JP2014185854A - 光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一開口21と第二開口22とが設けられた球状の壁面29を有する積分球20と、積分球20の第一開口21から積分球20の内部を通過して積分球20の第二開口22に向かう光束を出射する光源11と、積分球20の壁面29の一部分に配置され、光量を検出する検出器12とを備え、第一開口21または第二開口22に配置された試料の光学特性を測定する光学測定装置1であって、積分球20の壁面29における検出器12の位置を移動することが可能となっていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
積分球120は、例えば、直径60mmの円球状の壁面129を有し、壁面129の左上部には例えば、一辺が10mm程度の矩形もしくは円形の第一開口121が設けられ、壁面129の右上部には例えば、一辺が10mm程度の矩形もしくは円形の射出部が設けられ、壁面129の下部には例えば、一辺が10mm程度の矩形もしくは円形の第二開口122が設けられている。
なお、壁面129の内壁面には、高い反射率を持ち、かつ光拡散性の高い塗料や樹脂等が塗布されている。
検出器12は、光量を検出する例えば、30mm2の検出面が積分球120の内部を向くようにして積分球120の壁面129の右部に接続されている。そして、検出された光強度Eは、コンピュータ130に送信されるようになっている。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口122に常用標準白色板Hを配置する。次に、光源11からの光Lを積分球120の第一開口121から積分球120の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球120の壁面129の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
測定装置101で正確に光の反射率を測定することができる試料Sは、光源11から光Lが照射されると、図7(a)に示すように光束を反射させる際に均一に光が広がる性質を持っている。つまり、常用標準白色板Hが、光束を反射させる際に均一に光を広げる性質を持っているため、校正時の状態と試料測定時の状態とが同じになる。
一方、測定装置101で正確に光の反射率を測定することができない試料Sは、光源11から光が照射されると、図7(b)に示すように光が正反射成分に大きくなる性質を持っている。つまり、校正時の状態と試料測定時の状態とが異なっている。
その結果、検出器12が正反射成分に対応する積分球120の壁面129に存在すると正確に測定することができないことを見出した。
一方、測定装置101で正確に光の透過率を測定することができない試料Sは、光源11から光Lが照射されると、図8(b)に示すように光が広がる性質を持っている。つまり、校正時の状態と試料測定時の状態とが異なっている。
その結果、検出器12が光の広がった範囲に対応する積分球120の壁面129に存在すると正確に測定することができないことを見出した。
そこで、検出器の位置が正反射成分に対応する位置や光が広がった範囲に対応する位置に配置されないように、試料の性質や透過率もしくは反射率を測定するかによって積分球の壁面における検出器の位置を移動することが可能となるようにすることを見出した。
また、上記発明において、前記積分球の壁面には、複数の検出器用開口が設けられており、複数の検出器用開口から選択された1個の検出器用開口に、前記検出器を取り付けることが可能となっているようにしてもよい。
さらに、上記発明において、前記積分球の壁面は、第一開口と第二開口とが設けられた第一壁面と、前記検出器が配置された第二壁面と、複数の第三壁面とに分離されて形成されており、複数の第三壁面から選択された1個の第三壁面と前記第二壁面との位置を交換することが可能となるようにしてもよい。
図1は、第一実施形態にかかる光学測定装置の構成の一例を示す図である。
光学測定装置1は、光源11と検出器12と積分球20とコンピュータ(制御部)30と校正する際に使用される常用標準白色板Hとにより構成される。なお、上述した測定装置101と同様のものについては、同じ符号を付している。
さらに、壁面29には例えば、直径10mmの円形状である複数(例えば、5個)の検出器用開口23が設けられている。そして、検出器12は、複数の検出器用開口23から選択された1個の検出器用開口23に取り付けられるようになっており、検出器12が取り付けられた検出器用開口23以外の検出器用開口23には、高い反射率を持つ光拡散性の高い塗料や樹脂等が塗布された反射板13がそれぞれ取り付けられるようになっている。
なお、壁面29の内壁面には、高い反射率を持つ光拡散性の高い塗料や樹脂等が塗布されている。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口22に常用標準白色板Hを配置する。次に、測定者は、検出器12を1個の検出器用開口23に取り付けるとともに、他の検出器用開口23に反射板13を取り付ける。このとき、測定者は、検出器12の視野角内に試料Sの正反射成分が入らないように検出器用開口23を選択する。次に、光源11からの光Lを積分球20の第一開口21から積分球20の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球20の壁面29の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口22に常用標準白色板Hを配置する。そして、測定者は、検出器12を1個の検出器用開口23に取り付けるとともに、他の検出器用開口23に反射板13を取り付ける。このとき、測定者は、検出器12の視野角内に試料Sの透過光が入らないように検出器用開口23を選択する。次に、光源11からの光Lを積分球20の第一開口21から積分球20の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球20の壁面29の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
図3は、第二実施形態にかかる光学測定装置の構成の一部の一例を示す図である。
光学測定装置は、光源11と検出器12と積分球70とコンピュータ(制御部)30(図1参照)と校正する際に使用される常用標準白色板Hとにより構成される。なお、上述した測定装置101と同様のものについては、省略または同じ符号を付している。
また、壁面79は、略下半分(高さH1より下)となる第一壁面79aと、略上半分(高さH1より上)となる第二壁面79bとに分離されて形成されており、第二壁面79bは、第一壁面79aに対して鉛直方向の回転軸74で回転移動させることが可能となっている。なお、第一壁面79aには、第一開口71と第二開口72とが設けられており、第二壁面79bには、回転軸74と異なる部分に検出器12が配置されている。よって、第二壁面79bを回転移動することにより、第一開口71と第二開口72とに対して検出器12の位置を移動することができるようになっている。
なお、壁面79の内壁面には、高い反射率を持つ光拡散性の高い塗料や樹脂等が塗布されている。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口22に常用標準白色板Hを配置する。次に、測定者は、第二壁面79bを第一壁面79aに対して回転移動させる。このとき、測定者は、検出器12の視野角内に試料Sの正反射成分が入らないように回転移動させる。次に、光源11からの光Lを積分球70の第一開口71から積分球70の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球70の壁面79の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口22に常用標準白色板Hを配置する。次に、測定者は、第二壁面79bを第一壁面79aに対して回転移動させる。このとき、測定者は、検出器12の視野角内に試料Sの透過光が入らないように回転移動させる。次に、光源11からの光Lを積分球70の第一開口71から積分球70の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球70の壁面79の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
図4は、第三実施形態にかかる光学測定装置の構成の一部の一例を示す図である。
光学測定装置は、光源11と検出器12と積分球80とコンピュータ(制御部)30(図1参照)と校正する際に使用される常用標準白色板Hとにより構成される。なお、上述した測定装置101と同様のものについては、同じ符号を付している。
また、壁面89は、下半分(高さH1より下)となる第一壁面89aと、第二壁面89bと複数(例えば、3個)の第三壁面89cとに分離されて形成されており、第二壁面89bと複数の第三壁面89cとは、第一壁面89aに取り付けられたり第一壁面89aから取り外されたりすることが可能となっている。なお、第一壁面89aには、第一開口81と第二開口82とが設けられており、第二壁面89bには、検出器12が配置されている。そして、第二壁面89bと各第三壁面89cとは、例えば、略上半分(高さH1より上)が1/4となる同じ形状をしており、複数の第三壁面89cから選択された1個の第三壁面89cと第二壁面89bとの位置を交換することが可能となっている。よって、第三壁面89cと第二壁面89bとの位置を交換することにより、第一開口81と第二開口82とに対して検出器12の位置を移動することができるようになっている。
なお、壁面89の内壁面には、高い反射率を持つ光拡散性の高い塗料や樹脂等が塗布されている。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口82に常用標準白色板Hを配置する。次に、測定者は、第二壁面89bと複数の第三壁面89cとを第一壁面89aに取り付ける。このとき、検出器12の視野角内に試料Sの正反射成分が入らないように、第二壁面89bの取付位置を選択する。次に、光源11からの光Lを積分球80の第一開口81から積分球80の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球80の壁面89の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
測定者は、まず、検出器12で検出される光強度Eを校正するために、第二開口82に常用標準白色板Hを配置する。次に、測定者は、第二壁面89bと複数の第三壁面89cとを第一壁面89aに取り付ける。このとき、検出器12の視野角内に試料Sの透過成分が入らないように、第二壁面89bの取付位置を選択する。次に、光源11からの光を積分球80の第一開口81から積分球80の内部に導入して、常用標準白色板Hで反射させる。そして、常用標準白色板Hで反射された反射光を、積分球80の壁面89の内壁面で光強度を平均化しながら検出器12に到達させる。
11 光源
12 検出器
20 積分球
21 第一開口
22 第二開口
29 壁面
Claims (4)
- 第一開口と第二開口とが設けられた球状の壁面を有する積分球と、
前記積分球の第一開口から前記積分球の内部を通過して前記積分球の第二開口に向かう光束を出射する光源と、
前記積分球の壁面の一部分に配置され、光量を検出する検出器とを備え、
前記第一開口または前記第二開口に配置された試料の光学特性を測定する光学測定装置であって、
前記積分球の壁面における検出器の位置を移動することが可能となっていることを特徴とする光学測定装置。 - 前記積分球の壁面には、複数の検出器用開口が設けられており、
複数の検出器用開口から選択された1個の検出器用開口に、前記検出器を取り付けることが可能となっていることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記積分球の壁面は、第一開口と第二開口とが設けられた第一壁面と、前記検出器が配置された第二壁面とに分離されて形成されており、
前記第一壁面に対して前記第二壁面を移動することが可能となっていることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記積分球の壁面は、第一開口と第二開口とが設けられた第一壁面と、前記検出器が配置された第二壁面と、複数の第三壁面とに分離されて形成されており、
複数の第三壁面から選択された1個の第三壁面と前記第二壁面との位置を交換することが可能となっていることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
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---|---|---|---|---|
CN107388994A (zh) * | 2017-06-14 | 2017-11-24 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种测量多晶硅粗糙度的方法及装置 |
CN111239066A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-05 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 一种光学测试*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301565A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-11-14 | Ricoh Co Ltd | 光学測定装置 |
JP2002048713A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 光学測定装置 |
JP2004117015A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Canon Inc | 透過率測定装置 |
JP2010261847A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 電子表示媒体評価システム |
CN102565005A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-11 | 株式会社堀场制作所 | 光学测量装置和光学测量方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301565A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-11-14 | Ricoh Co Ltd | 光学測定装置 |
JP2002048713A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 光学測定装置 |
JP2004117015A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Canon Inc | 透過率測定装置 |
JP2010261847A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 電子表示媒体評価システム |
CN102565005A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-11 | 株式会社堀场制作所 | 光学测量装置和光学测量方法 |
JP2012132861A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | Horiba Ltd | 光学測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107388994A (zh) * | 2017-06-14 | 2017-11-24 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种测量多晶硅粗糙度的方法及装置 |
CN111239066A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-05 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 一种光学测试*** |
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