JP2014127535A - 半導体モジュール、及び半導体モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、第一の半導体素子120と、前記第一の半導体素子よりも厚い第二の半導体素子110と、配線層130が設けられた絶縁基板140と、を有し、前記第一の半導体素子と前記配線層130とは銀粉を用いて焼結された第一の焼結層121を介して接合され、前記第二の半導体素子と前記配線層130とは、前記銀粉よりも体積収縮率の大きい焼結金属を用いて焼結された第二の焼結層111を介して接合される。
【選択図】図1
Description
以下、本発明について具体的に説明する。まず図5を用いて、簡単に本発明に係る半導体装置150について説明する。
図5(b)は図5(a)をA−A断面を表す図である。絶縁基板140の一方の面には配線層130(130a、130b、130c)が設けられており、他方の面には裏面配線層131が設けられている。裏面配線層131は銀ペーストや焼結金属で構成された接続層114を介して放熱板115と接続される。この放熱板は銅などの熱伝導性の良い部材で構成されている。
(1)銀粉
平均粒径が100nmより大きく10um以下の銀粒子を用いることが可能である。この粒子は凝集を防ぐために有機物の分散剤を被覆しておくことが好ましい。このような分散剤としてはアルキルカルボン酸、アルキルアミン、アルキルチオールがある。
(2)酸化銅粒子・酸化銀粒子
続いて、酸化物粒子の接合材料について説明する。当該酸化物粒子の接合材料では大きく分けて、金属前駆体粒子、有機物からなる還元剤、溶媒の3つを含んでいる。本発明では、金属前駆体粒子として平均粒径1nm〜50μm以下の金属酸化物粒子を用いる。この金属酸化物粒子の具体的な例としては、酸化銀粒子、酸化銅粒子(酸化銅第一、酸化銅第二)、が挙げられる。
超えて99質量部以下とすることが好ましい。これは接合材料中にける金属含有量が多い
方が低温での接合後に有機物残渣が少なくなり、低温での緻密な焼成層の達成及び接合界
面での金属結合の達成が可能となり、接合強度の向上さらには高放熱性,高耐熱性を有す
る接合層とすることが可能になるからである。
図3を用いて、本発明の接合方法について説明する。まず、図3(a)のように、酸化銀からなるペースト剤101、及び銀粉からなるペースト剤102を絶縁基板140上に設けられた配線層130に塗布する。このとき、マスクなどを用いてペースト剤を塗布することによって、それぞれのペースト剤の厚さをT3として均一にして塗布する。
第二の実施形態では図1(b)の接続層112が銀粉で作成されたものの替わりに、銀ナノ粒子等のナノ粒子材料を用いて接続層が形成されている点が第一の実施形態と異なる。具体的に用いるナノ粒子の材料は下記の通りである。
(3)銀ナノ粒子・銅ナノ粒子・金ナノ粒子
平均粒径が100nm以下の金属ナノ粒子を用いることが可能である。金属粒子を被覆する有機物としてはアルキルカルボン酸、アルキルアミン、アルキルチオールがある。
ドデシルアルコール、トリデシルアルコール、テトラデシルアルコール、ペンタデシルアルコール、ヘキサデシルアルコール、ヘプタデシルアルコール、オクタデシルアルコール、ノナデシルアルコール、イコシルアルコール、がある。また、ジエチレングリコール、
エチレングリコール、トリエチレングリコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのグリコール系を用いることができる。さらには1級アルコール型に限らず、2級アルコール型、3級アルコール型、及びアルカンジオール、環状型の構造を有するアルコール化合物を用いることが可能である。それ以外にも、テルピネオール、エチレングリコール、トリエチレングリコールを用いてより。これらの中でもグリコール系の溶媒を用いることが好ましい。これはグリコール系の溶媒は安価で、人体等に対する毒性も少ないからである。さらに、これらのアルコール系の溶媒は溶媒としてだけでなく、酸化銀に対する還元剤としても作用することが可能であるため、酸化銀粒子の量に対する還元剤として適度な量に調整して用いることができる。
第三の実施形態では図1(b)の接続層111が酸化銀を還元して得られた焼結銀で作成されたものの替わりに、酸化銅を還元して得られた焼結銅を用いて接続層が形成されている点が第一の実施形態と異なる。
111、121 焼結金属層
120 IGBT
130 配線層
140 絶縁基板
Claims (9)
- 第一の半導体素子と、
前記第一の半導体素子よりも厚い第二の半導体素子と、
配線層が設けられた絶縁基板と、を有する半導体装置において、
前記第一の半導体素子と前記配線層とは銀粉を用いて焼結された第一の焼結層を介して接合され、
前記第二の半導体素子と前記配線層とは、前記銀粉よりも体積収縮率の大きい焼結金属を用いて焼結された第二の焼結層を介して接合されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第二の焼結層は、酸化銀粒子、酸化銅粒子、銀ナノ粒子、銅ナノ粒子を焼結して得られた焼結層であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記第一の焼結層の空隙率は、前記第二の焼結層の空隙率よりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記第一の焼結層は、金属含有率90wt%以上99wt%以下の前記銀粉を含んだペーストを用いて焼結されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2または3に記載の半導体装置において、
前記第二の焼結層は、金属含有率90wt%以上99wt%以下である前記酸化銀粒子、前記酸化銅粒子、前記銀ナノ粒子、または前記銅ナノ粒子のいずれかを含んだペーストを用いて焼結されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第一の焼結層には金,銀,銅,白金,パラジウム,ロジウム,オスミウム,ルテニウム,イリジウム,鉄,錫,亜鉛,コバルト,ニッケル,クロム,チタン,タンタル,タングステン,インジウム,ケイ素,アルミニウムのいずれか1種類または少なくとも2種類以上の金属の合金からなる骨材を含むことを特徴とする半導体装置。 - 第一の半導体素子と、前記第一の半導体素子よりも厚い第二の半導体素子と、
配線層が設けられた絶縁基板と、を接合して半導体装置を製造する半導体装置の製造方法において、
前記配線層に第一の焼結金属ペースト及び前記第一のペーストよりも体積収縮率の大きい第二の焼結金属ペーストを塗布する第一の工程と、
前記第一の焼結金属ペーストの上に前記第一の半導体素子を搭載し、前記第二の焼結金属ペーストの上に前記第二の半導体素子を搭載する第二の工程と、
前記第二の半導体素子にのみ所定温度まで圧力及び熱を加える第三の工程と、
前記第一の半導体素子及び前記第二の半導体素子の両方に圧力及び熱を加えて前記配線層と接続させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第二の焼結金属ペーストは酸化銀または酸化銅のいずれかで構成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
前記所定の温度は、前記第二の焼結金属ペーストが還元される温度であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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