JP2014185982A - 赤外線センサー及び熱検知素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 赤外線センサーの感度を向上させることができる赤外線センサー及び熱検知素子を提供する。
【解決手段】 第1電極6と、第2電極7と、第1電極6及び第2電極7の間に設けられ、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜8と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する熱検知素子を具備する。誘電体膜の抵抗温度係数の絶対値が4%以上であることが好ましい。また、誘電体膜の活性化エネルギーが0.39eV以上であることが好ましい。
【選択図】 図1
【解決手段】 第1電極6と、第2電極7と、第1電極6及び第2電極7の間に設けられ、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜8と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する熱検知素子を具備する。誘電体膜の抵抗温度係数の絶対値が4%以上であることが好ましい。また、誘電体膜の活性化エネルギーが0.39eV以上であることが好ましい。
【選択図】 図1
Description
本発明は、赤外線センサー及び熱検知素子に関する。
赤外線センサーは、その検出原理によって量子型と熱型とに大別される。このうち熱型は、ノイズ対策のための冷却が不要であることから注目を集めている。例えば熱型の一つであるボロメータ型は、抵抗値の温度依存性を利用して赤外線を検出するものであり、非冷却型赤外線素子で普及している。このようなボロメータ型の赤外線センサーは、熱検知素子を具備する。
近年、高感度化や高応答性等の観点から、赤外線センサーにおけるボロメータ材料の一画素の大きさが非常に小さくなり、材料の薄膜化が望まれている。そこで、ボロメータ材料として、酸化バナジウム薄膜を用いた赤外線センサーが提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載の酸化バナジウム薄膜を用いた場合、赤外線センサーの良好な感度を実現することが困難であるという問題があった。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、薄膜化しても赤外線センサーの感度を向上させることができる赤外線センサー及び熱検知素子を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる誘電体膜と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する熱検知素子を具備し、前記誘電体膜が、少なくともBi及びFeを含むことを特徴とする赤外線センサーにある。
かかる態様では、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜は、抵抗値の温度依存性が大きい材料であるので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
かかる態様では、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜は、抵抗値の温度依存性が大きい材料であるので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、前記誘電体膜の抵抗温度係数の絶対値が4%以上であることが好ましい。これによれば、抵抗値の温度依存性が大きい材料を用い、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、前記誘電体膜の活性化エネルギーが0.39eV以上であることが好ましい。これによれば、抵抗値の温度依存性が大きい材料を用い、抵抗値の検出感度を向上させ、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、前記誘電体膜が、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物であって、Bサイト元素にMnを含むことが好ましい。これによれば、リーク電流を増加させて単位時間当たりの電流量を増加させ、また、熱検知素子における絶縁性の増加による影響を抑えることができ、抵抗値の検出感度を向上させ、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、前記Bサイト元素に含む前記Mnの物質量が2mol%以上であることが好ましい。これによれば、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度を向上させ、赤外線センサーの感度をより向上させることができる。
また、前記Bサイト元素にTiを含むことが好ましい。これによれば、Bサイト元素に含むMn及びTiの元素物質量比Mn/Tiを調整し、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度を向上させ、高感度な赤外線センサーを実現しやすくなる。
また、前記Bサイト元素に含む前記Mn及び前記Tiの元素物質量比Mn/Tiが1.5以上であることが好ましい。これによれば、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度をさらに向上させ、赤外線センサーの感度をさらに向上させることができる。
また、前記熱検知素子に流れる電流密度が2.4×10−6Acm−2以上1.1×10−2Acm−2以下であることが好ましい。これによれば、電流密度の大きい材料を用い、抵抗値の検出感度を向上させ、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、本発明の他の態様は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる誘電体膜と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する素子であって、前記誘電体膜が、少なくともBi及びFeを含むことを特徴とする熱検知素子にある。
かかる態様では、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜は、抵抗値の温度依存性が大きい材料であるので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
かかる態様では、少なくともBi及びFeを含む誘電体膜は、抵抗値の温度依存性が大きい材料であるので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
以下、図1から図8に基づいて、本発明の実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の範囲内で任意に変更することが可能である。尚、図1から図8の構成部材で同一の部材には同一符号を付してあり、適宜説明が省略されている。
図1(a)〜(b)は、本発明の実施形態に係る赤外線センサーの概略構成を示す図である。図1(a)は単一素子で構成した回路図であり、図1(b)は参照素子を用いた回路図である。
図1(a)に示すように、赤外線センサー1は、電圧を印加する入力電源2と、熱検知素子3と、積分回路4と、積分回路の信号を検出する電圧検出装置5とを備えている。尚、図1で省略されているが、これらをパッケージする窓材やキャップ等の構成は制限されない。
熱検知素子3は、その抵抗値が温度によって変化する性質を有する素子である。この熱検知素子3は、第1電極6と、第2電極7と、第1電極6及び第2電極7の間に設けられる誘電体膜8とを具備している。本実施形態では、第1電極6が入力電源2に接続され、第2電極7が積分回路4の入力側に接続されている。
積分回路4は、オペアンプ9を具備している。オペアンプ9は、+入力端子9a、−入力端子9b及び出力端子9cを有している。+入力端子9aはグランド10に接続され、−入力端子9bは第2電極7に接続され、出力端子9cは電圧検出装置5に接続されている。また、オペアンプ9の−入力端子9b及び出力端子9cの間にコンデンサー11が設けられ、オペアンプ9から出力される電荷が蓄えられる。尚、図示するように、コンデンサー12を介して+入力端子9aを接地させてもよい。
このような構成を有する赤外線センサー1では、赤外線の熱エネルギーを吸収して熱検知素子3の温度が上昇し、抵抗値が変化する。入力電源2を介し電圧を印加することで流れる電流を、コンデンサー11及びオペアンプ9によって電圧信号に変換すると共に増幅し、増幅した電圧を電圧検出装置5により検出することで、抵抗値の変化が検出される。
図1(b)に示す赤外線センサーの構成は、図1(a)の構成に加えて、参照素子13を具備したものである。参照素子13は、例えば熱検知素子3と同一の熱検知素子を用い、赤外線の入射面に遮蔽板を設けて構成することができる。この参照素子13は、一方がグランド14に接続され、他方が第2電極7に接続されている。すなわち、図1(b)では、参照素子13及び第2電極7が直列に接続されると共に、その間の共通の接続線を介してオペアンプ9の−入力端子9bに接続されている。
参照素子13を具備する赤外線センサーの機能は以下の通りである。すなわち、赤外線センサーの設置環境や経時劣化等によって、熱検知素子3からの電流に誤差が生じる場合であっても、そのような誤差は、例えば熱検知素子3と同一の素子を用いて構成された参照素子13からの電流にも等しく生じ得る。よって、両素子で等しく生じた電流の誤差を積分中に相殺でき、出力電圧に誤差が生じることを防止できる。これにより、抵抗値の変化を正確に検出でき、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
熱検知素子3の第1電極6及び第2電極7は、導電性を有する材料を用いることができ、具体的にはPt、Ti、Cr、Al、Au、Cu等を用いることができる。このような第1電極6及び第2電極7は、層状又は薄膜状である。尚、これらの形状、材料、厚さ等は、本発明の要旨を変更しない限りにおいて変更することができる。
ここで、熱検知素子3の誘電体膜8は少なくともBi及びFeを含む。本発明の実施形態では、誘電体膜8は、Aサイト元素としてBiを含み、Bサイト元素としてFeを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物として構成される。この複合酸化物は、鉛を含まないものであって、組成式BiFeO3で表される。この複合酸化物としては、BFO系セラミックスと略称されるセラミックスを含む固溶体(混晶セラミックス)が挙げられる。
このような誘電体膜8は、抵抗値の温度依存性が大きい材料である。よって、赤外線の熱エネルギーを吸収した熱検知素子3の温度上昇を抵抗値に基づいて精度よく検出でき、赤外線センサー1の感度を向上させることができる。
ここで、誘電体膜8は、抵抗温度係数の絶対値(以下、|TCR|と略記することがある。)が4%以上であることが好ましい。これは、|TCR|が4%未満であると、抵抗値の温度依存性が小さくなり、従来よりも高感度な赤外線センサーを構成することが困難となるためである。|TCR|は下記式(1)で表される。式(1)から、|TCR|は、温度変化に対する抵抗変化の割合であることが分かる。尚、式(1)中、Rは抵抗値でありTは温度である。
[数1]
|TCR|=|(1/R)(dR/dT)| (1)
|TCR|=|(1/R)(dR/dT)| (1)
また、誘電体膜8は、活性化エネルギーEaが0.39eV以上であることが好ましい。これは、活性化エネルギーEaが0.39eV未満であると、抵抗値の温度依存性が小さくなり、従来よりも高感度な赤外線センサーを構成することが困難となるためである。活性化エネルギーEaは下記式(2)及び(3)で表される。式(2)及び(3)から、活性化エネルギーEaは、単位時間当たりの電流量の自然対数ln(J)と比例関係にあることが分かる。尚、式(2)及び(3)中、Tは温度であり、A及びkBは定数である。
[数2]
J=A×exp(−Ea/kBT) (2)
[数3]
ln(J)=−Ea/kBT+ln(A) (3)
J=A×exp(−Ea/kBT) (2)
[数3]
ln(J)=−Ea/kBT+ln(A) (3)
このように、誘電体膜8は、抵抗値の温度依存性が大きい材料であり、赤外線センサー1の感度を向上させることができる。このような誘電体膜8としては、例えば下記の組成式(4)〜(6)に示す構成が挙げられる。
[数4]
(Bi1-x,Lax)(Fe1-y,Mny)O3 (4)
[数5]
(Bi1−x,Lax)(Fe1−y−z,Mny,Tiz)O3 (5)
[数6]
x[Bi(Fe(1−y)Mny)O3]−(1−x)[BaTiO3] (6)
(Bi1-x,Lax)(Fe1-y,Mny)O3 (4)
[数5]
(Bi1−x,Lax)(Fe1−y−z,Mny,Tiz)O3 (5)
[数6]
x[Bi(Fe(1−y)Mny)O3]−(1−x)[BaTiO3] (6)
上記式(4)〜(6)に示す誘電体膜8は、いずれもペロブスカイト構造を有するABO3型の複合酸化物として構成される。Aサイトは酸素が12配位しており、また、Bサイトは酸素が6配位して8面体(オクタヘドロン)をつくっている。
例えば上記式(4)に示す誘電体膜は、Bi、La、Fe及びMnを含み、鉄酸ビスマス(BiFeO3)と、鉄酸ランタン(LaFeO3)と、マンガン酸ビスマス(BiMnO3)とを含む複合酸化物である。
また上記式(5)に示す誘電体膜は、Bi、La、Fe、Mn及びTiを含み、上記式(4)のFeの一部をTiに置換した複合酸化物である。
また上記式(6)に示す誘電体膜は、Bi、Fe、Ba、Mn及びTiを含み、組成式(Bi,Ba)(Fe,Ti,Mn)O3とも表され、鉄酸マンガン酸ビスマス(Bi(Fe,Mn)O3)とチタン酸バリウム(BaTiO3)との固溶体として表される。
尚、式(4)〜(6)中、x、y及びzは、いずれも0より大きく1より小さい値をとりうる。これらの値は、誘電体膜を形成するときの原料の仕込み量が表現されていてもよく、形成後の誘電体膜の組成が表現されていてもよい。また、誘電体膜は、組成式BiFeO3で表される化合物に制限されず、本発明の要旨を変更しない限りにおいて、他の化合物を含んでいてもよいし、鉄酸ビスマスが他の金属を含んでいてもよい。鉄酸ビスマスにおけるBiの一部が、Ce、Sm等の一以上の金属により置換されていてもよく、鉄酸ビスマスにおけるFeの一部が、Al、Co、Cr等の一以上の金属により置換されていてもよい。それぞれの複合酸化物は、各種の分析において、Bi、La、Ba、Fe、Mn、Ti及びO2以外の元素が検出できない場合、痕跡量が認められる場合、及び欠損・過剰により化学量論の組成からずれる場合を含むものである。
このような誘電体膜8を具備する赤外線センサー1の基本的な機能は以下のとおりである。すなわち、外部から赤外線が入射すると、熱エネルギーを吸収して熱検知素子3の温度が上昇し、熱検知素子3の抵抗値が変化する。この抵抗値の変化は、入力電源2を介し電圧を印加することで流れる電流を、積分回路4により電圧信号に変換し、電圧検出装置5により電圧を検出することで検出される。つまり、熱検知素子3の抵抗値の変化に温度依存性があり、これを利用して、赤外線が検出される。後述する実施例に示すとおり、本発明の実施形態に係る赤外線センサーによれば、従来技術に対し感度が良好であると言える比較例と比べても、より高い感度を実現できる。
以上説明した赤外線センサー1は、誘電体膜8がペロブスカイト構造を有する複合酸化物であって、Bサイト元素にMnを含むことが好ましい。これによれば、熱検知素子3からのリーク電流を増加させ、電流密度を増加させることができる。図2は、Bサイト元素のMn量と電流密度との関係を示している。図に示すように、Bサイト元素にMnを含むことで熱検知素子に流れる電流密度を増加させることができ、抵抗値の検出精度を向上させることができる。また、活性化エネルギーの増加に伴う絶縁性の増加によって電流密度が小さくなることを回避することもできる。よって、赤外線センサー1の感度をより向上させることができる。
具体的に、赤外線センサー1は、Bサイト元素に含むMnの物質量が2mol%以上であることが好ましい。これによれば、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度を向上させ、赤外線センサーの感度をより向上させることができる。
また、赤外線センサー1は、Bサイト元素にMn及びTiを含むことが好ましい。これによれば、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度を向上させ、高感度な赤外線センサーを実現しやすくなる。
具体的に、赤外線センサー1は、Bサイト元素に含むMn及びTiの元素物質量比Mn/Tiが1.5以上であることが好ましい。これによれば、単位時間当たりの電流量を増加させて抵抗値の検出感度をさらに向上させ、赤外線センサーの感度をさらに向上させることができる。
また、赤外線センサー1では、誘電体膜8の厚さは、50〜600nmが好ましく、150〜400nmがより好ましい。この理由は、誘電体膜の厚さが上記範囲より小さいと、均一な膜形成が難しく、誘電体膜の厚さが大きすぎると、熱容量が大きくなり赤外線センサーの感度及び応答速度に影響が出てしまい好ましくないためである。
また、赤外線センサー1の誘電体膜8は、例えば以下のように作製可能である。
誘電体膜8は、金属錯体を溶媒に溶解・分散した溶液を塗布乾燥し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなるボロメータ材料を得る、CSD(Chemical Solution Deposition)法を用いて形成できる。尚、誘電体膜の製造方法は、CSD法に限定されず、例えば、ゾル−ゲル法や、レーザーアブレーション法、スパッタリング法、パルス・レーザー・デポジション法(PLD法)、CVD法、エアロゾル・デポジション法などを用いてもよい。
誘電体膜8は、金属錯体を溶媒に溶解・分散した溶液を塗布乾燥し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなるボロメータ材料を得る、CSD(Chemical Solution Deposition)法を用いて形成できる。尚、誘電体膜の製造方法は、CSD法に限定されず、例えば、ゾル−ゲル法や、レーザーアブレーション法、スパッタリング法、パルス・レーザー・デポジション法(PLD法)、CVD法、エアロゾル・デポジション法などを用いてもよい。
例えば、第1電極6上に、金属錯体、具体的には、Bi、La、Fe、Mn及びTi等を含有する金属錯体を、目的とする組成比になる割合で含むゾルやCSD溶液(前駆体溶液)をスピンコート法などを用いて、塗布して前駆体膜を形成する(塗布工程)。
塗布する前駆体溶液は、Bi、La、Fe、Mn及びTi等をそれぞれ含む金属錯体を、各金属が所望の物質量比となるように混合し、該混合物をカルボン酸などの有機溶媒を用いて溶解または分散させたものである。Bi、La、Fe、Mn及びTi等をそれぞれ含む金属錯体としては、例えば、金属アルコキシド、有機酸塩、βジケトン錯体を用いることができる。Biを含む金属錯体としては、例えば酢酸ビスマス、プロピオン酸ビスマス、及び2−エチルヘキサン酸ビスマスが挙げられる。Laを含む金属錯体としては、酢酸ランタン、プロピオン酸ランタン、及び2−エチルヘキサン酸ランタンが挙げられる。Feを含む金属錯体としては、例えば酢酸鉄、プロピオン酸鉄、及び2−エチルヘキサン酸鉄が挙げられる。Mnを含む金属錯体としては、例えば酢酸マンガン、プロピオン酸マンガン、及び2−エチルヘキサン酸マンガンが挙げられる。Tiを含む金属錯体としては、例えばテトライソプロポキシチタン、プロピオン酸チタン、及び2−エチルヘキサン酸チタンが挙げられる。
次いで、この前駆体膜を所定温度に加熱して一定時間乾燥させる(乾燥工程)。次に、乾燥した前駆体膜を所定温度に加熱して一定時間保持することによって脱脂する(脱脂工程)。なお、ここで言う脱脂とは、前駆体膜に含まれる有機成分を、例えば、NO2、CO2、H2O等として離脱させることである。
次に、前駆体膜を所定温度、例えば600〜750℃程度に加熱して一定時間保持することによって結晶化させ、誘電体膜を形成する(焼成工程)。なお、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程で用いられる加熱装置としては、赤外線ランプの照射により加熱するRTA(Rapid Thermal Annealing)装置やホットプレート等が挙げられる。
なお、上述した塗布工程、乾燥工程及び脱脂工程や、塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程を所望の膜厚等に応じて複数回繰り返すことにより、複数層の誘電体膜を形成してもよい。
誘電体膜8を形成した後は、例えば、Pt等の金属からなる第2電極7を誘電体膜8上に積層し、熱検知素子3が構成される。
次に、図3及び図4を用いて、熱検知素子3を用いたセンサーデバイスについて説明する。図3及び図4は、熱検知素子3を用いたセンサーデバイス20の構成例を示している。なお、熱検知素子を用いたセンサーデバイス20は、図3及び図4の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加する等の種々の変形実施が可能である。
図3に示すように、センサーデバイス20は、センサーアレイ21と、行選択回路(行ドライバー)22と、読み出し回路23とを備えている。また、センサーデバイス20は、A/D変換部24及び制御回路25を含むことができる。このセンサーデバイス20を用いることで、例えばナイトビジョン機器などに用いられる赤外線カメラなどを実現できる。
センサーアレイ21には、複数のセンサーセルが配列(配置)される。また複数の行線(ワード線、走査線)と複数の列線(データ線)が設けられる。尚、列線の本数が1本であってもよい。例えば行線が1本である場合には、図3(a)において行線に沿った方向(横方向)に複数のセンサーセルが配列される。一方、列線が1本である場合には、列線に沿った方向(縦方向)に複数のセンサーセルが配列される。
センサーアレイ21の各センサーセルは、各行線と各列線の交差位置に対応する場所に配置(形成)される。例えば図3(b)のセンサーセルSは、行線WL1と列線DL1の交差位置に対応する場所に配置されている。他のセンサーセルも同様である。図3においては図示が省略されているが、このセンサーセルSに、本発明の実施形態に係る熱検知素子が設けられこととなる。
行選択回路22は、1又は複数の行線に接続される。そして各行線の選択動作を行う。例えば図3(b)のようなQVGA(320×240ピクセル)のセンサーアレイ21を例にとれば、行線WL0、WL1、WL2・・・・WL239を順次選択(走査)する動作を行う。すなわち、これらの行線を選択する信号(ワード選択信号)をセンサーアレイ21に出力する。
読み出し回路23は、複数の列線に接続される。そして各列線の読み出し動作を行う。QVGA(320×240ピクセル)のセンサーアレイを例にとれば、列線DL0、DL1、DL2・・・・DL319からの検出信号を読み出す動作を行う。例えば読み出し回路23には、図示は省略するが、複数の列線の各列線に対応して各増幅回路が設けられる。そして、各増幅回路は、対応する列線の信号の増幅処理を行う。
A/D変換部24は、読み出し回路23において取得された検出電圧をデジタルデータにA/D変換する処理を行う。そしてA/D変換後のデジタルデータDOUTを出力する。具体的には、A/D変換部24には、複数の列線の各列線に対応して各A/D変換器が設けられる。そして、各A/D変換器は、対応する列線において読み出し回路23により取得された検出電圧のA/D変換処理を行う。尚、複数の列線に対応して1つのA/D変換器を設け、この1つのA/D変換器を用いて、複数の列線の検出電圧を時分割にA/D変換してもよい。また読み出し回路23の増幅回路を設けないで、各列線の信号を直接にA/D変換部24の各A/D変換器に入力するようにしてもよい。
制御回路25は、各種の制御信号を生成して、行選択回路22、読み出し回路23、A/D変換部24に出力する。例えば、各回路のタイミングを制御する信号などを生成して出力する。
図4に、センサーデバイス20の詳細な構成例を示す。
各々のセンサーセルSは、図1を用いて説明した熱検知素子26と、積分回路27と、読み出し用トランジスタ(FET)28とを備えている。そして、読み出し用トランジスタ28のソースが、積分回路27を介して熱検知素子26の電流出力側に接続され、ドレインが列線DL0、DL1・・・・DL319に接続されており、また、ゲートは、行線WL0、WL1・・・・WL239に接続されている。
各々のセンサーセルSは、図1を用いて説明した熱検知素子26と、積分回路27と、読み出し用トランジスタ(FET)28とを備えている。そして、読み出し用トランジスタ28のソースが、積分回路27を介して熱検知素子26の電流出力側に接続され、ドレインが列線DL0、DL1・・・・DL319に接続されており、また、ゲートは、行線WL0、WL1・・・・WL239に接続されている。
各センサーセルからの検出信号の読み出しは以下のように行われる。例えば行線WL0が選択される場合には、行線WL0にゲートが接続される読み出し用トランジスタ28のゲートに電圧が印加され、ソース、ドレイン間にチャンネルが形成されてオン状態になる。そして行線WL0に対応する1又は複数のセンサーセルが、それぞれ対応する列線DL(DL0〜DL319)に電気的に接続される。この時、行線WL0以外の行線WL(WL1〜WL239)は非選択である。
このようにして、行線WL0に対応する1又は複数のセンサーセルからの検出信号が列(カラム)毎に読み出される。その後、他の行線WL(WL1〜WL239)が順次選択され、上記と同様にして各センサーセルから検出信号が読み出される。
以下、実施例を示すが、本発明は以下の例により限定されるものではない。
<実施例1〜2>
配位子及び溶媒にプロピオン酸を使用したBi、La、Fe及びMnの各種溶液を、物質量比でそれぞれ75:25:99:1、及び75:25:97:3に混合することで、溶液1〜2を作製した。
<実施例1〜2>
配位子及び溶媒にプロピオン酸を使用したBi、La、Fe及びMnの各種溶液を、物質量比でそれぞれ75:25:99:1、及び75:25:97:3に混合することで、溶液1〜2を作製した。
次に、溶液1〜2を、それぞれPt/IrO2/Ir/TiAlN/SiO2/Si基板上にスピンコート法にて1,500rpmで塗布し、180℃で2分間加熱した後に、350℃で3分間加熱した。この工程を4回繰り返した後に、RTAを使用し650℃で5分間加熱した。この一連の工程を2回繰り返すことで、計8層のBLFM薄膜を作製した。尚、TiAlNは、BLFM薄膜と下地との密着性を向上させる密着層として用いたものである。
次に、BFM−BT薄膜にスパッタリング法でPt膜を100nm作製することで、実施例1〜2に係る熱検知素子を作製した。
<実施例3〜6>
溶液をBi、La、Fe、Mn及びTiとし、物質量比をそれぞれ85:15:96:3:1、80:20:96:3:1、75:25:96:3:1、70:30:96:3:1とした以外は、実施例1と同様のプロセスにて、実施例3〜6に係る熱検知素子を作製した。
溶液をBi、La、Fe、Mn及びTiとし、物質量比をそれぞれ85:15:96:3:1、80:20:96:3:1、75:25:96:3:1、70:30:96:3:1とした以外は、実施例1と同様のプロセスにて、実施例3〜6に係る熱検知素子を作製した。
<実施例7>
基板をPt/Ti/ZrO2/SiO2/Siとした以外は、実施例2と同様の溶液及びプロセスにて、実施例7に係る熱検知素子を作製した。
基板をPt/Ti/ZrO2/SiO2/Siとした以外は、実施例2と同様の溶液及びプロセスにて、実施例7に係る熱検知素子を作製した。
<実施例8〜10>
配位子に2−エチルヘキサン酸を、溶媒にn−オクタンを使用したBi、La、Fe、Mn、及びTiの各種溶液を、物質量比でそれぞれ85:15:92:8:0、85:15:94:5:1、及び85:15:92:1:7で混合することで、溶液8〜10を作製した。
配位子に2−エチルヘキサン酸を、溶媒にn−オクタンを使用したBi、La、Fe、Mn、及びTiの各種溶液を、物質量比でそれぞれ85:15:92:8:0、85:15:94:5:1、及び85:15:92:1:7で混合することで、溶液8〜10を作製した。
次に、作製した溶液8〜10を、それぞれPt/TiO2/SiO2/Si基板上にスピンコート法にて2,000rpmで塗布し、150℃で2分間加熱した後に350℃で2分間加熱した。この工程を4回繰り返した後に、RTAを使用し650℃で5分間加熱することで、計4層のBLFMT薄膜を作製した。
次に、このBLFMT薄膜にスパッタリング法でPt膜を100nm作製することで、実施例8〜10に係る熱検知素子を作製した。
<実施例11>
配位子に2−エチルヘキサン酸を、溶媒にn−オクタンを使用したBi、Fe、Mn、Ba、及びTiの各種溶液を、物質量比75:71.5:3.5:25:25で混合することで、溶液11を作製した。
配位子に2−エチルヘキサン酸を、溶媒にn−オクタンを使用したBi、Fe、Mn、Ba、及びTiの各種溶液を、物質量比75:71.5:3.5:25:25で混合することで、溶液11を作製した。
次に、作製した溶液11を、LNO/Pt/ZrO2/SiO2/Si基板上にスピンコート法にて3000rpmで塗布し、180℃で3分間加熱した後に、350℃で3分間加熱した。この工程を2回繰り返した後に、RTAを使用し650℃で5分間加熱した。この一連の工程を6回繰り返すことで、計12層のBFM−BT薄膜を作製した。
次に、このBFM−BT薄膜にスパッタリング法でIr膜を50nm作製することで、実施例11に係る熱検知素子を作製した。
<比較例>
溶液をTiのみにした以外は、実施例8と同様のプロセスで比較例に係る熱検知素子を作製した。
溶液をTiのみにした以外は、実施例8と同様のプロセスで比較例に係る熱検知素子を作製した。
<X線回折測定>
実施例1〜11に係る熱検知素子の誘電体膜について、構造及び配向を、Bruker製『D8 Discover』を用い測定した。線源はCuKα、検出器はGADDS(2次元検出器)を使用した。その結果、いずれのサンプルもABO3構造であり、異相等は観測されなかった。
実施例1〜11に係る熱検知素子の誘電体膜について、構造及び配向を、Bruker製『D8 Discover』を用い測定した。線源はCuKα、検出器はGADDS(2次元検出器)を使用した。その結果、いずれのサンプルもABO3構造であり、異相等は観測されなかった。
<配向性測定>
実施例1〜11に係る熱検知素子の誘電体膜について、配向性を測定した。図5に、実施例1及び7に係る熱検知素子のXRD測定結果を示す。図に示すとおり、実施例1は(111)配向しており、実施例7は(100)に配向していることが確認された。
実施例1〜11に係る熱検知素子の誘電体膜について、配向性を測定した。図5に、実施例1及び7に係る熱検知素子のXRD測定結果を示す。図に示すとおり、実施例1は(111)配向しており、実施例7は(100)に配向していることが確認された。
<電気伝導度測定>
実施例1〜11に係る熱検知素子について、電気伝導度の測定を、ヒューレットパッカード社製「4140B」を用い、大気下で測定した。温度制御はホットプレートを使用し、温度の振れ幅は±1℃以下であった。加えて、測定は遮光したプローバーを使用し、光起電力等の影響を排除した。表1に実施例1〜11及び比較例のTCRを示す。表1において、実施例1及び7から、高いTCRは配向に拠らないことが、実施例3〜6からLa量に拠らないことが、実施例1及び5からTiの有無に拠らないことが分かった。
実施例1〜11に係る熱検知素子について、電気伝導度の測定を、ヒューレットパッカード社製「4140B」を用い、大気下で測定した。温度制御はホットプレートを使用し、温度の振れ幅は±1℃以下であった。加えて、測定は遮光したプローバーを使用し、光起電力等の影響を排除した。表1に実施例1〜11及び比較例のTCRを示す。表1において、実施例1及び7から、高いTCRは配向に拠らないことが、実施例3〜6からLa量に拠らないことが、実施例1及び5からTiの有無に拠らないことが分かった。
また、図6に実施例2、4及び比較例のアレニウスプロットを示す。図に示すように、実施例2、4及び比較例のアレニウスプロットは直線となっていた。一般的に、同一メカニズムの電気伝導であればアレニウスプロットは直線となるから、測定温度範囲内での伝導機構の変化は観測されなかった。このことから、アレニウスプロットの傾きから活性化エネルギーを求めることが出来る。表1に実施例1〜11及び比較例の活性化エネルギーを示す。
表1に示すように、比較例は、|TCR|=3.9%であった。これに対し、実施例1〜11は|TCR|=4.3%〜6.5%と、比較例と比べて約10〜67%の特性向上が観測された。
尚、比較例の|TCR|=3.9%は、従来の|TCR|=1.6%(特許文献1参照)に比べれば大きな値を示すものである。よって、実施例の赤外線センサーによれば、従来技術に対し感度が良好であると言える比較例と比べても、より高い感度を実現できることが分かった。
また、表1に示すように、実施例1〜11の活性化エネルギーが0.39〜0.67eVと、比較例の0.33eVと比較して約0.06〜0.34eV大きいことが分かった。よって、実施例1〜11の赤外線センサーは、比較例と比べて、電流量の温度依存性が大きく、抵抗値の検出精度が高いため、感度の高いより赤外線センサーを実現できることが分かった。
また、実施例1〜11の電流密度が2.4×10−6Acm−2〜1.1×10−2Acm−2と、比較例の5.6×10−7Acm−2と比較して、はるかに大きいことが分かった。よって、実施例1〜11の赤外線センサーは、比較例と比べて、電流密度の温度依存性が大きく、抵抗値の検出精度が高いため、感度の高いより赤外線センサーを実現できることが分かった。
そして、図7に、ペロブスカイト構造のBサイト元素にTiを含まない熱検知素子(実施例1〜2及び7〜8)の、1Vにおける電流密度とMnの含有量との関係を示す。
図に示すように、電流密度の対数がMn量に線形応答しており、Mn量が多いと、検出感度が増加することがわかる。特に、Bサイト元素に含むMnの物質量が2mol%以上であると、1×10−5Acm−2以上の電流が流れるため、高感度な検出が可能であることが確認された。
一方、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物のBサイト元素にTiを含む熱検知素子(実施例3〜6及び9〜11)では、図8に示すように、電流密度の対数が、Bサイト元素に含むMn及びTiの元素物質量比Mn/Tiに線形応答している。このことから、元素物質量比Mn/Tiが増加すると検出感度が増加し、特に元素物質量比が1.5以上であると、1×10−5Acm−2以上の電流が流れるため、高感度な検出が可能であることが確認された。
(他の実施形態)
本発明の実施形態に係る熱検知素子は、良好な焦電特性を示すことから、焦電デバイスにも用いることが出来る。例えば、熱−電気変換機、赤外線検出器、テラヘルツ検出器、温度センサー等にも用いることができる。
本発明の実施形態に係る熱検知素子は、良好な焦電特性を示すことから、焦電デバイスにも用いることが出来る。例えば、熱−電気変換機、赤外線検出器、テラヘルツ検出器、温度センサー等にも用いることができる。
本発明は、赤外線センサー及び熱検知素子の産業分野で利用することができる。
1 赤外線センサー、 2 入力電源、 3,26 熱検知素子、 4,27 積分回路、 5 電圧検出装置、 6 第1電極、 7 第2電極、 8 誘電体膜、 9 オペアンプ、 9a +入力端子、 9b −入力端子、 9c 出力端子、 10,14 グランド、 11,12 コンデンサー、 13 参照素子、 20 センサーデバイス、 21 センサーアレイ、 22 行選択回路(行ドライバー)、 23 読み出し回路、 24 A/D変換部、 25 制御回路、 28 読み出し用トランジスタ(FET)
Claims (9)
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる誘電体膜と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する熱検知素子を具備し、
前記誘電体膜が、少なくともBi及びFeを含むことを特徴とする赤外線センサー。 - 前記誘電体膜の抵抗温度係数の絶対値が4%以上であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサー。
- 前記誘電体膜の活性化エネルギーが0.39eV以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の赤外線センサー。
- 前記誘電体膜が、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物であって、Bサイト元素にMnを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の赤外線センサー。
- 前記Bサイト元素に含む前記Mnの物質量が2mol%以上であることを特徴とする請求項4に記載の赤外線センサー。
- 前記Bサイト元素にTiを含むことを特徴とする請求項4又は5に記載の赤外線センサー。
- 前記Bサイト元素に含む前記Mn及び前記Tiの元素物質量比Mn/Tiが1.5以上であることを特徴とする請求項6に記載の赤外線センサー。
- 前記熱検知素子に流れる電流密度が2.4×10−6Acm−2以上1.1×10−2Acm−2以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の赤外線センサー。
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる誘電体膜と、を備え、抵抗値の変化に基づいて熱を検知する熱検知素子であって、
前記誘電体膜が、少なくともBi及びFeを含むことを特徴とする熱検知素子。
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