する。傾斜角θが９０°の場合、スペックルノイズを低減する効果は極めて低い（表２において−と表記する。）。

本発明に係るマイクロレンズ２０１を用いることによって、投射光学系１４の出射瞳での光強度分布の均一性を高めることができる。つまり、出射瞳面の広い範囲にわたって光を入射させることができる。また、出射瞳面の特定の領域、例えば出射瞳面の中央に入射光が集中することを低減することができる。これにより、スクリーンへ入射する光の強度の角度分布を広げることができる。従って、本発明によれば、スペックルノイズを低減することができる。

略直線状の部分２０２ｂの傾斜角θは、マイクロレンズ２０１の底面（対向基板１０２と対向する面）２０３ｃに対して３０°以上５０°以下であることが好ましい。これにより、スペックルノイズを大きく低減することができる。

また、マイクロレンズ２０１の直径（マイクロレンズ２０１の高さｔに相当する。）は、画素Ｇの対角線の長さの９割以上とすることが好ましい。これにより、画素Ｇを通過する光のうちマイクロレンズ２０１を通過しない光を減らすことができる。

以上のようなマイクロレンズアレイ２００が取り付けられた液晶パネル１００では、液晶パネル１００から射出される光の強度の角度分布が広くなり、かつ均一性が高められる。そのため、液晶パネル１００によって形成される画像におけるスペックルノイズが大きく低減される。また、各マイクロレンズ２０１により集光される光を画像形成領域１０７の各画素Ｇに対して効率良く入射させることができる。したがって、このようなマイクロレンズアレイ２００が取り付けられた液晶パネル１００を備えるプロジェクター１０では、スペックルノイズが大きく低減され、画像品質に優れた明るい表示を行うことが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

本実施形態では、曲線状の部分２０２ａの形状を略円弧状としているが、曲線状の部分２０２ａの形状は、非球面形状や自由曲面形状としてもよい。また、略直線状の部分２０２ｂの形状は、本実施形態では直線状としているが、略直線状の部分２０２ｂの形状は、屈曲していてもよい。また、略直線状の部分２０２ｂが曲線状の部分２０２ａの端部の接線である構成に限られない。

上記実施形態では、３つの光変調装置１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂを備えるプロジェクター１０を例示したが、１つの光変調装置でカラー映像（画像）を表示するプロジェクタに適用することも可能である。さらに、光変調装置としては、上述した液晶パネルに限らず、例えばデジタルミラーデバイス（ＤＭＤ：米国テキサスインツルメンツ社の登録商標）などを用いることもできる。

１０…プロジェクター １１Ｒ…第１の照明装置 １１Ｇ…第２の照明装置 １１Ｂ…第３の照明装置 １２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ…光変調装置（液晶ライトバルブ） １３…合成光学系 １４…投射光学系 １５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ…レーザー光源 １６…回折光学素子 １７…平行化レンズ ＳＣＲ…スクリーン
１００…液晶パネル（光変調素子） １０１…素子基板 １０２…対向基板 １０３…液晶層 １０７…画素形成領域 １１３…画素電極 Ｇ…画素
２００…マイクロレンズアレイ ２０１…マイクロレンズ ２０２ａ…曲線状の部分 ２０２ｂ…略直線状の部分 ２０３ａ…曲面部 ２０３ｂ…斜面部 ２０３ｃ…底面

Claims (8)

1. 複数のマイクロレンズが二次元的に配列されたマイクロレンズアレイであって、
   前記複数のマイクロレンズのうち一のマイクロレンズの光軸を含む断面において、前記一のマイクロレンズの形状は、曲線状の部分と略直線状の部分とを含むことを特徴とするマイクロレンズアレイ。
2. 前記曲線状の部分は、前記一のマイクロレンズの頂部と前記略直線状の部分との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイ。
3. 前記一のマイクロレンズの底面に対する前記略直線状の部分の傾斜角は、３０°以上５０°以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロレンズアレイ。
4. 前記マイクロレンズは、前記光軸を中心に前記曲線状の部分を回転させることによって得られる曲面部と、前記光軸を中心に前記略直線状の部分を回転させることによって得られる斜面部と、を含む屈折面を備え、
   前記曲面部が前記斜面部と連続していることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のマイクロレンズアレイ。
5. 請求項１〜４の何れか一項に記載のマイクロレンズアレイと、
   複数の画素が配列された画像形成領域を有する光変調素子と、を備え、
   前記マイクロレンズアレイは、前記複数の画素のうち一の画素に前記一のマイクロレンズが対応するように設けられていることを特徴とする光変調装置。
6. 照明光を照射する照明装置と、
   前記照明光を画像情報に応じて変調した画像光を形成する光変調装置と、
   前記画像光を投射する投射光学系と、を備え、
   前記光変調装置として、請求項５に記載の光変調装置を用いることを特徴とするプロジェクター。
7. 前記照明装置は、レーザー光源を有することを特徴とする請求項６に記載のプロジェクター。
8. 前記レーザー光源は、複数の半導体レーザーを配列したアレイ光源であることを特徴とする請求項７に記載のプロジェクター。

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