JP2014123020A - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動部と、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、反射面を有する反射板、前記反射板の前記反射面と反対側の裏面に設けられた支柱、を備え、前記可動部に前記支柱が固着された反射部と、を有し、前記反射部の前記反射面と反対側の面にリブが設けられている。
【選択図】図1
Description
まず、アクチュエーターの構成について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。光スキャナーは、可動部と、可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、反射面を有する反射板と反射板の反射面と反対側の面に設けられた支柱とを備え、可動部に支柱が固着された反射部と、を有し、反射板の反射面と反対側の面にリブが設けられたものである。図1は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示し、図1(a)は平面図であり、図1(b)は図1(a)におけるX−X断面図である。なお、図1(a)は反射部を透視した場合の平面図である。また、図2は反射部の平面図である。以下、具体的に説明する。
次に、第2実施形態にかかるアクチュエーターの構成について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。本実施形態の光スキャナーは、可動部と、可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、反射面を有する反射板と反射板の反射面と反対側の面に設けられた支柱とを備え、可動部に支柱が固着された反射部と、を有し、反射部の反射板と反対側の面にリブが設けられたことを備えたものである。さらに、本実施形態の光スキャナー1aは、第1軸部と接続され、かつ、可動部を取り囲む枠状の可動枠と、第1軸に交差する第2軸周りに可動枠を揺動可能に支持する第2軸部と、を含むものである。
次に、アクチュエーターの構成について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。光スキャナーは、可動部と、可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、反射面を有する反射板と反射板の反射面と反対側の面に設けられた支柱とを備え、可動部に支柱が固着された反射部と、を有し、反射板の反射部と反対側の面にリブが設けられたものである。図6は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示し、図6(a)は平面図であり、図6(b)は図6(a)におけるX−X断面図である。なお、図6(a)は反射部を透視した場合の平面図である。また、図7は反射部の平面図である。以下、具体的に説明する。なお、第1実施形態と同じ部材等には同じ符号を付している。
次に、第4実施形態にかかるアクチュエーターの構成について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。本実施形態の光スキャナーは、可動部と、可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、反射面を有する反射板と反射板の反射面と反対側の面に設けられた支柱とを備え、可動部に支柱が固着された反射部と、を有し、反射部の反射板と反対側の面にリブが設けられたことを備えたものである。さらに、本実施形態の光スキャナー1cでは、第1軸部と接続され、かつ、可動部を取り囲む枠状の可動枠と、第1軸に交差する第2軸周りに可動枠を揺動可能に支持する第2軸部と、を含むものである。
Claims (10)
- 可動部と、
前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
光を反射する反射面を有する反射板、前記反射板の前記反射面と反対側の面に設けられた支柱、を備え、前記可動部に前記支柱が固着された反射部と、を有し、
前記反射板の前記反射面と反対側の面にリブが設けられたことを備えたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記リブは、前記支柱を中心とする円形状であることを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記リブは、前記支柱を中心とする円弧を含む扇形状であることを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項2または請求項3に記載のアクチュエーターにおいて、
前記反射板は、平面視において円形状を有し、
前記リブは、前記反射板の前記反射面と反対側の面における前記支柱の中心から前記反射板の半径の1/2以内の領域に設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項4に記載のアクチュエーターにおいて、
前記反射板の半径の1/2以内の領域から前記反射板の外周部に向けて延在するリブをさらに設けたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記リブは、前記反射板の板厚方向からの平面視において前記第1軸に対して対称に設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第1軸部と接続され、かつ、前記可動部を取り囲む枠状の可動枠と、
前記第1軸に交差する第2軸周りに前記可動枠を揺動可能に支持する第2軸部と、を含むことを特徴とするアクチュエーター。 - 可動部と、
前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
光を反射する反射面を有する反射板、前記反射板の前記反射面と反対側の面に設けられた支柱、を備え、前記可動部に前記支柱が固着された反射部と、を有し、
前記反射部の前記反射面と反対側の面にリブが設けられたことを備えたことを特徴とする光スキャナー。 - 可動部と、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、光を反射する反射面を有する反射板および前記反射板の前記反射面と反対側の面に設けられた支柱を備え、前記可動部に前記支柱が固着された反射部と、を有し、前記反射板の前記反射面と反対側の面にリブが設けられたアクチュエーターと、
前記アクチュエーターに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする画像表示装置。 - 可動部と、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、光を反射する反射面を有する反射板および前記反射板の前記反射面と反対側の面に設けられた支柱を備え、前記可動部に前記支柱が固着された反射部と、を有し、前記反射板の前記反射面と反対側の面にリブが設けられたアクチュエーターと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012279066A JP2014123020A (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
US14/132,495 US20140177020A1 (en) | 2012-12-21 | 2013-12-18 | Actuator, light scanner, image display device, and head mounted display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012279066A JP2014123020A (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014123020A true JP2014123020A (ja) | 2014-07-03 |
JP2014123020A5 JP2014123020A5 (ja) | 2016-01-28 |
Family
ID=50974326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012279066A Withdrawn JP2014123020A (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140177020A1 (ja) |
JP (1) | JP2014123020A (ja) |
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- 2012-12-21 JP JP2012279066A patent/JP2014123020A/ja not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-12-18 US US14/132,495 patent/US20140177020A1/en not_active Abandoned
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---|---|
US20140177020A1 (en) | 2014-06-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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