JP2014135393A - 有機材料塗布装置およびその装置を用いた有機材料塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この有機材料塗布装置は、一面(12a)に基板(20)が載置される、加熱可能なステージ(12)と、吐出口(13a)がステージの一面に対向して移動自在に配置され、基板の表面に有機材料を塗布するノズル(13)と、ステージおよびノズルを格納するチャンバ(11)と、を有する。
そして、不活性気体をステージの一面に噴きつける供給部(14)と、チャンバ内の気体をチャンバ外へ排気する排気部(15)と、を備える。供給部のうち、チャンバ内に開口する開口部(14c)は、ステージの一面と同一高さに配置され、排気部のうち、チャンバ内に開口する開口部(15b)は、ステージの一面よりも高い位置に配置される。
【選択図】図1
Description
最初に、図1および図2を参照して、本実施形態に係る有機材料塗布装置10の概略構成について説明する。なお、図1における太線矢印は気体に流れを示している。
本実施形態における有機材料塗布装置10は、第1実施形態に対して、チャンバ11が冷却機構を有する。本実施形態における冷却機構は、例えば水冷式を採用することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
11・・・チャンバ
12・・・ステージ
13・・・ノズル
14・・・供給部
15・・・排気部
16・・・ガス精製装置
17・・・真空ポンプ
18・・・ガス供給源
20・・・基板
Claims (4)
- 一面(12a)に基板(20)が載置され、ヒータにより加熱可能なステージ(12)と、
吐出口(13a)が前記ステージの一面に対向して移動自在に配置され、前記基板の表面に前記有機材料を塗布するノズル(13)と、
前記ステージおよび前記ノズルを格納するチャンバ(11)と、を有する有機材料塗布装置であって、
不活性気体を前記ステージの一面に噴きつける供給部(14)と、
前記チャンバ内の気体を前記チャンバ外へ排気する排気部(15)と、を備え、
前記供給部のうち、前記チャンバ内に開口する開口部(14c)は、前記ステージの一面と同一高さに配置され、
前記排気部のうち、前記チャンバ内に開口する開口部(15b)は、前記ステージの一面よりも高い位置に配置されることを特徴とする有機材料塗布装置。 - 前記チャンバは、該チャンバおよび該チャンバ内を冷却する冷却機構(50)を備えることを特徴とする請求項1に記載の有機材料塗布装置。
- ガス精製装置(16)を有し、
該ガス精製装置は、前記チャンバ内の気体を吸引し、前記ガス精製装置の内部において不純物を吸着して除去することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機材料塗布装置。 - 請求項3に記載の有機材料塗布装置を用いた有機材料塗布方法であって、
前記ステージの一面に前記基板を配置する基板準備工程と、
前記ステージに設けられたヒータにより前記基板を所定の温度に昇温する基板加熱工程と、
前記基板の表面に前記有機材料を塗布する有機材料塗布工程と、を有し、
前記基板準備工程または前記基板加熱工程の少なくとも一の工程において、前記ガス精製装置により前記チャンバ内の不純物を除去するとともに、
前記有機材料塗布工程を実施する際には、前記ガス精製装置を停止することを特徴とする有機材料塗布方法。
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