JP2014188898A - Passage member, liquid jet head, and liquid jet apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a passage member which allows an internal space formed at a head body or the passage member to communicate with the exterior more securely and inhibits deformation to improve the reliability, and to provide a liquid jet head and a liquid jet apparatus.SOLUTION: A passage member 40 includes: a first member 60 and a second member 70 which supply an ink to a head body for discharging the ink; a diffusion resistance groove 95 which allows an internal space 80 formed in the passage member 40 to communicate with the exterior; and an adhesive 96 which covers an opening of the diffusion resistance groove 95.

Description

本発明は、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを供給する流路部材、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a flow path member, a liquid ejecting head, and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to a flow path member that supplies ink as a liquid, an ink jet recording head that ejects ink, and an ink jet recording apparatus.

液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、例えば、インク滴を吐出するヘッド本体と、インクカートリッジ（液体供給手段）からインクをヘッド本体に供給する流路部材とを具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。   A typical example of a liquid ejecting head that ejects liquid is an ink jet recording head that ejects ink droplets. An ink jet recording head has been proposed that includes, for example, a head main body that ejects ink droplets, and a flow path member that supplies ink from an ink cartridge (liquid supply means) to the head main body (for example, Patent Documents). 1).

流路部材には、内部空間が設けられ、その内部空間内に液体流路の一部が形成されている。その内部空間内に形成された液体流路の一部は、樹脂等（弾性膜）で該内部空間と区画されている。樹脂等は、インク（液体）を透過させないが、気体を透過させる性質を有している。このため、内部空間の圧力次第では、内部空間の空気が樹脂等を浸透して液体流路に流入し、インク中に気泡を生じさせる虞がある。逆に、液体流路中のインクに含まれる水分が蒸発して蒸気となり、樹脂等を透過する結果、インクが増粘してしまう虞がある。   The flow path member is provided with an internal space, and a part of the liquid flow path is formed in the internal space. A part of the liquid flow path formed in the internal space is partitioned from the internal space by a resin or the like (elastic film). Resin or the like does not transmit ink (liquid) but has a property of transmitting gas. For this reason, depending on the pressure in the internal space, the air in the internal space may permeate the resin or the like and flow into the liquid flow path, which may cause bubbles in the ink. Conversely, the moisture contained in the ink in the liquid flow path evaporates into vapor, which passes through the resin and the like, and as a result, the ink may thicken.

そこで、流路部材に内部空間を外部に連通させる大気開放路を設けることで、内部空間の圧力を調整している。このような内部空間の調圧により、液体流路中のインクに気泡が混入することや、インク中の水分が蒸発することを抑制している。   Therefore, the pressure in the internal space is adjusted by providing the flow path member with an atmosphere opening path that allows the internal space to communicate with the outside. By adjusting the pressure in the internal space, it is possible to prevent bubbles from being mixed into the ink in the liquid flow path and evaporation of moisture in the ink.

特許文献１に係る流路部材は、第１部材及び第２部材とから構成され、これらの間に挟持されるシール部材を有している。このシール部材に溝を設け、該溝の開口を第１部材又は第２部材で覆うことで大気開放路が構成されている。   The flow path member according to Patent Document 1 includes a first member and a second member, and has a seal member that is sandwiched between them. An air release path is configured by providing a groove in the seal member and covering the opening of the groove with the first member or the second member.

特開２０１２−２４０３４１号公報JP2012-240341A

しかしながら、シール部材、第１部材及び第２部材には寸法公差があるため、シール部材に均等に荷重をかけて第１部材及び第２部材で挟持することが難しい。シール部材の一部に荷重が偏ってしまうと、シール部材の溝が第１部材又は第２部材によって覆われず、不完全な大気開放路となってしまう虞がある。また、荷重をかける際に、シール部材の溝を覆うように配置された第１部材や第２部材がその位置からずれてしまい、不完全な大気開放路となる虞もある。   However, since the seal member, the first member, and the second member have dimensional tolerances, it is difficult to apply a load evenly to the seal member and hold it between the first member and the second member. If the load is biased to a part of the seal member, the groove of the seal member is not covered by the first member or the second member, and there is a possibility that an incomplete air release path may be formed. Further, when applying a load, the first member and the second member arranged so as to cover the groove of the seal member may be displaced from the position, resulting in an incomplete atmosphere opening path.

さらに、第１部材と第２部材とでシール部材を挟持しているため、シール部材の反力で第１部材及び第２部材が変形するおそれがある。これらの部材の変形により、流路部材からヘッド本体が剥離したり、液体流路からインクが漏れるなど、信頼性の問題が生じてしまう。   Furthermore, since the seal member is sandwiched between the first member and the second member, the first member and the second member may be deformed by the reaction force of the seal member. Due to the deformation of these members, reliability problems such as separation of the head body from the flow path member and leakage of ink from the liquid flow path may occur.

なお、このような問題は、インクを供給する流路部材だけではなく、インク以外の液体を供給する流路部材においても同様に存在し、また、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。さらに、このような問題は、内部空間が流路部材に設けられている場合に限らず、ヘッド本体内に設けられている場合においても 同様に存在する。   Such a problem exists not only in the flow path member supplying ink but also in the flow path member supplying liquid other than ink, and not only in the ink jet recording head but also in liquid other than ink. This also exists in the liquid ejecting head that ejects the same. Furthermore, such a problem exists not only in the case where the internal space is provided in the flow path member but also in the case where the internal space is provided in the head body.

本発明はこのような事情に鑑み、ヘッド本体又は流路部材に形成された内部空間をより確実に外部に連通させるとともに、変形が抑制されて信頼性が向上した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, the present invention more reliably connects the internal space formed in the head body or the flow path member to the outside, and the flow path member, the liquid jet head, and the deformation are suppressed and the reliability is improved. An object is to provide a liquid ejecting apparatus.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するヘッド本体に液体を供給する流路部材であって、前記ヘッド本体又は該流路部材内に形成された内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝と、前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備えることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、接着剤により覆われた拡散抵抗溝が形成される。この拡散抵抗溝は、内部空間を外部により確実に連通させ、その内部の圧力調整が可能である。そして、従来技術のようにシール部材等を用いず、接着剤で拡散抵抗溝を覆うので、流路部材の変形が抑制される。これにより、信頼性が向上した流路部材が提供される。 An aspect of the present invention that solves the above problem is a flow path member that supplies liquid to a head main body that discharges liquid, and that diffuses the head main body or an internal space formed in the flow path member to the outside A flow path member comprising a resistance groove and an adhesive covering the opening of the diffusion resistance groove.
In this aspect, the diffusion resistance groove covered with the adhesive is formed. This diffusion resistance groove allows the internal space to communicate more reliably with the outside, and the pressure inside thereof can be adjusted. And since a diffusion resistance groove | channel is covered with an adhesive agent without using a sealing member etc. like a prior art, a deformation | transformation of a flow-path member is suppressed. Thereby, the flow path member with improved reliability is provided.

ここで、前記流路部材は、拡散抵抗溝が設けられた第１部材と、該第１部材に接合される第２部材とを備え、前記接着剤は、前記拡散抵抗溝の開口を覆い、前記第２部材と前記第１部材とを接着していることが好ましい。これによれば、接着剤は、拡散抵抗溝を覆うとともに、第１部材及び第２部材を接着させる接着剤を兼ねる。すなわち、第１部材及び第２部材を接着させる領域に、拡散抵抗溝を配置することができる。このように拡散抵抗溝の一部を当該領域に配置できるので、その分、拡散抵抗溝が配置される内部空間の大きさ（拡散抵抗溝の平面方向の広さ）を省スペース化することができる。   Here, the flow path member includes a first member provided with a diffusion resistance groove, and a second member joined to the first member, and the adhesive covers the opening of the diffusion resistance groove, It is preferable that the second member and the first member are bonded. According to this, the adhesive serves as an adhesive that covers the diffusion resistance groove and adheres the first member and the second member. That is, the diffusion resistance groove can be disposed in a region where the first member and the second member are bonded. Thus, since a part of the diffusion resistance groove can be arranged in the region, the size of the internal space in which the diffusion resistance groove is arranged (the width of the diffusion resistance groove in the plane direction) can be saved. it can.

また、前記拡散抵抗溝は、開口から底に向かい断面形状の幅が減少するＶ字状に形成されていることが好ましい。これによれば、接着剤により閉塞され難い拡散抵抗溝とすることができる。   The diffusion resistance groove is preferably formed in a V shape in which the width of the cross-sectional shape decreases from the opening toward the bottom. According to this, it can be set as the diffusion resistance groove which is hard to be obstruct | occluded with the adhesive.

また、前記拡散抵抗溝は、第１部材の表面に形成された第１溝部と、該第１溝部の底部に形成された第２溝部とを備えていることが好ましい。これによれば、接着剤を第１溝部内に収めることができるので、接着剤が他の部材などに付着することを抑制できる。   Moreover, it is preferable that the said diffusion resistance groove is provided with the 1st groove part formed in the surface of the 1st member, and the 2nd groove part formed in the bottom part of this 1st groove part. According to this, since an adhesive agent can be stored in a 1st groove part, it can suppress that an adhesive agent adheres to another member etc.

また、前記接着剤のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、前記接着剤が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上であることが好ましい。これによれば、拡散抵抗溝内の空気又は蒸気が意図せぬ部位に浸透してしまうことを抑制できる。   The gas permeability coefficient and water vapor permeability coefficient of the adhesive are preferably equal to or higher than the gas permeability coefficient and water vapor permeability coefficient of the region where the adhesive is adhered. According to this, it can suppress that the air or vapor | steam in a diffusion resistance groove | channel permeates into the site | part which is not intended.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する流路部材と前記ヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、流路部材又はヘッド本体の内部に形成された内部空間をより確実に外部に連通させ、その内部の圧力調整が可能な拡散抵抗溝を構成することができる。そして、従来技術のようにシール部材等を用いず、接着剤で拡散抵抗溝を覆うので、流路部材の変形が抑制される。これにより、信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。 Furthermore, another aspect of the invention is a liquid ejecting head including the flow path member described in the above aspect and the head main body.
In such an aspect, it is possible to configure a diffusion resistance groove in which the internal space formed inside the flow path member or the head main body can be more reliably communicated with the outside and the pressure inside thereof can be adjusted. And since a diffusion resistance groove | channel is covered with an adhesive agent without using a sealing member etc. like a prior art, a deformation | transformation of a flow-path member is suppressed. Thereby, a liquid jet head with improved reliability is provided.

さらに、本発明の他の態様は、内部空間、及び該内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝を有し、液体を吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に液体を供給する流路部材と、前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、内部空間及び拡散抵抗溝がヘッド本体に形成された液体噴射ヘッドが提供される。 Furthermore, another aspect of the present invention includes an internal space, a diffusion resistance groove that communicates the internal space with the outside, a head main body that discharges liquid, a flow path member that supplies liquid to the head main body, And an adhesive that covers the opening of the diffusion resistance groove.
In this aspect, a liquid jet head in which an internal space and a diffusion resistance groove are formed in the head body is provided.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ヘッド本体又は流路部材に形成された内部空間をより確実に外部に連通させるとともに、変形が抑制されて信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。 Furthermore, another aspect of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head described in the above aspect.
In this aspect, there is provided a liquid ejecting apparatus in which the internal space formed in the head main body or the flow path member is more reliably communicated with the outside, and the deformation is suppressed and the reliability is improved.

インクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing an ink jet recording apparatus. 実施形態１に係るヘッドを示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the head according to the first embodiment. 実施形態１に係るヘッド本体の要部を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main part of the head body according to the first embodiment. 流路部材の上面図である。It is a top view of a flow path member. 流路部材を構成する第１部材の底面図である。It is a bottom view of the 1st member which constitutes a channel member. 流路部材を構成する第２部材の上面図である。It is a top view of the 2nd member which constitutes a channel member. 図４のＡ−Ａ′線断面である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 4. 拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of a diffusion resistance groove | channel and an adhesive agent. 拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of a diffusion resistance groove | channel and an adhesive agent. 第１部材の底面図である。It is a bottom view of the 1st member. 図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。It is the C-C 'sectional view taken on the line of FIG. 流路部材とヘッド本体とを備えるヘッドの断面図である。It is sectional drawing of a head provided with a flow-path member and a head main body. 流路部材の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of a flow-path member.

〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。 <Embodiment 1>
The present invention will be described in detail based on embodiments. An ink jet recording head is an example of a liquid jet head, and is also simply referred to as a head. An ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus.

図１は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略斜視図である。本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体２を備え、装置本体２には一方向に延びるキャリッジ軸３が設けられている。キャリッジ軸３には、軸方向に沿って往復移動可能なキャリッジ４が取り付けられている。キャリッジ４には、ヘッド１及びインクカートリッジ５が搭載されている。   FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an example of an ink jet recording apparatus. The ink jet recording apparatus I according to the present embodiment includes an apparatus main body 2, and the apparatus main body 2 is provided with a carriage shaft 3 extending in one direction. A carriage 4 that can reciprocate along the axial direction is attached to the carriage shaft 3. A head 1 and an ink cartridge 5 are mounted on the carriage 4.

装置本体２には、駆動モーター６及びタイミングベルト７が設けられている。タイミングベルト７は、駆動モーター６とキャリッジ４に取り付けられており、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７によりキャリッジ４に伝達される。この駆動モーター６の駆動により、キャリッジ４はキャリッジ軸３に沿って往復移動する。   The apparatus body 2 is provided with a drive motor 6 and a timing belt 7. The timing belt 7 is attached to the drive motor 6 and the carriage 4, and the driving force of the drive motor 6 is transmitted to the carriage 4 by the timing belt 7. By driving the drive motor 6, the carriage 4 reciprocates along the carriage shaft 3.

一方、装置本体２にはキャリッジ軸３に沿ってプラテン８が設けられている。給紙ローラーなど（図示せず）により給紙された紙等の被記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて、キャリッジ軸３とは直交する方向に搬送されるようになっている。
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ４がキャリッジ軸３に沿って移動されると共にヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。 On the other hand, the apparatus main body 2 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 3. A recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller or the like (not shown), is wound around the platen 8 and conveyed in a direction perpendicular to the carriage shaft 3. Yes.
In such an ink jet recording apparatus I, the carriage 4 is moved along the carriage shaft 3 and ink is ejected by the head 1 to be printed on the recording sheet S.

図２は、本実施形態に係るヘッドを示す分解斜視図である。本実施形態に係るヘッド１は、液体としてインク滴を吐出可能なヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に保持された配線基板３０と、ヘッド本体２０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。   FIG. 2 is an exploded perspective view showing the head according to the present embodiment. The head 1 according to the present embodiment includes a head main body 20 capable of ejecting ink droplets as a liquid, a wiring board 30 held by the head main body 20, and a flow path member 40 that supplies ink to the head main body 20. To do.

まず、図３を参照して、ヘッド本体２０について詳細に説明する。図３は、ヘッド本体の要部を示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るヘッド本体２０は、複数のアクチュエーターユニット２１０と、アクチュエーターユニット２１０を内部に収容可能なケース２５０と、ケース２５０の一方面に接合された流路ユニット２３０と、を具備する。 First, the head body 20 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the main part of the head body.
As shown in FIG. 3, the head body 20 according to this embodiment includes a plurality of actuator units 210, a case 250 that can accommodate the actuator units 210 therein, and a flow path unit 230 that is joined to one surface of the case 250. And.

本実施形態のアクチュエーターユニット２１０は、圧電アクチュエーター形成部材２１２と、固定板２１３とを有する。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電アクチュエーター２１１が幅方向（Ｙ方向）に複数並設されることで形成されている。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、その基端部（一端部）が固定端として固定板２１３に接合され、先端部（他端部）が自由端となっている。   The actuator unit 210 of this embodiment includes a piezoelectric actuator forming member 212 and a fixed plate 213. The piezoelectric actuator forming member 212 is formed by arranging a plurality of piezoelectric actuators 211 in the width direction (Y direction). The base end portion (one end portion) of the piezoelectric actuator forming member 212 is joined to the fixed plate 213 as a fixed end, and the tip end portion (the other end portion) is a free end.

圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電材料２１４と、個別内部電極２１５と、共通内部電極２１６を交互に挟んで積層することで形成されている。個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６は、圧電アクチュエーター２１１の２つの極を構成する内部電極である。個別内部電極２１５は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に独立する個別電極を構成する。共通内部電極２１６は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に共通する共通電極を構成する。   The piezoelectric actuator forming member 212 is formed by stacking piezoelectric materials 214, individual internal electrodes 215, and common internal electrodes 216 alternately. The individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 are internal electrodes that form two poles of the piezoelectric actuator 211. The individual internal electrode 215 constitutes an individual electrode that is electrically independent from the adjacent piezoelectric actuator 211. The common internal electrode 216 constitutes a common electrode that is electrically common to the adjacent piezoelectric actuator 211.

圧電アクチュエーター形成部材２１２には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット２１７が形成されている。複数のスリット２１７で圧電アクチュエーター形成部材２１２の先端部側が櫛歯状に切り分けられ、圧電アクチュエーター２１１の列が形成されている。   The piezoelectric actuator forming member 212 has a plurality of slits 217 formed by, for example, a wire saw. A plurality of slits 217 divide the tip end side of the piezoelectric actuator forming member 212 into a comb-like shape to form a row of piezoelectric actuators 211.

圧電アクチュエーター２１１の固定板２１３に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっている。圧電アクチュエーター２１１を構成する個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６間に電圧を印加すると、固定板２１３に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター２１１の先端面が、後述する振動板２３２の島部２４０に接着剤等で固定される。   The region joined to the fixed plate 213 of the piezoelectric actuator 211 is an inactive region that does not contribute to vibration. When a voltage is applied between the individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 constituting the piezoelectric actuator 211, only the region on the tip end side that is not joined to the fixed plate 213 vibrates. And the front end surface of the piezoelectric actuator 211 is fixed to the island part 240 of the diaphragm 232 mentioned later with an adhesive agent.

また、アクチュエーターユニット２１０の各圧電アクチュエーター２１１には、例えばＣＯＦ等の回路基板２２１が接続されている。回路基板２２１には、圧電アクチュエーター２１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２２０が搭載されている。   In addition, a circuit board 221 such as a COF is connected to each piezoelectric actuator 211 of the actuator unit 210. A drive circuit 220 such as a drive IC for driving the piezoelectric actuator 211 is mounted on the circuit board 221.

流路ユニット２３０は、流路形成基板２３１、振動板２３２及びノズルプレート２３３を具備する。
流路形成基板２３１は、シリコン単結晶基板からなり、複数の圧力発生室２３５がその幅方向（Ｙ方向）に並設されている。具体的には、各圧力発生室２３５は、流路形成基板２３１の一方面側の表層部分に形成された複数の隔壁２３４によって画成されている。 The flow path unit 230 includes a flow path forming substrate 231, a vibration plate 232, and a nozzle plate 233.
The flow path forming substrate 231 is made of a silicon single crystal substrate, and a plurality of pressure generating chambers 235 are arranged in parallel in the width direction (Y direction). Specifically, each pressure generating chamber 235 is defined by a plurality of partition walls 234 formed in the surface layer portion on one surface side of the flow path forming substrate 231.

各圧力発生室２３５には、インク供給路２３７を介してマニホールド２３６が連通している。また、流路形成基板２３１の一方面側には振動板２３２が接合され、他方面側にはノズルプレート２３３が接合されている。振動板２３２は、圧力発生室２３５の開口面を封止している。ノズルプレート２３３は、ノズル開口２３８が穿設されており、接着剤や熱溶着フィルムを介して流路形成基板２３１に接着されている。流路形成基板２３１には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通した連通孔２３９が設けられている。ノズルプレート２３３のノズル開口２３８と圧力発生室２３５とは、連通孔２３９を介して連通している。   A manifold 236 communicates with each pressure generation chamber 235 through an ink supply path 237. In addition, a diaphragm 232 is bonded to one side of the flow path forming substrate 231 and a nozzle plate 233 is bonded to the other side. The diaphragm 232 seals the opening surface of the pressure generation chamber 235. The nozzle plate 233 has a nozzle opening 238 formed therein, and is bonded to the flow path forming substrate 231 via an adhesive or a heat welding film. The flow path forming substrate 231 is provided with a communication hole 239 penetrating in the thickness direction (Z direction). The nozzle opening 238 of the nozzle plate 233 and the pressure generation chamber 235 communicate with each other through a communication hole 239.

振動板２３２は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２３２ａと、この弾性膜２３２ａを支持する支持板２３２ｂとから構成されている。振動板２３２は、弾性膜２３２ａ側が流路形成基板２３１に接合されている。   The diaphragm 232 includes, for example, an elastic film 232a made of an elastic member such as a resin film, and a support plate 232b that supports the elastic film 232a. The diaphragm 232 is bonded to the flow path forming substrate 231 on the elastic film 232a side.

また、振動板２３２の各圧力発生室２３５に対向する領域内には、島部２４０が設けられている。島部２４０は、圧電アクチュエーター２１１の先端部が当接する領域である。具体的には、振動板２３２は、薄肉部２４１と島部２４０とを有している。薄肉部２４１は、振動板２３２のうち、各圧力発生室２３５の周縁部に対向する領域であり、その他の領域よりも厚さが薄くなっている。薄肉部２４１は実質的には弾性膜２３２ａのみで構成されている。また、島部２４０は、薄肉部２４１の内側に設けられており、島部２４０の上面に圧電アクチュエーター２１１の先端部が接着剤等で固定されている。   In addition, an island 240 is provided in a region of the diaphragm 232 facing each pressure generating chamber 235. The island part 240 is an area where the tip of the piezoelectric actuator 211 comes into contact. Specifically, the diaphragm 232 has a thin portion 241 and an island portion 240. The thin portion 241 is a region of the diaphragm 232 that faces the peripheral edge of each pressure generating chamber 235 and is thinner than the other regions. The thin part 241 is substantially constituted only by the elastic film 232a. The island part 240 is provided inside the thin part 241, and the tip of the piezoelectric actuator 211 is fixed to the upper surface of the island part 240 with an adhesive or the like.

さらに、振動板２３２のうちマニホールド２３６に対向する領域は、コンプライアンス部２４２となっている。コンプライアンス部２４２は、薄肉部２４１と同様に、実質的に弾性膜２３２ａのみで構成されている。なお、薄肉部２４１やコンプライアンス部２４２は、支持板２３２ｂをエッチングにより除去することで形成されている。   Further, a region of the diaphragm 232 that faces the manifold 236 is a compliance portion 242. Similar to the thin-walled portion 241, the compliance portion 242 is substantially composed only of the elastic film 232a. The thin portion 241 and the compliance portion 242 are formed by removing the support plate 232b by etching.

コンプライアンス部２４２は、マニホールド２３６内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。   When the pressure change occurs in the manifold 236, the compliance part 242 absorbs the pressure change due to the deformation of the compliance part 242 (elastic film 232a), and plays a role of constantly maintaining the pressure in the manifold 236. .

なお、本実施形態では、弾性膜２３２ａと支持板２３２ｂとで振動板２３２を構成し、薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２を弾性膜２３２ａのみで構成したが、特にこれに限定されない。例えば、振動板として、１枚の板状部材を用い、板状部材の厚さ方向の一部を除去することで凹形状の薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２、並びにこれらよりも相対的に厚い島部２４０を形成してもよい。   In this embodiment, the elastic membrane 232a and the support plate 232b constitute the diaphragm 232, and the thin portion 241 and the compliance portion 242 are constituted only by the elastic membrane 232a. However, the present invention is not limited to this. For example, a single plate-like member is used as the vibration plate, and a part of the plate-like member in the thickness direction is removed, so that the concave thin portion 241 and the compliance portion 242 and islands that are relatively thicker than these are formed. The portion 240 may be formed.

ケース２５０は、流路形成基板２３１の振動板２３２上に固定されている。また、ケース２５０の振動板２３２とは反対側には、配線基板３０が接合され、該配線基板３０上に流路部材４０が接合される。ケース２５０には、インク導入路２５１が設けられている。インク導入路２５１は、流路部材４０に接続されている。インク導入路２５１には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０（図２参照）を経由してインクが供給される。   The case 250 is fixed on the vibration plate 232 of the flow path forming substrate 231. Further, the wiring board 30 is bonded to the side of the case 250 opposite to the diaphragm 232, and the flow path member 40 is bonded to the wiring board 30. The case 250 is provided with an ink introduction path 251. The ink introduction path 251 is connected to the flow path member 40. Ink is supplied to the ink introduction path 251 from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) via the flow path member 40 (see FIG. 2).

また、ケース２５０には、厚さ方向に貫通する複数の収容部２５２が設けられており、各収容部２５２にアクチュエーターユニット２１０が固定されている。本実施形態に係るヘッド１は、４個のアクチュエーターユニット２１０を有し、アクチュエーターユニット２１０がそれぞれ独立して収容されるように４個の収容部２５２を有している。   In addition, the case 250 is provided with a plurality of accommodating portions 252 penetrating in the thickness direction, and the actuator unit 210 is fixed to each accommodating portion 252. The head 1 according to the present embodiment has four actuator units 210, and has four accommodating portions 252 so that the actuator units 210 are independently accommodated.

さらに、ケース２５０には、コンプライアンス部２４２に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間２５３が設けられている。このコンプライアンス空間２５３によってコンプライアンス部２４２は変形可能となる。   Further, the case 250 is provided with a compliance space 253 having a concave shape that opens in a region facing the compliance portion 242. The compliance portion 242 can be deformed by the compliance space 253.

図２に示すように、ケース２５０の上面（流路ユニット２３０側とは反対の面）には、配線基板３０が固定されている。配線基板３０は、回路基板２２１の各配線が接続される導電パッド３３が設けられている。ケース２５０の収容部２５２は、配線基板３０によって実質的に塞がれている。配線基板３０には、ケース２５０の収容部２５２に対抗する領域にスリット状の開口部３１が形成されている。回路基板２２１は開口部３１から収容部２５２の外側に引き出され、配線基板３０の導電パッド３３と電気的に接続されている。   As shown in FIG. 2, the wiring substrate 30 is fixed to the upper surface of the case 250 (the surface opposite to the flow path unit 230 side). The wiring board 30 is provided with conductive pads 33 to which each wiring of the circuit board 221 is connected. The housing part 252 of the case 250 is substantially closed by the wiring board 30. In the wiring board 30, a slit-shaped opening 31 is formed in a region facing the housing portion 252 of the case 250. The circuit board 221 is drawn from the opening 31 to the outside of the housing part 252 and is electrically connected to the conductive pads 33 of the wiring board 30.

また、配線基板３０には、流路部材４０の液体流路が挿通する挿通部３２が設けられている。挿通部３２を挿通した流路部材４０のインク流路５０（接続部７３、図７参照）がインク導入路２５１に連通する。   Further, the wiring board 30 is provided with an insertion portion 32 through which the liquid channel of the channel member 40 is inserted. The ink flow path 50 (connection portion 73, see FIG. 7) of the flow path member 40 inserted through the insertion section 32 communicates with the ink introduction path 251.

上述したヘッド本体２０は、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター２１１及び振動板２３２の変形によって各圧力発生室２３５の容積を変化させ、所定のノズル開口２３８からインク滴を吐出させる。   When ejecting ink droplets, the head main body 20 described above changes the volume of each pressure generating chamber 235 by deformation of the piezoelectric actuator 211 and the vibration plate 232, and ejects ink droplets from a predetermined nozzle opening 238.

具体的には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０を経由し、インク導入路２５１を介してマニホールド２３６にインクが供給されると、インク供給路２３７を介して各圧力発生室２３５にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター２１１に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター２１１を収縮させる。これにより、振動板２３２が圧電アクチュエーター２１１と共に変形され、圧力発生室２３５の容積が広げられ、圧力発生室２３５内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口２３８に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板２２１を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター２１１の個別内部電極２１５、共通内部電極２１６に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター２１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板２３２も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室２３５の容積が収縮して圧力発生室２３５内の圧力が高まりノズル開口２３８からインク滴が吐出される。   Specifically, when ink is supplied from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) to the manifold 236 via the flow path member 40 and the ink introduction path 251, each pressure generating chamber is connected via the ink supply path 237. Ink is distributed to 235. Actually, the piezoelectric actuator 211 is contracted by applying a voltage to the piezoelectric actuator 211. Accordingly, the vibration plate 232 is deformed together with the piezoelectric actuator 211, the volume of the pressure generation chamber 235 is expanded, and ink is drawn into the pressure generation chamber 235. After the ink is filled up to the nozzle opening 238, the voltage applied to the individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 of the piezoelectric actuator 211 is released according to the recording signal supplied via the circuit board 221. To do. As a result, the piezoelectric actuator 211 is extended to return to the original state, and the diaphragm 232 is displaced to return to the original state. As a result, the volume of the pressure generation chamber 235 contracts, the pressure in the pressure generation chamber 235 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 238.

上述したヘッド本体２０のケース２５０には、配線基板３０を間に挟んだ状態で流路部材４０が固定される。流路部材４０について、図４〜図７を参照して詳細に説明する。図４は流路部材の上面図であり、図５は流路部材を構成する第１部材の底面図であり、図６は流路部材を構成する第２部材の上面図であり、図７は図４のＡ−Ａ′線断面である。   The flow path member 40 is fixed to the case 250 of the head main body 20 with the wiring board 30 interposed therebetween. The flow path member 40 will be described in detail with reference to FIGS. 4 is a top view of the flow path member, FIG. 5 is a bottom view of the first member constituting the flow path member, and FIG. 6 is a top view of the second member constituting the flow path member. FIG. 4 is a cross section taken along line AA ′ of FIG.

流路部材４０は、インクが流通するインク流路５０（液体流路）、インク流路５０の一部が配置される内部空間８０、及び内部空間８０を外部に連通させる大気開放路９０を有する。   The flow path member 40 includes an ink flow path 50 (liquid flow path) through which ink flows, an internal space 80 in which a part of the ink flow path 50 is disposed, and an atmosphere open path 90 that communicates the internal space 80 with the outside. .

本実施形態に係る流路部材４０は、第１部材６０と第２部材７０とが接合されたものである。
第１部材６０は、板状に形成された部材であり、第２部材７０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。 The flow path member 40 according to the present embodiment is obtained by joining the first member 60 and the second member 70.
The 1st member 60 is a member formed in plate shape, and the 2nd member 70 is joined. Although there is no limitation in particular in material, it can form from materials, such as resin.

第１部材６０には、上面（第２部材７０とは反対の面）から上方に突出した複数のインク供給針６１が設けられている。
インク供給針６１は、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給されるように構成されている。具体的には、インク供給針６１は円筒状に形成され、第１部材６０を貫通する貫通孔である第１流路５１が頂部に開口している。 The first member 60 is provided with a plurality of ink supply needles 61 protruding upward from the upper surface (the surface opposite to the second member 70).
The ink supply needle 61 is configured to be supplied with ink from the ink cartridge 5 (see FIG. 1). Specifically, the ink supply needle 61 is formed in a cylindrical shape, and a first flow path 51 that is a through-hole penetrating the first member 60 opens at the top.

第１流路５１は、インク供給針６１の頂部に開口するとともに、第１部材６０の下面（第２部材７０側の面）に開口している。このインク供給針６１に開口した第１流路５１には、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給される。また、第１部材６０には、第１流路５１の途中にフィルター５６が設けられている。これにより、インク中の異物や気泡がフィルター５６に捕捉され、ヘッド本体２０に到達することが抑制されている。   The first flow path 51 opens at the top of the ink supply needle 61 and opens at the lower surface of the first member 60 (the surface on the second member 70 side). Ink is supplied from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) to the first flow path 51 opened to the ink supply needle 61. Further, the first member 60 is provided with a filter 56 in the middle of the first flow path 51. Thereby, foreign matter and bubbles in the ink are captured by the filter 56 and are prevented from reaching the head body 20.

第２部材７０は、板状に形成された部材であり、第１部材６０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。
第２部材７０には、上面（第１部材６０側の面）に４個の溝５５が形成されている。また、第２部材７０の下面（ヘッド本体２０側の面）には、下方に突出した接続部７３が４個形成されている。さらに、第２部材７０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第２流路５２が形成されている。 The 2nd member 70 is a member formed in plate shape, and the 1st member 60 is joined. Although there is no limitation in particular in material, it can form from materials, such as resin.
The second member 70 has four grooves 55 formed on the upper surface (the surface on the first member 60 side). Further, four connecting portions 73 projecting downward are formed on the lower surface of the second member 70 (the surface on the head body 20 side). Further, the second member 70 is formed with a second flow path 52 that is a through hole penetrating in the thickness direction.

各第２流路５２は、各溝５５内に開口するとともに、各接続部７３の頂面に開口している。また、第２部材７０に設けられた各接続部７３は、各インク導入路２５１（図２参照）に対向する位置に設けられている。各接続部７３が配線基板３０の挿通部３２を挿通し、各インク導入路２５１に接合することで、各第２流路５２と各インク導入路２５１が連通する。   Each second flow path 52 opens in each groove 55 and opens on the top surface of each connection portion 73. Further, each connection portion 73 provided in the second member 70 is provided at a position facing each ink introduction path 251 (see FIG. 2). Each connection part 73 is inserted through the insertion part 32 of the wiring board 30 and joined to each ink introduction path 251, whereby each second flow path 52 and each ink introduction path 251 communicate with each other.

第１部材６０と第２部材７０とは、第１接合部と第２接合部とで互いに接合されている。ここでいう接合部とは、第１部材６０及び第２部材７０に接合する部分をいう。
第１接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、インク流路５０を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の上面に設けられた溝５５を囲む第１ボス部７１と、第１ボス部７１を第１部材６０に接着する接着剤７５が第１接合部となる。 The 1st member 60 and the 2nd member 70 are mutually joined by the 1st joined part and the 2nd joined part. Here, the joined portion refers to a portion joined to the first member 60 and the second member 70.
The first joint portion is disposed on the joint surfaces of the first member 60 and the second member 70 that face each other, and surrounds the ink flow path 50. In the present embodiment, the first boss portion 71 surrounding the groove 55 provided on the upper surface of the second member 70 and the adhesive 75 that bonds the first boss portion 71 to the first member 60 serve as the first joint portion.

第２接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、上述した第１接合部を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の全ての溝５５を囲む第２ボス部７２と、第２ボス部７２を第１部材６０に接着する接着剤７６が第２接合部となる。   A 2nd junction part is arrange | positioned at the mutually opposing joining surface of the 1st member 60 and the 2nd member 70, and surrounds the 1st junction part mentioned above. In the present embodiment, the second boss portion 72 that surrounds all the grooves 55 of the second member 70 and the adhesive 76 that bonds the second boss portion 72 to the first member 60 serve as the second joint portion.

第１ボス部７１は、溝５５を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第１ボス部７１の頂面は、第１部材６０に接着剤７５により接着されている。このように第１ボス部７１が第１部材６０に接着されることで、溝５５が第１部材６０に封止され、第３流路５３が形成される。   The first boss portion 71 surrounds the groove 55 and is formed to protrude toward the first member 60 side. The top surface of the first boss portion 71 is bonded to the first member 60 with an adhesive 75. As described above, the first boss portion 71 is bonded to the first member 60, whereby the groove 55 is sealed by the first member 60, and the third flow path 53 is formed.

第３流路５３の両端には、それぞれ第１流路５１と第２流路５２とが連通している。これにより、流路部材４０には、第１流路５１、第３流路５３及び第２流路５２とからなるインク流路５０が形成されている。本実施形態では、４個のインク流路５０が形成されている。   A first channel 51 and a second channel 52 communicate with both ends of the third channel 53, respectively. As a result, the ink flow path 50 including the first flow path 51, the third flow path 53, and the second flow path 52 is formed in the flow path member 40. In the present embodiment, four ink flow paths 50 are formed.

第２ボス部７２は、全ての溝５５（第３流路５３）を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第２ボス部７２の頂面は、第１部材６０に接着剤７６により接着されている。このように第２ボス部７２が第１部材６０に接着されることで、流路部材４０に内部空間８０が形成されている。   The second boss portion 72 is formed so as to surround all the grooves 55 (third flow path 53) and protrude toward the first member 60 side. The top surface of the second boss portion 72 is bonded to the first member 60 with an adhesive 76. Thus, the internal space 80 is formed in the flow path member 40 by bonding the second boss portion 72 to the first member 60.

すなわち、内部空間８０は、第１部材６０及び第２部材７０の間に、第１接合部の外側かつ第２接合部の内側に形成された空間である。上述したインク流路５０の一部を構成する第３流路５３は、内部空間８０内に配置されている。なお、第３流路５３は、その周囲が第１ボス部７１及び接着剤７５により囲まれて内部空間８０とは区画されている。すなわち、第１ボス部７１及び接着剤７５は、インクを内部空間８０に漏らさないためのシールとして機能している。   That is, the internal space 80 is a space formed between the first member 60 and the second member 70 outside the first joint and inside the second joint. The third flow path 53 that constitutes a part of the ink flow path 50 described above is disposed in the internal space 80. The third flow path 53 is surrounded by the first boss portion 71 and the adhesive 75 and is partitioned from the internal space 80. That is, the first boss portion 71 and the adhesive 75 function as a seal for preventing ink from leaking into the internal space 80.

また、流路部材４０には、内部空間８０を外部に大気開放させる流路である大気開放路９０が形成されている。図５及び図８を用いて本実施形態に係る大気開放路について詳細に説明する。図８は、第１部材に設けられた拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。   The flow path member 40 is formed with an air release path 90 that is a flow path for opening the internal space 80 to the outside. The atmosphere open path according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the diffusion resistance grooves provided in the first member and the main parts of the adhesive.

第１部材６０の内部空間８０を構成する内面６２（第２部材７０に対向する面）に拡散抵抗溝９５が形成されている。
拡散抵抗溝９５は、大気開放路９０の一部を構成する溝であり、本実施形態では、細長く蛇行するように形成されている。また、第１部材６０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第１大気開放路９１が形成されている。この第１大気開放路９１は、拡散抵抗溝９５の一端に連通している。 A diffusion resistance groove 95 is formed on an inner surface 62 (a surface facing the second member 70) constituting the internal space 80 of the first member 60.
The diffusion resistance groove 95 is a groove that constitutes a part of the atmosphere opening path 90, and is formed so as to meander in an elongated manner in the present embodiment. Further, the first member 60 is formed with a first atmosphere opening path 91 which is a through hole penetrating in the thickness direction. The first atmosphere opening path 91 communicates with one end of the diffusion resistance groove 95.

拡散抵抗溝９５の一部である開口部９３（第１大気開放路９１に連通される一端とは反対側の端部）を除いて、接着剤９６が拡散抵抗溝９５を覆っている。接着剤９６が拡散抵抗溝９５を覆うとは、接着剤９６が拡散抵抗溝９５の開口（開口部９３を除く）を封止し、拡散抵抗溝９５の底には達していないことをいう。つまり、拡散抵抗溝９５は、接着剤９６に閉塞されず、接着剤９６が蓋のようになっている。   The adhesive 96 covers the diffusion resistance groove 95 except for an opening 93 (an end opposite to one end communicating with the first atmosphere opening path 91) which is a part of the diffusion resistance groove 95. The adhesive 96 covering the diffusion resistance groove 95 means that the adhesive 96 seals the opening (except for the opening 93) of the diffusion resistance groove 95 and does not reach the bottom of the diffusion resistance groove 95. That is, the diffusion resistance groove 95 is not closed by the adhesive 96, and the adhesive 96 is like a lid.

例えば、本実施形態に係る拡散抵抗溝９５は、断面形状がＶ字状に形成されている。すなわち拡散抵抗溝９５の開口から底に向かい断面形状の幅が減少するようになっている。そして、接着剤９６は、拡散抵抗溝９５の開口部分にメニスカス、すなわち拡散抵抗溝９５の底側に吐出するような曲面を形成している。この接着剤９６のメニスカス、拡散抵抗溝９５の内面から第２大気開放路９２が形成されている。
なお、本実施形態では、接着剤９６は、第１部材６０にのみ付着して拡散抵抗溝９５を覆っていたが、第２部材７０にも付着していてもよい。 For example, the diffusion resistance groove 95 according to the present embodiment has a V-shaped cross section. That is, the width of the cross-sectional shape decreases from the opening of the diffusion resistance groove 95 toward the bottom. The adhesive 96 forms a curved surface that is discharged to the meniscus, that is, the bottom side of the diffusion resistance groove 95 at the opening of the diffusion resistance groove 95. A second atmosphere opening path 92 is formed from the meniscus of the adhesive 96 and the inner surface of the diffusion resistance groove 95.
In this embodiment, the adhesive 96 adheres only to the first member 60 and covers the diffusion resistance groove 95, but may also adhere to the second member 70.

図９に拡散抵抗溝９５の変形例を示す。図９は、第１部材に形成された拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。
図９（ａ）に示すように、拡散抵抗溝９５は、断面形状が矩形状である。すなわち、拡散抵抗溝９５は、どの深さにおいても幅が均等となるように形成されている。このような形状の拡散抵抗溝９５であっても、接着剤９６はその開口にメニスカスを形成し、第２大気開放路９２が形成されている。 FIG. 9 shows a modification of the diffusion resistance groove 95. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the diffusion resistance grooves formed in the first member and the main parts of the adhesive.
As shown in FIG. 9A, the diffusion resistance groove 95 has a rectangular cross-sectional shape. That is, the diffusion resistance groove 95 is formed so that the width is uniform at any depth. Even in the diffusion resistance groove 95 having such a shape, the adhesive 96 forms a meniscus at the opening, and the second atmosphere opening path 92 is formed.

図９（ｂ）に示すように、拡散抵抗溝９５は、２つの第１溝部９５ａ及び第２溝部９５ｂから構成されている。第１溝部９５ａは、第１部材６０の内面６２に形成された溝である。また、第２溝部９５ｂは、第１溝部９５ａの底部に形成された溝である。第１溝部９５ａ及び第２溝部９５ｂの断面形状は、特に限定はないが、何れも矩形状となっている。もちろん、第１溝部９５ａをＶ字状にし、第２溝部９５ｂを矩形状にするなど、様々な断面形状の溝を適用することができる。   As shown in FIG. 9B, the diffusion resistance groove 95 is composed of two first groove portions 95a and second groove portions 95b. The first groove portion 95 a is a groove formed in the inner surface 62 of the first member 60. The second groove portion 95b is a groove formed at the bottom of the first groove portion 95a. The cross-sectional shapes of the first groove portion 95a and the second groove portion 95b are not particularly limited, but both are rectangular. Of course, it is possible to apply grooves having various cross-sectional shapes, such as making the first groove 95a V-shaped and the second groove 95b rectangular.

このような形状の拡散抵抗溝９５には、第１溝部９５ａ内に接着剤９６が接着され、第２溝部９５ｂが接着剤９６で覆われる。すなわち、接着剤９６は第２溝部９５ｂの開口にメニスカスを形成し、第２大気開放路９２を形成している。このような拡散抵抗溝９５では、接着剤９６を第１溝部９５ａ内に収めることができるので、第１部材６０の表面から過度に接着剤９６が溢れることを抑制することができる。これにより、第２部材７０等の他の部材に接着剤９６が付着することを抑制できる。   In the diffusion resistance groove 95 having such a shape, an adhesive 96 is adhered in the first groove portion 95 a and the second groove portion 95 b is covered with the adhesive 96. That is, the adhesive 96 forms a meniscus at the opening of the second groove portion 95 b and forms the second atmosphere opening path 92. In such a diffusion resistance groove 95, the adhesive 96 can be accommodated in the first groove portion 95a, so that the adhesive 96 can be prevented from overflowing excessively from the surface of the first member 60. Thereby, it can suppress that the adhesive agent 96 adheres to other members, such as the 2nd member 70. FIG.

以後、符号９５は、上記の変形例であるか否かに関わらず、本実施形態に係る拡散抵抗溝を指すものとする。接着剤９６の材料としては、特に限定はないが、例えば、エポキシ樹脂系の接着剤を用いることができる。さらに、接着剤９６のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、接着剤９６が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上とすることが好ましい。接着剤９６が接着される領域とは、第１部材６０全体または、第１部材６０の接着剤９６が接着される一部の領域である。このような接着剤９６で拡散抵抗溝９５を覆うことで、拡散抵抗溝９５内の空気や蒸気が第１部材を透過してしまうことを抑制できる。すなわち、拡散抵抗溝９５内の空気又は蒸気が第１部材６０を透過し、意図せぬ部位に浸透してしまうことを抑制できる。   Hereinafter, reference numeral 95 refers to the diffusion resistance groove according to the present embodiment regardless of whether or not it is the above modification. The material of the adhesive 96 is not particularly limited, and for example, an epoxy resin adhesive can be used. Furthermore, it is preferable that the gas permeation coefficient and the water vapor permeation coefficient of the adhesive 96 are equal to or higher than the gas permeation coefficient and the water vapor permeation coefficient of the region where the adhesive 96 is adhered. The region to which the adhesive 96 is bonded is the entire first member 60 or a partial region to which the adhesive 96 of the first member 60 is bonded. By covering the diffusion resistance groove 95 with such an adhesive 96, it is possible to suppress the air and vapor in the diffusion resistance groove 95 from passing through the first member. That is, it is possible to suppress the air or vapor in the diffusion resistance groove 95 from passing through the first member 60 and penetrating into an unintended part.

なお、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆う方法としては、第１部材６０に設けられた拡散抵抗溝９５に、開口全体（開口部９３を除く）が接着剤９６で覆われるように接着剤９６を塗布する。そして、その接着剤９６を硬化させる。これにより、硬化した接着剤９６で覆われた拡散抵抗溝９５（第２大気開放路９２）が形成される。   In addition, as a method of covering the diffusion resistance groove 95 with the adhesive 96, the diffusion resistance groove 95 provided in the first member 60 is covered with the adhesive 96 so that the entire opening (excluding the opening portion 93) is covered with the adhesive 96. Apply 96. Then, the adhesive 96 is cured. As a result, a diffusion resistance groove 95 (second atmosphere opening path 92) covered with the cured adhesive 96 is formed.

上述したように、接着剤９６が拡散抵抗溝９５、９５Ａ、９５Ｂを覆うことで、拡散抵抗溝９５と接着剤９６とから第２大気開放路９２が形成されている。この第２大気開放路９２は、第１大気開放路９１及び開口部９３とともに大気開放路９０を構成する。すなわち、流路部材４０には、第１大気開放路９１、第２大気開放路９２及び開口部９３とからなる大気開放路９０が形成されている。このような大気開放路９０により、内部空間８０は、大気開放路９０を介して外部に連通している。   As described above, the adhesive 96 covers the diffusion resistance grooves 95, 95 </ b> A, and 95 </ b> B, so that the second atmosphere opening path 92 is formed from the diffusion resistance grooves 95 and the adhesive 96. The second atmosphere opening path 92 constitutes the atmosphere opening path 90 together with the first atmosphere opening path 91 and the opening 93. That is, the flow path member 40 is formed with an atmospheric open path 90 including a first atmospheric open path 91, a second atmospheric open path 92, and an opening 93. Due to the atmosphere opening path 90, the internal space 80 communicates with the outside through the atmosphere opening path 90.

このように構成された大気開放路９０の第２大気開放路９２は、細長く蛇行した形状を有している。第２大気開放路９２をこのような形状とすることで、第２大気開放路９２を流通する空気に対する拡散抵抗を高めることができる。したがって、第２大気開放路９２の形状を調整して拡散抵抗を適宜設定することで、内部空間８０の圧力を任意に設定することができる。   The second atmosphere opening path 92 of the atmosphere opening path 90 configured in this way has a shape that is elongated and meandering. By making the 2nd atmosphere open path 92 into such a shape, the diffusion resistance with respect to the air which distribute | circulates the 2nd atmosphere open path 92 can be raised. Therefore, the pressure of the internal space 80 can be arbitrarily set by adjusting the shape of the second atmosphere opening path 92 and appropriately setting the diffusion resistance.

このように内部空間８０の圧力を大気開放路９０で調整することで、内部空間８０が過度に高圧又は低圧になることを抑制することができる。内部空間８０の空気（大気）が過度に高圧となることを抑制できる結果、該空気が接着剤７５を透過し、第３流路５３内のインクに気泡として混入することを抑制できる。また、内部空間８０の空気（大気）が過度に低圧となることを抑制できる結果、第３流路５３内のインクの水分が蒸発して接着剤７５を透過し、該水分の減少によるインクの増粘を抑制することができる。これにより、ヘッド１は、気泡の混入やインクの増粘が抑制されて、インクの吐出品質が向上したものとなる。   Thus, by adjusting the pressure of the internal space 80 with the atmosphere open path 90, it is possible to suppress the internal space 80 from being excessively high pressure or low pressure. As a result of suppressing the air (atmosphere) in the internal space 80 from becoming an excessively high pressure, it is possible to suppress the air from passing through the adhesive 75 and being mixed into the ink in the third flow path 53 as bubbles. In addition, as a result of suppressing the air (atmosphere) in the internal space 80 from being excessively low in pressure, the water in the ink in the third flow path 53 evaporates and permeates the adhesive 75, and the ink due to the decrease in the water Thickening can be suppressed. Thereby, the head 1 is improved in ink ejection quality by suppressing the mixing of bubbles and the increase in ink viscosity.

以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０では、拡散抵抗溝９５が接着剤９６で覆われることで、空気や蒸気の漏れが低減された大気開放路９０が形成されている。   As described above, in the flow path member 40 according to the present embodiment, the diffusion resistance groove 95 is covered with the adhesive 96, so that the atmosphere open path 90 in which leakage of air and steam is reduced is formed. .

詳言すると、従来技術では、拡散抵抗溝を第２部材や他のシール部材などで覆う場合では、寸法公差やシール部材等が拡散抵抗溝からずれてしまうなどの要因により、不完全な大気開放路となる虞がある。   More specifically, in the prior art, when the diffusion resistance groove is covered with the second member or another seal member, the atmosphere is incompletely released due to factors such as dimensional tolerances or deviation of the seal member from the diffusion resistance groove. There is a risk of becoming a road.

しかしながら、本実施形態に係る流路部材４０では、そのような寸法公差や位置ずれの虞はない。すなわち、拡散抵抗溝９５全体が覆われるように接着剤９６を塗布し、その接着剤９６を硬化させれば、空気等の漏れが低減された大気開放路９０を形成することができる。   However, in the flow path member 40 according to the present embodiment, there is no possibility of such a dimensional tolerance or positional deviation. That is, if the adhesive 96 is applied so that the entire diffusion resistance groove 95 is covered and the adhesive 96 is cured, the atmosphere opening path 90 with reduced leakage of air or the like can be formed.

さらに、接着剤９６は、第１部材６０及び第２部材７０に対して反力を作用させないので、第１部材６０及び第２部材７０の変形を抑制することができる。
このように、本実施形態に係る流路部材４０によれば、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆うことで、内部空間８０を外部により確実に連通させ、その内部の圧力を調整することができる大気開放路９０を構成することができる。そして、流路部材４０の変形が抑制されるので、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上した流路部材４０が提供される。 Furthermore, since the adhesive 96 does not cause a reaction force to act on the first member 60 and the second member 70, the deformation of the first member 60 and the second member 70 can be suppressed.
Thus, according to the flow path member 40 according to the present embodiment, by covering the diffusion resistance groove 95 with the adhesive 96, the internal space 80 can be reliably communicated with the outside, and the internal pressure can be adjusted. A possible atmosphere opening path 90 can be configured. Further, since the deformation of the flow path member 40 is suppressed, the possibility that the head main body 20 peels from the flow path member 40 or the ink leaks from the ink flow path 50 is reduced, and the flow path member has improved reliability. 40 is provided.

また、本実施形態に係る流路部材４０を備えるヘッド１によれば、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆うことで、内部空間８０を外部により確実に連通させ、その内部の圧力を調整することができる大気開放路９０を構成することができる。そして、流路部材４０の変形が抑制されるので、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上したヘッド１が提供される。   Further, according to the head 1 including the flow path member 40 according to the present embodiment, the diffusion resistance groove 95 is covered with the adhesive 96 so that the internal space 80 is reliably communicated with the outside and the internal pressure is adjusted. An open air path 90 that can be configured can be configured. Since the deformation of the flow path member 40 is suppressed, the possibility that the head main body 20 peels from the flow path member 40 or the ink leaks from the ink flow path 50 is reduced, and the head 1 with improved reliability is obtained. Provided.

〈実施形態２〉
実施形態１では、接着剤９６は拡散抵抗溝９５を覆うものであったが、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる接着剤を兼ねてもよい。 <Embodiment 2>
In the first embodiment, the adhesive 96 covers the diffusion resistance groove 95, but may also serve as an adhesive that bonds the first member 60 and the second member 70.

図１０は、本実施形態に係る第１部材の底面図であり、図１１は図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   FIG. 10 is a bottom view of the first member according to the present embodiment, and FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line C-C ′ of FIG. 10. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係る拡散抵抗溝９５Ａは、実施形態１と同様に蛇行するように形成されている。拡散抵抗溝９５Ａの一端部である開口部９１Ａは、第１部材６０の第２ボス部７２よりも外側に配置されている。拡散抵抗溝９５Ａの他方の一端部である開口部９３Ａは、第１部材６０の第２ボス部７２よりも内側に配置されている。   The diffusion resistance groove 95A according to the present embodiment is formed so as to meander as in the first embodiment. The opening 91 </ b> A that is one end of the diffusion resistance groove 95 </ b> A is disposed outside the second boss portion 72 of the first member 60. The opening 93 </ b> A that is the other end of the diffusion resistance groove 95 </ b> A is disposed on the inner side than the second boss 72 of the first member 60.

このような拡散抵抗溝９５Ａは、両端の開口部９１Ａ及び開口部９３Ａを除いて接着剤９６で覆われている。このように拡散抵抗溝９５Ａが接着剤９６で覆われることで、細長く蛇行した第２大気開放路９２が構成され、開口部９１Ａ、第２大気開放路９２及び開口部９３Ａからなる大気開放路９０Ａが形成されている。   Such a diffusion resistance groove 95A is covered with an adhesive 96 except for the opening 91A and the opening 93A at both ends. By covering the diffusion resistance groove 95A with the adhesive 96 in this manner, a second and meandering second atmosphere opening path 92 is formed, and an atmosphere opening path 90A composed of the opening 91A, the second atmosphere opening path 92, and the opening 93A. Is formed.

このような第１部材６０には、第２部材７０が接合されている。第２部材７０に形成された第２ボス部７２は、大気開放路９０Ａの近傍においては、拡散抵抗溝９５Ａを覆う接着剤９６で第１部材６０に接着されている。なお、大気開放路９０Ａの近傍以外では、実施形態１と同様に接着剤７６で第１部材６０に接合されている。このような大気開放路９０Ａは、実施形態１と同様に、内部空間８０を外部に連通させるとともに、その圧力を調整することができる。   The second member 70 is joined to the first member 60 as described above. The second boss portion 72 formed on the second member 70 is bonded to the first member 60 with an adhesive 96 that covers the diffusion resistance groove 95A in the vicinity of the air release path 90A. Note that, except for the vicinity of the atmosphere opening path 90A, the first member 60 is joined with the adhesive 76 as in the first embodiment. As in the first embodiment, such an open air passage 90A allows the internal space 80 to communicate with the outside and adjust the pressure.

以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０Ａは、実施形態１と同様の作用効果を奏する。さらに、接着剤９６は、拡散抵抗溝９５Ａを覆うとともに、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる接着剤を兼ねる。すなわち、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる領域（第２ボス部７２）に、拡散抵抗溝９５Ａを配置することができる。このように拡散抵抗溝９５Ａの一部を当該領域に配置できるので、その分、拡散抵抗溝９５Ａが配置される内部空間８０の大きさ（拡散抵抗溝９５Ａの平面方向の広さ）を省スペース化することができる。   As described above, the flow path member 40A according to the present embodiment has the same functions and effects as those of the first embodiment. Further, the adhesive 96 serves as an adhesive that covers the diffusion resistance groove 95 </ b> A and adheres the first member 60 and the second member 70. That is, the diffusion resistance groove 95 </ b> A can be disposed in a region (second boss portion 72) where the first member 60 and the second member 70 are bonded. Since a part of the diffusion resistance groove 95A can be arranged in this area in this way, the size of the internal space 80 in which the diffusion resistance groove 95A is arranged (the area in the planar direction of the diffusion resistance groove 95A) is saved accordingly. Can be

〈実施形態３〉
実施形態１及び実施形態２では、内部空間８０は流路部材４０Ａに形成されていたが、ヘッド本体２０に形成されていてもよい。 <Embodiment 3>
In the first and second embodiments, the internal space 80 is formed in the flow path member 40 </ b> A, but may be formed in the head body 20.

図１２は、本実施形態に係る流路部材４０Ｂとヘッド本体とを備えるヘッドの構成を示す概略図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   FIG. 12 is a schematic diagram showing a configuration of a head including a flow path member 40B and a head body according to the present embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

ヘッド本体２０には、コンプライアンス空間２５３が形成されている（図３参照）。コンプライアンス空間２５３は、請求項に記載する「ヘッド本体に形成された内部空間」の一例である。   A compliance space 253 is formed in the head body 20 (see FIG. 3). The compliance space 253 is an example of an “internal space formed in the head main body” described in the claims.

また、流路部材４０Ｂの第２部材７０には、厚さ方向に貫通した第１連通路７４が形成されている。第１連通路７４は、第２ボス部７２の内側、すなわち内部空間８０に連通している。   Further, a first communication passage 74 penetrating in the thickness direction is formed in the second member 70 of the flow path member 40B. The first communication passage 74 communicates with the inside of the second boss portion 72, that is, the internal space 80.

さらに、配線基板３０には、厚さ方向に貫通した第２連通路３４が形成され、ヘッド本体２０のケース２５０には、厚さ方向に貫通した第３連通路２５５が形成されている。第２連通路３４は、第１連通路７４に連通している。第３連通路２５５はコンプライアンス空間２５３に連通するとともに第２連通路３４に連通している。
このように、第１連通路７４、第２連通路３４、第３連通路２５５が連通されて一つの連通路を構成し、コンプライアンス空間２５３を内部空間８０に連結している。 Further, a second communication path 34 that penetrates in the thickness direction is formed in the wiring board 30, and a third communication path 255 that penetrates in the thickness direction is formed in the case 250 of the head body 20. The second communication path 34 communicates with the first communication path 74. The third communication path 255 communicates with the compliance space 253 and also communicates with the second communication path 34.
In this way, the first communication path 74, the second communication path 34, and the third communication path 255 are connected to form one communication path, and the compliance space 253 is connected to the internal space 80.

このような構成の流路部材４０Ｂは、ヘッド本体２０に設けられた内部空間であるコンプライアンス空間２５３を、大気開放路９０を介して外部に連通させることができる。これにより、コンプライアンス部２４２の変形を良好に保つことができる。   The flow path member 40 </ b> B having such a configuration can communicate the compliance space 253, which is an internal space provided in the head main body 20, with the outside via the atmosphere opening path 90. Thereby, the deformation | transformation of the compliance part 242 can be kept favorable.

ここで、マニホールド２３６（図３参照）内のインクは、コンプライアンス空間２５３が低圧であるなどの原因により、インク中の水分が蒸発してコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）を透過する。   Here, the ink in the manifold 236 (see FIG. 3) passes through the compliance portion 242 (elastic film 232a) due to evaporation of moisture in the ink due to the low pressure in the compliance space 253 or the like.

しかしながら コンプライアンス空間２５３は、上記連通路を介して拡散抵抗を有する大気開放路９０に連通しているので、その内部の圧力が調整可能となっている。これにより、マニホールド２３６内のインクの水分が過剰に蒸発してしまうことを抑制することができ、インクの増粘を抑制することができる。   However, since the compliance space 253 communicates with the atmospheric open path 90 having diffusion resistance via the communication path, the internal pressure can be adjusted. Thereby, it is possible to suppress excessive evaporation of the water in the ink in the manifold 236, and it is possible to suppress the increase in the viscosity of the ink.

本実施形態に係るヘッド１としては、コンプライアンス空間２５３と、内部空間８０とを共通の大気開放路９０で外部に連通させ、それらの内部の圧力を調整することができる。これにより、個別に大気開放路９０を設ける場合よりもヘッド１を小型化することができる。   As the head 1 according to the present embodiment, the compliance space 253 and the internal space 80 can be communicated with each other through a common atmosphere open path 90 to adjust the internal pressure thereof. Thereby, the head 1 can be reduced in size compared with the case where the air release path 90 is individually provided.

なお、本実施形態では、内部空間としてヘッド本体２０のコンプライアンス空間２５３と、流路部材４０Ｂに形成された内部空間８０を有しているが、流路部材４０Ｂ側に内部空間８０を形成する必要はない。   In this embodiment, the internal space includes the compliance space 253 of the head body 20 and the internal space 80 formed in the flow path member 40B. However, the internal space 80 needs to be formed on the flow path member 40B side. There is no.

例えば、内部空間が形成されていない流路部材の表面に拡散抵抗溝を設け、これを接着剤で覆う。そして、該拡散抵抗溝をコンプライアンス空間２５３などのヘッド本体の内部空間に連通させてもよい。
すなわち、本発明では、内部空間が形成される部材に限定はない、ヘッド本体のみ、流路部材のみ、ヘッド本体と流路部材の双方に内部区間を形成してもよい。 For example, a diffusion resistance groove is provided on the surface of a flow path member in which no internal space is formed, and this is covered with an adhesive. The diffusion resistance groove may be communicated with the internal space of the head body such as the compliance space 253.
That is, in the present invention, the member in which the internal space is formed is not limited. The internal section may be formed only in the head main body, only the flow path member, or both the head main body and the flow path member.

〈実施形態４〉
流路部材に形成される拡散抵抗溝及び接着剤の別態様について説明する。図１３は、インクカートリッジが取り付けられた流路部材の断面を示す概略図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 <Embodiment 4>
Another aspect of the diffusion resistance groove and the adhesive formed in the flow path member will be described. FIG. 13 is a schematic view showing a cross section of the flow path member to which the ink cartridge is attached. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

流路部材４０Ｃは、第１部材６０と、第２部材７０と、インクカートリッジ５とから構成されている。
第１部材６０には、内部空間８０に連通する第１連通路６３が形成されている。 The flow path member 40 </ b> C includes a first member 60, a second member 70, and the ink cartridge 5.
A first communication path 63 communicating with the internal space 80 is formed in the first member 60.

インクカートリッジ５には、その表面に拡散抵抗溝９５Ｃが形成されている。また、インクカートリッジ５には、拡散抵抗溝９５Ｃの一端に連通するとともに、第１部材６０の第１連通路６３を連結する第２連通路９３Ｃが形成されている。   The ink cartridge 5 has a diffusion resistance groove 95 </ b> C formed on the surface thereof. Further, the ink cartridge 5 is formed with a second communication passage 93 </ b> C that communicates with one end of the diffusion resistance groove 95 </ b> C and connects the first communication passage 63 of the first member 60.

拡散抵抗溝９５Ｃには、その一端部である開口部９１Ｃを除いて、接着剤９６により覆われている。このように拡散抵抗溝９５Ｃが接着剤９６で覆われることで大気開放路９０Ｃが形成されている。そして、大気開放路９０Ｃは、第１連通路６３を介して内部空間８０に連通している。   The diffusion resistance groove 95C is covered with an adhesive 96 except for an opening 91C which is one end thereof. The diffusion resistance groove 95 </ b> C is thus covered with the adhesive 96, so that the atmosphere opening path 90 </ b> C is formed. The atmosphere opening path 90 </ b> C communicates with the internal space 80 via the first communication path 63.

このような構成の流路部材４０Ｂは、第１部材６０及び第２部材７０に形成された内部空間８０を、大気開放路９０Ｃを介して外部に連通させることができ、大気開放路９０Ｃの拡散抵抗により内部空間８０の圧力を調整することができる。
以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０Ｃは、実施形態１と同様の作用効果を奏する。 The flow path member 40B having such a configuration can connect the internal space 80 formed in the first member 60 and the second member 70 to the outside via the atmosphere open path 90C, and the diffusion of the air open path 90C. The pressure in the internal space 80 can be adjusted by resistance.
As described above, the flow path member 40C according to this embodiment has the same effects as those of the first embodiment.

また、第１部材６０に着脱可能なインクカートリッジ５に拡散抵抗溝９５Ｃを形成した。ここで、インクカートリッジ５は、第１部材６０や第２部材７０と比較して交換頻度が高い。したがって、インクカートリッジ５に拡散抵抗溝を形成すれば、インクカートリッジ５を取り外して付け替えるだけで、別の形状の拡散抵抗溝を有する流路部材４０Ｃに変更することが容易に行える。
また、本実施形態に係るヘッド１は、実施形態１と同様の作用効果を奏するとともに、拡散抵抗溝の形状の変更を容易に行うことができる。 A diffusion resistance groove 95 </ b> C is formed in the ink cartridge 5 that can be attached to and detached from the first member 60. Here, the ink cartridge 5 is exchanged more frequently than the first member 60 and the second member 70. Therefore, if the diffusion resistance groove is formed in the ink cartridge 5, the flow path member 40C having the diffusion resistance groove of another shape can be easily changed by simply removing the ink cartridge 5 and replacing it.
In addition, the head 1 according to the present embodiment has the same effects as those of the first embodiment, and can easily change the shape of the diffusion resistance groove.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されない。例えば、上述の各実施形態及び変形例を組み合わせたり、以下の変形例を組み合わせたりしてもよい。 <Other embodiments>
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, the above-described embodiments and modifications may be combined, or the following modifications may be combined.

例えば、ヘッド本体と流路部材とを備えるヘッドにおいて、内部空間及び拡散抵抗溝をヘッド本体に設けてもよい。この場合においても、実施形態１と同様の作用効果を奏する。   For example, in a head including a head main body and a flow path member, an internal space and a diffusion resistance groove may be provided in the head main body. Even in this case, the same effects as those of the first embodiment are obtained.

また、実施形態１では、複数のインク流路５０が共通の内部空間８０に配置され、一つの拡散抵抗溝９５からなる大気開放路９０を介して外部に連通させたが、このような態様に限定されない。   In the first embodiment, the plurality of ink flow paths 50 are disposed in the common internal space 80 and communicated to the outside via the atmosphere opening path 90 including one diffusion resistance groove 95. It is not limited.

例えば、複数のインク流路５０が流路部材に設けられている場合、個別のインク流路５０ごとに内部空間８０を形成し、その内部空間８０ごとに拡散抵抗溝９５、及びこれを覆う接着剤９６を設けてもよい。   For example, when a plurality of ink flow paths 50 are provided in the flow path member, an internal space 80 is formed for each individual ink flow path 50, and the diffusion resistance groove 95 and the adhesive covering the same are provided for each internal space 80. An agent 96 may be provided.

さらに、拡散抵抗溝９５（第２大気開放路９２）は、細長く蛇行している必要はなく内部空間８０を外部に連通させる流路であってもよい。このような形態であっても、流路長や断面積を調整することで内部空間８０を調圧することができる。   Further, the diffusion resistance groove 95 (second atmosphere opening path 92) does not need to be meandering long and narrow, and may be a flow path that allows the internal space 80 to communicate with the outside. Even in such a configuration, the internal space 80 can be regulated by adjusting the flow path length and the cross-sectional area.

第１接合部及び第２接合部は、何れもボス部と接着剤により構成されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第２部材７０上に第１接合部及び第２接合部としてボス部を形成し、当該ボス部を第１部材６０に熱溶着により接合させてもよい。他にも、第１接合部及び第２接合部として環状のシール部材を用いてもよい。   Although the 1st junction part and the 2nd junction part were each comprised by the boss | hub part and the adhesive agent, it is not limited to such an aspect. For example, a boss part may be formed on the second member 70 as a first joint part and a second joint part, and the boss part may be joined to the first member 60 by thermal welding. In addition, you may use a cyclic | annular sealing member as a 1st junction part and a 2nd junction part.

また、流路部材４０は、第１部材６０及び第２部材７０を接合させたものであったが、このような態様に限定されない。一つ又は３つ以上の部材からなる流路部材であってもよい。そして、拡散抵抗溝９５は、内部空間８０の内部に形成されている必要はなく、流路部材４０の表面に形成されていてもよい。   Moreover, although the flow path member 40 joined the 1st member 60 and the 2nd member 70, it is not limited to such an aspect. It may be a flow path member composed of one or three or more members. The diffusion resistance groove 95 does not need to be formed inside the internal space 80, and may be formed on the surface of the flow path member 40.

また、圧力発生室２３５に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、実施形態１に説明したものに限定されない。例えば、液体流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。   Further, the pressure generating means for causing the pressure change in the pressure generating chamber 235 is not limited to the one described in the first embodiment. For example, by disposing a heating element in the liquid flow path and ejecting ink droplets from the nozzle by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or by generating an electrostatic force between the diaphragm and the electrode, For example, a so-called electrostatic actuator that deforms the vibration plate to eject ink droplets from the nozzles can be used.

インクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１と共にキャリッジ４にインクカートリッジ５を装着した構成、いわゆるオンキャリッジ型とした。しかしながら、インクカートリッジ５を装置本体２に設け、インクカートリッジ５からチューブを介してヘッド１にインクを供給する構成、いわゆるオフキャリッジ型としてもよい。また、インクカートリッジ５は、装置本体２に設けられている必要はなく装置本体２の外部に配置され、チューブ等を介してヘッド１にインクを供給するようにしてもよい。   The ink jet recording apparatus I is a so-called on-carriage type in which the ink cartridge 5 is mounted on the carriage 4 together with the head 1. However, a configuration in which the ink cartridge 5 is provided in the apparatus main body 2 and ink is supplied from the ink cartridge 5 to the head 1 through a tube, that is, a so-called off-carriage type may be used. Further, the ink cartridge 5 does not need to be provided in the apparatus main body 2 and may be arranged outside the apparatus main body 2 so as to supply ink to the head 1 via a tube or the like.

さらに、本発明は、広く液体噴射装置を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備える液体噴射装置にも適用することができる。   Furthermore, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting apparatuses. For example, the present invention is used for manufacturing recording heads such as various ink jet recording heads used in image recording apparatuses such as printers and color filters such as liquid crystal displays. The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a coloring material ejecting head, an organic EL display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an FED (field emission display), a bioorganic matter ejecting head used for biochip manufacturing, and the like it can.

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １ ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２０ ヘッド本体、 ３０ 配線基板、 ４０、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ 流路部材、 ５０ インク流路（液体流路）、 ６０ 第１部材、 ７０ 第２部材、 ８０ 内部空間、 ９０、９０Ａ、９０Ｃ 大気開放路、 ９５、９５Ａ、９５Ｂ、９５Ｃ 拡散抵抗溝、 ９６ 接着剤、 ２１０ アクチュエーターユニット、 ２３０ 流路ユニット、 ２３３ ノズルプレート、 ２３５ 圧力発生室、 ２３８ ノズル開口、 ２５０ ケース   I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 head (liquid ejecting head), 20 head main body, 30 wiring board, 40, 40A, 40B, 40C flow path member, 50 ink flow path (liquid flow path), 60 1 member, 70 2nd member, 80 internal space, 90, 90A, 90C atmospheric release path, 95, 95A, 95B, 95C diffusion resistance groove, 96 adhesive, 210 actuator unit, 230 flow path unit, 233 nozzle plate, 235 Pressure generation chamber, 238 nozzle opening, 250 cases

Claims (8)

液体を吐出するヘッド本体に液体を供給する流路部材であって、
前記ヘッド本体又は該流路部材内に形成された内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝と、
前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備える
ことを特徴とする流路部材。 A flow path member that supplies liquid to a head body that discharges liquid;
A diffusion resistance groove that communicates the internal space formed in the head body or the flow path member to the outside;
A flow path member comprising: an adhesive covering the opening of the diffusion resistance groove. 請求項１に記載する流路部材において、
前記流路部材は、拡散抵抗溝が設けられた第１部材と、該第１部材に接合される第２部材とを備え、
前記接着剤は、前記拡散抵抗溝の開口を覆い、前記第２部材と前記第１部材とを接着している
ことを特徴とする流路部材。 In the flow path member according to claim 1,
The flow path member includes a first member provided with a diffusion resistance groove, and a second member joined to the first member,
The flow path member, wherein the adhesive covers the opening of the diffusion resistance groove, and bonds the second member and the first member. 請求項１又は請求項２に記載する流路部材において、
前記拡散抵抗溝は、開口から底に向かい断面形状の幅が減少するＶ字状に形成されている
ことを特徴とする流路部材。 In the flow path member according to claim 1 or claim 2,
The diffusion resistance groove is formed in a V shape in which the width of the cross-sectional shape decreases from the opening toward the bottom. 請求項１又は請求項２に記載する流路部材において、
前記拡散抵抗溝は、第１部材の表面に形成された第１溝部と、該第１溝部の底部に形成された第２溝部とを備えている
ことを特徴とする流路部材。 In the flow path member according to claim 1 or claim 2,
The diffusion resistance groove includes a first groove formed on the surface of the first member, and a second groove formed on the bottom of the first groove. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する流路部材において、
前記接着剤のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、前記接着剤が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上である
ことを特徴とする流路部材。 In the flow path member according to any one of claims 1 to 4,
The flow path member, wherein the gas permeability coefficient and water vapor permeability coefficient of the adhesive are equal to or greater than the gas permeability coefficient and water vapor permeability coefficient of the region to which the adhesive is adhered. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する流路部材と、
前記ヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。 The flow path member according to any one of claims 1 to 5,
A liquid ejecting head comprising the head main body. 内部空間、及び該内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝を有し、液体を吐出するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に液体を供給する流路部材と、
前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備える
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A head body that has an internal space and a diffusion resistance groove that communicates the internal space with the outside, and that discharges liquid;
A flow path member for supplying a liquid to the head body;
An adhesive for covering the opening of the diffusion resistance groove. 請求項６又は請求項７に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 6.
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