JP2014116735A - Signal processing circuit - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a reduction in an S/N ratio of an output signal due to a voltage conversion operation while keeping a circuit area small.SOLUTION: A cyclic A/D converter 2 includes an amplifier band limiting circuit 10 for executing a band limiting operation of limiting a band of an OP amplifier 11. The band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is controlled by a control circuit 9. The control circuit 9 executes a C/V conversion operation while executing the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10, and executes an amplification operation and an A/D conversion operation while stopping the band limiting operation.

Description

本発明は、複数の信号処理を時分割で切り替えて実行する信号処理回路に関する。   The present invention relates to a signal processing circuit that executes a plurality of signal processing by switching in a time division manner.

加速度センサ、圧力センサ、排ガスセンサなどの車両用センサは、検出対象となる物理量の変化に応じた電気信号を出力する。これらセンサは、電圧出力式、容量検出式、電流出力式などがある。一方、車両用のマイクロコンピュータ(マイコン)などに搭載されているA/D変換器は、入力された電圧をA/D変換する。このため、センサの出力信号が電圧以外の場合には、C/V変換機能あるいはI/V変換機能を持つ専用回路、その出力を増幅する増幅回路などをA/D変換器の前段に設け、信号処理を行う必要がある。   Vehicle sensors such as an acceleration sensor, a pressure sensor, and an exhaust gas sensor output an electrical signal corresponding to a change in a physical quantity to be detected. These sensors include a voltage output type, a capacity detection type, and a current output type. On the other hand, an A / D converter mounted on a vehicle microcomputer (microcomputer) or the like performs A / D conversion on the input voltage. For this reason, when the output signal of the sensor is other than a voltage, a dedicated circuit having a C / V conversion function or an I / V conversion function, an amplifier circuit for amplifying the output, etc. are provided in the front stage of the A / D converter, Signal processing needs to be performed.

A/D変換器とは別にC/V変換器、増幅器などを設けると、その分だけ回路面積および消費電力が増加する。このような問題を解消するため、電圧以外の信号を電圧へ変換する電圧変換(C/V変換、I/V変換)、増幅およびA/D変換の各信号処理を時分割で切り替えて実行する信号処理回路が考案されている(例えば、特許文献1参照)。   If a C / V converter, an amplifier, etc. are provided separately from the A / D converter, the circuit area and power consumption increase accordingly. In order to solve such a problem, each signal processing of voltage conversion (C / V conversion, I / V conversion), amplification and A / D conversion for converting a signal other than a voltage into a voltage is switched in a time division manner and executed. A signal processing circuit has been devised (see, for example, Patent Document 1).

特開2011−205190号公報JP 2011-205190 A

特許文献1記載の構成のようにすれば、回路面積を小さく抑えることができるが、次のような点において改善の余地があった。すなわち、同一のアンプ(演算増幅器)を用いて上記各信号処理を実行する関係上、その使用するアンプの能力(周波数特性=帯域)としては、各信号処理のうち、要求される性能(精度、速度など)が最も高いものを満たす必要がある。   If the configuration described in Patent Document 1 is used, the circuit area can be reduced, but there is room for improvement in the following points. That is, on the relationship of executing each signal processing using the same amplifier (operational amplifier), the capability (frequency characteristic = bandwidth) of the amplifier to be used is required performance (accuracy, (Such as speed) must be met.

従って、例えばA/D変換の変換精度および変換速度の要求が厳しい(高性能が求められる)場合、それを満たすアンプを使用すると、電圧変換を行う際にアンプの帯域が必要以上に大きくなる。電圧変換の際にアンプの帯域が必要以上に大きいと、アンプ入力側のアナログスイッチ(特に変換動作中にオンされるもの)の熱ノイズ(MOSトランジスタのオン抵抗によるノイズなど)がアンプの出力側に伝達されてしまい、その結果、S/N比が低下する。   Therefore, for example, when the requirements for conversion accuracy and conversion speed of A / D conversion are severe (high performance is required), if an amplifier that satisfies the requirements is used, the bandwidth of the amplifier becomes larger than necessary when performing voltage conversion. If the bandwidth of the amplifier is larger than necessary during voltage conversion, thermal noise (such as noise due to the ON resistance of the MOS transistor) of the analog switch on the amplifier input side (especially one that is turned on during conversion operation) will be output from the amplifier. As a result, the S / N ratio decreases.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、回路面積を小さく抑えつつ、電圧変換動作による出力信号のS/N比の低下を抑制することができる信号処理回路を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a signal processing circuit capable of suppressing a decrease in the S / N ratio of an output signal due to a voltage conversion operation while suppressing a circuit area to be small. There is.

請求項1に記載の信号処理回路は、A/D変換回路、残余電圧生成回路、入力回路、入力切替回路、制御回路および帯域制限手段を備えている。残余電圧生成回路は、A/D変換回路の入力電圧と所定のアナログ電圧との差電圧を増幅した残余電圧を生成するものであって、アレイコンデンサ、演算増幅器および積分コンデンサを備える。入力回路は、残余電圧生成回路から出力される電圧をA/D変換回路および残余電圧生成回路に入力する。入力切替回路は、外部信号電荷を残余電圧生成回路の演算増幅器の入力端子に入力するか否かを切り替える。   The signal processing circuit according to claim 1 includes an A / D conversion circuit, a residual voltage generation circuit, an input circuit, an input switching circuit, a control circuit, and a band limiting unit. The residual voltage generation circuit generates a residual voltage obtained by amplifying a difference voltage between the input voltage of the A / D conversion circuit and a predetermined analog voltage, and includes an array capacitor, an operational amplifier, and an integration capacitor. The input circuit inputs the voltage output from the residual voltage generation circuit to the A / D conversion circuit and the residual voltage generation circuit. The input switching circuit switches whether or not the external signal charge is input to the input terminal of the operational amplifier of the residual voltage generating circuit.

制御回路は、外部信号電荷を入力切替回路を介して残余電圧生成回路に入力し、その残余電圧生成回路から外部信号電荷に応じた電圧を出力させる電圧変換動作を実行する。その後、制御回路は、残余電圧生成回路におけるアナログ電圧をA/D変換回路から出力されるデジタル変換値のD/A変換値とした上で、外部信号電荷の変換電圧を入力回路、A/D変換回路および残余電圧生成回路通して巡回させることによりA/D変換するA/D変換動作を実行する。   The control circuit inputs an external signal charge to the residual voltage generation circuit via the input switching circuit, and executes a voltage conversion operation for outputting a voltage corresponding to the external signal charge from the residual voltage generation circuit. Thereafter, the control circuit sets the analog voltage in the residual voltage generation circuit as the D / A conversion value of the digital conversion value output from the A / D conversion circuit, and then converts the conversion voltage of the external signal charge into the input circuit, A / D An A / D conversion operation for A / D conversion is performed by circulating through the conversion circuit and the residual voltage generation circuit.

このような構成によれば、A/D変換動作に先立って、巡回型のA/D変換器が本来備えている残余電圧生成回路の構成を用いてA/D変換の対象である外部信号電荷を電圧に変換する電圧変換動作を行う。このように外部信号電荷を電圧に変換した後、動作制御部は、残余電圧生成回路において、A/D変換回路から出力されるデジタル変換値をD/A変換してアナログ電圧を生成するようにし、外部信号電荷の変換電圧を入力回路、A/D変換回路および残余電圧生成回路を通して巡回させることによりA/D変換するA/D変換動作を実行する。この外部信号電荷としては、静電容量式センサの出力信号(電荷)や、電流出力式センサの出力信号(電流=単位時間あたりの電荷の移動量)などを想定している。このようにすれば、A/D変換器の前段に変換回路を付加する必要がなくなり、回路構成を縮小でき、ICのチップサイズを低減できる。   According to such a configuration, prior to the A / D conversion operation, the external signal charge that is the target of A / D conversion using the configuration of the residual voltage generation circuit originally provided in the cyclic A / D converter. A voltage conversion operation for converting the voltage into a voltage is performed. After converting the external signal charge into a voltage in this way, the operation control unit D / A converts the digital conversion value output from the A / D conversion circuit in the residual voltage generation circuit to generate an analog voltage. Then, an A / D conversion operation for A / D conversion is performed by circulating the conversion voltage of the external signal charge through the input circuit, the A / D conversion circuit, and the residual voltage generation circuit. As the external signal charge, an output signal (charge) of a capacitance sensor, an output signal of a current output sensor (current = amount of charge movement per unit time), and the like are assumed. In this way, it is not necessary to add a conversion circuit before the A / D converter, the circuit configuration can be reduced, and the chip size of the IC can be reduced.

また、請求項1に記載の信号処理回路は、演算増幅器の帯域を制限する帯域制限動作を実行する帯域制限手段を備えている。そして、制御回路は、帯域制限手段による帯域制限動作を実行した状態で電圧変換動作を実行するとともに、上記帯域制限動作を停止した状態でA/D変換動作を実行する。そのため、例えばA/D変換の変換精度および変換速度の要求が厳しく、それを満たす演算増幅器を使用した場合であっても、電圧変換動作が行われる際に演算増幅器の帯域が必要以上に大きくなることがなくなる。従って、電圧変換動作の際に演算増幅器の入力側のアナログスイッチの熱ノイズがアンプの出力側に伝達され難くなり、その結果、S/N比の低下が抑制される。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a signal processing circuit comprising band limiting means for performing a band limiting operation for limiting a band of the operational amplifier. The control circuit executes the voltage conversion operation in a state where the band limiting operation by the band limiting unit is executed, and executes the A / D conversion operation in a state where the band limiting operation is stopped. For this reason, for example, the requirements for conversion accuracy and conversion speed of A / D conversion are severe, and even when an operational amplifier that satisfies the requirements is used, the band of the operational amplifier becomes larger than necessary when the voltage conversion operation is performed. Nothing will happen. Therefore, thermal noise of the analog switch on the input side of the operational amplifier is hardly transmitted to the output side of the amplifier during the voltage conversion operation, and as a result, a decrease in the S / N ratio is suppressed.

本発明の第1の実施形態を示す巡回型A/D変換器の構成図The block diagram of the cyclic | annular A / D converter which shows the 1st Embodiment of this invention 1.5ビットA/D変換回路の構成図Configuration diagram of 1.5-bit A / D converter circuit 動作タイミングを示す図Diagram showing operation timing C/V変換動作に係るA/D変換器の構成を示す図The figure which shows the structure of the A / D converter which concerns on C / V conversion operation | movement. 帯域制限手段の具体的な構成を示す図1相当図FIG. 1 equivalent diagram showing a specific configuration of the band limiting means 図3相当図3 equivalent diagram 本発明の第2の実施形態を示す図5相当図FIG. 5 equivalent view showing the second embodiment of the present invention 図6相当図6 equivalent diagram 本発明の第3の実施形態を示す図5相当図FIG. 5 equivalent view showing the third embodiment of the present invention 図6相当図6 equivalent diagram 本発明の第4の実施形態を示す図6相当図FIG. 6 equivalent view showing the fourth embodiment of the present invention 本発明の第5の実施形態を示す図5相当図FIG. 5 equivalent view showing the fifth embodiment of the present invention 図4相当図4 equivalent diagram 本発明の第6の実施形態を示す図1相当図FIG. 1 equivalent view showing a sixth embodiment of the present invention 図3相当図3 equivalent diagram 図4相当図4 equivalent diagram 本発明の第7の実施形態を示す図2相当図FIG. 2 equivalent diagram showing a seventh embodiment of the present invention 図6相当図6 equivalent diagram

以下、本発明の複数の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各実施形態において実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態について図1〜図6を参照しながら説明する。
図1は、車載用制御ICに用いられる容量式加速度センサおよびそのセンサ出力をA/D変換する巡回型A/D変換器の構成を示している。容量式加速度センサのセンサエレメント1は、コンデンサCE1、CE2を備えている。コンデンサCE1、CE2の静電容量は、加速度が加わらない状態において何れもCEとなっている。コンデンサCE1、CE2は、加速度が加わると、その加速度に応じて相補的に静電容量が変化する。例えば、所定の加速度が加わったことにより、コンデンサCE1の静電容量がΔC/2だけ増加すると(+ΔC/2)、コンデンサCE2の静電容量がΔC/2だけ減少する(−ΔC/2)。コンデンサCE1、CE2の一方の端子はそれぞれ端子FE1、FE2に接続されている。端子FE1、FE2には、駆動電圧Vsp、Vsmが交互に印加される。コンデンサCE1、CE2の他方の端子(相互接続点)は、巡回型A/D変換器2(信号処理回路に相当)の信号入力端子3に接続されている。
Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each embodiment, substantially the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows the configuration of a capacitive acceleration sensor used in a vehicle-mounted control IC and a cyclic A / D converter for A / D converting the sensor output. The sensor element 1 of the capacitive acceleration sensor includes capacitors CE1 and CE2. The capacitances of the capacitors CE1 and CE2 are both CE when no acceleration is applied. When acceleration is applied to the capacitors CE1 and CE2, the capacitances complementarily change according to the acceleration. For example, when a predetermined acceleration is applied and the capacitance of the capacitor CE1 increases by ΔC / 2 (+ ΔC / 2), the capacitance of the capacitor CE2 decreases by ΔC / 2 (−ΔC / 2). One terminals of the capacitors CE1 and CE2 are connected to the terminals FE1 and FE2, respectively. Driving voltages Vsp and Vsm are alternately applied to the terminals FE1 and FE2. The other terminals (interconnection points) of the capacitors CE1 and CE2 are connected to a signal input terminal 3 of a cyclic A / D converter 2 (corresponding to a signal processing circuit).

巡回型A/D変換器2(信号処理回路に相当)は、コンデンサCE1、CE2の静電容量の変化を電圧に変換する(検出する)C/V変換器としての機能を有している。巡回型A/D変換器2は、信号入力端子3に入力される信号電荷Sin(外部信号電荷に相当)をC/V変換した上で増幅し、その増幅した電圧をA/D変換してNビットのA/D変換コードを出力する。また、巡回型A/D変換器2は、信号入力端子4に入力された信号電圧Vinを増幅し、その増幅した電圧をA/D変換してNビットのA/D変換コードを出力することも可能となっている。巡回型A/D変換器2は、入力信号の種類(センサの出力形式)に応じて上記各動作を選択的に切替可能に構成されている。すなわち、巡回型A/D変換器2は、入力信号が電圧である場合および電荷である場合の何れにおいても、その入力信号をA/D変換することが可能となっている。巡回型A/D変換器2から出力されるA/D変換コードは、後段のデジタル信号処理回路5に与えられる。デジタル信号処理回路5は、入力されたA/D変換コードを用いて所定の信号処理を行い、その結果を示すデータを出力する。   The cyclic A / D converter 2 (corresponding to a signal processing circuit) has a function as a C / V converter that converts (detects) changes in the capacitances of the capacitors CE1 and CE2 into voltages. The cyclic A / D converter 2 C / V converts and amplifies the signal charge Sin (corresponding to the external signal charge) input to the signal input terminal 3, and A / D converts the amplified voltage. An N-bit A / D conversion code is output. The cyclic A / D converter 2 amplifies the signal voltage Vin input to the signal input terminal 4, A / D converts the amplified voltage, and outputs an N-bit A / D conversion code. Is also possible. The cyclic A / D converter 2 is configured to be able to selectively switch the above operations according to the type of input signal (sensor output format). That is, the cyclic A / D converter 2 can A / D convert the input signal regardless of whether the input signal is a voltage or a charge. The A / D conversion code output from the cyclic A / D converter 2 is given to the digital signal processing circuit 5 at the subsequent stage. The digital signal processing circuit 5 performs predetermined signal processing using the input A / D conversion code, and outputs data indicating the result.

巡回型A/D変換器2は、切替回路6、マルチプライングD/A変換器7、A/D変換回路8、制御回路9、コンデンサCG、スイッチS1〜S3およびアンプ帯域制限回路10を備えている。切替回路6(入力回路に相当)は、信号入力端子4に入力される信号電圧VinおよびマルチプライングD/A変換器7の出力電圧のうち何れか一方を選択してA/D変換回路8およびマルチプライングD/A変換器7に入力するようになっている。なお、図1に示すように、入力信号が電荷である場合(電圧以外である場合)、切替回路6は、マルチプライングD/A変換器7の出力電圧を選択した状態に固定される。   The cyclic A / D converter 2 includes a switching circuit 6, a multiplying D / A converter 7, an A / D conversion circuit 8, a control circuit 9, a capacitor CG, switches S1 to S3, and an amplifier band limiting circuit 10. ing. The switching circuit 6 (corresponding to the input circuit) selects either the signal voltage Vin input to the signal input terminal 4 or the output voltage of the multiplying D / A converter 7 to select the A / D conversion circuit 8 And it is input to the multiplying D / A converter 7. As shown in FIG. 1, when the input signal is an electric charge (when it is other than a voltage), the switching circuit 6 is fixed to a state in which the output voltage of the multiplying D / A converter 7 is selected.

マルチプライングD/A変換器7(残余電圧生成回路に相当)は、A/D変換回路8の入力電圧と、制御回路9から出力されるデジタル値をD/A変換して得たアナログ電圧との差電圧を増幅した電圧(増幅電圧または残余電圧)を生成するものである。マルチプライングD/A変換器7は、上記生成した電圧をサンプルホールドしてから出力する。   The multiplying D / A converter 7 (corresponding to the residual voltage generation circuit) is an analog voltage obtained by D / A converting the input voltage of the A / D conversion circuit 8 and the digital value output from the control circuit 9. A voltage (amplified voltage or residual voltage) obtained by amplifying the difference voltage is generated. The multiplying D / A converter 7 samples and holds the generated voltage and then outputs it.

マルチプライングD/A変換器7は、OPアンプ11(演算増幅器に相当)、コンデンサアレイ回路12、コンデンサCFおよびスイッチS10〜S16を備えている。コンデンサアレイ回路12は、互いに等しい静電容量CSを有する2つのアレイコンデンサCS10、CS11により構成されている。コンデンサCS10、CS11の下部電極(共通側電極)はそれぞれコモンライン13に接続され、上部電極(非共通側電極)はそれぞれスイッチS10、S11を介して複数の基準電圧線(Vrefp(5V)、Vrefm(0V)の各電圧線)および切替回路6の共通接点うちの何れかに接続されるようになっている。   The multiplying D / A converter 7 includes an OP amplifier 11 (corresponding to an operational amplifier), a capacitor array circuit 12, a capacitor CF, and switches S10 to S16. The capacitor array circuit 12 includes two array capacitors CS10 and CS11 having the same capacitance CS. The lower electrodes (common side electrodes) of the capacitors CS10 and CS11 are respectively connected to the common line 13, and the upper electrodes (non-common side electrodes) are respectively connected to a plurality of reference voltage lines (Vrefp (5V), Vrefm) via the switches S10 and S11. (Each voltage line of (0V)) and one of the common contacts of the switching circuit 6 is connected.

コモンライン13は、スイッチS12(スイッチ回路に相当)を介してOPアンプ11の反転入力端子に接続されるとともに、スイッチS13を介してグランド(所定の電圧線)に接続されている。また、OPアンプ11の反転入力端子と出力端子との間にはスイッチS14が接続されており、切替回路6とOPアンプ11の反転入力端子との間には、コンデンサCFおよびスイッチS15が直列に接続されている。コンデンサCFおよびスイッチS15の相互接続点は、スイッチS16を介してグランドに接続されている。OPアンプ11の非反転入力端子はグランドに接続されている。コンデンサCFは、コンデンサCS10、CS11の2倍の静電容量(2・CS)を有している。コンデンサCF(第2の積分コンデンサに相当)は、スイッチS14がオフ、スイッチS15がオン、切替回路6がマルチプライングD/A変換器7側に切り替えられた状態でOPアンプ11の入出力端子間に接続される。   The common line 13 is connected to the inverting input terminal of the OP amplifier 11 via a switch S12 (corresponding to a switch circuit), and is connected to the ground (predetermined voltage line) via the switch S13. A switch S14 is connected between the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11, and a capacitor CF and a switch S15 are connected in series between the switching circuit 6 and the inverting input terminal of the OP amplifier 11. It is connected. The interconnection point between the capacitor CF and the switch S15 is connected to the ground via the switch S16. The non-inverting input terminal of the OP amplifier 11 is connected to the ground. The capacitor CF has a capacitance (2 · CS) that is twice that of the capacitors CS10 and CS11. The capacitor CF (corresponding to the second integrating capacitor) is an input / output terminal of the OP amplifier 11 in a state where the switch S14 is off, the switch S15 is on, and the switching circuit 6 is switched to the multiplying D / A converter 7 side. Connected between.

信号入力端子3とOPアンプ11の反転入力端子との間には、スイッチS1(入力切替回路に相当)が接続されている。OPアンプ11の反転入力端子と出力端子との間には、スイッチS2およびS3が直列に接続されている。スイッチS3の両端子間には、コンデンサCG(第1の積分コンデンサに相当)が接続されている。コンデンサCGの静電容量は、所望するC/V変換のゲインに応じた値に設定すればよい。   A switch S1 (corresponding to an input switching circuit) is connected between the signal input terminal 3 and the inverting input terminal of the OP amplifier 11. Switches S2 and S3 are connected in series between the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11. A capacitor CG (corresponding to a first integration capacitor) is connected between both terminals of the switch S3. The capacitance of the capacitor CG may be set to a value corresponding to the desired C / V conversion gain.

アンプ帯域制限回路10(帯域制限手段に相当)は、OPアンプ11の帯域を制限する(周波数特性を低下させる)帯域制限動作を実行可能に構成されている。アンプ帯域制限回路10の動作は、制御回路9により制御される。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作は、制御回路9により実行または停止される。なお、本実施形態において、各スイッチS1〜S16は、何れもアナログスイッチにより構成されている。それらスイッチS1〜S16の切り替えおよび開閉(オン/オフ)は、制御回路9により制御される。   The amplifier band limiting circuit 10 (corresponding to band limiting means) is configured to be able to execute a band limiting operation that limits the band of the OP amplifier 11 (decreases the frequency characteristics). The operation of the amplifier band limiting circuit 10 is controlled by the control circuit 9. That is, the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is executed or stopped by the control circuit 9. In the present embodiment, each of the switches S1 to S16 is configured by an analog switch. Switching and opening / closing (ON / OFF) of these switches S1 to S16 are controlled by the control circuit 9.

続いて、A/D変換回路8の具体的な構成について説明する。図2に示すように、A/D変換回路8は、Vrefp(5V)およびVrefm(0V)を基準電圧とし、M=1.5ビットつまり3値のデジタル変換値0、1、2(=00、01、10)を出力するようになっている。   Next, a specific configuration of the A / D conversion circuit 8 will be described. As shown in FIG. 2, the A / D conversion circuit 8 uses Vrefp (5 V) and Vrefm (0 V) as reference voltages, and M = 1.5 bits, that is, ternary digital conversion values 0, 1, 2 (= 00). , 01, 10) are output.

具体的には、基準電圧VrefpおよびVrefmの差電圧を抵抗R0、R1、R2で分圧し、抵抗R0とR1、抵抗R1とR2の各接続点は、それぞれコンパレータCMP1、CMP2の非反転入力端子に接続されている。コンパレータCMP1、CMP2の反転入力端子には、切替回路6を介して電圧が入力されている。ここで、抵抗R0、R1、R2の抵抗値としては、抵抗R1を所定の抵抗値R[Ω]としたときに、抵抗R0とR2を1.5R[Ω]となるように設定している。   Specifically, the differential voltage between the reference voltages Vrefp and Vrefm is divided by resistors R0, R1, and R2, and the connection points of the resistors R0 and R1, and the resistors R1 and R2 are connected to the non-inverting input terminals of the comparators CMP1 and CMP2, respectively. It is connected. A voltage is input to the inverting input terminals of the comparators CMP1 and CMP2 via the switching circuit 6. Here, the resistance values of the resistors R0, R1, and R2 are set so that the resistors R0 and R2 become 1.5 R [Ω] when the resistor R1 is set to a predetermined resistance value R [Ω]. .

コンパレータCMP1、CMP2から出力されるハイレベルまたはロウレベルを有する出力信号はラッチ回路14に入力される。ラッチ回路14は、ラッチ信号がハイレベルになると、その時のコンパレータCMP1、CMP2の出力信号を保持して、その保持した出力信号をエンコーダ15に出力する。エンコーダ15は、ラッチ回路14からの信号に基づいて3値のA/D変換コードを生成して出力する。   An output signal having a high level or a low level output from the comparators CMP1 and CMP2 is input to the latch circuit. When the latch signal becomes high level, the latch circuit 14 holds the output signals of the comparators CMP1 and CMP2 at that time and outputs the held output signals to the encoder 15. The encoder 15 generates and outputs a ternary A / D conversion code based on the signal from the latch circuit 14.

次に、巡回型A/D変換器2の動作タイミングを示す図3などを参照しながらその動作を説明する。以下の説明においては、動作タイミング図に示したマルチプライングD/A変換器7の機能を括弧付きで記載している。
巡回型A/D変換器2は、A/D変換を実行するために本来備えている切替回路6、マルチプライングD/A変換器7などを用いて信号電荷SinをC/V変換した上で増幅し、その後、A/D変換回路8も用いてA/D変換を実行する。制御回路9は、A/D変換回路8とスイッチS1〜S3およびスイッチS10〜S16を制御して、図3に示すように信号電荷SinのC/V変換を実行し、その後、C/V変換により得られた電圧(変換電圧)を1回巡回させて(マルチプライングD/A変換器7に2回通過させて)増幅動作を実行し、その後、その増幅電圧を9回巡回させて(A/D変換回路8にA/D変換を10回実行させて)10ビットのA/D変換動作を実行する。
Next, the operation of the cyclic A / D converter 2 will be described with reference to FIG. In the following description, the function of the multiplying D / A converter 7 shown in the operation timing diagram is described in parentheses.
The cyclic A / D converter 2 performs C / V conversion of the signal charge Sin using the switching circuit 6 and the multiplying D / A converter 7 which are originally provided for executing A / D conversion. After that, A / D conversion is executed using the A / D conversion circuit 8 as well. The control circuit 9 controls the A / D conversion circuit 8, the switches S1 to S3, and the switches S10 to S16 to perform C / V conversion of the signal charge Sin as shown in FIG. The voltage (conversion voltage) obtained by step 1 is circulated once (by passing through the multiplying D / A converter 7 twice) to execute an amplification operation, and then the amplified voltage is circulated nine times ( A 10-bit A / D conversion operation is executed by causing the A / D conversion circuit 8 to execute A / D conversion 10 times.

(1)C/V変換動作
制御回路9は、増幅動作およびA/D変換動作に先立ってC/V変換動作(電圧変換動作に相当)を実行する。すなわち、切替回路6をマルチプライングD/A変換器7側、スイッチS10、S11を切替回路6側に切り替え、スイッチS1、S2、S13、S14、S16をオン、スイッチS3、S12、S15をオフとし、コンデンサCG、CS10、CS11、CFの電荷を初期化する(sampling)。この電荷初期化動作は、C/V変換動作の「リセット」に相当する。図4(a)は、上記リセットの期間(リセット期間と称す)における巡回型A/D変換器2の構成のうち、C/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図4(a)および図3に示すように、リセット期間中、センサエレメント1の端子FE1には電圧Vspが印加され、端子FE2には電圧Vsmが印加されている。また、OPアンプ11の反転入力端子および出力端子は、スイッチS14を介して短絡されている。このため、リセット期間におけるOPアンプ11の反転入力端子の電荷Qrは、グランド電位(0V)をVcomとすると、下記(1)式により表される。
Qr=(CE+ΔC/2)(Vsp−Vcom)+(CE−ΔC/2)(Vsm−Vcom) …(1)
(1) C / V conversion operation The control circuit 9 performs a C / V conversion operation (corresponding to a voltage conversion operation) prior to the amplification operation and the A / D conversion operation. That is, the switching circuit 6 is switched to the multiplying D / A converter 7 side, the switches S10 and S11 are switched to the switching circuit 6 side, the switches S1, S2, S13, S14 and S16 are turned on, and the switches S3, S12 and S15 are turned off. The capacitors CG, CS10, CS11 and CF are initialized (sampling). This charge initialization operation corresponds to “reset” of the C / V conversion operation. FIG. 4A schematically shows a configuration related to the C / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 2 in the reset period (referred to as a reset period). As shown in FIGS. 4A and 3, during the reset period, the voltage Vsp is applied to the terminal FE1 of the sensor element 1, and the voltage Vsm is applied to the terminal FE2. Further, the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11 are short-circuited via the switch S14. For this reason, the charge Qr of the inverting input terminal of the OP amplifier 11 during the reset period is expressed by the following equation (1), where Vcom is the ground potential (0 V).
Qr = (CE + ΔC / 2) (Vsp−Vcom) + (CE−ΔC / 2) (Vsm−Vcom) (1)

また、制御回路9は、上記リセット期間中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態で、C/V変換動作の「リセット」が行われる。   Further, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the reset period. That is, “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped.

続いて、スイッチS14をオフとし、コンデンサCFに信号電荷Sinで電荷設定する(Sampling)。この電荷設定動作は、C/V変換動作の「変換」に相当する。図4(b)は、上記変換の期間(変換期間と称す)における巡回型A/D変換器2の構成のうち、C/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図4(b)および図3に示すように、変換期間中、センサエレメント1の端子FE1には電圧Vsmが印加され、端子FE2には電圧Vspが印加されている。また、OPアンプ11の反転入力端子および出力端子の間には、コンデンサCGが接続されている。このため、変換期間におけるOPアンプ11の反転入力端子の電荷Qcは、C/V変換後のOPアンプ11の出力電圧をVoとすると、下記(2)式により表される。
Qc=(CE+ΔC/2)(Vsm−Vcom)+(CE−ΔC/2)(Vsp−Vcom)+CG(Vo−Vcom)…(2)
Subsequently, the switch S14 is turned off, and the capacitor CF is set with a signal charge Sin (Sampling). This charge setting operation corresponds to “conversion” of the C / V conversion operation. FIG. 4B schematically shows a configuration related to the C / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 2 in the conversion period (referred to as a conversion period). As shown in FIGS. 4B and 3, during the conversion period, the voltage Vsm is applied to the terminal FE1 of the sensor element 1, and the voltage Vsp is applied to the terminal FE2. A capacitor CG is connected between the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11. For this reason, the charge Qc of the inverting input terminal of the OP amplifier 11 in the conversion period is expressed by the following equation (2), where Vo is the output voltage of the OP amplifier 11 after C / V conversion.
Qc = (CE + ΔC / 2) (Vsm−Vcom) + (CE−ΔC / 2) (Vsp−Vcom) + CG (Vo−Vcom) (2)

上記各期間における電荷Qr、Qcは、電荷保存則により、下記(3)式のように等しくなる。
Qr=Qc …(3)
上記(1)〜(3)式により、C/V変換後の出力電圧Voは、下記(4)式により表される。
Vo=(ΔC/CG)(Vsp−Vsm)+Vcom …(4)
The charges Qr and Qc in each of the above periods are equal to each other according to the following equation (3) according to the charge conservation law.
Qr = Qc (3)
From the above equations (1) to (3), the output voltage Vo after C / V conversion is represented by the following equation (4).
Vo = (ΔC / CG) (Vsp−Vsm) + Vcom (4)

すなわち、出力電圧Voは、Vcomのオフセット電圧を有するとともに、コンデンサCE1、CE2の静電容量の変化ΔCを(1/CG)(Vsp−Vsm)というゲインで増幅したものに相当する。また、このとき、上記出力電圧Voにより、コンデンサCFとCS10、CS11に電荷設定がなされる(sampling)。   That is, the output voltage Vo has an offset voltage of Vcom and corresponds to a value obtained by amplifying the capacitance change ΔC of the capacitors CE1 and CE2 with a gain of (1 / CG) (Vsp−Vsm). At this time, charges are set in the capacitors CF and CS10 and CS11 by the output voltage Vo (sampling).

また、制御回路9は、上記変換期間中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を実行する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が実行された状態で、C/V変換動作の「変換」が行われる。   In addition, the control circuit 9 performs a band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the conversion period. That is, the “conversion” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is executed.

(2)増幅動作
制御回路9は、C/V変換動作に続いて増幅動作を実行する。すなわち、スイッチS1、S2、S13、S16をオフとした後、スイッチS10、S11をVrefm側に切り替え、スイッチS3、S12、S15をオンとし、マルチプライングD/A変換器7を増幅動作させる(Amp(1))。
(2) Amplification operation The control circuit 9 performs an amplification operation following the C / V conversion operation. That is, after the switches S1, S2, S13, and S16 are turned off, the switches S10 and S11 are switched to the Vrefm side, the switches S3, S12, and S15 are turned on, and the multiplying D / A converter 7 is amplified ( Amp (1)).

これにより、コンデンサCFがOPアンプ11の入出力端子間に接続され、コンデンサCF、CS10、CS11の間で電荷再分配が行われる。OPアンプ11の出力電圧をVoとすれば、Vrefmが0Vに設定されているとして電荷再分配に係る式は下記(5)式のようになり、増幅された出力電圧Voは(6)式のようになる。つまり、C/V変換後の電圧をマルチプライングD/A変換器7に1回通過させることにより2倍の増幅率が得られる。
(CF+2・CS)(Vin−0)=2・CS(0−0)+CF(Vo−0) …(5)
Vo=(CF+2・CS)/CF・Vin=2・Vin …(6)
Thereby, the capacitor CF is connected between the input and output terminals of the OP amplifier 11, and charge redistribution is performed among the capacitors CF, CS10, and CS11. Assuming that the output voltage of the OP amplifier 11 is Vo, assuming that Vrefm is set to 0V, the expression relating to charge redistribution is as shown in the following expression (5), and the amplified output voltage Vo is expressed by the following expression (6). It becomes like this. That is, by passing the voltage after C / V conversion through the multiplying D / A converter 7 once, a double amplification factor can be obtained.
(CF + 2 ・ CS) (Vin−0) = 2 ・ CS (0−0) + CF (Vo−0) (5)
Vo = (CF + 2 · CS) / CF · Vin = 2 · Vin (6)

本実施形態ではより高い増幅率を得るために、制御回路9は、スイッチS12をオフして増幅電圧をホールドし、その増幅電圧を切替回路6を介してマルチプライングD/A変換器7に巡回させ、マルチプライングD/A変換器7に2回目の増幅動作を行わせる。すなわち、スイッチS10、S11を切替回路6側に切り替え、スイッチS13をオンしてコンデンサCS10、CS11に電荷を設定する(Sampling)。その後、スイッチS13をオフとした後、スイッチS10、S11をVrefm側に切り替え、スイッチS12をオンとし、電荷を再分配する(Amp(2))。増幅動作は、スイッチS12をオフして増幅電圧をホールドした時点で終了する。   In this embodiment, in order to obtain a higher amplification factor, the control circuit 9 turns off the switch S12 to hold the amplified voltage, and the amplified voltage is supplied to the multiplying D / A converter 7 via the switching circuit 6. The second amplification operation is performed by the multiplying D / A converter 7. That is, the switches S10 and S11 are switched to the switching circuit 6 side, the switch S13 is turned on, and charges are set in the capacitors CS10 and CS11 (Sampling). Thereafter, after the switch S13 is turned off, the switches S10 and S11 are switched to the Vrefm side, the switch S12 is turned on, and the charge is redistributed (Amp (2)). The amplification operation ends when the switch S12 is turned off and the amplified voltage is held.

また、制御回路9は、上記増幅動作中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態で、増幅動作が行われる。   Further, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the amplification operation. That is, the amplification operation is performed in a state where the band limitation operation by the amplifier band limitation circuit 10 is stopped.

(3)A/D変換動作
制御回路9は、A/D変換回路8のラッチ回路14に対しハイレベルのラッチ信号を出力する。そして、スイッチS10、S11を切替回路6側に切り替え、スイッチS13をオンしてコンデンサCS10、CS11に増幅電圧で電荷設定をする(Sampling)。電荷設定が完了すると、スイッチS13をオフし、その後スイッチS12をオンするとともにA/D変換回路8のA/D変換値に応じてスイッチS10、S11をVrefp側またはVrefm側に切り替えて電荷再分配を実行する(MD/A(1))。
(3) A / D Conversion Operation The control circuit 9 outputs a high level latch signal to the latch circuit 14 of the A / D conversion circuit 8. Then, the switches S10 and S11 are switched to the switching circuit 6 side, the switch S13 is turned on, and charges are set to the capacitors CS10 and CS11 with the amplified voltage (Sampling). When the charge setting is completed, the switch S13 is turned off, then the switch S12 is turned on, and the switches S10 and S11 are switched to the Vrefp side or the Vrefm side according to the A / D conversion value of the A / D conversion circuit 8 to redistribute the charge. Is executed (MD / A (1)).

制御回路9は、電荷再分配が完了すると、スイッチS12をオフして残余電圧をホールドし、その残余電圧をマルチプライングD/A変換器7に巡回させる。増幅電圧(残余電圧)をマルチプライングD/A変換器7に9(=K−1)回通過させることにより、A/D変換回路8は10(=K)回のA/D変換を実行し、制御回路9のシフト加算回路(図示せず)は、各A/D変換値を1ビットずつ重ねながら順次加算して最終的にN=10ビットのA/D変換コードを出力する。   When the charge redistribution is completed, the control circuit 9 turns off the switch S12 to hold the remaining voltage, and causes the multiplying D / A converter 7 to circulate the remaining voltage. By passing the amplified voltage (residual voltage) through the multiplying D / A converter 7 9 (= K−1) times, the A / D conversion circuit 8 performs 10 (= K) A / D conversions. Then, a shift addition circuit (not shown) of the control circuit 9 sequentially adds each A / D conversion value while superposing one bit at a time, and finally outputs an A / D conversion code of N = 10 bits.

また、制御回路9は、上記A/D変換動作中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態で、A/D変換動作が行われる。   The control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the A / D conversion operation. That is, the A / D conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped.

巡回型A/D変換器2は、容量式加速度センサのセンサエレメント1からの信号電荷Sinが入力される場合には上記動作となる。これに対し、出力信号として電圧を出力する形式の各種センサからの信号電圧Vinが入力される場合には、以下のとおりの動作となる。すなわち、巡回型A/D変換器2は、A/D変換を実行するために本来備えている切替回路6、マルチプライングD/A変換器7などを用いて信号電圧Vinを増幅し、その後、A/D変換回路8も用いてA/D変換を実行する。制御回路9は、A/D変換回路8とスイッチS1〜S3およびスイッチS10〜S16を制御して、信号電圧Vinを1回巡回させて(マルチプライングD/A変換器7に2回通過させて)増幅動作を実行し、その後、その増幅電圧を9回巡回させて(A/D変換回路8にA/D変換を10回実行させて)10ビットのA/D変換動作を実行する。   The cyclic A / D converter 2 operates as described above when the signal charge Sin from the sensor element 1 of the capacitive acceleration sensor is input. On the other hand, when the signal voltage Vin is input from various sensors that output voltage as an output signal, the following operation is performed. That is, the cyclic A / D converter 2 amplifies the signal voltage Vin using the switching circuit 6 and the multiplying D / A converter 7 that are originally provided for executing the A / D conversion, and thereafter The A / D conversion circuit 8 is also used to perform A / D conversion. The control circuit 9 controls the A / D conversion circuit 8, the switches S1 to S3, and the switches S10 to S16, and circulates the signal voltage Vin once (passes through the multiple D / A converter 7 twice). The amplification operation is performed, and then the amplified voltage is circulated nine times (the A / D conversion circuit 8 performs A / D conversion ten times) and the 10-bit A / D conversion operation is performed.

制御回路9は、A/D変換動作に先立って増幅動作を実行する。すなわち、切替回路6を信号入力端子4側(信号電圧Vin側)、スイッチS10、S11を切替回路6側に切り替え、スイッチS3、S13、S14、S15をオン、スイッチS1、S2、S12、S16をオフとし、コンデンサCFとCS10、CS11に信号電圧Vinで電荷設定をする(Sampling)。続いて、スイッチS13、S14をオフとした後、切替回路6をマルチプライングD/A変換器7側、スイッチS10、S11をVrefm側に切り替え、スイッチS12をオンとし、マルチプライングD/A変換器7を増幅動作させる(Amp(1))。増幅された出力電圧Voは上記(6)式のようになる。その後、前述した信号電荷Sinが入力される場合と同様に、マルチプライングD/A変換器7に2回目の増幅動作を行わせている(Amp(2))。また、その後のA/D変換動作も信号電荷Sinが入力される場合と同様であるため動作説明を省略する。   The control circuit 9 performs an amplification operation prior to the A / D conversion operation. That is, the switching circuit 6 is switched to the signal input terminal 4 side (signal voltage Vin side), the switches S10 and S11 are switched to the switching circuit 6 side, the switches S3, S13, S14 and S15 are turned on, and the switches S1, S2, S12 and S16 are switched on. The capacitor CF and CS10 and CS11 are set to charge with the signal voltage Vin (Sampling). Subsequently, after the switches S13 and S14 are turned off, the switching circuit 6 is switched to the multiplying D / A converter 7 side, the switches S10 and S11 are switched to the Vrefm side, the switch S12 is turned on, and the multiplying D / A The converter 7 is amplified (Amp (1)). The amplified output voltage Vo is expressed by the above equation (6). After that, as in the case where the signal charge Sin is input, the multiplying D / A converter 7 is caused to perform the second amplification operation (Amp (2)). Further, since the subsequent A / D conversion operation is the same as that when the signal charge Sin is input, the description of the operation is omitted.

続いて、アンプ帯域制限回路10の具体的な構成および動作について説明する。図5に示すように、アンプ帯域制限回路10は、コンデンサCL1(負荷コンデンサに相当)およびスイッチS17(帯域制限用スイッチに相当)を備えている。コンデンサCL1の一方の端子は、OPアンプ11の出力端子に接続されている。コンデンサCL1の他方の端子は、スイッチS17を介してグランド(低インピーダンスラインに相当)に接続されている。スイッチS17の開閉(オン/オフ)は、制御回路9により制御される。   Next, a specific configuration and operation of the amplifier band limiting circuit 10 will be described. As shown in FIG. 5, the amplifier band limiting circuit 10 includes a capacitor CL1 (corresponding to a load capacitor) and a switch S17 (corresponding to a band limiting switch). One terminal of the capacitor CL1 is connected to the output terminal of the OP amplifier 11. The other terminal of the capacitor CL1 is connected to the ground (corresponding to a low impedance line) via the switch S17. Opening / closing (ON / OFF) of the switch S17 is controlled by the control circuit 9.

このような構成によれば、スイッチS17がオフされた状態にあっては、OPアンプ11の出力端子にコンデンサCL1が接続されない状態となる。そのため、OPアンプ11の帯域は、制限されず、元々の仕様(能力)通りとなる。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態となる。一方、スイッチS17がオンされた状態にあっては、OPアンプ11の出力端子およびグランドの間に容量性負荷であるコンデンサCL1が接続された状態となる。そのため、OPアンプ11の帯域は、元々の仕様よりも低い値に制限される。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が実行された状態となる。なお、帯域制限動作により制限されるOPアンプ11の帯域は、コンデンサCL1の静電容量値に応じて定まる。従って、コンデンサCL1の静電容量値は、所望する帯域の制限幅に応じて適宜設定すればよい。   According to such a configuration, when the switch S17 is turned off, the capacitor CL1 is not connected to the output terminal of the OP amplifier 11. For this reason, the band of the OP amplifier 11 is not limited and is in accordance with the original specification (capability). That is, the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped. On the other hand, when the switch S17 is turned on, the capacitor CL1, which is a capacitive load, is connected between the output terminal of the OP amplifier 11 and the ground. Therefore, the band of the OP amplifier 11 is limited to a value lower than the original specification. That is, the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is executed. The band of the OP amplifier 11 limited by the band limiting operation is determined according to the capacitance value of the capacitor CL1. Therefore, the capacitance value of the capacitor CL1 may be set as appropriate according to the desired bandwidth limit.

スイッチS17の開閉タイミング(帯域制限動作の実行または停止)については、図6に示すとおりとなる。すなわち、制御回路9は、C/V変換動作におけるリセット期間中、スイッチS17をオフすることにより、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。また、制御回路9は、C/V変換動作における変換期間中、スイッチS17をオンすることにより、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を実行する。また、制御回路9は、増幅動作中、スイッチS17をオフすることにより、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。また、制御回路9は、A/D変換動作中、スイッチS17をオフすることにより、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。   The opening / closing timing of the switch S17 (execution or stop of the band limiting operation) is as shown in FIG. That is, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 by turning off the switch S17 during the reset period in the C / V conversion operation. Further, the control circuit 9 executes the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 by turning on the switch S17 during the conversion period in the C / V conversion operation. Further, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 by turning off the switch S17 during the amplification operation. Further, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 by turning off the switch S17 during the A / D conversion operation.

以上説明したように、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、入力信号として信号電荷Sinが与えられる場合、増幅動作およびA/D変換動作に先立って、A/D変換を実行するために本来備えている切替回路6、マルチプライングD/A変換器7などを用いて信号電荷SinをC/V変換する。これにより、容量式加速度センサのセンサエレメント1から出力される信号電荷Sin、すなわちセンサエレメント1のコンデンサCE1、CE2の静電容量の変化ΔCを電圧に変換することができる。そして、巡回型A/D変換器2は、C/V変換した電圧を切替回路6およびマルチプライングD/A変換器7を介して適当な回数巡回させることにより、所望のゲイン倍だけ増幅することができる。これにより、容量式加速度センサの静電容量の変化ΔCに比例した微小レベルの電圧を増幅し、A/D変換に適したダイナミックレンジ(例えば0Vから5Vの範囲)に調整してからA/D変換を実行することができ、これによって本来の(上記増幅機能を有しない)A/D変換器の分解能を有効に活用することができ、実効的にA/D変換分解能を高めることができる。   As described above, the cyclic A / D converter 2 according to the present embodiment performs A / D conversion prior to the amplification operation and the A / D conversion operation when the signal charge Sin is applied as an input signal. For this purpose, the signal charge Sin is C / V converted using the switching circuit 6 and the multiplying D / A converter 7 which are originally provided. Thereby, the signal charge Sin output from the sensor element 1 of the capacitive acceleration sensor, that is, the change ΔC in the capacitance of the capacitors CE1 and CE2 of the sensor element 1 can be converted into a voltage. Then, the cyclic A / D converter 2 amplifies the voltage obtained by C / V conversion by a desired gain multiple by circulating it through the switching circuit 6 and the multiplying D / A converter 7 an appropriate number of times. be able to. As a result, a minute level voltage proportional to the capacitance change ΔC of the capacitive acceleration sensor is amplified and adjusted to a dynamic range suitable for A / D conversion (for example, a range from 0 V to 5 V) and then A / D. Conversion can be executed, whereby the original resolution of the A / D converter (not having the amplification function) can be effectively utilized, and the A / D conversion resolution can be effectively increased.

巡回型A/D変換器2は、A/D変換を実行するために本来備えている回路要素を用いて増幅動作を行うことを可能にしている。また、巡回型A/D変換器2は、A/D変換を実行するために本来備えている回路要素に対してコンデンサCGおよびスイッチS1〜S3、S15、S16を新たに設けることにより、C/V変換動作を行うことも可能にしている。すなわち、巡回型A/D変換器2は、1つの共通のOPアンプ11を用いて、C/V変換動作、増幅動作およびA/D変換動作を行うようになっている。従って、従来構成のものとは異なり巡回型A/D変換器2の前段にC/V変換器および増幅器を付加する必要がなく、回路構成を縮小できICのチップサイズを低減できる。特に、マルチプライングD/A変換器7は、高いA/D変換精度を得るために一般に高精度を有しているので、このマルチプライングD/A変換器7を用いることにより、高精度、低オフセットの特性を持つ優れたC/V変換器を実現できるとともに、高精度、低オフセット、高リニアリティの特性を持つ優れた増幅器を実現できる。また、マルチプライングD/A変換器7への通過回数(=巡回数+1)に応じて増幅率を変えることができるので、プログラマブルな可変ゲイン増幅器を実現できる。   The cyclic A / D converter 2 makes it possible to perform an amplifying operation using circuit elements originally provided for executing A / D conversion. In addition, the cyclic A / D converter 2 is provided with a capacitor CG and switches S1 to S3, S15, and S16 for the circuit elements originally provided for executing the A / D conversion, so that the C / It is also possible to perform V conversion operation. That is, the cyclic A / D converter 2 performs a C / V conversion operation, an amplification operation, and an A / D conversion operation using one common OP amplifier 11. Therefore, unlike the conventional configuration, it is not necessary to add a C / V converter and an amplifier before the cyclic A / D converter 2, and the circuit configuration can be reduced and the chip size of the IC can be reduced. In particular, the multiplying D / A converter 7 generally has high accuracy in order to obtain high A / D conversion accuracy. Therefore, by using the multiplying D / A converter 7, high accuracy is achieved. In addition to realizing an excellent C / V converter having low offset characteristics, an excellent amplifier having characteristics of high accuracy, low offset, and high linearity can be realized. In addition, since the amplification factor can be changed according to the number of times of passing to the multiplying D / A converter 7 (= number of cycles + 1), a programmable variable gain amplifier can be realized.

コモンライン13とOPアンプ11の反転入力端子との間に介在するようにスイッチS12を設けたことによって、スイッチS12とOPアンプ11と積分コンデンサCFは、コンデンサアレイ回路12とは分離されたサンプルホールド回路として機能することができる。これにより、別途サンプルホールド回路を設ける必要がなくなり、回路を一層簡素化でき、高精度化が図れる。また、スイッチS13を設けたことによって、そのサンプルホールドされた電圧をアレイコンデンサCS10、CS11に充電することができるため、上記一連の巡回動作が可能となる。   By providing the switch S12 so as to be interposed between the common line 13 and the inverting input terminal of the OP amplifier 11, the switch S12, the OP amplifier 11, and the integrating capacitor CF are separated from the capacitor array circuit 12. It can function as a circuit. As a result, it is not necessary to provide a separate sample hold circuit, the circuit can be further simplified, and high accuracy can be achieved. Further, since the switch S13 is provided, the sampled and held voltage can be charged to the array capacitors CS10 and CS11, so that the series of cyclic operations described above can be performed.

また、巡回型A/D変換器2は、信号入力端子4に入力された信号電圧Vinを増幅し、その増幅した電圧をA/D変換してNビットのA/D変換コードを出力することも可能としている。従って、巡回型A/D変換器2は、入力信号が電荷である場合または電圧である場合の何れであっても、その入力信号をA/D変換することが可能となっている。すなわち、巡回型A/D変換器2は、容量式のセンサから出力される信号のみならず、例えば圧力センサなどの電圧出力形式のセンサから出力される信号についてもA/D変換することができる。   The cyclic A / D converter 2 amplifies the signal voltage Vin input to the signal input terminal 4, A / D converts the amplified voltage, and outputs an N-bit A / D conversion code. It is also possible. Therefore, the cyclic A / D converter 2 can A / D convert the input signal regardless of whether the input signal is a charge or a voltage. That is, the cyclic A / D converter 2 can A / D convert not only a signal output from a capacitive sensor but also a signal output from a voltage output type sensor such as a pressure sensor. .

C/V変換動作時には第1の積分コンデンサとしてコンデンサCGを用い、増幅動作時およびA/D変換動作時には第2の積分コンデンサとしてコンデンサCFを用いる構成とした。それらコンデンサCG、CFは、個別に容量値を選択することが可能である。従って、C/V変換動作時のゲインと、増幅動作およびA/D変換動作時のゲインとをそれぞれ個別に設定することが可能となる。このため、いずれか一方のゲイン設定によって他方のゲイン設定が制約を受けることがなくなる。   The capacitor CG is used as the first integration capacitor during the C / V conversion operation, and the capacitor CF is used as the second integration capacitor during the amplification operation and the A / D conversion operation. Capacitance values can be individually selected for the capacitors CG and CF. Accordingly, it is possible to individually set the gain during the C / V conversion operation and the gain during the amplification operation and the A / D conversion operation. For this reason, the other gain setting is not restricted by any one gain setting.

また、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行するアンプ帯域制限回路10を備えている。そして、制御回路9は、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を実行した状態でC/V変換動作の「変換」を実行するとともに、上記帯域制限動作を停止した状態でA/D変換動作を実行する。そのため、例えばA/D変換の変換精度および変換速度の要求が厳しく、それを満たすOPアンプ11を使用した場合であっても、「変換」動作が行われる際にOPアンプ11の帯域が必要以上に大きくなることがなくなる。従って、「変換」動作の際にOPアンプ11の入力側のスイッチ(S1、S2、S10、S11、S13、S16など)の熱ノイズがOPアンプ11の出力側に伝達され難くなり、その結果、S/N比の低下が抑制される。   Further, the cyclic A / D converter 2 of this embodiment includes an amplifier band limiting circuit 10 that executes a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11. Then, the control circuit 9 executes “conversion” of the C / V conversion operation in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is executed, and performs the A / D conversion operation in a state where the band limiting operation is stopped. Run. For this reason, for example, the requirements of conversion accuracy and conversion speed of A / D conversion are severe, and even when the OP amplifier 11 that satisfies the requirements is used, the band of the OP amplifier 11 is more than necessary when the “conversion” operation is performed. No longer grows. Accordingly, during the “conversion” operation, the thermal noise of the input side switches (S1, S2, S10, S11, S13, S16, etc.) of the OP amplifier 11 is hardly transmitted to the output side of the OP amplifier 11, and as a result, A decrease in the S / N ratio is suppressed.

さらに、制御回路9は、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止した状態で増幅動作を実行する。そのため、A/D変換動作と同一の速度で増幅動作を実施することが可能となり、サンプリング時間が短い場合にも対応することができる。   Further, the control circuit 9 executes the amplification operation in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped. Therefore, the amplification operation can be performed at the same speed as the A / D conversion operation, and it is possible to cope with a case where the sampling time is short.

(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態について図7および図8を参照しながら説明する。
図7に示すように、本実施形態の巡回型A/D変換器21(信号処理回路に相当)は、巡回型A/D変換器2に対し、コンデンサCGに代えてコンデンサCG1、CG2およびスイッチS21を備えている点と、コンデンサCL1およびスイッチS17に代えてスイッチS22を備えている点とが異なる。この場合、スイッチS22(帯域制限用スイッチに相当)およびコンデンサCG2(負荷コンデンサに相当)により、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行するアンプ帯域制限回路22(帯域制限手段に相当)が構成される。
(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 7, the cyclic A / D converter 21 (corresponding to a signal processing circuit) of the present embodiment is different from the cyclic A / D converter 2 in that capacitors CG1 and CG2 and a switch are used instead of the capacitor CG. The difference is that S21 is provided and that a switch S22 is provided instead of the capacitor CL1 and the switch S17. In this case, an amplifier band limiting circuit 22 (corresponding to a band limiting unit) that performs a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 by a switch S22 (corresponding to a band limiting switch) and a capacitor CG2 (corresponding to a load capacitor). Is configured.

コンデンサCG1の両端子間には、スイッチS21およびコンデンサCG2が直列に接続されている。スイッチS21およびコンデンサCG2の相互接続点は、スイッチS22を介してグランド(低インピーダンスラインに相当)に接続されている。スイッチS21、S22の開閉(オン/オフ)は、制御回路9により制御される。コンデンサCG1、CG2の静電容量は、所望するC/V変換のゲインに応じた値に設定すればよい。   A switch S21 and a capacitor CG2 are connected in series between both terminals of the capacitor CG1. The interconnection point between the switch S21 and the capacitor CG2 is connected to the ground (corresponding to a low impedance line) via the switch S22. Opening / closing (ON / OFF) of the switches S21 and S22 is controlled by the control circuit 9. The capacitances of the capacitors CG1 and CG2 may be set to a value corresponding to a desired gain of C / V conversion.

上記構成の巡回型A/D変換器21は、C/V変換時のゲインを2段階に切り替えることができる。すなわち、スイッチS21がオンされた状態では、コンデンサCG1およびCG2の並列合成容量が第1の積分コンデンサとして機能する。そのため、C/V変換動作時のゲインは、後述するスイッチS21がオフした状態のゲインに比べて低い値となる(低ゲイン)。一方、スイッチS21がオフした状態では、コンデンサCG1が第1の積分コンデンサとして機能する。そのため、C/V変換動作時のゲインは、前述したスイッチS21がオンした状態のゲインに比べて高い値となる(高ゲイン)。   The cyclic A / D converter 21 configured as described above can switch the gain at the time of C / V conversion in two stages. That is, when the switch S21 is turned on, the parallel combined capacitance of the capacitors CG1 and CG2 functions as a first integration capacitor. Therefore, the gain at the time of the C / V conversion operation is a lower value (low gain) than the gain in a state where a switch S21 described later is turned off. On the other hand, in a state where the switch S21 is turned off, the capacitor CG1 functions as a first integration capacitor. Therefore, the gain during the C / V conversion operation is higher than the gain in the state where the switch S21 is turned on (high gain).

上記したように、高ゲインでのC/V変換動作時には、コンデンサCG2は使用されない。そこで、本実施形態では、高ゲインでのC/V変換動作時、コンデンサCG2を利用してOPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行または停止する。すなわち、高ゲインでのC/V変換動作時、スイッチS22がオンされた状態にあっては、OPアンプ11の出力端子およびグランドの間に容量性負荷であるコンデンサCG2が接続された状態となる。そのため、OPアンプ11の帯域は、元々の仕様よりも低い値に制限される。つまり、帯域制限動作が実行された状態となる。一方、スイッチS22がオフされた状態にあっては、OPアンプ11の出力端子にコンデンサCG2が接続されない状態となる。そのため、OPアンプ11の帯域は、制限されず、元々の仕様通りとなる。つまり、帯域制限動作が停止された状態となる。   As described above, the capacitor CG2 is not used during the C / V conversion operation at a high gain. Therefore, in the present embodiment, during the C / V conversion operation at a high gain, the band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 using the capacitor CG2 is executed or stopped. In other words, during the C / V conversion operation at a high gain, when the switch S22 is turned on, the capacitor CG2 that is a capacitive load is connected between the output terminal of the OP amplifier 11 and the ground. . Therefore, the band of the OP amplifier 11 is limited to a value lower than the original specification. That is, the band limiting operation is executed. On the other hand, when the switch S22 is turned off, the capacitor CG2 is not connected to the output terminal of the OP amplifier 11. For this reason, the band of the OP amplifier 11 is not limited and is as originally specified. That is, the band limiting operation is stopped.

なお、帯域制限動作により制限されるOPアンプ11の帯域は、コンデンサCG2の静電容量値に応じて定まる。従って、コンデンサCG2の静電容量値は、前述した所望するC/V変換時のゲインだけでなく、所望する帯域の制限幅をも考慮した上で設定する必要がある。   Note that the band of the OP amplifier 11 limited by the band limiting operation is determined according to the capacitance value of the capacitor CG2. Accordingly, the capacitance value of the capacitor CG2 needs to be set in consideration of not only the desired gain at the time of C / V conversion described above but also the desired bandwidth limit.

C/V変換動作を高ゲインで行う場合の各スイッチの開閉タイミングについては、図8に示すとおりとなる。すなわち、制御回路9は、C/V変換動作におけるリセット期間中、スイッチS21をオンするとともにスイッチS22をオフする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、C/V変換動作の「リセット」が行われる。また、制御回路9は、C/V変換動作における変換期間中、スイッチS21をオフするとともにスイッチS22をオンする。これにより、帯域制限動作が実行された状態で、C/V変換動作の「変換」が行われる。また、制御回路9は、増幅動作中、スイッチS21をオンするとともにスイッチS22をオフする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、増幅動作が行われる。また、制御回路9は、A/D変換動作中、スイッチS21をオンするとともにスイッチS22をオフする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、A/D変換動作が行われる。   The opening / closing timing of each switch when the C / V conversion operation is performed at a high gain is as shown in FIG. That is, the control circuit 9 turns on the switch S21 and turns off the switch S22 during the reset period in the C / V conversion operation. Thereby, “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. Further, the control circuit 9 turns off the switch S21 and turns on the switch S22 during the conversion period in the C / V conversion operation. Thus, the “conversion” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is performed. Further, the control circuit 9 turns on the switch S21 and turns off the switch S22 during the amplification operation. As a result, the amplification operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. Further, the control circuit 9 turns on the switch S21 and turns off the switch S22 during the A / D conversion operation. Thereby, the A / D conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped.

以上説明したように、本実施形態の巡回型A/D変換器21は、C/V変換動作時のゲインを2段階に切り替えることができる。そして、本実施形態では、高ゲインでのC/V変換動作時、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行することが可能となっている。従って、本実施形態によれば、高ゲインでのC/V変換動作を実行する際、第1の実施形態と同様の作用および効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、ゲインが高いことにより一層顕著に出力側に現れる熱ノイズによる影響を排除することができるため、S/N比の低下抑制の効果が高まる。また、本実施形態では、高ゲインでのC/V変換動作時に使用されないコンデンサCG2を利用して(流用して)帯域制限動作を実現する。そのため、帯域制限手段の構成を簡素化することができ、これにより、回路面積を小さく抑えることができる。   As described above, the cyclic A / D converter 21 of the present embodiment can switch the gain during the C / V conversion operation in two stages. In this embodiment, it is possible to execute a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 during the C / V conversion operation with a high gain. Therefore, according to the present embodiment, when performing the C / V conversion operation with a high gain, the same operations and effects as those of the first embodiment can be obtained. Furthermore, according to the present embodiment, since the influence of thermal noise that appears more significantly on the output side due to the high gain can be eliminated, the effect of suppressing the decrease in the S / N ratio is enhanced. In the present embodiment, the band limiting operation is realized by using (using) the capacitor CG2 that is not used during the C / V conversion operation with a high gain. Therefore, the configuration of the band limiting unit can be simplified, and thereby the circuit area can be kept small.

本実施形態の構成では、低ゲインでのC/V変換動作時、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行することはできない。しかし、そもそも、低いゲインでC/V変換動作が行われる際、出力側に現れる熱ノイズによる影響(S/N比の低下)も少ない。そのため、本実施形態のように、低ゲインでのC/V変換動作時に帯域制限動作を実行できない構成であっても問題が生じることはない。   With the configuration of the present embodiment, it is not possible to execute a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 during the C / V conversion operation with a low gain. However, in the first place, when the C / V conversion operation is performed with a low gain, the influence (deterioration of the S / N ratio) due to thermal noise appearing on the output side is small. Therefore, no problem occurs even in a configuration in which the band limiting operation cannot be performed during the C / V conversion operation with a low gain as in the present embodiment.

(第3の実施形態)
以下、本発明の第3の実施形態について図9および図10を参照しながら説明する。
図9に示すように、巡回型A/D変換器31(信号処理回路に相当)は、巡回型A/D変換器2に対し、アンプ帯域制限回路10に代えて電流制御回路32(電流可変手段に相当)を備えている点が異なる。この場合、電流制御回路32が、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行する帯域制限手段に相当する。
(Third embodiment)
Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 and 10.
As shown in FIG. 9, a cyclic A / D converter 31 (corresponding to a signal processing circuit) is different from the cyclic A / D converter 2 in that a current control circuit 32 (current variable) is used instead of the amplifier band limiting circuit 10. Is equivalent to the means). In this case, the current control circuit 32 corresponds to a band limiting unit that performs a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11.

電流制御回路32は、OPアンプ11を駆動するための駆動電流を供給する電流源(図示せず)の電流量を動的に変更する(可変する)。電流制御回路32による電流量の変更は、制御回路9により制御される。この場合、制御回路9は、電流制御回路32を通じて、OPアンプ11に供給する駆動電流を第1電流値および第2電流値の2段階に切り替える。第2電流値は、OPアンプ11を十分に駆動可能な電流値である。第1電流値は、第2電流値よりも小さく、OPアンプ11を駆動可能な電流値ではあるものの、その性能(周波数特性=帯域)が若干低下した状態での駆動を可能とする電流値である。   The current control circuit 32 dynamically changes (varies) the amount of current of a current source (not shown) that supplies a drive current for driving the OP amplifier 11. The change of the current amount by the current control circuit 32 is controlled by the control circuit 9. In this case, the control circuit 9 switches the drive current supplied to the OP amplifier 11 through the current control circuit 32 to two stages of the first current value and the second current value. The second current value is a current value that can sufficiently drive the OP amplifier 11. Although the first current value is smaller than the second current value and is a current value that can drive the OP amplifier 11, it is a current value that enables driving in a state in which the performance (frequency characteristic = band) is slightly lowered. is there.

このような構成によれば、OPアンプ11に第2電流値の駆動電流が供給された状態にあっては、OPアンプ11は十分に駆動される。そのため、OPアンプ11の帯域は、制限されず、元々の仕様通りとなる。つまり、帯域制限動作が停止された状態となる。一方、OPアンプ11に第1電流値の駆動電流が供給された状態にあっては、OPアンプ11は、その性能が若干低下した状態で駆動される。そのため、OPアンプ11の帯域は、元々の仕様よりも低い値に制限される。つまり、帯域制限動作が実行された状態となる。なお、帯域制限動作により制限されるOPアンプ11の帯域は、第1電流値の設定に応じて定まる。従って、第1電流値は、所望する帯域の制限幅に応じて適宜設定すればよい。   According to such a configuration, the OP amplifier 11 is sufficiently driven when the driving current having the second current value is supplied to the OP amplifier 11. For this reason, the band of the OP amplifier 11 is not limited and is as originally specified. That is, the band limiting operation is stopped. On the other hand, in a state where the driving current having the first current value is supplied to the OP amplifier 11, the OP amplifier 11 is driven in a state where its performance is slightly deteriorated. Therefore, the band of the OP amplifier 11 is limited to a value lower than the original specification. That is, the band limiting operation is executed. Note that the band of the OP amplifier 11 limited by the band limiting operation is determined according to the setting of the first current value. Therefore, the first current value may be appropriately set according to the desired bandwidth limit.

電流制御回路32による駆動電流の変更タイミングについては、図9に示すとおりとなる。すなわち、制御回路9は、C/V変換動作時におけるリセット期間中、電流制御回路32を制御してOPアンプ11の駆動電流を第2電流値(大)に設定する。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、C/V変換動作の「リセット」が行われる。また、制御回路9は、C/V変換動作時における変換期間中、電流制御回路32を制御してOPアンプ11の駆動電流を第1電流値(小)に設定する。これにより、帯域制限動作が実行された状態で、C/V変換動作の「変換」が行われる。   The drive current change timing by the current control circuit 32 is as shown in FIG. That is, the control circuit 9 controls the current control circuit 32 to set the drive current of the OP amplifier 11 to the second current value (large) during the reset period during the C / V conversion operation. Thereby, “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. Further, the control circuit 9 controls the current control circuit 32 to set the drive current of the OP amplifier 11 to the first current value (small) during the conversion period during the C / V conversion operation. Thus, the “conversion” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is performed.

また、制御回路9は、増幅動作中、電流制御回路32を制御してOPアンプ11の駆動電流を第2電流値(大)に設定する。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、増幅動作が行われる。また、制御回路9は、A/D変換動作中、電流制御回路32を制御してOPアンプ11の駆動電流を第2電流値(大)に設定する。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、A/D変換動作が行われる。   In addition, the control circuit 9 controls the current control circuit 32 to set the drive current of the OP amplifier 11 to the second current value (large) during the amplification operation. As a result, the amplification operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. Further, the control circuit 9 controls the current control circuit 32 to set the driving current of the OP amplifier 11 to the second current value (large) during the A / D conversion operation. Thereby, the A / D conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped.

以上説明したように、本実施形態の巡回型A/D変換器31は、OPアンプ11の駆動電流を動的に制御することにより、その帯域を制限する帯域制限動作を実行することが可能となっている。従って、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の作用および効果が得られる。   As described above, the cyclic A / D converter 31 of the present embodiment can execute the band limiting operation for limiting the band by dynamically controlling the driving current of the OP amplifier 11. It has become. Therefore, according to this embodiment, the same operation and effect as the first embodiment can be obtained.

(第4の実施形態)
以下、本発明の第4の実施形態について図11を参照しながら説明する。
第1の実施形態では、巡回型A/D変換器2は、信号電荷SinをC/V変換した上で増幅し、その後、A/D変換を実行していた。しかし、例えば、信号電荷SinをC/V変換して得られる電圧が、既にA/D変換のダイナミックレンジに適している場合などには、増幅動作を省略することも考えられる。そこで、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、信号電荷SinをC/V変換し、その後、C/V変換後の電圧のA/D変換を実行する。
(Fourth embodiment)
Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment, the cyclic A / D converter 2 C / V converts and amplifies the signal charge Sin, and then executes A / D conversion. However, for example, when the voltage obtained by C / V conversion of the signal charge Sin is already suitable for the dynamic range of A / D conversion, the amplification operation may be omitted. Therefore, the cyclic A / D converter 2 of the present embodiment performs C / V conversion on the signal charge Sin, and then performs A / D conversion of the voltage after C / V conversion.

(1)C/V変換動作
図11に示すように、制御回路9は、A/D変換動作に先立って、第1の実施形態と同様のC/V変換動作を実行する(Sampling)。この場合も、制御回路9は、リセット期間ではスイッチS17をオフし、変換期間ではスイッチS17をオンする。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態でC/V変換動作の「リセット」が行われるとともに、上記帯域制限動作が実行された状態でC/V変換動作の「変換」が行われる。
(1) C / V Conversion Operation As shown in FIG. 11, the control circuit 9 executes a C / V conversion operation similar to that of the first embodiment prior to the A / D conversion operation (Sampling). Also in this case, the control circuit 9 turns off the switch S17 in the reset period and turns on the switch S17 in the conversion period. That is, “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limitation operation by the amplifier band limitation circuit 10 is stopped, and “conversion” of the C / V conversion operation is performed in the state where the band limitation operation is performed. Is done.

(2)A/D変換動作
図11に示すように、制御回路9は、C/V変換動作に続いてA/D変換動作を実行する。すなわち、A/D変換回路8のラッチ回路14に対しハイレベルのラッチ信号を出力する。そして、スイッチS1、S2、S16をオフとし、スイッチS3、S15をオンとしてコンデンサCS10、CS11にC/V変換後の出力電圧Voで電荷設定をする(Sampling)。電荷設定が完了すると、スイッチS13をオフし、その後スイッチS12をオンするとともにA/D変換回路8のA/D変換値に応じてスイッチS10、S11をVrefp側またはVrefm側に切り替えて電荷再分配を実行する(MD/A(1))。
(2) A / D Conversion Operation As shown in FIG. 11, the control circuit 9 executes an A / D conversion operation following the C / V conversion operation. That is, a high level latch signal is output to the latch circuit 14 of the A / D conversion circuit 8. Then, the switches S1, S2, and S16 are turned off, the switches S3 and S15 are turned on, and the capacitors CS10 and CS11 are set with the output voltage Vo after C / V conversion (Sampling). When the charge setting is completed, the switch S13 is turned off, then the switch S12 is turned on, and the switches S10 and S11 are switched to the Vrefp side or the Vrefm side according to the A / D conversion value of the A / D conversion circuit 8 to redistribute the charge. Is executed (MD / A (1)).

制御回路9は、電荷再分配が完了すると、スイッチS12をオフして残余電圧をホールドし、その残余電圧をマルチプライングD/A変換器7に巡回させる。残余電圧をマルチプライングD/A変換器7に9(=K−1)回通過させることにより、A/D変換回路8は10(=K)回のA/D変換を実行し、制御回路9のシフト加算回路(図示せず)は、各A/D変換値を1ビットずつ重ねながら順次加算して最終的にN=10ビットのA/D変換コードを出力する。この場合も、制御回路9は、A/D変換動作中、スイッチS17をオフする。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態でA/D変換動作が行われる。   When the charge redistribution is completed, the control circuit 9 turns off the switch S12 to hold the remaining voltage, and causes the multiplying D / A converter 7 to circulate the remaining voltage. By passing the residual voltage through the multiplying D / A converter 7 9 (= K−1) times, the A / D conversion circuit 8 performs 10 (= K) times of A / D conversion, and the control circuit Nine shift addition circuits (not shown) sequentially add each A / D conversion value one bit at a time, and finally output an A / D conversion code of N = 10 bits. Also in this case, the control circuit 9 turns off the switch S17 during the A / D conversion operation. That is, the A / D conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped.

以上説明したように、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、入力信号として信号電荷Sinが与えられる場合、C/V変換動作を行った後、増幅動作を行うことなく、A/D変換動作を行う。このようにすれば、例えば、信号電荷SinをC/V変換して得られる電圧が、既にA/D変換のダイナミックレンジに適している場合に、本来不要となる増幅動作を行うことがなくなるため、A/D変換動作に要する時間および効率が向上する。   As described above, the cyclic A / D converter 2 according to the present embodiment performs the A / D conversion without performing the amplification operation after performing the C / V conversion operation when the signal charge Sin is applied as the input signal. D conversion operation is performed. In this way, for example, when the voltage obtained by C / V conversion of the signal charge Sin is already suitable for the dynamic range of A / D conversion, an amplification operation that is essentially unnecessary is not performed. The time and efficiency required for the A / D conversion operation are improved.

(第5の実施形態)
以下、本発明の第5の実施形態について図12および図13を参照しながら説明する。
本実施形態では、図12に示すように、排ガスセンサ41からの検出電流Iinが信号入力端子3を介して巡回型A/D変換器2に入力されている。排ガスセンサ41は、例えば車両に搭載されるエンジンの排ガス中に含まれるNoxの濃度に応じて変化する検出電流Iinを出力する。なお、電流は単位時間あたりの電荷の移動量である。このため、本実施形態では、検出電流Iinが外部信号電荷に相当する。
(Fifth embodiment)
Hereinafter, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the present embodiment, as shown in FIG. 12, the detected current Iin from the exhaust gas sensor 41 is input to the cyclic A / D converter 2 via the signal input terminal 3. The exhaust gas sensor 41 outputs a detection current Iin that changes according to the concentration of Nox contained in the exhaust gas of an engine mounted on a vehicle, for example. The current is the amount of movement of charge per unit time. For this reason, in the present embodiment, the detection current Iin corresponds to the external signal charge.

巡回型A/D変換器2は、A/D変換を実行するために本来備えている切替回路6、マルチプライングD/A変換器7などを用いて検出電流IinをI/V変換した上で増幅し、その後、A/D変換回路8も用いてA/D変換を実行する。なお、本実施形態の巡回型A/D変換器2の動作タイミングは、図6に示した第1の実施形態のものと同じであるため、以下では図6も参照して動作説明を行う。ただし、図6中、「C/V変換」という記載を「I/V変換」と読み替えるとともに、端子FE1、FE2については無視するものとする。   The cyclic A / D converter 2 performs I / V conversion on the detected current Iin using a switching circuit 6 and a multiplying D / A converter 7 that are originally provided for executing A / D conversion. After that, A / D conversion is executed using the A / D conversion circuit 8 as well. Note that the operation timing of the cyclic A / D converter 2 of the present embodiment is the same as that of the first embodiment shown in FIG. 6, and therefore the operation will be described below with reference to FIG. However, in FIG. 6, “C / V conversion” is read as “I / V conversion” and terminals FE1 and FE2 are ignored.

制御回路9は、増幅動作およびA/D変換動作に先立ってI/V変換動作を実行する。すなわち、切替回路6をマルチプライングD/A変換器7側、スイッチS10、S11を切替回路6側に切り替え、スイッチS1、S2、S13、S14、S16をオン、スイッチS3、S12、S15をオフとし、コンデンサCG、CS10、CS11、CFの電荷を初期化する(sampling)。この電荷初期化動作は、I/V変換動作の「リセット」に相当する。図13(a)は、上記リセットの期間(リセット期間と称す)における巡回型A/D変換器2の構成のうち、I/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図13(a)および図6に示すように、リセット期間中、OPアンプ11の反転入力端子および出力端子は、スイッチS14を介して短絡されている。このため、コンデンサCGは、検出電流Iinによって充電されることはない。   The control circuit 9 performs an I / V conversion operation prior to the amplification operation and the A / D conversion operation. That is, the switching circuit 6 is switched to the multiplying D / A converter 7 side, the switches S10 and S11 are switched to the switching circuit 6 side, the switches S1, S2, S13, S14 and S16 are turned on, and the switches S3, S12 and S15 are turned off. The capacitors CG, CS10, CS11 and CF are initialized (sampling). This charge initialization operation corresponds to “reset” of the I / V conversion operation. FIG. 13A schematically shows a configuration related to the I / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 2 in the reset period (referred to as a reset period). As shown in FIGS. 13A and 6, during the reset period, the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11 are short-circuited via the switch S14. For this reason, the capacitor CG is not charged by the detection current Iin.

また、制御回路9は、上記リセット期間中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が停止された状態で、I/V変換動作の「リセット」が行われる。   Further, the control circuit 9 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the reset period. That is, the “reset” of the I / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is stopped.

続いて、スイッチS14をオフとし、コンデンサCFに検出電流Iinで電荷設定する(Sampling)。この電荷設定動作は、I/V変換動作の「変換」に相当する。図13(b)は、上記変換の期間(変換期間と称す)における巡回型A/D変換器2の構成のうち、I/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図13(b)および図6に示すように、変換期間中、OPアンプ11の反転入力端子および出力端子の間には、コンデンサCGが接続されている。このため、コンデンサCGは、検出電流Iinによって充電される。このようなI/V変換後のOPアンプ11の出力電圧Voは、変換期間(変換時間)をtとすると、下記(7)式により表される。
Vo=Vcom−(Iin/CG)・t …(7)
Subsequently, the switch S14 is turned off, and the capacitor CF is charged with the detection current Iin (Sampling). This charge setting operation corresponds to “conversion” of the I / V conversion operation. FIG. 13B schematically shows a configuration related to the I / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 2 in the conversion period (referred to as a conversion period). As shown in FIGS. 13B and 6, a capacitor CG is connected between the inverting input terminal and the output terminal of the OP amplifier 11 during the conversion period. For this reason, the capacitor CG is charged by the detection current Iin. The output voltage Vo of the OP amplifier 11 after such I / V conversion is expressed by the following equation (7), where t is the conversion period (conversion time).
Vo = Vcom− (Iin / CG) · t (7)

すなわち、出力電圧Voは、Vcomのオフセット電圧を有するとともに、検出電流Iinを−t/CGというゲインで増幅したものに相当する。このとき、上記出力電圧Voにより、コンデンサCFとCS10、CS11に電荷設定がなされる(sampling)。そして、制御回路9は、I/V変換動作に続いて、第1の実施形態と同様の増幅動作およびA/D変換動作を実行する。あるいは、制御回路9は、I/V変換動作に続いて、第4の実施形態と同様のA/D変換動作を実行する。   That is, the output voltage Vo has an offset voltage of Vcom, and corresponds to the detection current Iin amplified by a gain of −t / CG. At this time, charges are set in the capacitors CF and CS10 and CS11 by the output voltage Vo (sampling). Then, following the I / V conversion operation, the control circuit 9 performs the same amplification operation and A / D conversion operation as in the first embodiment. Alternatively, the control circuit 9 performs an A / D conversion operation similar to that of the fourth embodiment following the I / V conversion operation.

また、制御回路9は、上記変換期間中、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作を実行する。つまり、アンプ帯域制限回路10による帯域制限動作が実行された状態で、I/V変換動作の「変換」が行われる。   In addition, the control circuit 9 performs a band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 during the conversion period. That is, the “conversion” of the I / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 10 is executed.

以上説明したように、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、入力信号として検出電流Iinが与えられる場合、A/D変換動作に先立って、A/D変換を実行するために本来備えている回路要素などを用いて検出電流IinをI/V変換する。従って、本実施形態の巡回型A/D変換器2は、電流出力形式のセンサから出力される信号をA/D変換することができる。   As described above, the cyclic A / D converter 2 according to the present embodiment originally performs the A / D conversion prior to the A / D conversion operation when the detection current Iin is given as the input signal. The detection current Iin is I / V converted using the circuit elements provided. Therefore, the cyclic A / D converter 2 of the present embodiment can A / D convert the signal output from the current output type sensor.

(第6の実施形態)
以下、本発明の第6の実施形態について図14〜図16を参照しながら説明する。
図14に示すように、センサエレメント1のコンデンサCE1、CE2の一方の端子はそれぞれ端子FE1、FE2に接続されている。これら端子FE1、FE2は、それぞれ巡回型A/D変換器51の信号入力端子3p、3mに接続されている。コンデンサCE1、CE2の他方の端子(相互接続点)は、端子FEに接続されている。端子FEには、駆動電圧Vsp、Vsmが交互に印加される。
(Sixth embodiment)
Hereinafter, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 14, one terminals of capacitors CE1 and CE2 of the sensor element 1 are connected to terminals FE1 and FE2, respectively. These terminals FE1 and FE2 are connected to signal input terminals 3p and 3m of the cyclic A / D converter 51, respectively. The other terminals (interconnection points) of the capacitors CE1 and CE2 are connected to the terminal FE. Drive voltages Vsp and Vsm are alternately applied to the terminal FE.

巡回型A/D変換器51(信号処理回路に相当)は、図1に示す巡回型A/D変換器2を差動構成としたもので、1.5ビットの分解能を有するA/D変換回路52、マルチプライングD/A変換器53(残余電圧生成回路に相当)、コンデンサCGp、CGm(第1の積分コンデンサに相当)、スイッチS1p〜S3p、S1m〜S3mおよびアンプ帯域制限回路54を備えている。また、差動入出力型のOPアンプ55の非反転出力端子および反転出力端子は、それぞれ(Vrefp+Vrefm)/2を中心として逆位相で変化する差動電圧が出力されるようになっている。   A cyclic A / D converter 51 (corresponding to a signal processing circuit) is a differential configuration of the cyclic A / D converter 2 shown in FIG. 1, and is an A / D converter having a resolution of 1.5 bits. A circuit 52, a multiplying D / A converter 53 (corresponding to a residual voltage generating circuit), capacitors CGp and CGm (corresponding to a first integrating capacitor), switches S1p to S3p, S1m to S3m, and an amplifier band limiting circuit 54 I have. In addition, the non-inverting output terminal and the inverting output terminal of the differential input / output type OP amplifier 55 are each configured to output differential voltages that change in opposite phases with (Vrefp + Vrefm) / 2 as the center.

A/D変換回路52の非反転入力端子は、切替回路6pを介して非反転信号入力端子4pまたはOPアンプ55の非反転出力端子の何れかに選択的に接続されるようになっている。同様に、A/D変換回路52の反転入力端子は、切替回路6mを介して反転信号入力端子4mまたはOPアンプ55の反転出力端子の何れかに選択的に接続されるようになっている。なお、図14に示すように、入力信号が電荷である場合(電圧以外である場合)、切替回路6p、6m(入力回路に相当)は、OPアンプ55(演算増幅器に相当)の各出力端子を選択した状態に固定される。   The non-inverting input terminal of the A / D conversion circuit 52 is selectively connected to either the non-inverting signal input terminal 4p or the non-inverting output terminal of the OP amplifier 55 via the switching circuit 6p. Similarly, the inverting input terminal of the A / D conversion circuit 52 is selectively connected to either the inverting signal input terminal 4m or the inverting output terminal of the OP amplifier 55 via the switching circuit 6m. As shown in FIG. 14, when the input signal is an electric charge (when the input signal is other than a voltage), the switching circuits 6p and 6m (corresponding to the input circuit) each output terminal of the OP amplifier 55 (corresponding to the operational amplifier) Is fixed to the selected state.

切替回路6pの共通接点とOPアンプ55の反転入力端子との間には、図1に示すシングル構成と同様にして、コンデンサCFp(第2の積分コンデンサに相当)およびスイッチS15p、アレイコンデンサCS10pとCS11pからなるコンデンサアレイ回路12p、コンデンサCS10pとCS11pの上部電極の接続を切り替えるスイッチS10pとS11pおよびスイッチS12p(スイッチ回路に相当)が接続されている。コモンライン13pとグランドとの間にはスイッチS13pが接続されている。OPアンプ55の反転入力端子と非反転出力端子との間にはスイッチS14pが接続されている。コンデンサCFpおよびスイッチS15pの相互接続点は、スイッチS16pを介してグランドに接続されている。また、信号入力端子3pとOPアンプ55の反転入力端子との間には、スイッチS1p(入力切替回路に相当)が接続されている。OPアンプ55の反転入力端子と非反転出力端子との間には、スイッチS2pおよびS3pが直列に接続されている。スイッチS3pの両端子間には、コンデンサCGpが接続されている。   Between the common contact of the switching circuit 6p and the inverting input terminal of the OP amplifier 55, the capacitor CFp (corresponding to the second integrating capacitor), the switch S15p, the array capacitor CS10p, and the like, as in the single configuration shown in FIG. A capacitor array circuit 12p composed of CS11p, switches S10p and S11p and a switch S12p (corresponding to a switch circuit) for switching the connection of the upper electrodes of the capacitors CS10p and CS11p are connected. A switch S13p is connected between the common line 13p and the ground. A switch S14p is connected between the inverting input terminal and the non-inverting output terminal of the OP amplifier 55. The interconnection point between the capacitor CFp and the switch S15p is connected to the ground via the switch S16p. A switch S1p (corresponding to an input switching circuit) is connected between the signal input terminal 3p and the inverting input terminal of the OP amplifier 55. Switches S2p and S3p are connected in series between the inverting input terminal and the non-inverting output terminal of the OP amplifier 55. A capacitor CGp is connected between both terminals of the switch S3p.

同様に、切替回路6mの共通接点とOPアンプ55の非反転入力端子との間には、コンデンサCFm(第2の積分コンデンサに相当)およびスイッチS15m、アレイコンデンサCS10mとCS11mからなるコンデンサアレイ回路12m、これらコンデンサCS10mとCS11mの上部電極の接続を切り替えるスイッチS10mとS11mおよびスイッチS12m(スイッチ回路に相当)が接続されている。コモンライン13mとグランドとの間にはスイッチS13mが接続されている。OPアンプ55の非反転入力端子と反転出力端子との間にはスイッチS14mが接続されている。コンデンサCFmおよびスイッチS15mの相互接続点は、スイッチS16mを介してグランドに接続されている。また、信号入力端子3mとOPアンプ55の非反転入力端子との間には、スイッチS1m(入力切替回路に相当)が接続されている。OPアンプ55の非反転入力端子と反転出力端子との間には、スイッチS2mおよびスイッチS3mが直列に接続されている。スイッチS3mの両端子間には、コンデンサCGmが接続されている。なお、回路のレイアウトは、非反転信号側と反転信号側とで対称構造とすることが好ましい。   Similarly, a capacitor array circuit 12m composed of a capacitor CFm (corresponding to a second integrating capacitor), a switch S15m, and array capacitors CS10m and CS11m is provided between the common contact of the switching circuit 6m and the non-inverting input terminal of the OP amplifier 55. The switches S10m and S11m and the switch S12m (corresponding to a switch circuit) for switching the connection of the upper electrodes of the capacitors CS10m and CS11m are connected. A switch S13m is connected between the common line 13m and the ground. A switch S14m is connected between the non-inverting input terminal and the inverting output terminal of the OP amplifier 55. The interconnection point between the capacitor CFm and the switch S15m is connected to the ground via the switch S16m. A switch S1m (corresponding to an input switching circuit) is connected between the signal input terminal 3m and the non-inverting input terminal of the OP amplifier 55. A switch S2m and a switch S3m are connected in series between the non-inverting input terminal and the inverting output terminal of the OP amplifier 55. A capacitor CGm is connected between both terminals of the switch S3m. Note that the circuit layout preferably has a symmetrical structure on the non-inverted signal side and the inverted signal side.

A/D変換回路52より出力されるA/D変換コードnは、制御回路56内のシフト加算回路(図示せず)において1ビットずつずらしながら加算されるようになっている。なお、本実施形態において、スイッチS1p〜S16pおよびスイッチS1m〜S16mは、何れもアナログスイッチにより構成されている。それらスイッチS1p〜S16pおよびスイッチS1m〜S16mの切り替えおよび開閉(オン/オフ)は、制御回路56により制御される。   The A / D conversion code n output from the A / D conversion circuit 52 is added while shifting one bit at a time in a shift addition circuit (not shown) in the control circuit 56. In the present embodiment, the switches S1p to S16p and the switches S1m to S16m are all configured by analog switches. Switching and opening / closing (ON / OFF) of these switches S1p to S16p and switches S1m to S16m are controlled by a control circuit 56.

アンプ帯域制限回路54は、OPアンプ55の帯域を制限する(周波数特性を低下させる)帯域制限動作を実行可能に構成されている。アンプ帯域制限回路54の動作は、制御回路56により制御される。つまり、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作は、制御回路56により実行または停止される。アンプ帯域制限回路54の具体的な構成としては、第1および第2の実施形態の構成などを採用することができる。あるいは、アンプ帯域制限回路54に代えて第3の実施形態における電流制御回路32のようにOPアンプ55の駆動電流を動的に変更する構成を採用することもできる。なお、第1および第2の実施形態の構成を採用する場合、OPアンプ55の2つの出力端子とグランドとの間に、容量性負荷を接続可能な構成にすればよい。   The amplifier band limiting circuit 54 is configured to execute a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 55 (decreasing the frequency characteristic). The operation of the amplifier band limiting circuit 54 is controlled by the control circuit 56. That is, the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 is executed or stopped by the control circuit 56. As a specific configuration of the amplifier band limiting circuit 54, the configurations of the first and second embodiments can be employed. Alternatively, a configuration in which the driving current of the OP amplifier 55 is dynamically changed as in the current control circuit 32 in the third embodiment instead of the amplifier band limiting circuit 54 may be employed. When the configurations of the first and second embodiments are employed, a configuration in which a capacitive load can be connected between the two output terminals of the OP amplifier 55 and the ground may be used.

図15は、上記構成を有する巡回型A/D変換器51の動作タイミングを示している。図15に示すように、巡回型A/D変換器51の動作タイミングは、図3に示した巡回型A/D変換器2の動作タイミングとほぼ同様となる。ただし、A/D変換動作における電荷再分配時において、スイッチS10p、S11pはA/D変換回路52から出力されるA/D変換コードnに基づいて切り替えられ、スイッチS10m、S11mは(2−n)に基づいて切り替えられる。こうした一連の動作において、非反転信号側と反転信号側における各スイッチの切り替えは同タイミングで行われるようになっている。   FIG. 15 shows the operation timing of the cyclic A / D converter 51 having the above configuration. As shown in FIG. 15, the operation timing of the cyclic A / D converter 51 is substantially the same as the operation timing of the cyclic A / D converter 2 shown in FIG. However, at the time of charge redistribution in the A / D conversion operation, the switches S10p and S11p are switched based on the A / D conversion code n output from the A / D conversion circuit 52, and the switches S10m and S11m are (2-n ). In such a series of operations, the switches on the non-inverted signal side and the inverted signal side are switched at the same timing.

また、巡回型A/D変換器51によるC/V変換動作は以下のようになる。図16(a)は、C/V変換動作のリセット期間における巡回型A/D変換器51の構成のうち、C/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図16(a)および図15に示すように、リセット期間中、センサエレメント1の端子FEには電圧Vsmが印加されている。また、OPアンプ55の反転入力端子と非反転出力端子、非反転入力端子と反転出力端子は、それぞれスイッチS14p、S14mを介して短絡されている。このため、リセット期間におけるOPアンプ55の反転入力端子の電荷Qrpは、このときの反転入力端子の電圧がVcomであるとすると、下記(8)式により表される。また、非反転入力端子の電荷Qrmは、このときの非反転入力端子の電圧がVcomであるとすると、下記(9)式により表される。
Qrp=(CE+ΔC/2)(Vsm−Vcom) …(8)
Qrm=(CE−ΔC/2)(Vsm−Vcom) …(9)
The C / V conversion operation by the cyclic A / D converter 51 is as follows. FIG. 16A schematically shows a configuration related to the C / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 51 in the reset period of the C / V conversion operation. As shown in FIGS. 16A and 15, the voltage Vsm is applied to the terminal FE of the sensor element 1 during the reset period. Further, the inverting input terminal and the non-inverting output terminal, and the non-inverting input terminal and the inverting output terminal of the OP amplifier 55 are short-circuited via switches S14p and S14m, respectively. Therefore, the charge Qrp at the inverting input terminal of the OP amplifier 55 during the reset period is expressed by the following equation (8), assuming that the voltage at the inverting input terminal at this time is Vcom. Further, the charge Qrm of the non-inverting input terminal is expressed by the following equation (9), assuming that the voltage of the non-inverting input terminal at this time is Vcom.
Qrp = (CE + ΔC / 2) (Vsm−Vcom) (8)
Qrm = (CE−ΔC / 2) (Vsm−Vcom) (9)

また、制御回路56は、上記リセット期間中、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作が停止された状態で、C/V変換動作の「リセット」が行われる。   Further, the control circuit 56 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 during the reset period. That is, the “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 is stopped.

図16(b)は、C/V変換動作の変換期間における巡回型A/D変換器51の構成のうち、C/V変換動作に関わる構成を抽出して概略的に示している。図16(b)および図15に示すように、変換期間中、センサエレメント1の端子FEには電圧Vspが印加されている。また、OPアンプ55の反転入力端子と非反転出力端子との間、非反転入力端子と反転出力端子との間には、それぞれコンデンサCGp、CGmが接続されている。このため、変換期間におけるOPアンプ55の反転入力端子の電荷Qcpは、このときの反転入力端子の電圧がVxであり、非反転出力端子の電圧がVopであるとすると、下記(10)式により表される。また、非反転入力端子の電荷Qcmは、このときの非反転入力端子の電圧がVxであり、反転出力端子の電圧がVomであるとすると、下記(11)式により表される。
Qcp=(CE+ΔC/2)(Vsp−Vx)+CGp(Vop−Vx) …(10)
Qcm=(CE−ΔC/2)(Vsp−Vx)+CGm(Vom−Vx) …(11)
FIG. 16B schematically shows a configuration related to the C / V conversion operation extracted from the configuration of the cyclic A / D converter 51 in the conversion period of the C / V conversion operation. As shown in FIGS. 16B and 15, the voltage Vsp is applied to the terminal FE of the sensor element 1 during the conversion period. Capacitors CGp and CGm are connected between the inverting input terminal and the non-inverting output terminal of the OP amplifier 55 and between the non-inverting input terminal and the inverting output terminal, respectively. Therefore, the charge Qcp of the inverting input terminal of the OP amplifier 55 during the conversion period is expressed by the following equation (10), assuming that the voltage at the inverting input terminal at this time is Vx and the voltage at the non-inverting output terminal is Vop. expressed. Further, the charge Qcm of the non-inverting input terminal is expressed by the following equation (11), assuming that the voltage of the non-inverting input terminal is Vx and the voltage of the inverting output terminal is Vom.
Qcp = (CE + ΔC / 2) (Vsp−Vx) + CGp (Vop−Vx) (10)
Qcm = (CE−ΔC / 2) (Vsp−Vx) + CGm (Vom−Vx) (11)

上記各期間における電荷QrpとQcp、電荷QrmとQcmは、電荷保存則により、下記(12)、(13)式のようにそれぞれ等しくなる。
Qrp=Qcp …(12)
Qrm=Qcm …(13)
The charges Qrp and Qcp and the charges Qrm and Qcm in the above periods are equal to each other as shown in the following equations (12) and (13) according to the charge conservation law.
Qrp = Qcp (12)
Qrm = Qcm (13)

上記(8)〜(13)式により、C/V変換後の出力電圧VopとVomとの差、すなわちOPアンプ55の差動出力は、下記(14)式により表される。ただし、コンデンサCGpの静電容量CGpと、コンデンサCGmの静電容量CGmとは、互いに等しい値CGであるとする。
Vop−Vom=−(ΔC/(CE+CG))(Vsp−Vsm) …(14)
すなわち、C/V変換後のOPアンプ55の差動出力(Vop−Vom)は、コンデンサCE1、CE2の静電容量の変化ΔCを-(1/(CE+CG))(Vsp−Vsm)というゲインで増幅したものに相当する。
From the above equations (8) to (13), the difference between the output voltages Vop and Vom after C / V conversion, that is, the differential output of the OP amplifier 55 is expressed by the following equation (14). However, it is assumed that the capacitance CGp of the capacitor CGp and the capacitance CGm of the capacitor CGm have the same value CG.
Vop−Vom = − (ΔC / (CE + CG)) (Vsp−Vsm) (14)
In other words, the differential output (Vop−Vom) of the OP amplifier 55 after C / V conversion indicates that the change ΔC in the capacitances of the capacitors CE1 and CE2 is − (1 / (CE + CG)) (Vsp−Vsm). Corresponds to the gain amplified.

また、制御回路56は、上記変換期間中、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作を実行する。つまり、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作が実行された状態で、C/V変換動作の「変換」が行われる。   In addition, the control circuit 56 performs a band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 during the conversion period. That is, the “conversion” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 is executed.

また、制御回路56は、増幅動作中およびA/D変換動作中、アンプ帯域制限回路54による帯域制限動作を停止する。つまり、アンプ帯域制限回路54によるアンプ帯域制限動作が停止された状態で、増幅動作およびA/D変換動作が行われる。   The control circuit 56 stops the band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 during the amplification operation and the A / D conversion operation. That is, the amplification operation and the A / D conversion operation are performed in a state where the amplifier band limiting operation by the amplifier band limiting circuit 54 is stopped.

このように、巡回型A/D変換器51は、容量式加速度センサのセンサエレメント1からの信号電荷Sinが入力される場合、シングル構成の巡回型A/D変換器2と同様の動作を行う。また、出力信号として電圧を出力する形式の各種センサからの信号電圧Vinが入力される場合も、巡回型A/D変換器2と同様の動作を行う。従って、本実施形態の巡回型A/D変換器51によれば、第1の実施形態と同様の作用および効果を得られ、さらに、信号電荷SinpとSinmとの差、あるいは信号電圧VinpとVinmとの差電圧をA/D変換するので、外部からのコモンモードノイズを有効に除去することができる。   As described above, when the signal charge Sin from the sensor element 1 of the capacitive acceleration sensor is input, the cyclic A / D converter 51 performs the same operation as that of the single configuration cyclic A / D converter 2. . The same operation as that of the cyclic A / D converter 2 is performed also when a signal voltage Vin from various sensors that output voltage is output as an output signal. Therefore, according to the cyclic A / D converter 51 of the present embodiment, the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained, and the difference between the signal charges Sinp and Sinm, or the signal voltages Vinp and Vinm A / D conversion is performed on the difference voltage between and common mode noise from the outside can be effectively removed.

(第7の実施形態)
以下、本発明の第7の実施形態について図17および図18を参照しながら説明する。
本実施形態は、第1の実施形態に対し、A/D変換回路の構成を変更するとともに、そのA/D変換回路に帯域制限手段としての機能を持たせた点が異なる。
(Seventh embodiment)
The seventh embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
This embodiment is different from the first embodiment in that the configuration of the A / D conversion circuit is changed and the A / D conversion circuit is provided with a function as a band limiting unit.

図17に示すように、本実施形態のA/D変換回路61は、A/D変換回路8に対し、コンパレータCMP1、CMP2の非反転入力端子に与えられる参照電圧をコンデンサの容量比により生成する構成(容量式コンパレータ)となっている点が異なる。なお、本実施形態では、A/D変換回路61の構成のうち、ラッチ回路14およびエンコーダ15を除く構成により、容量式のコンパレータ回路62が構成されている。   As shown in FIG. 17, the A / D conversion circuit 61 of the present embodiment generates a reference voltage applied to the non-inverting input terminals of the comparators CMP1 and CMP2 with respect to the A / D conversion circuit 8 according to the capacitance ratio of the capacitors. The difference is in the configuration (capacitive comparator). In the present embodiment, the capacitive comparator circuit 62 is configured by the configuration excluding the latch circuit 14 and the encoder 15 in the configuration of the A / D conversion circuit 61.

コンデンサC61の一方の電極は、Vrefp(5V)の電圧線に接続されている。コンデンサC61の他方の電極は、スイッチS61(接続切替手段に相当)を介して、コンパレータCMP1の非反転入力端子およびA/D変換回路61の入力端子のうちの何れかに接続されるようになっている。A/D変換回路61の入力端子には、切替回路6を介して電圧が入力されている。コンデンサC62の一方の電極は、Vrefm(0V)の電圧線に接続されている。コンデンサC62の他方の電極は、スイッチS62(接続切替手段に相当)を介して、コンパレータCMP1の非反転入力端子およびA/D変換回路61の入力端子のうちの何れかに接続されるようになっている。コンパレータCMP1の反転入力端子は、A/D変換回路61の入力端子に接続されている。コンパレータCMP1の非反転入力端子は、スイッチS63を介してVrefmの電圧線に接続されている。   One electrode of the capacitor C61 is connected to a voltage line of Vrefp (5V). The other electrode of the capacitor C61 is connected to one of the non-inverting input terminal of the comparator CMP1 and the input terminal of the A / D conversion circuit 61 via the switch S61 (corresponding to connection switching means). ing. A voltage is input to the input terminal of the A / D conversion circuit 61 via the switching circuit 6. One electrode of the capacitor C62 is connected to a voltage line of Vrefm (0V). The other electrode of the capacitor C62 is connected to one of the non-inverting input terminal of the comparator CMP1 and the input terminal of the A / D conversion circuit 61 via the switch S62 (corresponding to connection switching means). ing. The inverting input terminal of the comparator CMP1 is connected to the input terminal of the A / D conversion circuit 61. The non-inverting input terminal of the comparator CMP1 is connected to the Vrefm voltage line via the switch S63.

コンデンサC63の一方の電極は、Vrefp(5V)の電圧線に接続されている。コンデンサC63の他方の電極は、スイッチS64(接続切替手段に相当)を介して、コンパレータCMP2の非反転入力端子およびA/D変換回路61の入力端子のうちの何れかに接続されるようになっている。コンデンサC64の一方の電極は、Vrefm(0V)の電圧線に接続されている。コンデンサC64の他方の電極は、スイッチS65(接続切替手段に相当)を介して、コンパレータCMP2の非反転入力端子およびA/D変換回路61の入力端子のうちの何れかに接続されるようになっている。コンパレータCMP2の反転入力端子は、A/D変換回路61の入力端子に接続されている。コンパレータCMP1の非反転入力端子は、スイッチS66を介してVrefmの電圧線に接続されている。スイッチS61〜S66の切り替えおよび開閉は、制御回路9により制御される。   One electrode of the capacitor C63 is connected to a voltage line of Vrefp (5V). The other electrode of the capacitor C63 is connected to one of the non-inverting input terminal of the comparator CMP2 and the input terminal of the A / D conversion circuit 61 via the switch S64 (corresponding to connection switching means). ing. One electrode of the capacitor C64 is connected to a voltage line of Vrefm (0V). The other electrode of the capacitor C64 is connected to one of the non-inverting input terminal of the comparator CMP2 and the input terminal of the A / D conversion circuit 61 via the switch S65 (corresponding to connection switching means). ing. The inverting input terminal of the comparator CMP2 is connected to the input terminal of the A / D conversion circuit 61. The non-inverting input terminal of the comparator CMP1 is connected to the Vrefm voltage line via the switch S66. Switching and opening / closing of the switches S61 to S66 are controlled by the control circuit 9.

上記構成によれば、スイッチS61、S62、S64、S65が何れもコンパレータ(CMP1、CMP2)側に切り替えられるとともに、スイッチS63、S66がオフのとき、A/D変換回路61は、A/D変換回路8と同様に、VrefpおよびVrefmを基準電圧とし、M=1.5ビットつまり3値のデジタル変換値0、1、2(=00、01、10)を出力するようになっている。   According to the above configuration, the switches S61, S62, S64, and S65 are all switched to the comparators (CMP1, CMP2) side, and when the switches S63, S66 are off, the A / D conversion circuit 61 Similarly to the circuit 8, Vrefp and Vrefm are used as reference voltages, and M = 1.5 bits, that is, ternary digital conversion values 0, 1, 2 (= 00, 01, 10) are output.

一方、スイッチS61、S62、S64、S65が何れも入力端子(切替回路6)側に切り替えられたとき、次のように、OPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作が実行される。すなわち、このとき、OPアンプ11の出力端子には、切替回路6を通じて、コンデンサC61〜C64の他方の電極が接続された状態となる。そして、コンデンサC61、C63の一方の電極は、低インピーダンスラインであるVrefpの電圧線に接続されている。また、コンデンサC62、C64の一方の電極は、低インピーダンスラインであるVrefmの電圧線に接続されている。   On the other hand, when all of the switches S61, S62, S64, and S65 are switched to the input terminal (switching circuit 6) side, a band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 is executed as follows. That is, at this time, the other electrode of the capacitors C61 to C64 is connected to the output terminal of the OP amplifier 11 through the switching circuit 6. One electrode of the capacitors C61 and C63 is connected to a voltage line of Vrefp which is a low impedance line. One electrode of each of the capacitors C62 and C64 is connected to a voltage line of Vrefm which is a low impedance line.

つまり、OPアンプ11の出力端子および低インピーダンスラインの間に容量性負荷であるコンデンサC61〜C64が接続された状態となる。そのため、OPアンプ11の帯域は、元々の仕様よりも低い値に制限される。つまり、帯域制限動作が実行された状態となる。なお、この際、スイッチS63、S66がオンされるようになっており、これにより、コンパレータCMP1、CMP2の出力は固定されている。   That is, the capacitors C61 to C64, which are capacitive loads, are connected between the output terminal of the OP amplifier 11 and the low impedance line. Therefore, the band of the OP amplifier 11 is limited to a value lower than the original specification. That is, the band limiting operation is executed. At this time, the switches S63 and S66 are turned on, whereby the outputs of the comparators CMP1 and CMP2 are fixed.

スイッチS61〜S66の開閉タイミング(帯域制限動作の実行または停止)については、図18に示すとおりとなる。すなわち、制御回路9は、C/V変換動作におけるリセット期間中、スイッチS61、S62、S64、S65をコンパレータ側(CMP側)に切り替えるとともにスイッチS63、S66をオンする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、C/V変換動作の「リセット」が行われる。また、制御回路9は、C/V変換動作における変換期間中、スイッチS61、S62、S64、S65を入力端子側(AMP側)に切り替えるとともに、スイッチS63、S66をオンする。これにより、帯域制限動作が実行された状態で、C/V変換動作の「変換」が行われる。また、制御回路9は、増幅動作中、スイッチS61、S62、S64、S65をコンパレータ側に切り替えるとともにスイッチS63、S66をオンする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、増幅動作が行われる。また、制御回路9は、A/D変換動作中、スイッチS61、S62、S64、S65をコンパレータ側に切り替えるとともにスイッチS63、S66をオフする。これにより、帯域制限動作が停止された状態で、A/D変換動作が行われる。   The opening / closing timing of the switches S61 to S66 (execution or stop of the band limiting operation) is as shown in FIG. That is, the control circuit 9 switches the switches S61, S62, S64, and S65 to the comparator side (CMP side) and turns on the switches S63 and S66 during the reset period in the C / V conversion operation. Thereby, “reset” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. In addition, during the conversion period in the C / V conversion operation, the control circuit 9 switches the switches S61, S62, S64, and S65 to the input terminal side (AMP side) and turns on the switches S63 and S66. Thus, the “conversion” of the C / V conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is performed. Further, during the amplification operation, the control circuit 9 switches the switches S61, S62, S64, and S65 to the comparator side and turns on the switches S63 and S66. As a result, the amplification operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped. Further, during the A / D conversion operation, the control circuit 9 switches the switches S61, S62, S64, and S65 to the comparator side and turns off the switches S63 and S66. Thereby, the A / D conversion operation is performed in a state where the band limiting operation is stopped.

以上説明したように、本実施形態では、A/D変換回路61が備えるコンデンサC61〜C64をOPアンプ11の出力端子および低インピーダンスラインの間に接続することを可能とした。これにより、C/V変換時、元々動作する必要がないA/D変換回路61を利用してOPアンプ11の帯域を制限する帯域制限動作を実行することができる。従って、本実施形態によっても第1の実施形態と同様の作用および効果が得られる。さらに、本実施形態では、C/V変換動作時に動作不要となるA/D変換回路61を利用して(流用して)帯域制限動作を実現する。そのため、帯域制限手段の構成を簡素化することができ、これにより、回路面積を小さく抑えることができる。   As described above, in this embodiment, the capacitors C61 to C64 included in the A / D conversion circuit 61 can be connected between the output terminal of the OP amplifier 11 and the low impedance line. Thereby, at the time of C / V conversion, it is possible to execute the band limiting operation for limiting the band of the OP amplifier 11 by using the A / D conversion circuit 61 that does not need to operate originally. Therefore, the same operation and effect as the first embodiment can be obtained by this embodiment. Further, in the present embodiment, the band limiting operation is realized by using (utilizing) the A / D conversion circuit 61 that does not require operation during the C / V conversion operation. Therefore, the configuration of the band limiting unit can be simplified, and thereby the circuit area can be kept small.

(その他の実施形態)
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、次のような変形または拡張が可能である。
上述した各実施形態では、変換電圧をマルチプライングD/A変換器7、53に2回通過(1回巡回)させることにより増幅したが、1回通過させた後にA/D変換を実行させてもよいし、3回以上通過(2回以上巡回)させた後にA/D変換を実行させてもよい。この通過回数(巡回数)を適宜設定することにより、A/D変換器にプログラマブルな可変ゲイン増幅器としての機能を持たせることができる。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the embodiments described above and illustrated in the drawings, and the following modifications or expansions are possible.
In each of the embodiments described above, the conversion voltage is amplified by passing through the multiplying D / A converters 7 and 53 twice (one time), but after passing once, the A / D conversion is executed. Alternatively, the A / D conversion may be executed after three or more passes (two or more cycles). By appropriately setting the number of passes (the number of cycles), the A / D converter can have a function as a programmable variable gain amplifier.

増幅動作中、マルチプライングD/A変換器7、53に被増幅信号を通過させるごとに増幅率を変更してもよい。この場合、変換電圧の増幅動作における増幅率とその後のA/D変換動作における増幅率とをそれぞれ独立して設定する。増幅動作における増幅率は1倍以下であってもよい。   During the amplification operation, the amplification factor may be changed each time the amplified signal is passed through the multiplying D / A converters 7 and 53. In this case, the amplification factor in the conversion voltage amplification operation and the amplification factor in the subsequent A / D conversion operation are set independently. The amplification factor in the amplification operation may be 1 or less.

例えば第1の実施形態において、増幅動作時にコンデンサCF、CS10、CS11に電荷設定をしたが、コンデンサCFとコンデンサCS10、CS11のうちの少なくとも1つに電荷設定する構成としてもよい。また、増幅動作の電荷再分配時にスイッチS10、S11の少なくとも1つをVrefm側ではなく切替回路6側に切り替えてもよい。このようにすれば多種類の増幅率を実現できる。   For example, in the first embodiment, the charges are set in the capacitors CF, CS10, and CS11 during the amplification operation. However, the charge may be set in at least one of the capacitors CF and CS10 and CS11. Further, at the time of charge redistribution in the amplification operation, at least one of the switches S10 and S11 may be switched to the switching circuit 6 side instead of the Vrefm side. In this way, many types of amplification factors can be realized.

コンデンサCFの静電容量を変更可能に構成し、増幅動作におけるコンデンサCFの静電容量と、その後のA/D変換動作におけるコンデンサCFの静電容量とをそれぞれ独立して設定してもよい。   The capacitance of the capacitor CF may be changed, and the capacitance of the capacitor CF in the amplification operation and the capacitance of the capacitor CF in the subsequent A / D conversion operation may be set independently.

各実施形態において、増幅動作時にオフセット電圧を与える構成としてもよい。すなわち、変換電圧または増幅電圧をマルチプライングD/A変換器7、53に通過させるごとに、本発明でいうアナログ電圧の規定値を異なる値に設定してもよい。例えば、第1の実施形態では、増幅動作時の電荷再分配に際しスイッチS10、S11の少なくともいずれか1つをVrefp側に切り替えればよい。   In each embodiment, a configuration may be adopted in which an offset voltage is applied during an amplification operation. That is, each time the converted voltage or the amplified voltage is passed through the multiplying D / A converters 7 and 53, the specified value of the analog voltage in the present invention may be set to a different value. For example, in the first embodiment, at least one of the switches S10 and S11 may be switched to the Vrefp side during charge redistribution during the amplification operation.

増幅動作を行うか否かを変更可能にするとともに、増幅動作を行う場合の巡回数を変更可能とし、C/V変換動作時および増幅動作時にもA/D変換回路8、52、61にA/D変換を実行させ、その変換結果に基づいて変換電圧または増幅電圧がA/D変換に適したダイナミックレンジにまで増幅されたか否かを判断して巡回動作を停止するように構成してもよい。この場合、制御回路9、56は、巡回数(マルチプライングD/A変換器7、53への通過回数)と各回の増幅率とを記憶し、得られたA/D変換値に対する補正処理を行えばよい。   Whether or not to perform an amplification operation can be changed, and the number of cycles in the case of performing an amplification operation can be changed. / D conversion may be executed, and based on the conversion result, it may be determined whether the conversion voltage or the amplified voltage has been amplified to a dynamic range suitable for A / D conversion, and the cyclic operation may be stopped. Good. In this case, the control circuits 9 and 56 store the number of cycles (the number of passes to the multiplying D / A converters 7 and 53) and the amplification factor of each time, and perform correction processing on the obtained A / D conversion value. Can be done.

第6の実施形態における差動構成の巡回型A/D変換器51についても、第7の実施形態と同様にして、A/D変換回路52に帯域制限手段としての機能を持たせてもよい。
帯域制限手段としては、上記各実施形態において説明した各構成(アンプ帯域制限回路10、22、電流制御回路32、A/D変換回路61)のうち、2つ以上の構成を組み合わせたものであってもよい。例えば、第2の実施形態の構成に対し、アンプ帯域制限回路10、22および電流制御回路32のうち、少なくとも何れか一つを追加してもよい。そうすれば、低ゲインでのC/V変換動作時にも帯域制限動作を実行することが可能となるため、低ゲインでC/V変換動作を行う際におけるS/N比の僅かな低下をも抑制することができる。
Similarly to the seventh embodiment, the cyclic A / D converter 51 having a differential configuration according to the sixth embodiment may have a function as a band limiting unit in the A / D conversion circuit 52. .
The band limiting means is a combination of two or more configurations among the configurations (amplifier band limiting circuits 10 and 22, current control circuit 32, A / D conversion circuit 61) described in the above embodiments. May be. For example, at least one of the amplifier band limiting circuits 10 and 22 and the current control circuit 32 may be added to the configuration of the second embodiment. Then, it becomes possible to execute the band limiting operation even during the C / V conversion operation at a low gain, so that the S / N ratio is slightly lowered when the C / V conversion operation is performed at a low gain. Can be suppressed.

さらに、帯域制限手段の具体的な構成としては、上記各実施形態において説明した構成に限らずともよく、OPアンプ11、55の帯域を制限することができる構成であればよい。例えば、OPアンプ11、55を構成するトランジスタのサイズを切り替える機能を設け、C/V変換動作時にトランジスタのサイズを小さくするように切り替えることにより帯域制限を実現する構成が考えられる。この場合の具体的な構成としては、例えば次のような構成を採用することができる。すなわち、OPアンプ11、55を構成する各トランジスタを、複数のトランジスタを並列接続した構成に置き換える。なお、この場合、並列接続する複数のトランジスタは、互いにサイズが同一であってもよし、異なっていてもよい。上記構成において、並列接続したトランジスタのうち、実際に使用するトランジスタの数を多くすると、OPアンプ11、55の帯域は制限されず、元々の仕様通りとなる。つまり、帯域制限動作が停止された状態となる。一方、実際に使用するトランジスタの数を少なくすると、OPアンプ11、55の帯域は、元々の仕様よりも低い値に制限される。つまり、帯域制限動作が実行された状態となる。   Furthermore, the specific configuration of the band limiting unit is not limited to the configuration described in each of the above embodiments, and any configuration that can limit the bands of the OP amplifiers 11 and 55 may be used. For example, a configuration in which the function of switching the size of the transistors constituting the OP amplifiers 11 and 55 is provided, and the band limitation is realized by switching so as to reduce the size of the transistor during the C / V conversion operation. As a specific configuration in this case, for example, the following configuration can be adopted. That is, the transistors constituting the OP amplifiers 11 and 55 are replaced with a configuration in which a plurality of transistors are connected in parallel. In this case, the plurality of transistors connected in parallel may have the same size or different sizes. In the above configuration, when the number of transistors actually used among the transistors connected in parallel is increased, the bands of the OP amplifiers 11 and 55 are not limited, and the original specifications are obtained. That is, the band limiting operation is stopped. On the other hand, if the number of transistors actually used is reduced, the bands of the OP amplifiers 11 and 55 are limited to values lower than the original specifications. That is, the band limiting operation is executed.

A/D変換回路に帯域制限手段としての機能を持たせる場合の具体的な構成としては、図17に示した構成に限らずともよい。すなわち、容量式のコンパレータ回路を備えるA/D変換回路に対し、そのコンパレータ回路が備えるコンデンサを、演算増幅器の出力端子および低インピーダンスラインの間に接続可能とする接続切替手段を付加した構成であればよい。   The specific configuration in the case where the A / D conversion circuit is provided with a function as band limiting means is not limited to the configuration shown in FIG. In other words, the A / D converter circuit having a capacitance type comparator circuit is provided with a connection switching means for connecting the capacitor provided in the comparator circuit between the output terminal of the operational amplifier and the low impedance line. That's fine.

図面中、2、21、31、51は巡回型A/D変換器(信号処理回路)、6、6p、6mは切替回路(入力回路)、7、53はマルチプライングD/A変換器(残余電圧生成回路)、8、52はA/D変換回路、9、56は制御回路、10、22、54はアンプ帯域制限回路(帯域制限手段)、11、55はOPアンプ(演算増幅器)、32は電流制御回路(電流可変手段、帯域制限手段)、61はA/D変換回路(帯域制限手段)、62は容量式のコンパレータ回路、CG、CG1、CGp、CGm、CF、CFp、CFmはコンデンサ(積分コンデンサ)、CG2はコンデンサ(積分コンデンサ、負荷コンデンサ)、CL1はコンデンサ(負荷コンデンサ)、CS10、CS11、CS10p、CS11p、CS10m、CS11mはアレイコンデンサ、C61〜C64はコンデンサ、CMP1、CMP2はコンパレータ、S1、S1p、S1mはスイッチ(入力切替回路)、S17、S22はスイッチ(帯域制限用スイッチ)、S61、S62、S64、S65はスイッチ(接続切替手段)を示す。   In the drawings, 2, 21, 31, and 51 are cyclic A / D converters (signal processing circuits), 6, 6p, and 6m are switching circuits (input circuits), and 7, 53 are multiple D / A converters ( Residual voltage generating circuit), 8 and 52 are A / D conversion circuits, 9 and 56 are control circuits, 10, 22 and 54 are amplifier band limiting circuits (band limiting means), 11 and 55 are OP amplifiers (operational amplifiers), 32 is a current control circuit (current variable means, band limiting means), 61 is an A / D conversion circuit (band limiting means), 62 is a capacitive comparator circuit, CG, CG1, CGp, CGm, CF, CFp, CFm are Capacitor (integration capacitor), CG2 is a capacitor (integration capacitor, load capacitor), CL1 is a capacitor (load capacitor), CS10, CS11, CS10p, CS11p, CS10m, and CS11m are A capacitor, C61 to C64 are capacitors, CMP1 and CMP2 are comparators, S1, S1p and S1m are switches (input switching circuits), S17 and S22 are switches (band limiting switches), and S61, S62, S64 and S65 are switches (switches). Connection switching means).

Claims (6)

A/D変換回路(8、52、61)と、
前記A/D変換回路(8、52、61)の入力電圧と所定のアナログ電圧との差電圧を増幅した残余電圧を生成するものであって、アレイコンデンサ(CS10、CS11、CS10p、CS11p、CS10m、CS11m)、演算増幅器(11、55)および積分コンデンサ(CG、CG1、CG2、CGp、CGm、CF、CFp、CFm)を備える残余電圧生成回路(7、53)と、
前記残余電圧生成回路(7、53)から出力される電圧を前記A/D変換回路(8、52、61)および前記残余電圧生成回路(7、53)に入力する入力回路(6、6p、6m)と、
外部信号電荷を前記残余電圧生成回路(7、53)の前記演算増幅器(11、55)の入力端子に入力するか否かを切り替える入力切替回路(S1、S1p、S1m)と、
前記外部信号電荷を前記入力切替回路(S1、S1p、S1m)を介して前記残余電圧生成回路(7、53)に入力し、その残余電圧生成回路(7、53)から前記外部信号電荷に応じた電圧を出力させる電圧変換動作を実行し、その後、前記残余電圧生成回路(7、53)におけるアナログ電圧を前記A/D変換回路(8、52、61)から出力されるデジタル変換値のD/A変換値とした上で、前記外部信号電荷の変換電圧を前記入力回路(6、6p、6m)、前記A/D変換回路(8、52、61)および前記残余電圧生成回路(7、53)を通して巡回させることによりA/D変換するA/D変換動作を実行する制御回路(9、56)と、
前記演算増幅器(11、55)の帯域を制限する帯域制限動作を実行する帯域制限手段(10、22、32、54、61)と、
を備え、
前記制御回路(9、56)は、
前記帯域制限手段(10、22、32、54、61)による前記帯域制限動作を実行した状態で前記電圧変換動作を実行するとともに、前記帯域制限手段(10、22、32、54、61)による前記帯域制限動作を停止した状態で前記A/D変換動作を実行することを特徴とする信号処理回路。
An A / D conversion circuit (8, 52, 61);
A residual voltage obtained by amplifying a difference voltage between an input voltage of the A / D conversion circuit (8, 52, 61) and a predetermined analog voltage is generated, and an array capacitor (CS10, CS11, CS10p, CS11p, CS10m) is generated. CS11m), an operational amplifier (11, 55) and an integration capacitor (CG, CG1, CG2, CGp, CGm, CF, CFp, CFm), and a residual voltage generation circuit (7, 53);
Input circuits (6, 6p,...) For inputting voltages output from the residual voltage generation circuit (7, 53) to the A / D conversion circuit (8, 52, 61) and the residual voltage generation circuit (7, 53). 6m)
An input switching circuit (S1, S1p, S1m) for switching whether to input an external signal charge to an input terminal of the operational amplifier (11, 55) of the residual voltage generation circuit (7, 53);
The external signal charge is input to the residual voltage generation circuit (7, 53) through the input switching circuit (S1, S1p, S1m), and the external signal charge is applied to the external signal charge from the residual voltage generation circuit (7, 53). A voltage conversion operation for outputting the obtained voltage is executed, and then the analog voltage in the residual voltage generation circuit (7, 53) is converted to D of the digital conversion value output from the A / D conversion circuit (8, 52, 61). / A conversion value, the conversion voltage of the external signal charge is converted into the input circuit (6, 6p, 6m), the A / D conversion circuit (8, 52, 61) and the residual voltage generation circuit (7, 53) a control circuit (9, 56) for executing an A / D conversion operation for A / D conversion by circulating through
Band limiting means (10, 22, 32, 54, 61) for performing a band limiting operation for limiting the band of the operational amplifier (11, 55);
With
The control circuit (9, 56)
The voltage conversion operation is executed in a state where the band limiting operation by the band limiting unit (10, 22, 32, 54, 61) is executed, and the band limiting unit (10, 22, 32, 54, 61) A signal processing circuit, wherein the A / D conversion operation is executed in a state where the band limiting operation is stopped.
前記帯域制限手段(10、22、54)は、前記演算増幅器(11、55)の出力端子と低インピーダンスラインとの間に接続された負荷コンデンサ(CG2、CL1)および帯域制限用スイッチ(S17、S22)の直列回路を備え、
前記制御回路(9、56)は、前記帯域制限動作を実行する際には前記帯域制限用スイッチ(S17、S22)をオンし、前記帯域制限動作を停止する際には前記帯域制限用スイッチ(S17、S22)をオフすることを特徴とする請求項1に記載の信号処理回路。
The band limiting means (10, 22, 54) includes a load capacitor (CG2, CL1) connected between the output terminal of the operational amplifier (11, 55) and a low impedance line, and a band limiting switch (S17, S22) series circuit,
The control circuit (9, 56) turns on the band limiting switch (S17, S22) when performing the band limiting operation, and turns on the band limiting switch (S22) when stopping the band limiting operation. The signal processing circuit according to claim 1, wherein S17 and S22) are turned off.
前記帯域制限手段は、前記演算増幅器(11、55)の駆動電流を可変する電流可変手段(32)を備え、
前記制御回路(9、56)は、前記帯域制限動作を実行する際には前記駆動電流が第1電流値となるように前記電流可変手段(32)を制御し、前記帯域制限動作を停止する際には前記駆動電流が前記第1電流値よりも大きい第2電流値となるように前記電流可変手段(32)を制御することを特徴とする請求項1に記載の信号処理回路。
The band limiting unit includes a current varying unit (32) that varies the drive current of the operational amplifier (11, 55),
When executing the band limiting operation, the control circuit (9, 56) controls the current varying means (32) so that the drive current becomes the first current value, and stops the band limiting operation. 2. The signal processing circuit according to claim 1, wherein the current varying means is controlled so that the driving current becomes a second current value larger than the first current value. 3.
前記A/D変換回路(61)は、容量式のコンパレータ回路(62)を含んで構成され、
前記帯域制限手段(61)は、前記コンパレータ回路(62)が備えるコンデンサ(C61〜C64)を前記演算増幅器(11、55)の出力端子と低インピーダンスラインとの間または前記コンパレータ回路(62)が備えるコンパレータ(CMP1、CMP2)の入力端子と低インピーダンスラインとの間に接続する接続切替手段(S61、S62、S64、S65)を備え、
前記制御回路(9、56)は、前記帯域制限動作を実行する際には前記コンデンサ(C61〜C64)を前記演算増幅器(11、55)の出力端子側に接続し、前記帯域制限動作を停止する際には前記コンデンサ(C61〜C64)を前記コンパレータ(CMP1、CMP2)の入力端子側に接続するように前記接続切替手段(S61、S62、S64、S65)を制御することを特徴とする請求項1に記載の信号処理回路。
The A / D conversion circuit (61) includes a capacitive comparator circuit (62),
The band limiting means (61) includes a capacitor (C61 to C64) included in the comparator circuit (62) between an output terminal of the operational amplifier (11, 55) and a low impedance line or the comparator circuit (62). Connection switching means (S61, S62, S64, S65) connected between the input terminals of the comparators (CMP1, CMP2) and the low impedance line,
The control circuit (9, 56), when executing the band limiting operation, connects the capacitors (C61 to C64) to the output terminal side of the operational amplifier (11, 55), and stops the band limiting operation. In this case, the connection switching means (S61, S62, S64, S65) is controlled so as to connect the capacitors (C61 to C64) to the input terminals of the comparators (CMP1, CMP2). Item 2. The signal processing circuit according to Item 1.
前記制御回路(9、56)は、
前記電圧変換動作を実行した後、前記帯域制限手段(10、22、32、54、61)による帯域制限動作を停止した状態で、前記残余電圧生成回路(7、53)を用いて前記外部信号電荷の変換電圧を増幅する増幅動作を実行し、その後、前記変換電圧に代えて前記増幅した電圧をA/D変換する前記A/D変換動作を実行することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の信号処理回路。
The control circuit (9, 56)
After executing the voltage conversion operation, the external signal is generated using the residual voltage generation circuit (7, 53) in a state where the band limitation operation by the band limitation means (10, 22, 32, 54, 61) is stopped. 5. An amplification operation for amplifying a charge conversion voltage is executed, and then the A / D conversion operation for A / D conversion of the amplified voltage is executed instead of the conversion voltage. The signal processing circuit according to any one of the above.
前記A/D変換回路(52)、前記残余電圧生成回路(53)、前記入力回路(6p、6m)および前記入力切替回路(S1p、S1m)は、それぞれ差動動作可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の信号処理回路。   The A / D conversion circuit (52), the residual voltage generation circuit (53), the input circuit (6p, 6m), and the input switching circuit (S1p, S1m) are each configured to be capable of differential operation. The signal processing circuit according to claim 1, wherein:
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