JP2014081384A - 電流センサ - Google Patents
電流センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014081384A JP2014081384A JP2013256689A JP2013256689A JP2014081384A JP 2014081384 A JP2014081384 A JP 2014081384A JP 2013256689 A JP2013256689 A JP 2013256689A JP 2013256689 A JP2013256689 A JP 2013256689A JP 2014081384 A JP2014081384 A JP 2014081384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetic
- current sensor
- current
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
- G01R15/205—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/0092—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring current only
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明の電流センサは、被測定電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化する4つの磁気抵抗効果素子で構成され、2つの磁気抵抗効果素子間の出力を備える磁界検出ブリッジ回路を有し、4つの磁気抵抗効果素子は、抵抗変化率が同じであり、反平行結合膜を介して第1の強磁性膜と第2の強磁性膜とを反強磁性的に結合させてなるセルフピン止め型の強磁性固定層と、非磁性中間層と、軟磁性自由層とを有し、前記出力を与える2つの磁気抵抗効果素子の強磁性固定層の磁化方向が互いに180°異なる方向であり、前記磁気検出ブリッジ回路は、電源供給点に対して対称である配線を有することを特徴とする。
【選択図】図5
Description
Vdd−Gnd1間抵抗=R1+R3=2×Rcom
Vdd−Gnd2間抵抗=R2+(R4−ΔR)=2×Rcom−ΔR
Out1電位=(Rcom)/(2×Rcom)×Vdd
Out2電位=(Rcom−ΔR)/(2×Rcom−ΔR)×Vdd
Out1−Out2電位差=ΔR/{2×(2×Rcom−ΔR)}×Vdd
Vdd−Gnd1間抵抗=(R1−ΔR)+R3=2×Rcom−ΔR
Vdd−Gnd2間抵抗=R2+(R4−ΔR)=2×Rcom−ΔR
Out1電位=(Rcom)/(2×Rcom−ΔR)×Vdd
Out2電位=(Rcom−ΔR)/(2×Rcom−ΔR)×Vdd
Out1−Out2電位差=ΔR/(2×Rcom−ΔR)×Vdd
式(1)
eff Hk=2(K・t1+K・t2)/(Ms・t1−Ms・t2)
したがって、本発明の磁気平衡式電流センサに用いる磁気抵抗効果素子は、反強磁性層を有しない膜構成を有する。
Vdd−Gnd1間抵抗=(R1−ΔR)+(R3+ΔR)=R1+R3=2×Rcom
Vdd−Gnd2間抵抗=(R2+ΔR)+(R4−ΔR)=R2+R4=2×Rcom
Out1電位=(R3+ΔR)/(R1+R3)×Vdd
=(Rcom+ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
Out2電位=(R4−ΔR)/(R2+R4)×Vdd
=(Rcom−ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
Out1−Out2電位差=(2×ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
=ΔR/Rcom×Vdd
Vdd−Gnd1間抵抗=(R1−ΔR)+(R3+ΔR)=R1+R3=2×Rcom
Vdd−Gnd2間抵抗=(R2+ΔR)+(R4−ΔR)=R2+R4=2×Rcom
Out1電位=(R3+ΔR)/(R1+R3)×Vdd
=(Rcom+ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
Out2電位=(R4−ΔR)/(R2+R4)×Vdd
=(Rcom−ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
Out1−Out2電位差=(2×ΔR)/(2×Rcom)×Vdd
=ΔR/Rcom×Vdd
前記4つの磁気抵抗効果素子は、抵抗変化率が同じであり、反平行結合膜を介して第1の強磁性膜と第2の強磁性膜とを反強磁性的に結合させてなるセルフピン止め型の強磁性固定層と、非磁性中間層と、軟磁性自由層とを有し、前記出力を与える2つの磁気抵抗効果素子の強磁性固定層の磁化方向が互いに180°異なる方向であり、前記磁気検出ブリッジ回路は、電源供給点に対して対称である配線を有しており、
それぞれの前記磁気抵抗効果素子は、帯状の長尺パターンが折り返されたミアンダ形状で、前記軟磁性自由層が帯状の長尺パターンに沿って形成されており、全ての前記磁気抵抗効果素子の前記長尺パターンの長手方向が、直線的に流れる被測定電流の向きと平行に配置されていることを特徴とする。
Claims (6)
- 被測定電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化する4つの磁気抵抗効果素子で構成され、2つの磁気抵抗効果素子間の出力を備える磁界検出ブリッジ回路を有する電流センサであって、前記4つの磁気抵抗効果素子は、抵抗変化率が同じであり、反平行結合膜を介して第1の強磁性膜と第2の強磁性膜とを反強磁性的に結合させてなるセルフピン止め型の強磁性固定層と、非磁性中間層と、軟磁性自由層とを有し、前記出力を与える2つの磁気抵抗効果素子の強磁性固定層の磁化方向が互いに180°異なる方向であり、前記磁気検出ブリッジ回路は、電源供給点に対して対称である配線を有することを特徴とする電流センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置され、前記誘導磁界を相殺するキャンセル磁界を発生するフィードバックコイルと、前記誘導磁界を減衰させると共に前記キャンセル磁界をエンハンスする磁気シールドと、をさらに具備し、前記磁気検出ブリッジ回路で得られる電圧差により前記フィードバックコイルに通電して前記誘導磁界と前記キャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときの前記フィードバックコイルに流れる電流に基づいて前記被測定電流を測定することを特徴とする請求項1記載の電流センサ。
- 前記4つの磁気抵抗効果素子は、その長手方向が互いに平行になるように配置された複数の帯状の長尺パターンが折り返してなる形状を有し、前記誘導磁界及び前記キャンセル磁界が前記長手方向に直交する方向に沿うように印加されることを特徴とする請求項2記載の電流センサ。
- 前記磁界検出ブリッジ回路により、前記誘導磁界に比例した前記4つの磁気抵抗効果素子の出力により前記被測定電流を測定することを特徴とする請求項1記載の電流センサ。
- 前記第1の強磁性膜が40原子%〜80原子%のFeを含むCoFe合金で構成され、前記第2の強磁性膜が0原子%〜40原子%のFeを含むCoFe合金で構成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電流センサ。
- 前記磁気シールドは、アモルファス磁性材料、パーマロイ系磁性材料、及び鉄系微結晶材料からなる群より選ばれた高透磁率材料で構成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の電流センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013256689A JP6130775B2 (ja) | 2010-03-12 | 2013-12-12 | 電流センサ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010056154 | 2010-03-12 | ||
JP2010056154 | 2010-03-12 | ||
JP2013256689A JP6130775B2 (ja) | 2010-03-12 | 2013-12-12 | 電流センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012504384A Division JP5594915B2 (ja) | 2010-03-12 | 2011-02-17 | 電流センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014081384A true JP2014081384A (ja) | 2014-05-08 |
JP6130775B2 JP6130775B2 (ja) | 2017-05-17 |
Family
ID=44559368
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012504384A Active JP5594915B2 (ja) | 2010-03-12 | 2011-02-17 | 電流センサ |
JP2013256689A Active JP6130775B2 (ja) | 2010-03-12 | 2013-12-12 | 電流センサ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012504384A Active JP5594915B2 (ja) | 2010-03-12 | 2011-02-17 | 電流センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8487612B2 (ja) |
JP (2) | JP5594915B2 (ja) |
WO (1) | WO2011111493A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016056137A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 日立金属株式会社 | 電流検出装置、及び電流検出方法 |
JP2017078594A (ja) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、磁界の測定方法、電流センサ、および電流の測定方法 |
JP2017096691A (ja) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法、ならびに電流センサ |
JP2018505404A (ja) * | 2015-01-07 | 2018-02-22 | 江▲蘇▼多▲維▼科技有限公司Multidimension Technology Co., Ltd. | キャリブレーション/初期化コイルを有するシングルチップz軸線形磁気抵抗センサ |
WO2018079404A1 (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-03 | 株式会社デンソー | 磁気センサおよびその製造方法 |
JP2018112481A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP2020042038A (ja) * | 2019-11-26 | 2020-03-19 | 株式会社東芝 | 磁気センサ、生体細胞検出装置及び診断装置 |
JP2021028596A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | ビフレステック株式会社 | ゼロフラックス型磁気センサ |
US11350840B2 (en) | 2017-03-21 | 2022-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic sensor, biological cell sensing device, and diagnostic device |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5604652B2 (ja) * | 2010-02-23 | 2014-10-08 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流センサ |
WO2011111648A1 (ja) | 2010-03-12 | 2011-09-15 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ及びそれを用いた磁気平衡式電流センサ |
JP5487402B2 (ja) * | 2010-08-23 | 2014-05-07 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
US10473731B2 (en) | 2010-11-26 | 2019-11-12 | Stmicroelectronics S.R.L. | Magnetic sensor reading device, system and method |
JP5540299B2 (ja) * | 2011-01-11 | 2014-07-02 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流センサ |
CN103403558B (zh) * | 2011-03-07 | 2015-04-22 | 阿尔卑斯绿色器件株式会社 | 电流传感器 |
JP5909822B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2016-04-27 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流センサ及びその作製方法 |
JP5979413B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2016-08-24 | 公立大学法人大阪市立大学 | 電力計測装置 |
JP6033569B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-11-30 | トヨタ自動車株式会社 | 電流測定方法 |
JP6083690B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2017-02-22 | 公立大学法人大阪市立大学 | 力率計測装置 |
US9612262B1 (en) | 2012-12-21 | 2017-04-04 | Neeme Systems Solutions, Inc. | Current measurement sensor and system |
US10197602B1 (en) | 2012-12-21 | 2019-02-05 | Jody Nehmeh | Mini current measurement sensor and system |
CN105143902B (zh) * | 2013-03-18 | 2018-01-23 | 日立金属株式会社 | 磁传感器 |
DE102013207277B4 (de) * | 2013-04-22 | 2016-04-28 | Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg | Kompensationsstromsensoranordnung |
JP2015219061A (ja) | 2014-05-15 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置 |
JP6319067B2 (ja) * | 2014-11-28 | 2018-05-09 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ及び電流量検出器 |
JP6597369B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-10-30 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
US10247790B2 (en) * | 2015-03-12 | 2019-04-02 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
WO2017141763A1 (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | アルプス電気株式会社 | 電流センサ |
WO2017169156A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | アルプス電気株式会社 | 平衡式磁界検知装置 |
EP3578999B1 (en) * | 2017-02-02 | 2022-11-30 | Alps Alpine Co., Ltd. | Balance-type electric current sensor |
CN108663557A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 北京普源精电科技有限公司 | 电流检测探头 |
JP7096349B2 (ja) | 2018-09-12 | 2022-07-05 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサおよび電流センサ |
JP2020148640A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社東芝 | 電流検出装置 |
CN110794193A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-14 | 国网四川省电力公司电力科学研究院 | 一种柔性非接触式磁传感器阵列电流测量装置及测量方法 |
JP7354836B2 (ja) * | 2019-12-25 | 2023-10-03 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05291647A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-05 | Murata Mfg Co Ltd | 電流センサ |
JPH10506193A (ja) * | 1994-09-26 | 1998-06-16 | ルスト アントリープステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 電流導体を検出し電流導体を流れる電流を測定するための装置 |
JP2000020926A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果ヘッド |
JP2000516714A (ja) * | 1996-08-16 | 2000-12-12 | ノンボラタイル エレクトロニクス,インコーポレイテッド | 磁流センサ |
JP2001156357A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-06-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子および磁気記録素子 |
JP2001516031A (ja) * | 1997-08-14 | 2001-09-25 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 磁界検出デバイス |
JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
JP2007085980A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Mitsubishi Electric Corp | 磁界検出装置およびその製造方法 |
JP2007101252A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Tdk Corp | 磁気センサおよびその製造方法ならびに電流センサ |
JP2008076092A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Hitachi Metals Ltd | 磁気エンコーダ装置 |
JP2008203238A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Koshin Denki Kk | 電流検知デバイス |
JP2008306112A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Hitachi Metals Ltd | 磁気抵抗効果膜、磁気センサ及び回転角度検出装置 |
JP2009111294A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Tdk Corp | 磁気カプラ |
Family Cites Families (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07318591A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-08 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 電流検出器 |
JPH0815322A (ja) | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Hioki Ee Corp | 電流センサ |
DE4436876A1 (de) * | 1994-10-15 | 1996-04-18 | Lust Antriebstechnik Gmbh | Sensorchip |
US5561368A (en) * | 1994-11-04 | 1996-10-01 | International Business Machines Corporation | Bridge circuit magnetic field sensor having spin valve magnetoresistive elements formed on common substrate |
JP3545074B2 (ja) | 1994-12-27 | 2004-07-21 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 半導体基板に集積される磁気検出素子及び磁気検出モジュール |
US6767655B2 (en) * | 2000-08-21 | 2004-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-resistive element |
US6773515B2 (en) * | 2002-01-16 | 2004-08-10 | Headway Technologies, Inc. | FeTa nano-oxide layer as a capping layer for enhancement of giant magnetoresistance in bottom spin valve structures |
JP2004247021A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-09-02 | Sony Corp | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
JP2004132790A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 電流センサ |
JP2004296000A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果型ヘッド、及びその製造方法 |
US7204013B2 (en) * | 2003-07-29 | 2007-04-17 | Seagate Technology Llc | Method of manufacturing a magnetoresistive sensor |
US20050237676A1 (en) * | 2004-04-26 | 2005-10-27 | Hitachi Global Storage Technologies | Fe seeded self-pinned sensor |
US7446982B2 (en) * | 2004-07-01 | 2008-11-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Pinning structure with trilayer pinned layer |
JP2006032522A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Alps Electric Co Ltd | 交換結合膜と前記交換結合膜を用いた磁気検出素子 |
TWI278650B (en) * | 2004-09-28 | 2007-04-11 | Yamaha Corp | Magnetic sensor using giant magnetoresistive elements and method for manufacturing the same |
US7777607B2 (en) | 2004-10-12 | 2010-08-17 | Allegro Microsystems, Inc. | Resistor having a predetermined temperature coefficient |
US7504824B2 (en) * | 2004-10-21 | 2009-03-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic sensor with offset magnetic field |
JP4105142B2 (ja) | 2004-10-28 | 2008-06-25 | Tdk株式会社 | 電流センサ |
US7554775B2 (en) * | 2005-02-28 | 2009-06-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | GMR sensors with strongly pinning and pinned layers |
US7460343B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-12-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic read sensor employing oblique etched underlayers for inducing uniaxial magnetic anisotropy in a hard magnetic in-stack bias layer |
US8068317B2 (en) * | 2005-07-22 | 2011-11-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic tunnel transistor with high magnetocurrent |
JP2007081280A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Fujitsu Ltd | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ装置 |
JP2007147460A (ja) | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Denso Corp | 磁気平衡式電流センサ |
JP4394076B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2010-01-06 | 三菱電機株式会社 | 電流センサ |
DE102006022336B8 (de) * | 2006-02-28 | 2015-12-31 | Infineon Technologies Ag | Magnetfeldsensor und Sensoranordnung mit demselben |
JP4668818B2 (ja) | 2006-03-13 | 2011-04-13 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP5007916B2 (ja) | 2006-03-28 | 2012-08-22 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ |
US20070297220A1 (en) * | 2006-06-22 | 2007-12-27 | Masatoshi Yoshikawa | Magnetoresistive element and magnetic memory |
JP2008060202A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Tdk Corp | Cpp構造の磁気抵抗効果素子の製造方法。 |
JP4923896B2 (ja) | 2006-09-15 | 2012-04-25 | 富士通株式会社 | 交換結合膜及び磁気デバイス |
US7729093B1 (en) * | 2006-09-28 | 2010-06-01 | Headway Technologies, Inc. | Detection of magnetic beads using a magnetoresistive device together with ferromagnetic resonance |
JP4873709B2 (ja) * | 2006-11-08 | 2012-02-08 | 浜松光電株式会社 | 電流センサ |
JP4798498B2 (ja) | 2006-12-14 | 2011-10-19 | 日立金属株式会社 | 磁気センサーおよび磁気エンコーダー |
JP4835868B2 (ja) | 2007-04-25 | 2011-12-14 | Tdk株式会社 | 電流センサ |
JP4788922B2 (ja) | 2007-05-07 | 2011-10-05 | Tdk株式会社 | 電流センサ |
JP2008286739A (ja) | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 磁界検出器及び回転角度検出装置 |
US7639005B2 (en) * | 2007-06-15 | 2009-12-29 | Advanced Microsensors, Inc. | Giant magnetoresistive resistor and sensor apparatus and method |
US7826182B2 (en) * | 2007-07-23 | 2010-11-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Current-perpendicular-to-the-plane (CPP) magnetoresistive sensor with CoFeGe ferromagnetic layers |
JP5244805B2 (ja) | 2007-09-03 | 2013-07-24 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出装置 |
JP2009180608A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | U R D:Kk | Icチップ形電流センサ |
JP4780117B2 (ja) | 2008-01-30 | 2011-09-28 | 日立金属株式会社 | 角度センサ、その製造方法及びそれを用いた角度検知装置 |
US7965077B2 (en) * | 2008-05-08 | 2011-06-21 | Everspin Technologies, Inc. | Two-axis magnetic field sensor with multiple pinning directions |
JP2010014686A (ja) | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Kohshin Electric Corp | 電流検知デバイスおよびその設置方法および電流センサ |
JP5250108B2 (ja) | 2009-06-12 | 2013-07-31 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
WO2010143718A1 (ja) | 2009-06-12 | 2010-12-16 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
WO2011043193A1 (ja) | 2009-10-05 | 2011-04-14 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
WO2011111536A1 (ja) | 2010-03-12 | 2011-09-15 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
WO2011111648A1 (ja) | 2010-03-12 | 2011-09-15 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ及びそれを用いた磁気平衡式電流センサ |
-
2011
- 2011-02-17 JP JP2012504384A patent/JP5594915B2/ja active Active
- 2011-02-17 WO PCT/JP2011/053343 patent/WO2011111493A1/ja active Application Filing
- 2011-03-01 US US13/038,312 patent/US8487612B2/en active Active
-
2013
- 2013-06-13 US US13/917,525 patent/US8760158B2/en active Active
- 2013-12-12 JP JP2013256689A patent/JP6130775B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05291647A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-05 | Murata Mfg Co Ltd | 電流センサ |
JPH10506193A (ja) * | 1994-09-26 | 1998-06-16 | ルスト アントリープステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 電流導体を検出し電流導体を流れる電流を測定するための装置 |
JP2000516714A (ja) * | 1996-08-16 | 2000-12-12 | ノンボラタイル エレクトロニクス,インコーポレイテッド | 磁流センサ |
JP2001516031A (ja) * | 1997-08-14 | 2001-09-25 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 磁界検出デバイス |
JP2000020926A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果ヘッド |
JP2001156357A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-06-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子および磁気記録素子 |
JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
JP2007085980A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Mitsubishi Electric Corp | 磁界検出装置およびその製造方法 |
JP2007101252A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Tdk Corp | 磁気センサおよびその製造方法ならびに電流センサ |
JP2008076092A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Hitachi Metals Ltd | 磁気エンコーダ装置 |
JP2008203238A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Koshin Denki Kk | 電流検知デバイス |
JP2008306112A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Hitachi Metals Ltd | 磁気抵抗効果膜、磁気センサ及び回転角度検出装置 |
JP2009111294A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Tdk Corp | 磁気カプラ |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016056137A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 日立金属株式会社 | 電流検出装置、及び電流検出方法 |
CN106796253A (zh) * | 2014-10-10 | 2017-05-31 | 日立金属株式会社 | 电流检测装置及电流检测方法 |
JPWO2016056137A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2017-07-20 | 日立金属株式会社 | 電流検出装置、及び電流検出方法 |
JP2018505404A (ja) * | 2015-01-07 | 2018-02-22 | 江▲蘇▼多▲維▼科技有限公司Multidimension Technology Co., Ltd. | キャリブレーション/初期化コイルを有するシングルチップz軸線形磁気抵抗センサ |
JP2017078594A (ja) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、磁界の測定方法、電流センサ、および電流の測定方法 |
JP2017096691A (ja) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法、ならびに電流センサ |
WO2018079404A1 (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-03 | 株式会社デンソー | 磁気センサおよびその製造方法 |
JP2018112481A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
US11350840B2 (en) | 2017-03-21 | 2022-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic sensor, biological cell sensing device, and diagnostic device |
JP2021028596A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | ビフレステック株式会社 | ゼロフラックス型磁気センサ |
JP2020042038A (ja) * | 2019-11-26 | 2020-03-19 | 株式会社東芝 | 磁気センサ、生体細胞検出装置及び診断装置 |
JP2022031282A (ja) * | 2019-11-26 | 2022-02-18 | 株式会社東芝 | 磁気センサ、生体細胞検出装置及び診断装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8487612B2 (en) | 2013-07-16 |
US8760158B2 (en) | 2014-06-24 |
US20110221436A1 (en) | 2011-09-15 |
JP6130775B2 (ja) | 2017-05-17 |
JP5594915B2 (ja) | 2014-09-24 |
JPWO2011111493A1 (ja) | 2013-06-27 |
WO2011111493A1 (ja) | 2011-09-15 |
US20130278251A1 (en) | 2013-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5594915B2 (ja) | 電流センサ | |
JP5572208B2 (ja) | 磁気センサ及びそれを用いた磁気平衡式電流センサ | |
JP5012939B2 (ja) | 電流センサ | |
JP5250108B2 (ja) | 磁気平衡式電流センサ | |
JP5411285B2 (ja) | 磁気平衡式電流センサ | |
JP4105147B2 (ja) | 電流センサ | |
JP4930627B2 (ja) | 磁気センサ | |
WO2012090631A1 (ja) | 磁気比例式電流センサ | |
WO2011111536A1 (ja) | 磁気平衡式電流センサ | |
JPWO2012081377A1 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサの製造方法 | |
JP5540299B2 (ja) | 電流センサ | |
WO2011111537A1 (ja) | 電流センサ | |
JP2018112481A (ja) | 磁気センサ | |
JP5505817B2 (ja) | 磁気平衡式電流センサ | |
JPWO2012120940A1 (ja) | 電流センサ | |
WO2011111747A1 (ja) | 磁気検出素子を備えた電流センサ | |
JP5540326B2 (ja) | 電流センサ | |
WO2013018665A1 (ja) | 電流センサ | |
WO2011111457A1 (ja) | 磁気センサ及びそれを備えた磁気平衡式電流センサ | |
JP5517315B2 (ja) | 電流センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150407 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151106 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20151113 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20151204 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20161102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170414 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6130775 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |