JP2014091203A - 研磨用組成物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨用組成物の製造方法は、原料を混合する原料混合工程を有する。原料混合工程では、送り側容器と、受け側容器と、送り側容器から受け側容器へ液状の原料を輸送する配管とを備える製造設備を用いる。配管には、輸送の開始まで水又は水溶液が満たされる。配管に満たされる水溶液として、塩基性化合物、酸化剤及び防かび剤の少なくとも一種を含有する水溶液を用いることが好ましい。
【選択図】なし
Description
研磨用組成物の製造方法は、原料を混合する原料混合工程を有する。原料混合工程では、送り側容器と、受け側容器と、送り側容器から受け側容器へ液状の原料を輸送する配管とを備える製造設備を用いる。
送り側容器は、原料を収容する容器と、撹拌機又は分散機とを備えている。撹拌機又は分散機としては、例えば、翼式撹拌機、超音波分散機、及びホモミキサーが挙げられる。受け側容器についても、原料を収容する容器と、撹拌機又は分散機とを備えている。
塩基性化合物としては、例えば、アルカリ金属の水酸化物、水酸化第四級アンモニウム又はその塩、アンモニア、及びアミンが挙げられる。アルカリ金属の水酸化物としては、例えば、水酸化カリウム、及び水酸化ナトリウムが挙げられる。水酸化第四級アンモニウム又はその塩としては、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、及び水酸化テトラブチルアンモニウムが挙げられる。アミンとしては、例えば、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン、モノエタノールアミン、N−(β−アミノエチル)エタノールアミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、無水ピペラジン、ピペラジン六水和物、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、N−メチルピペラジン、及びグアニジンが挙げられる。
防かび剤としては、例えば、フェノール系化合物、ヨウ素系化合物、チアゾリン系化合物、イソチアゾリン系化合物、第四級アンモニウム塩系化合物、及び有機アミン系化合物が挙げられる。
界面活性剤としては、ノニオン性、アニオン性、カチオン性又は両性の界面活性剤が挙げられる。
水溶液中の水溶性の成分の含有量は、例えば、0.0001質量%以上、10質量%以下の範囲であることが好ましい。
研磨用組成物の製造方法では、上記原料混合工程の後に、例えば、ろ過工程、及び充填工程が実施される。
原料混合工程では、配管を有する製造設備が用いられる。配管は、送り側容器から受け側容器へ液状の原料を輸送する。配管には、輸送の開始まで水又は水溶液が満たされる。これにより、配管の有する流路の乾燥が抑制されるため、粗大粒子の要因となる物質が流路の内周面に密着することが抑制されると推測される。
(1)原料混合工程では、送り側容器と、受け側容器と、送り側容器から受け側容器へ液状の原料を輸送する配管とを備える製造設備が用いられる。配管には、原料の輸送の開始まで水又は水溶液が満たされている。この研磨用組成物の製造方法によれば、粗大粒子の混入を抑制することが容易となる。
前記実施形態は、次のように変更されてもよい。
・前記実施形態の製造設備は、一つの送り側容器を有しているが、複数の送り側容器を備える製造設備に変更されてもよい。この場合、液状の原料は、各送り側容器から別々の配管を通じて受け側容器に輸送される。この変更例では、複数の配管の少なくとも一つにおいて、輸送の開始まで水又は水溶液が満たされていればよい。また、この変更例の受け側容器は、予め原料が収容されずに空の状態とされ、各送り側容器から輸送される原料を混合する容器として用いてもよい。
・送り側容器及び受け側容器の少なくとも一方には、前記配管と同様に、輸送の開始まで水又は水溶液が満たされていてもよい。この場合、水又は水溶液は、送り側容器及び受け側容器の一部に満たされていてもよいし、全体に満たされていてもよい。
(実施例1)
直前のロットとなる原料を配管から排出した後に送り側容器、受け側容器及び配管を水で洗浄した。なお、直前のロットでは、ヒドロキシエチルセルロース、アンモニア、及び水の混合物を液状の原料として送り側容器から受け側容器に輸送した。次に、洗浄直後の配管における流入側開閉弁と流出側開閉弁との間の流路に水を満たし、その状態で24時間放置した。
実施例2では、pH10.0のアンモニア水が満たされた配管を用いた以外は、実施例1と同様にして組成物を調製した。得られた組成物中に含まれる、0.56μm以上の粗大粒子の数を上記粒度分布測定器によって測定した結果、約2000個/mLであった。
実施例3では、1質量%の過酸化水素水が満たされた配管を用いた以外は、実施例1と同様にして組成物を調製した。得られた組成物中に含まれる、0.56μm以上の粗大粒子の数を上記粒度分布測定器によって測定した結果、約1800個/mLであった。
実施例4では、1質量%の防かび剤水溶液(商品名:バイオバンCS−1135、理研グリーン社製)が満たされた配管を用いた以外は、実施例1と同様にして組成物を調製した。得られた組成物中に含まれる、0.56μm以上の粗大粒子の数を上記粒度分布測定器によって測定した結果、約1800個/mLであった。
実施例5では、配管に満たされる水の量を流路の容積の約50%となるように変更した以外は、実施例1と同様にして組成物を調製した。得られた組成物中に含まれる、0.56μm以上の粗大粒子の数を上記粒度分布測定器によって測定した結果、約25000個/mLであった。
比較例1では、配管に水を満たさずに今回のロットの原料混合工程を実施した以外は、実施例1と同様にして組成物を調製した。得られた組成物中に含まれる、0.56μm以上の粗大粒子の数を上記粒度分布測定器によって測定した結果、約80000個/mLであった。
Claims (2)
- 送り側容器と、受け側容器と、前記送り側容器から前記受け側容器へ液状の原料を輸送する配管とを備える製造設備を用いて原料を混合する原料混合工程を有する研磨用組成物の製造方法であって、
前記配管には前記輸送の開始まで水又は水溶液が満たされることを特徴とする研磨用組成物の製造方法。 - 前記水溶液として、塩基性化合物、酸化剤及び防かび剤の少なくとも一種を含有する水溶液を用いる請求項1に記載の研磨用組成物の製造方法。
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JP2003179012A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-06-27 | Mitsubishi Electric Corp | スラリー供給方法およびその装置 |
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