JP2014115264A - 3次元形状測定装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数種類のパターンのパターン光を計測対象物に投影し、前記計測対象物を撮像して前記計測対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置において、投影手段及び撮像手段を制御し、複数種類のパターンのうち、第1のパターンについては、当該第1のパターン以外のパターンよりも露光量を大きくする。
【選択図】 図1
Description
複数種類のパターンのパターン光を計測対象物に投影し、前記計測対象物を撮像して前記計測対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置であって、
パターンデータに基づき、前記計測対象物にパターン光を投影する投影手段と、
該投影手段でパターン光が投影された前記計測対象物を撮像する撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、前記複数種類のパターンのうち、第1のパターンについては、当該第1のパターン以外のパターンよりも露光量を大きくすることを特徴とする。
図6のフローチャートを用いて、複数回撮像したパターンDの撮像結果を積算することでショットノイズを低減させるための手法を第2の実施形態として説明する。なお、装置構成は上記第1の実施形態と同じであるとして、その説明は省略する。
図7のフローチャートに基づき、撮像したパターンDの結果から外乱光を省き、複数回撮像した結果を合算することでショットノイズを低減させる例を第3の実施形態として説明する。なお、装置構成は上記第1の実施形態と同じであるとして、その説明は省略する。
図8のフローチャートに従い、2種の明暗パターンの撮像結果から交点位置を検出し、この交点位置を光切断位置の規定する手法を第4の実施形態として説明する。なお、装置構成は上記第1の実施形態と同じであるとして、その説明は省略する。
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)がプログラムを読み出して実行する処理である。
Claims (9)
- 複数種類のパターンのパターン光を計測対象物に投影し、前記計測対象物を撮像して前記計測対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置であって、
パターンデータに基づき、前記計測対象物にパターン光を投影する投影手段と、
該投影手段でパターン光が投影された前記計測対象物を撮像する撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、前記複数種類のパターンのうち、第1のパターンについては、当該第1のパターン以外のパターンよりも露光量を大きくすることを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記制御手段は、前記投影手段が有する光源を調整することで、前記第1のパターンの投影の露光量を、前記第1のパターン以外のパターンの露光量よりも大きくすることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記制御手段は、前記撮像手段による露光時間を調節することで、前記第1のパターンの投影の露光量を、前記第1のパターン以外のパターンの露光量よりも大きくすることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記制御手段は、前記第1のパターンに基づく投影をしている際に複数回撮像し、当該複数回の撮像結果を合算することで、前記第1のパターンの投影の露光量を、前記第1のパターン以外の投影の露光量よりも大きくすることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記制御手段は、前記投影手段を非駆動状態にして、前記撮像手段により前記計測対象物を撮像することで、外光成分を検出する手段を有し、
検出した外光成分を、前記第1のパターンに基づく投影している際に複数回撮像して得られた撮像結果を減じた後に合算することを特徴とする請求項4に記載の3次元形状測定装置。 - 前記第1のパターンは、明部と暗部の関係が逆となる2つのパターンであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
- 複数種類のパターンのパターン光を計測対象物に投影し、前記計測対象物を撮像して前記計測対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置の制御方法であって、
投影手段が、パターンデータに基づき、前記計測対象物にパターン光を投影する投影工程と、
撮像手段が、前記投影工程でパターン光が投影された前記計測対象物を撮像する撮像工程と、
制御手段が、前記投影手段及び前記撮像手段を制御する制御工程とを有し、
前記制御工程では、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御して、前記複数種類のパターンのうち、第1のパターンについては、当該第1のパターン以外のパターンよりも露光量を大きくすることを特徴とする3次元形状測定装置の制御方法。 - コンピュータに読み込ませ実行させることで、前記コンピュータを、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置として機能させるためのプログラム。
- 請求項8に記載のプログラムを記憶したことを特徴とするコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012271775A JP6161276B2 (ja) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 測定装置、測定方法、及びプログラム |
US14/095,160 US10066934B2 (en) | 2012-12-12 | 2013-12-03 | Three-dimensional shape measuring apparatus and control method thereof |
CN201310674771.4A CN103868471B (zh) | 2012-12-12 | 2013-12-11 | 三维形状测量装置及其控制方法 |
EP13196610.3A EP2743636A1 (en) | 2012-12-12 | 2013-12-11 | Three-dimensional shape measuring apparatus and control method thereof |
US16/049,901 US20180335298A1 (en) | 2012-12-12 | 2018-07-31 | Three-dimensional shape measuring apparatus and control method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012271775A JP6161276B2 (ja) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 測定装置、測定方法、及びプログラム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014115264A true JP2014115264A (ja) | 2014-06-26 |
JP2014115264A5 JP2014115264A5 (ja) | 2016-07-07 |
JP6161276B2 JP6161276B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=49759109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012271775A Active JP6161276B2 (ja) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 測定装置、測定方法、及びプログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10066934B2 (ja) |
EP (1) | EP2743636A1 (ja) |
JP (1) | JP6161276B2 (ja) |
CN (1) | CN103868471B (ja) |
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- 2013-12-03 US US14/095,160 patent/US10066934B2/en active Active
- 2013-12-11 EP EP13196610.3A patent/EP2743636A1/en not_active Withdrawn
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CN103868471A (zh) | 2014-06-18 |
JP6161276B2 (ja) | 2017-07-12 |
US20180335298A1 (en) | 2018-11-22 |
US20140160243A1 (en) | 2014-06-12 |
EP2743636A1 (en) | 2014-06-18 |
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