JP2014113651A - Mems装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MEMS装置2は、支持フレーム4と、揺動板6と、揺動板が支持フレームに対して揺動軸C周りに揺動可能となるように、揺動軸に沿う方向の両側で、揺動板と支持部の間を接続する一対のねじり梁群10a、10bを有している。そのMEMS装置では、片側のねじり梁群のねじり剛性をKall、個々のねじり梁の断面の高さをa、個々のねじり梁の断面の幅をb、個々のねじり梁の許容せん断応力をτmax、揺動板の最大揺動角をθとしたときに、片側のねじり梁群のねじり梁の本数nが次の関係を満たす。
【選択図】図1
Description
図1および図2は、本実施例のMEMS装置2を示している。MEMS装置2は、支持フレーム4と、揺動板6と、ミラー8と、ねじり梁群10a,10bと、永久磁石12と、電磁石14a,14bを備えている。
ねじり梁の断面の幅wb:0.06/0.142=1/2.4倍
ねじり梁の断面の高さtb:0.5/0.5=1倍
ねじり梁の長さlb:1/2.3=1/2.3倍
ねじり梁の本数n:5/1=5倍
図5は本実施例のMEMS装置30を示している。MEMS装置30は、実施例1のMEMS装置2とほぼ同様の構成を備えている。
図6は本実施例のMEMS装置70を示している。MEMS装置70は、実施例2のMEMS装置30とほぼ同様の構成を備えている。
図7は本実施例のMEMS装置130を示している。MEMS装置130は、実施例3のMEMS装置70とほぼ同様の構成を備えている。
図8は本実施例のMEMS装置190を示している。MEMS装置190は、実施例4のMEMS装置130とほぼ同様の構成を備えている。
図9は本実施例のMEMS装置200を示している。MEMS装置200は、実施例1のMEMS装置2とほぼ同様の構成を備えている。
Claims (6)
- 揺動軸から離れた位置に配置されたねじり梁に、応力緩和部が形成されている、請求項1のMEMS装置。
- 応力緩和部が、揺動軸に対して非平行な直線形状に形成されており、
応力緩和部を有するねじり梁が、その中央部分に比べて、揺動軸から離れた位置で、揺動板および/または支持部に接続されている、請求項2のMEMS装置。 - 揺動軸と重なるように配置されたねじり梁が、直線形状に形成されている、請求項1から3の何れか一項のMEMS装置。
- 個々のねじり梁と揺動板の接続角度、および/または、個々のねじり梁と支持部の接続角度が、実質的に同じ角度である、請求項1から4の何れか一項のMEMS装置。
- 揺動板に固定された永久磁石と、永久磁石を挟むように配置された一対の電磁石を用いて、支持部に対して揺動板を揺動させる、請求項1から5の何れか一項のMEMS装置。
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