JP2014116574A - 多層回路基板及び高周波回路モジュール - Google Patents

多層回路基板及び高周波回路モジュール Download PDF

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Abstract

【課題】薄型化・高密度化に容易に対応可能で且つ高周波回路に適した多層回路基板を提供する。
【解決手段】第1伝送線路211〜213と第2伝送線路215とが形成されている第1導体層151と、絶縁体層132を介して第1導体層151と対向する第2導体層152と、絶縁体層133を介して第2導体層152と対向し、前記第2伝送線路215を第1伝送線路211〜213と交差させるために前記第1導体層151の第2伝送線路215とビア導体171,172を介して電気的に接続した迂回線路230が形成された第3導体層153とを備え、前記第2導体層152には、少なくとも前記迂回線路230と対向する位置にグランド導体320が形成され、前記第1伝送線路211〜213は、第2伝送線路215との交差部における線路幅が他の部位よりも幅が狭く形成されている。
【選択図】図2

Description

本発明は、導体層と絶縁体層とを交互に積層してなる多層回路基板に関し、特に高周波回路に好適な回路パターンの構造に関する。
従来、多層回路基板において伝送線路を交差させる技術としては、例えば特許文献1に記載のものが知られている。特許文献1に記載のものでは、回路基板上の導体層に形成された一方の伝送線路に対して、他方の伝送線路を他の導体層に形成することにより伝送線路の交差を実現している。また特許文献1に記載のものは、高周波信号の伝送を目的としているため、伝送線路の間に面積が十分大きいグランド導体を形成した導体層を介在させている。これにより、伝送線路をマイクロストリップラインとして機能させて伝送線路に所定の特性インピーダンスをもたせている。また該グランド導体により、クロストークなど伝送線路間の干渉を防止、換言すれば伝送線路間のアイソレーションを確保している。
特開2002−368507号公報
しかし、特許文献1に記載の構造では、近年の多層回路基板に対する薄型化・高密度化という要望に十分に応えることは困難であった。すなわち、多層回路基板の薄型化しようとすると絶縁体層の厚みを薄くする必要があるが、特許文献1に記載の構造において単に絶縁体層を薄くするだけでは伝送線路の特性インピーダンスが変わってしまうという問題がある。これは、特性インピーダンスを決定するパラメータのひとつにはグランド導体と伝送線路間の容量値が挙げられ、該容量値はグランド導体と伝送線路間の距離をパラメータの1つとして決定される。したがって、絶縁体層を薄くすることにより容量値が大きくなり、これにより特性インピーダンスが低くなるというものである。これを解決するためには、多層回路基板の層数を少なくして絶縁体層の厚みを確保することが考えられるが、この方法では回路パターンを形成可能な総面積が小さくなるので高密度化を図ることが困難になる。他の方法としては、伝送線路の線幅を細くして特性インピーダンスを調整する方法もあるが、線路幅が細くなると直流抵抗成分が増えて、伝送損失が大きくなる問題がある。このため、薄い絶縁体層の複数層を介して伝送線路とグランドパターンを対向させてマイクロストリップラインを形成することになる。さらに、一方の伝送線路と他方の伝送線路が交差する箇所には、干渉防止のためにグランド導体層を介在させる必要がある。そのため、更に層数が増えてしまい、薄型化への障害になっていた。また、層数が増えることにより、基板価格が高くなるなどの問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、薄型化・高密度化に容易に対応可能で且つ高周波回路に適した多層回路基板を提供することにある。
上記目的を達成するために、本願発明に係る多層回路基板は、絶縁体層と導体層とを交互に積層してなる多層回路基板において、第1伝送線路と第2伝送線路とが形成されている第1導体層と、絶縁体層を介して第1導体層と対向する第2導体層と、絶縁体層を介して第2導体層と対向し、前記第2伝送線路を第1伝送線路と交差させるために前記第1導体層の第2伝送線路とビア導体を介して電気的に接続した迂回線路が形成された第3導体層とを備え、前記第2導体層には、少なくとも前記迂回線路と対向する位置にグランド導体が形成され、前記第1伝送線路は、第2伝送線路との交差部における線路幅が他の部位よりも幅が狭く形成されていることを特徴とするものを提案する。
本発明によれば、第1伝送線路及び第2伝送線路が形成された第1導体層と第2伝送線路の迂回線路が形成された第3導体層との間に介在する第2導体層に、該迂回線路と対向するようにグランド導体が形成されている。これにより第1伝送線路と第2伝送線路のアイソレーションを確保し、かつ、直流抵抗成分による伝送信号の損失を最小にしつつ第1伝送線路と第2伝送線路の交差を実現している。一方、この交差部においては第1伝送線路の幅は他の部位よりも狭く形成されているので、伝送線路全体で均一な特性インピーダンスを得ることができる。なお、本発明において導体層とは多層回路基板の内層に形成されたものだけでなく表層に形成されたものも含むものとする。
本発明の好適な態様の一例としては、前記多層回路基板において、絶縁体層を介して第3導体層と対向し、少なくとも前記迂回線路と対向する位置にグランド導体が形成された第4導体層を備えたものが挙げられる。このような構成により第2伝送線路の迂回線路においても特性インピーダンス及び実装後の親基板配線パターンとのアイソレーションを確保することが容易となる。
また、本発明の好適な態様の一例としては、前記第2導体層のグランド導体は、少なくとも第2伝送線路との交差部以外の第1伝送線路に対向する位置においてパターン抜け部が形成され、前記第3導体層には、第1導体層の第1伝送線路と対向する位置にグランド導体が形成されているものが挙げられる。このような構成により、伝送線路全体で均一な特性インピーダンスを容易且つ確実に得ることができる。
また、本発明の好適な態様の一例としては、前記第1導体層には、複数の第1伝送線路が互いに並走するように形成され、且つ、複数の第1伝送線路の間には第1伝送線路と並走する第1グランド線路が形成され、第2導体層のグランド導体は、前記パターン抜け部において前記第1グランド線路と対向するように形成された第2グランド線路を含むものが挙げられる。このような構成により、複数の第1伝送線路間のアイソレーションを向上させることができる。また、この場合、第2グランド線路の線幅を第1グランド線路よりも広くすると、複数の第1伝送線路間のアイソレーションをさらに向上させることができる。
また、本発明の好適な態様の一例としては、前記第1乃至第3導体層の何れよりも厚みが大きいコア層を備え、該コア層には凹部又は貫通孔が形成されており、該凹部又は貫通孔には電子部品が埋設されていることを特徴とするものが挙げられる。さらに、本発明の好適な態様の一例としては、前記請求項1乃至5何れか1項記載の多層回路基板に電子部品を実装したものが挙げられる。
以上説明したように本発明に係る多層回路基板によれば、複数の伝送線路のアイソレーションを確保しつつ伝送線路全体で均一な特性インピーダンスを得ることができるので、薄型化・高密度化に容易に対応可能で且つ高周波回路に適したものとなる。
多層回路基板の一部断面図 多層回路基板の要部を説明する分解斜視図 多層回路基板の一部断面図 多層回路基板の一部断面図 アイソレーションのシミュレーションモデル図 アイソレーションのシミュレーション結果
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態に係る多層回路基板について図面を参照して説明する。本実施の形態では、高周波回路モジュールに用いられる多層回路基板であって電子部品を内蔵した部品内蔵基板について説明する。図1は多層回路基板の一部断面図である。なお本実施の形態では、説明の簡単のため、主として本発明の要旨に係る構成についてのみ説明する。
多層回路基板100は、絶縁体層と導体層とを交互に積層してなる多層基板である。多層回路基板100は、図1に示すように、導電性が良好で且つ比較的厚い金属製の導体層であるコア層110と、該コア層110の一方の主面(上面)に形成された複数(本実施の形態では4つ)の絶縁体層121〜124及び導体層141〜144と、コア層210の他方の主面(下面)に形成された複数(本実施の形態では4つ)の絶縁体層131〜134及び導体層151〜154とを備えている。絶縁体層121〜124,131〜134及び導体層141〜144,151〜154はコア層110の両主面にビルドアップ工法にて形成されたものである。各絶縁体層121〜124,131〜134は同じ厚みで形成されている。また各導体層141〜144,151〜154も同じ厚みで形成されている。なお導体層144及び154は、多層回路基板100の表層に相当する。導体層144は高周波回路モジュールの部品実装面に相当し、高周波回路を伝送する回路パターン,外付け部品を実装するためのランド,検査用のパッド等が形成される。導体層154は高周波回路モジュールを親回路基板に実装する底面に相当し、端子電極やグランド電極等が形成される。
コア層110には電子部品収容用の貫通孔111が形成されている。該貫通孔111には、例えば高周波回路で用いられる弾性波フィルタなどの電子部品10が配置されている。したがってコア層110は、内蔵する部品の高さよりも厚みが大きく且つ曲げ強度が大きいことが好ましい。またコア層110には、導電性材料からなり、電気的には基準電位(グランド)が与えられる。したがって広義には、コア層110を多層回路基板100の導体層と解釈することも可能である。本実施の形態では、金属板、より詳しくは銅製又は銅合金製の金属板によりコア層110を形成している。貫通孔111内であって収容部品との隙間には樹脂などの絶縁体112が充填されている。
本発明の特徴的な点は、多層回路基板100における回路パターンの形成手法に関し、特に高周波信号を伝送する伝送線路の交差構造にある。本発明の特徴点について図1乃至図3を参照して説明する。図2は多層回路基板の要部を説明する分解斜視図である。なお、図2は図1に示す絶縁体層132〜134及び導体層151〜154の一部を分解した斜視図である。図3は図2におけるB線矢視方向断面図である。また前述した図1は、図2におけるA線矢視方向断面図である。
第1導体層151には、高周波信号を伝送し互いに並走する第1伝送線路211,212,213が形成されている。また第1導体層151には、高周波信号を伝送する第2伝送線路215が形成されている。本実施の形態では、第1伝送線路211〜213と第2伝送線路215とを交差させるため、第3導体層153に第2伝送線路215の迂回線路230を形成した。第2伝送線路215の端部には迂回線路230に接続するためのランド216が形成されている。第1伝送線路211〜213と第2伝送線路215の線幅は等しく形成されている。ただし、第1伝送線路211〜213は、第2伝送線路215との交差部、すなわち迂回線路230と厚み方向の投影領域が重なる位置においては、他の部分よりも幅が狭く形成されている。第1伝送線路211〜213は緩やかに線幅を変化させると、すなわち第1伝送線路211〜213の外縁が第2伝送線路215との交差部に対してテーパーをつけると好適である。第1導体層151には、第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215並びにその他の必要な回路パターン(図示省略)等を除き、全面にわたってグランド導体310が形成されている。該グランド導体310は第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215と所定の間隔をおいて形成されている。したがってグランド導体310は、第1伝送線路211〜213間に並走する伝送線路間グランド導体311を含む。
第2導体層152には、少なくとも、第1伝送線路211〜213と第2伝送線路215との交差部と投影領域が重なる位置、換言すれば迂回線路230と投影領域が重なる位置(対向する位置)、さらに換言すれば第1伝送線路211〜213と迂回線路230との間には、グランド導体320が形成されている。本実施の形態では、第2導体層152には、必要な回路パターン・ランド(図示省略)等を除き、基本的には全面に亘ってグランド導体320が形成されている。ただしグランド導体320には、第1導体層151の第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215に対向する位置においては、導体が形成されていないパターン抜け部325となっている。したがってグランド導体320は、第1導体層151の伝送線路間グランド導体311と対向する位置に形成されたグランド導体321を含む。ここで該パターン抜け部325の幅は対応する伝送線路の幅よりも広い。またグランド導体321の幅は伝送線路間グランド導体311の幅と等しい。一方、前述したように第1伝送線路211〜213と第2伝送線路215との交差部と投影領域が重なる位置、換言すれば迂回線路230と投影領域が重なる位置(対向する位置)、さらに換言すれば第1伝送線路211〜213と迂回線路230との間にはグランド導体320が形成されており、パターン抜け部325は形成されていない点に留意されたい。また、第2導体層152には、第1導体層151のランド216に対向する位置にランド226が形成されている。該ランド226はビア導体171を介して第1導体層151のランド216と接続している。また、前記グランド導体321はビア導体(図2では図示省略)を介して伝送線路間グランド導体311及び後述する第3導体層153のグランド導体330に接続している。ここでグランド導体321と接続するビア導体は複数箇所に配置すると、グランド電位の安定及び伝送線路間のアイソレーションの向上という観点から好適である。
第3導体層153には、前述したように第1導体層151における第1伝送線路211〜213に対する第2伝送線路215の迂回線路230が形成されている。迂回線路230の幅は、第2伝送線路215の幅よりも狭く、第1伝送線路211〜213の交差部における線幅と等しい。迂回線路230の両端部にはランド236形成されている。該ランド236はビア導体172を介して第2導体層152のランド226と接続している。また、第3導体層153には、迂回線路230及びランド236並びにその他の必要な回路パターン(図示省略)等を除き、全面にわたってグランド導体330が形成されている。
第4導体層154には、少なくとも迂回線路230に対向する位置にグランド導体340が形成されている。該グランド導体340は、高周波回路モジュールのグランド電極として機能する。本実施の形態では、必要な端子電極(図示省略)等を除き、第4導体層154の全面にわたってグランド導体340が形成されている。
コア層110には、第1導体層151に形成された第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215に対向するように溝115が形成されている。該溝115の深さは、絶縁体層131の厚みよりも大きく、該コア層110による第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215の特性インピーダンスへの影響が十分小さくなるようにする。
このような多層回路基板100では、第1伝送線路211,212,213と迂回線路230との間にはグランド導体320が介在するので、これにより第1伝送線路211,212,213と第2伝送線路215のアイソレーションを確保しつつ第1伝送線路211,212,213と第2伝送線路215の交差を実現している。
また、第1伝送線路211〜213の特性インピーダンスは、第2伝送線路215との交差部以外の部分では第2導体層152にグランド導体320のパターン抜け部325が形成されているため、第1導体層151のグランド導体310及び第3導体層153のグランド導体330との距離がパラメータの1つとして決定される。一方、第2伝送線路215との交差部においては、第2導体層152にグランド導体320が形成されているため、第1導体層151のグランド導体310及び第2導体層152のグランド導体320との距離がパラメータの1つとして決定される。ここで、当然のことながら第1導体層151と第2導体層152との距離は、第1導体層151と第3導体層153との距離よりも小さい。一方で、第2伝送線路215との交差部においては、第1伝送線路211〜213の線幅は他の部分よりも狭くなっている。これにより交差部における第1伝送線路211〜213の特性インピーダンスを交差部以外の部分と同じ値にすることができるとともに、直流抵抗成分の増大を最小限に抑えることができる。なお、第1伝送線路211〜213に対しては、絶縁体層131を挟んでグランドとして機能するコア層110が対峙するが、該コア層110には第1伝送線路211〜213と対向する位置に溝115が形成されている。このため、第1伝送線路211〜213とコア層110との距離を十分大きく取ることができるので、該コア層110による第1伝送線路211〜213の特性インピーダンスへの影響を十分小さくすることができる。さらに、各伝送線路はコア層110及びグランド導体310,320,330,340によって囲まれるので、シールド効果が高まる。
さらに、第2伝送線路215の特性インピーダンスは、第2導体層152にグランド導体320のパターン抜け部325が形成されているため、第1導体層151のグランド導体310及び第3導体層153のグランド導体330との距離がパラメータの1つとして決定される。また、第2伝送線路215の迂回線路230の特性インピーダンスは、第2導体層152のグランド導体320、第3導体層153のグランド導体330、第4導体層154のグランド導体340との距離がパラメータの1つとして決定される。ここで、当然のことながら第3導体層153と第2導体層152及び第4導体層154との距離は、第1導体層151と第3導体層153との距離よりも小さい。一方で、迂回線路230の線幅は第1導体層151に形成された第2伝送線路215よりも狭くなっている。これにより迂回線路230と第2伝送線路215の特性インピーダンスを均一にすることができる。なお、第2伝送線路215に対しては、絶縁体層131を挟んでグランドとして機能するコア層110が対峙するが、該コア層110には第2伝送線路215と対向する位置に溝115が形成されている。このため、第2伝送線路215とコア層110との距離を十分大きく取ることができるので、該コア層110による第2伝送線路215の特性インピーダンスへの影響を十分小さくすることができる。
また、本実施の形態に係る多層回路基板100にて回路モジュールを構成した場合、該回路モジュールを実装した親基板の配線導体と、多層回路基板100の迂回線路230との間にはグランド導体340が介在するので、両配線間の干渉を小さくすることができる。
以上のように本実施の形態に係る多層回路基板100によれば、複数の伝送線路のアイソレーションを確保しつつ伝送線路全体で均一な特性インピーダンスを得ることができるので、薄型化・高密度化に容易に対応可能で且つ高周波回路に適したものとなる。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態に係る多層回路基板について図面を参照して説明する。本実施の形態では、第1の実施の形態と同様に、高周波回路モジュールに用いられる多層回路基板であって電子部品を内蔵した部品内蔵基板について説明する。図4は多層回路基板の一部断面図である。なお本実施の形態では、説明の簡単のため、主として本発明の要旨に係る構成についてのみ説明する。
本実施の形態に係る多層回路基板100が第1の実施の形態と異なる点は、図4に示すように、第1導体層151の伝送線路間グランド導体311に対向する第2導体層152のグランド導体321の幅が、伝送線路間グランド導体311の幅よりも広いことである。これにより、第1の実施の形態と比較して、第1伝送線路211,212,213間のシールド特性が向上し、アイソレーションを向上させることができる。他の構成・作用・効果については第1の実施の形態と同様である。
本実施の形態に係る多層回路基板100が、第1の実施の形態と比較して、第1伝送線路211,212,213間のアイソレーションが向上することをシミュレーションにより検証した。図5はシミュレーションのモデル図である。図5に示すように、多層回路基板900の一方の主面(上面)に伝送線路901,902を互いに並走するように形成し、伝送線路901及び902間に第1グランド導体911を形成した。多層回路基板900の内層には第1グランド導体911と対向する位置に第2グランド導体912を形成した。多層回路基板900の他方の主面(底面)には全面に亘って第3グランド導体913を形成した。各グランド導体911,912,913はそれぞれグランド(基準電位)に接地されている。
このようなモデルにおいて、伝送線路901の一方の端部をポート1、伝送線路901の他方の端部をポート2、前記ポート1側の伝送線路902の一方の端部をポート3、伝送線路902の他方の端部をポート4とする。そして、ポート1・ポート2間に1GHzから6GHzまでの正弦波を印加し、ポート3・ポート4間に所定の負荷(インピーダンス素子)を接続する。このような状況において、Sパラメータの1つであるS31パラメータをシミュレーションにより求める。該S31パラメータは伝送線路901・902間のアイソレーションを示すものであり値が小さいほどアイソレーションが良好である。
実施例1(上記第1の実施の形態に対応)として、第1グランド導体911の線幅WG1を50μm、第2グランド導体912の線幅WG2を50μmとしてS31をシミュレーションで求めた。実施例2(本第2の実施の形態に対応)として、第1グランド導体911の線幅WG1を50μm、第2グランド導体912の線幅WG2を150μmとしてS31をシミュレーションで求めた。また、比較例として、第1グランド導体911及び第2グランド導体912を形成していないもののS31をシミュレーションで求めた。各例における共通パラメータは、伝送線路910及び902の線幅WPが115μm、伝送線路910及び902の間隔Gが200μm、各導体の厚みが10μm、伝送線路910及び902と第3グランド導体913の距離が60μm、伝送線路901及び902の線長Lが6mmである。シミュレーション結果を図6に示す。図6から明らかなように、第1グランド導体911及び第2グランド導体912が形成された実施例1及び2は、同導体が形成されていない比較例よりも全周波数帯域においてアイソレーションが良好であることが分かった。また、第2グランド導体912の幅が広い実施例2は実施例1よりも全周波数帯域においてアイソレーションが良好であることが分かった。
以上、本発明の実施の形態について詳述したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば上記各実施の形態では、第1伝送線路211,212,213及び第2伝送線路215を多層回路基板100の内層に形成したが、表層に形成するようにしてもよい。
また上記各実施の形態では、各絶縁体層121〜124,131〜134は同じ厚みで形成し、各導体層141〜144,151〜154も同じ厚みで形成したが、各層の厚みは任意とすることができる。
また上記実施の形態では、第1導体層151のグランド導体310は、第1伝送線路211〜213及び第2伝送線路215並びにその他の必要な回路パターン(図示省略)等を除いた全面にわたって形成していたが、少なくとも第1伝送線路211及び213の外側において対向する部位及び第1伝送線路211〜213間において形成されていればよい。グランド導体320,330,340についても同様である。
また上記各実施の形態では、第1伝送線路211〜213間に伝送線路間グランド導体311を形成しているが、第1伝送線路211〜213間において必要なアイソレーションが確保できる場合は伝送線路間グランド導体311は必ずしも形成する必要はない。例えば、伝送線路を流れる信号の通信タイミングが異なる場合や、信号の周波数が離れていて影響が少ない場合などがある。なお、この場合には、伝送線路間グランド導体311に対向するように形成した第2導体層152のグランド導体321も不要である。同様に、上記各実施の形態では、伝送線路間グランド導体311に対向するように第2導体層152にグランド導体321を形成しているが、第1伝送線路211〜213間において必要なアイソレーションが確保できる場合はグランド導体321は必ずしも形成する必要はない。
また上記各実施の形態では、コア層110を備えたものを例示したが、コア層110のない多層回路基板であってもよい。なお、この場合であっても、第1伝送線路211,212,213及び第2伝送線路215の形成層は任意とすることができる。
さらに上記各実施の形態では、コア層110の材質として銅又は銅合金を例示したが、他の金属又は合金や樹脂など材質は不問である。またコア層110の導電性の有無についても不問である。さてに、上記各実施の形態では、コア層110に貫通孔111を形成し、該貫通孔111にフィルタ等の電子部品を配置するようにしたが、貫通孔111ではなく凹部をコア層110に形成し、該凹部に電子部品を配置するようにしてもよい。
なお、上記各実施の形態に係る多層回路基板100は、導体層144に形成したランド等に電子部品を実装することにより高周波回路モジュールとして使用されるが、さらに該多層回路基板100の上面の全面又は一部を覆うようにケースを装着したり樹脂等で封止するようにして使用すると好適である。
100…多層回路基板、110…コア層、121〜124,131〜134…絶縁体層、141〜144,151〜154…導体層、211〜213…第1伝送線路、215…第2伝送線路、230…迂回線路、310,320,330,340…グランド導体
上記目的を達成するために、本願発明に係る多層回路基板は、絶縁体層と導体層とを交互に積層してなる多層回路基板において、第1伝送線路と第2伝送線路とが形成されている第1導体層と、絶縁体層を介して第1導体層と対向する第2導体層と、絶縁体層を介して第2導体層と対向し、前記第2伝送線路を第1伝送線路と交差させるために前記第1導体層の第2伝送線路とビア導体を介して電気的に接続した迂回線路が形成された第3導体層とを備え、前記第2導体層には、少なくとも前記迂回線路と対向する位置にグランド導体が形成され、前記第1伝送線路は、第2伝送線路との交差部における線路幅が他の部位よりも幅が狭く形成され、前記第2導体層のグランド導体は、少なくとも第2伝送線路との交差部以外の第1伝送線路に対向する位置においてパターン抜け部が形成され、前記第3導体層には、第1導体層の第1伝送線路と対向する位置にグランド導体が形成されていることを特徴とするものを提案する。

Claims (7)

  1. 絶縁体層と導体層とを交互に積層してなる多層回路基板において、
    第1伝送線路と第2伝送線路とが形成されている第1導体層と、
    絶縁体層を介して第1導体層と対向する第2導体層と、
    絶縁体層を介して第2導体層と対向し、前記第2伝送線路を第1伝送線路と交差させるために前記第1導体層の第2伝送線路とビア導体を介して電気的に接続した迂回線路が形成された第3導体層とを備え、
    前記第2導体層には、少なくとも前記迂回線路と対向する位置にグランド導体が形成され、
    前記第1伝送線路は、第2伝送線路との交差部における線路幅が他の部位よりも幅が狭く形成されている
    ことを特徴とする多層回路基板。
  2. 絶縁体層を介して第3導体層と対向し、少なくとも前記迂回線路と対向する位置にグランド導体が形成された第4導体層を備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の多層回路基板。
  3. 前記第2導体層のグランド導体は、少なくとも第2伝送線路との交差部以外の第1伝送線路に対向する位置においてパターン抜け部が形成され、
    前記第3導体層には、第1導体層の第1伝送線路と対向する位置にグランド導体が形成されている
    ことを特徴とする請求項1又は2記載の多層回路基板。
  4. 前記第1導体層には、複数の第1伝送線路が互いに並走するように形成され、且つ、複数の第1伝送線路の間には第1伝送線路と並走する第1グランド線路が形成され、
    第2導体層のグランド導体は、前記パターン抜け部において前記第1グランド線路と対向するように形成された第2グランド線路を含む
    ことを特徴とする請求項3記載の多層回路基板。
  5. 前記第2グランド線路は前記第1グランド線路よりも幅が広い
    ことを特徴とする請求項4記載の多層回路基板。
  6. 前記第1乃至第3導体層の何れよりも厚みが大きいコア層を備え、
    該コア層には凹部又は貫通孔が形成されており、該凹部又は貫通孔には電子部品が埋設されている
    ことを特徴とする請求項1乃至5何れか1項記載の多層回路基板。
  7. 前記請求項1乃至6何れか1項記載の多層回路基板に電子部品を実装した
    ことを特徴とする高周波回路モジュール。
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