JP2019530019A - マイクロミラー装置およびマイクロミラー装置の操作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
好ましい実施形態がそれぞれの従属請求項の対象である。
2 基板
3 外側フレーム装置
4 揺動板
5 内側フレーム装置
6a 第1懸架装置、第1懸架素子
6b 第1懸架装置、第2懸架素子
7a 第2懸架装置、第3懸架素子
7b 第2懸架装置、第4懸架素子
8a 第3懸架装置、第5懸架素子
8b 第3懸架装置、第6懸架素子
10 空洞
91、92 第1たわみ素子
93、94 第2たわみ素子
91a−94a ビーム素子
91b−94b 慣性質量
95 たわみ素子
95a ビーム素子
95b 慣性質量
A1 第1揺動軸、第1回転軸
A2 第2揺動軸、第2回転軸
S1 偏向ステップ
S2 偏向ステップ
Claims (10)
- 基板(2)と、
第1懸架装置(6a、6b)により第1揺動軸(A1)に沿って基板(2)と結合されかつ第1揺動軸(A1)の周りに偏向可能な外側フレーム装置(3)と、
第2懸架装置(7a、7b)により第1揺動軸(A1)に沿って外側フレーム装置(3)と結合された内側フレーム装置(5)と、
第3懸架装置(8a、8b)により第2揺動軸(A2)に沿って内側フレーム装置(5)と結合された、マイクロミラーを有する揺動板(4)とを含み、
第1揺動軸(A1)は第2揺動軸(A2)に垂直である、
マイクロミラー装置(1)において、
内側フレーム装置(5)はたわみ可能なたわみ素子(91ないし94)を有し、
揺動板(4)はたわみ素子(91ないし94)のたわみにより外側フレーム装置(3)に対して偏向可能である、
マイクロミラー装置(1)。 - たわみ素子(91ないし94)は第1たわみ素子(91、92)および第2たわみ素子(93、94)を含み、
第1たわみ素子(91、92)は第2たわみ素子(93、94)に関して第2揺動軸(A2)に対して対称に内側フレーム装置(5)に配置され、
揺動板(4)は第1たわみ素子(91、92)の第2たわみ素子(93、94)に対する第2揺動軸(A2)の周りの反対方向たわみにより揺動可能である、
請求項1に記載のマイクロミラー装置(1)。 - 基板は空洞(10)を有し、
第1懸架装置(6a、6b)は第1懸架素子(6a)および第2懸架素子(6b)を有し、
空洞(10)の対向側において第1揺動軸(A1)に沿って基板(2)を外側フレーム装置(3)と結合する、
請求項1または2に記載のマイクロミラー装置(1)。 - 第2懸架装置(7a、7b)は第3懸架素子(7a)および第4懸架素子(7b)を有し、これらは、揺動板(4)の対向側において第1揺動軸(A1)に沿って外側フレーム装置(2)を内側フレーム装置(5)と結合する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のマイクロミラー装置(1)。
- 第3懸架装置(8a、8b)は第5懸架素子(8a)および第6懸架素子(8b)を有し、
揺動板(4)の対向側において第2揺動軸(A1)に沿って内側フレーム装置(5)を揺動板(4)と結合する、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のマイクロミラー装置(1)。 - たわみ素子(91ないし94)はそれぞれ、非たわみ状態において第2揺動軸(A2)に平行に伸長するビーム素子(91aないし94a)およびビーム素子(91aないし94a)に配置された慣性質量(91bないし94b)を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のマイクロミラー装置(1)。
- 慣性質量(91bないし94b)はビーム素子(91aないし94a)の外側端部領域内に配置されている、請求項4に記載のマイクロミラー装置(1)。
- ビーム素子(91aないし94a)はその外側端部に向かって先細りになっている、請求項7に記載のマイクロミラー装置(1)。
- たわみ素子(91ないし94)は少なくとも1つの圧電層を有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のマイクロミラー装置(1)。
- 外側フレーム装置(3)の第1揺動軸(A1)の周りの偏向ステップ(S1)と、
たわみ素子(91ないし94)による揺動板(4)の外側フレーム装置(3)に対する偏向ステップ(S2)と、
を含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載のマイクロミラー装置(1)の操作方法。
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