JP2014079518A - X-ray photographing apparatus and moire image generating method - Google Patents

X-ray photographing apparatus and moire image generating method Download PDF

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千穂 巻渕
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably acquire a satisfactory image with less false images by stably driving gratings with excellent maintainability and expandability in practical use of X-ray photographing apparatus with a Talbot-Lau interferometer applied thereto.SOLUTION: An X-ray photographing apparatus 1 comprises a drive part which relatively moves a first grating 14 and a second grating 15 in a direction orthogonal to the X-ray application axis direction and different from the slit drawing direction of a multi- slit 12, with respect to the multi- slit 12. Each time the first grating 14 and the second grating 15 are moved by the drive part at a periodic interval, an X-ray source 11 emits X rays, and an X-ray detector 16 repeats a process of reading image signals according to arriving X rays and acquires a plurality of moire images at fixed periodic intervals.

Description

本発明は、タルボ・ロー干渉計を用いたX線撮影装置及びモアレ画像生成方法に関する。   The present invention relates to an X-ray imaging apparatus using a Talbot-Lau interferometer and a moire image generation method.

従来、X線の位相変化によってコントラストを得る位相コントラスト法が提案されている。位相コントラスト法はX線吸収差が小さく、吸収コントラスト法によっては画像として現れにくい***の組織や関節軟骨、関節周辺の軟部組織をも画像化することが可能であり、X線画像診断への適用が期待されている。   Conventionally, there has been proposed a phase contrast method for obtaining contrast by changing the phase of X-rays. The phase contrast method has a small difference in X-ray absorption, and it can also image breast tissue, articular cartilage, and soft tissue around the joint, which are difficult to appear as an image by the absorption contrast method. Is expected.

位相コントラスト撮影の1つとして、タルボ効果を利用するタルボ干渉計も検討されている。タルボ効果とは、一定の周期でスリットが設けられた第1格子(G1格子)を可干渉性(コヒーレント)の光が透過すると、光の進行方向に一定周期でその格子像を結ぶ現象をいう。この格子像は自己像と呼ばれ、タルボ干渉計は自己像を結ぶ位置に第2格子(G2格子)を配置し、この第2格子をわずかにずらすことで生じるモアレ縞(モアレ)を測定する。第2格子の前に物体を配置するとモアレが乱れることから、タルボ干渉計によりX線撮影を行うのであれば、第1格子の前に被写体を配置して可干渉性X線を照射し、得られたモアレの画像を演算することによって被写体の再構成画像を得ることが可能である。   As one of phase contrast imaging, a Talbot interferometer using the Talbot effect has been studied. The Talbot effect is a phenomenon in which, when coherent light is transmitted through a first grating (G1 grating) provided with slits at a constant period, the grating image is connected at a constant period in the light traveling direction. . This lattice image is called a self-image, and the Talbot interferometer measures the moire fringes (moire) generated by placing the second lattice (G2 lattice) at a position connecting the self-images and slightly shifting the second lattice. . If an object is placed in front of the second grating, moire is disturbed, so if X-ray imaging is performed with a Talbot interferometer, a subject is placed in front of the first grating and irradiated with coherent X-rays. It is possible to obtain a reconstructed image of the subject by calculating the moiré image.

また、X線源と第1格子間にマルチスリット(G0格子)を設置したタルボ・ロー干渉計も提案されている。タルボ・ロー干渉計は、マルチスリットを用いることで、より出力が高いインコヒーレントなX線源を使用することができ、単位時間当たりの照射線量を増大させる。タルボ又はタルボ・ロー干渉計を用いて再構成画像(位相情報に基づくコントラスト、小角散乱に基づくコントラスト、吸収に基づくコントラスト)を得るためには、縞走査法の原理に基づく方法(縞走査法)、フーリエ変換法など幾つかの方法が提案されているが、本発明は縞走査法の位相シフトに関するものである。従来の縞走査法とは、第1格子又は第2格子を他の格子に対し一定間隔で相対移動(走査)させながら、位相を変化させた複数のモアレ画像を撮影するものであった。   There has also been proposed a Talbot-Lau interferometer in which a multi slit (G0 grating) is installed between the X-ray source and the first grating. By using a multi slit, the Talbot-Lau interferometer can use an incoherent X-ray source with higher output, and increases the irradiation dose per unit time. To obtain a reconstructed image (contrast based on phase information, contrast based on small-angle scattering, contrast based on absorption) using a Talbot or Talbot-Lau interferometer, a method based on the principle of the fringe scanning method (the fringe scanning method) Several methods such as a Fourier transform method have been proposed, but the present invention relates to the phase shift of the fringe scanning method. In the conventional fringe scanning method, a plurality of moire images with different phases are photographed while the first grating or the second grating is relatively moved (scanned) with respect to other gratings at regular intervals.

これに対し、特許文献1には、タルボ・ロー干渉計において、X線源、または、マルチスリットを含む何れか1つの格子を、他の格子に対して移動させて撮影を行うことが記載されている。また、特許文献2には、マルチスリットを第1格子及び第2格子に対して移動(走査)させると、他の格子を移動させる場合に比べて、移動(走査)機構部の送り精度誤差の影響が再構成画像に表れにくく、移動(走査)機構部の設計上好ましいことが記載されている。   On the other hand, Patent Document 1 describes that in a Talbot-Lau interferometer, imaging is performed by moving any one grating including an X-ray source or a multi-slit with respect to another grating. ing. Further, in Patent Document 2, when the multi-slit is moved (scanned) with respect to the first grating and the second grating, the feeding accuracy error of the movement (scanning) mechanism unit is smaller than when the other slits are moved. It is described that the influence is less likely to appear in the reconstructed image, which is preferable in the design of the movement (scanning) mechanism.

国際公開第2006/131235号パンフレットInternational Publication No. 2006/131235 Pamphlet 国際公開第2011/033798号パンフレットInternational Publication No. 2011/033798 Pamphlet

しかし、マルチスリットが存在するX線源の周辺には、付加フィルター、照射野絞り、照射野ランプのように多数の部品が存在しており、これらを避けてマルチスリットを移動させるための駆動機構を配置するには複雑な機構が必要となり、駆動範囲も制限される。また、マルチスリットの駆動機構のメンテナンス時に照射野絞りや照射野ランプが邪魔になり、メンテナンス性が悪い。また、マルチスリット及びその駆動機構をX線源と独立して設計することができず、設計の自由度が狭く、拡張性が低い。更に、マルチスリットの駆動機構はX線源近傍に配置されるのでX線源の熱や振動の影響を受け易く、安定してマルチスリットを動かすことができない。   However, there are many parts such as an additional filter, irradiation field stop, and irradiation field lamp around the X-ray source where the multi slit exists, and a drive mechanism for moving the multi slit while avoiding these parts. A complicated mechanism is required to dispose and the driving range is limited. Also, the maintenance of the multi-slit driving mechanism is disturbed by the irradiation field stop and the irradiation field lamp, and the maintainability is poor. In addition, the multi-slit and its driving mechanism cannot be designed independently of the X-ray source, and the degree of design freedom is narrow and the expandability is low. Furthermore, since the multi-slit driving mechanism is arranged in the vicinity of the X-ray source, it is easily affected by the heat and vibration of the X-ray source, and the multi-slit cannot be moved stably.

本発明の課題は、タルボ・ロー干渉計を応用したX線撮影装置の実用化において、メンテナンス性、拡張性に優れ、安定して格子を駆動させることで偽像の少ない良好な画像を安定して取得することである。   An object of the present invention is to stabilize a good image with few false images by driving a lattice stably in a practical use of an X-ray imaging apparatus applying a Talbot-Lau interferometer. Is to get.

上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、
X線を照射するX線源と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、当該X線の照射軸方向と直交する方向に複数のスリットが配列されて構成されたマルチスリット、第1格子、及び第2格子と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、被写体を載置する被写体台と、
前記X線源により照射され、前記マルチスリット、前記第1格子、前記被写体及び前記第2格子を透過したX線に応じて電気信号を生成する変換素子が2次元状に配置され、当該変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取るX線検出器と、
を備えるX線撮影装置であって、
前記第1格子及び前記第2格子を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に前記マルチスリットに対して相対移動させる駆動部を備え、
前記第1格子及び前記第2格子が前記駆動部により一定周期間隔で移動する毎に、前記X線源によりX線を照射し、到達したX線に応じて前記X線検出器が画像信号を読み取る処理を繰り返し、一定周期間隔のモアレ画像を複数得る。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in claim 1
An X-ray source that emits X-rays;
A multi-slit, a first grating, and a second grating that are provided in the X-ray irradiation axis direction and are configured by arranging a plurality of slits in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction;
A subject table provided in the X-ray irradiation axis direction, on which a subject is placed;
A conversion element that generates an electrical signal in accordance with X-rays irradiated by the X-ray source and transmitted through the multi slit, the first grating, the subject, and the second grating is two-dimensionally arranged, and the conversion element An X-ray detector that reads an electrical signal generated by
An X-ray imaging apparatus comprising:
A drive unit that moves the first grating and the second grating relative to the multi-slit in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the multi-slit slit extending direction;
Each time the first grating and the second grating are moved by the driving unit at a constant cycle interval, the X-ray source emits X-rays, and the X-ray detector outputs an image signal according to the reached X-rays. The reading process is repeated to obtain a plurality of moire images at regular intervals.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、
前記第1格子及び前記第2格子を一体的に保持する保持部を有し、
前記駆動部は前記保持部を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に移動させることにより前記第1格子及び前記第2格子を前記マルチスリットに対して相対的に移動させる。
The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1,
A holding portion that integrally holds the first grating and the second grating;
The driving unit moves the first and second gratings relative to the multi-slit by moving the holding unit in a direction perpendicular to the X-ray irradiation axis direction and different from the multi-slit slit extending direction. To move relative.

請求項3に記載の発明は、
X線を照射するX線源と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、当該X線の照射軸方向と直交する方向に複数のスリットが配列されて構成されたマルチスリット、第1格子、及び第2格子と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、被写体を載置する被写体台と、
前記X線源により照射され、前記マルチスリット、前記第1格子、前記被写体及び前記第2格子を透過したX線に応じて電気信号を生成する変換素子が2次元状に配置され、当該変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取るX線検出器と、
を備えるX線撮影装置におけるモアレ画像生成方法であって、
前記第1格子及び前記第2格子を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に前記マルチスリットに対して相対移動させる移動工程と、
前記第1格子及び前記第2格子が一定周期間隔で移動する毎に、前記X線源によりX線を照射し、到達したX線に応じて前記X線検出器が画像信号を読み取る処理を繰り返し、前記被写体の一定周期間隔のモアレ画像を複数得るモアレ画像生成工程と、
を含む。
The invention according to claim 3
An X-ray source that emits X-rays;
A multi-slit, a first grating, and a second grating that are provided in the X-ray irradiation axis direction and are configured by arranging a plurality of slits in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction;
A subject table provided in the X-ray irradiation axis direction, on which a subject is placed;
A conversion element that generates an electrical signal in accordance with X-rays irradiated by the X-ray source and transmitted through the multi slit, the first grating, the subject, and the second grating is two-dimensionally arranged, and the conversion element An X-ray detector that reads an electrical signal generated by
A moire image generation method in an X-ray imaging apparatus comprising:
Moving the first grating and the second grating relative to the multi-slit in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the slit stretching direction of the multi-slit;
Each time the first grating and the second grating move at regular intervals, the X-ray source emits X-rays, and the X-ray detector repeatedly reads an image signal according to the reached X-rays. A moiré image generating step of obtaining a plurality of moiré images of the subject at regular intervals;
including.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、
前記X線撮影装置は、前記第1格子及び前記第2格子を一体的に保持する保持部を有し、
前記移動工程は、前記保持部を当該X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に移動させることにより前記第1格子及び前記第2格子を前記マルチスリットに対して相対的に移動させる。
The invention according to claim 4 is the invention according to claim 3,
The X-ray imaging apparatus includes a holding unit that integrally holds the first grating and the second grating,
In the moving step, the first grating and the second grating are moved to the multi slit by moving the holding portion in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the slit extending direction of the multi slit. Move relative to it.

本発明によれば、タルボ・ロー干渉計を応用したX線撮影装置において、メンテナンス性、拡張性に優れ、安定した格子駆動により、偽像の少ない良好な画像を安定して取得することが可能となる。   According to the present invention, in an X-ray imaging apparatus to which a Talbot-Lau interferometer is applied, it is possible to stably acquire a good image with few false images with excellent maintainability and expandability and stable grating driving. It becomes.

本実施形態に係るX線撮影システムを模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the X-ray imaging system which concerns on this embodiment. 図1のX線撮影装置の斜視図である。It is a perspective view of the X-ray imaging apparatus of FIG. マルチスリットの平面図である。It is a top view of a multi slit. 格子ユニットの斜視図である。It is a perspective view of a lattice unit. 本体部の機能的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the functional structure of a main-body part. タルボ干渉計の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of a Talbot interferometer. X線撮影装置の制御部によるX線撮影制御処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the X-ray imaging control process by the control part of X-ray imaging apparatus. コントローラーによる再構成画像作成処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the reconstruction image creation process by a controller. 5ステップの撮影により得られるモアレ画像を示す図である。It is a figure which shows the moire image obtained by imaging | photography of 5 steps. 各ステップのモアレ画像の注目画素のX線相対強度を示すグラフである。It is a graph which shows the X-ray relative intensity of the attention pixel of the moire image of each step. モアレ位相誤差が大きい場合の微分位相画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a differential phase image in case a moire phase error is large. モアレ位相誤差が小さい場合の微分位相画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a differential phase image when a moire phase error is small.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<X線撮影システムの構成>
図1は、本実施形態に係るX線撮影システムを模式的に示した図であり、図2は、図1に示すX線撮影装置1の斜視図である。
図1に示すように、X線撮影システムは、X線撮影装置1とコントローラー5を備える。X線撮影装置1はタルボ・ロー干渉計によるX線撮影を行い、コントローラー5は当該X線撮影により得られたモアレ画像を用いて被写体の再構成画像を作成する。
<Configuration of X-ray imaging system>
FIG. 1 is a diagram schematically showing an X-ray imaging system according to this embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of the X-ray imaging apparatus 1 shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the X-ray imaging system includes an X-ray imaging apparatus 1 and a controller 5. The X-ray imaging apparatus 1 performs X-ray imaging using a Talbot-Lau interferometer, and the controller 5 creates a reconstructed image of the subject using the moire image obtained by the X-ray imaging.

X線撮影装置1は、図1に示すように、X線源11と、マルチスリット12を含む第1のカバーユニット120と、被写体台13、第1格子14、第2格子15、及びX線検出器16を含む第2のカバーユニット130と、支柱17と、本体部18と、基台部19とを備える。X線撮影装置1は縦型であり、X線源11、マルチスリット12、被写体台13、第1格子14、第2格子15、X線検出器16は、この順序に重力方向であるz方向に配置される。X線源11の焦点111とマルチスリット12間の距離をD1(mm)、X線源11の焦点111とX線検出器16間の距離をD(mm)、マルチスリット12と第1格子14間の距離をR(mm)、第1格子14と第2格子15間の距離をz(mm)で表す。R>zである。 As shown in FIG. 1, the X-ray imaging apparatus 1 includes an X-ray source 11, a first cover unit 120 including a multi-slit 12, a subject table 13, a first grating 14, a second grating 15, and an X-ray. A second cover unit 130 including the detector 16, a support column 17, a main body 18, and a base 19 are provided. The X-ray imaging apparatus 1 is a vertical type, and an X-ray source 11, a multi slit 12, a subject table 13, a first grating 14, a second grating 15, and an X-ray detector 16 are arranged in this order in the z direction, which is the gravitational direction. Placed in. The distance between the focal point 111 of the X-ray source 11 and the multi-slit 12 is D1 (mm), the distance between the focal point 111 of the X-ray source 11 and the X-ray detector 16 is D 2 (mm), and the multi-slit 12 and the first grating. The distance between 14 is represented by R 1 (mm), and the distance between the first grating 14 and the second grating 15 is represented by z p (mm). R 1 > z p .

距離Dは好ましくは5〜500(mm)であり、さらに好ましくは5〜300(mm)である。
距離Dは、一般的に放射線科の撮影室の高さは3(m)程度又はそれ以下であることから、少なくとも3000(mm)以下であることが好ましい。なかでも、距離Dは400〜5000(mm)が好ましく、さらに好ましくは500〜2000(mm)である。
X線源11の焦点111と第1格子14間の距離(D+R)は、好ましくは300〜5000(mm)であり、さらに好ましくは400〜1800(mm)である。
X線源11の焦点と第2格子15間の距離(D+R+z)は、好ましくは400〜5000(mm)であり、さらに好ましくは500〜2000(mm)である。
それぞれの距離は、X線源11から照射されるX線の波長から、第2格子15上に第1格子14による格子像(自己像)が重なる最適な距離を算出し、設定すればよい。
The distance D 1 is preferably 5 to 500 (mm), more preferably from 5 to 300 (mm).
The distance D 2, the height of the general radiology imaging room from that is 3 (m) of about or less, is preferably at least 3000 (mm) or less. Among them, the distance D 2 is preferably 400 to 5000 (mm), more preferably from 500 to 2000 (mm).
The distance (D 1 + R 1 ) between the focal point 111 of the X-ray source 11 and the first grating 14 is preferably 300 to 5000 (mm), and more preferably 400 to 1800 (mm).
The distance (D 1 + R 1 + z p ) between the focal point of the X-ray source 11 and the second grating 15 is preferably 400 to 5000 (mm), more preferably 500 to 2000 (mm).
Each distance may be set by calculating an optimum distance at which the lattice image (self-image) by the first lattice 14 overlaps the second lattice 15 from the wavelength of the X-rays emitted from the X-ray source 11.

マルチスリット12、被写体台13、第1格子14、第2格子15、X線検出器16は、同一の基台部19に一体的に保持され、z方向における相対位置関係が固定されて支柱17に取り付けられている。基台部19は、支柱17に対してz方向に移動可能に構成されていてもよい。
また、支柱17には、基台部19のほか、X線源11及び本体部18が取り付けられている。X線源11は、緩衝部材17aを介して支柱17に保持されている。緩衝部材17aは、衝撃や振動を吸収できる材料であれば何れの材料を用いてもよいが、例えばエラストマー等が挙げられる。X線源11はX線の照射によって発熱するため、X線源11側の緩衝部材17aは加えて断熱素材であることが好ましい。
The multi slit 12, the subject table 13, the first grating 14, the second grating 15, and the X-ray detector 16 are integrally held on the same base 19, and the relative positional relationship in the z direction is fixed and the column 17 is fixed. Is attached. The base unit 19 may be configured to be movable in the z direction with respect to the support column 17.
In addition to the base 19, the X-ray source 11 and the main body 18 are attached to the support column 17. The X-ray source 11 is held by the support column 17 via a buffer member 17a. Any material may be used for the buffer member 17a as long as it can absorb shocks and vibrations, and examples thereof include an elastomer. Since the X-ray source 11 generates heat upon irradiation with X-rays, it is preferable that the buffer member 17a on the X-ray source 11 side is additionally a heat insulating material.

X線源11は、X線管を備え、当該X線管によりX線を発生させてz方向(重力方向)にX線を照射する。X線管としては、例えば医療現場で広く一般に用いられているクーリッジX線管や回転陽極X線管を用いることができる。陽極としては、タングステンやモリブデンを用いることができる。
X線の焦点径は、0.03〜3(mm)が好ましく、さらに好ましくは0.1〜1(mm)である。
The X-ray source 11 includes an X-ray tube, generates X-rays by the X-ray tube, and irradiates the X-rays in the z direction (gravity direction). As the X-ray tube, for example, a Coolidge X-ray tube or a rotary anode X-ray tube widely used in the medical field can be used. As the anode, tungsten or molybdenum can be used.
The focal diameter of the X-ray is preferably 0.03 to 3 (mm), more preferably 0.1 to 1 (mm).

第1のカバーユニット120は、X線源11の直下に設けられたユニットである。第1のカバーユニット120は、図1に示すように、マルチスリット12、調整部12a、取付用アーム12b、付加フィルター112、照射野絞り113、照射野ランプ114等を備えて構成されている。第1のカバーユニット120の各構成要素は、図2に示すようにカバー部材に覆われて保護されている。   The first cover unit 120 is a unit provided directly below the X-ray source 11. As shown in FIG. 1, the first cover unit 120 includes a multi-slit 12, an adjustment unit 12a, a mounting arm 12b, an additional filter 112, an irradiation field stop 113, an irradiation field lamp 114, and the like. Each component of the first cover unit 120 is covered and protected by a cover member as shown in FIG.

マルチスリット12(G0格子)は回折格子であり、図3に示すように、X線照射軸方向(ここではz方向)と直交するx方向に複数のスリットが所定間隔で配列されて設けられている。マルチスリット12はシリコンやガラスといったX線の吸収率が低い材質の基板上に、タングステン、鉛、金といったX線の遮蔽力が大きい、つまりX線の吸収率が高い材質により形成される。例えば、フォトリソグラフィーによりレジスト層がスリット状にマスクされ、UVが照射されてスリットのパターンがレジスト層に転写される。露光によって当該パターンと同じ形状のスリット構造が得られ、電鋳法によりスリット構造間に金属が埋め込まれて、マルチスリット12が形成される。   The multi slit 12 (G0 grating) is a diffraction grating, and as shown in FIG. 3, a plurality of slits are arranged at predetermined intervals in the x direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction (here, the z direction). Yes. The multi-slit 12 is formed on a substrate having a low X-ray absorption rate such as silicon or glass by using a material having a high X-ray shielding power such as tungsten, lead, or gold, that is, a high X-ray absorption rate. For example, the resist layer is masked in a slit shape by photolithography, and UV is irradiated to transfer the slit pattern to the resist layer. A slit structure having the same shape as the pattern is obtained by exposure, and a metal is embedded between the slit structures by electroforming to form a multi-slit 12.

マルチスリット12のスリット周期(格子周期)は1〜60(μm)である。スリット周期は、図3に示すように隣接するスリット間の距離を1周期とする。スリットの幅(各スリットのスリット配列方向(x方向)の長さ)はスリット周期の1〜60(%)の長さであり、さらに好ましくは10〜40(%)である。スリットの高さ(z方向の高さ)は1〜500(μm)であり、好ましくは1〜150(μm)である。
マルチスリット12のスリット周期をdとすると、d(μm)は、後述する(式4)を用いて求めることが出来る。当該式を満たすようにスリット周期dを決定することにより、マルチスリット12及び第1格子14の各スリットを通過したX線により形成される自己像が、それぞれ第2格子15上で重なり合う。
The slit period (grating period) of the multi slit 12 is 1 to 60 (μm). As shown in FIG. 3, the slit period is a period between adjacent slits. The width of the slit (the length of each slit in the slit arrangement direction (x direction)) is 1 to 60 (%) of the slit period, and more preferably 10 to 40 (%). The height of the slit (the height in the z direction) is 1 to 500 (μm), preferably 1 to 150 (μm).
If the slit period of the multi-slit 12 is d 0 , d 0 (μm) can be obtained using (Expression 4) described later. By determining the slit period d 0 so as to satisfy this equation, self images formed by X-rays that have passed through the slits of the multi slit 12 and the first grating 14 overlap each other on the second grating 15.

調整部12aは、マルチスリット12のx、y、z方向の位置やx、y、z軸周りの回転角度を微調整するための機構である。調整部12aは、手動によりマルチスリット12を調整する構成であってもよいし、モーター等により自動的にマルチスリット12の調整を行う構成であってもよい。また、マルチスリットを精度よく固定できるのであれば、調整部12aを無くしても良い。マルチスリットをマルチスリット12は、取付用アーム12bに支持されて調整部12aに接続されている。   The adjustment unit 12a is a mechanism for finely adjusting the position of the multi slit 12 in the x, y, and z directions and the rotation angle around the x, y, and z axes. The adjustment unit 12a may be configured to manually adjust the multi-slit 12, or may be configured to automatically adjust the multi-slit 12 using a motor or the like. If the multi slit can be fixed with high accuracy, the adjusting unit 12a may be omitted. The multi-slit 12 is supported by the mounting arm 12b and connected to the adjusting portion 12a.

付加フィルター112は、X線源11から照射される光線の中から撮影に寄与しない低エネルギー成分を除去するものであり、被写体の被曝を低減する効果を持つ。付加フィルター112としては、例えば、AL付加フィルター等が適用される。
照射野絞り113は、X線源11から照射されるX線の照射野を所定の範囲に絞るものであり、画質を低下させる散乱線の軽減および被写体の被曝を低減する。
照射野ランプ114は、X線源11から照射されるX線の照射野を予め確認するためにX線の照射野と同じ領域を可視光で照らすものであり、可視光線を照射可能な光源等により構成されている。
The additional filter 112 removes low energy components that do not contribute to imaging from the light rays emitted from the X-ray source 11, and has an effect of reducing exposure of the subject. As the additional filter 112, for example, an AL additional filter or the like is applied.
The irradiation field stop 113 is used to limit the X-ray irradiation field irradiated from the X-ray source 11 to a predetermined range, and reduces scattered radiation that lowers the image quality and reduces exposure of the subject.
The irradiation field lamp 114 illuminates the same region as the X-ray irradiation field with the visible light in order to confirm the X-ray irradiation field irradiated from the X-ray source 11 in advance. It is comprised by.

第2のカバーユニット130は、図1に示すように、被写体台13、第1格子14及び第2格子15を含む格子ユニット140、X線検出器16等を備えて構成されている。第2のカバーユニット130は、図2に示すように上面が被写体台13となっており、被写体台13の周囲をカバー部材で覆うことにより、患者や技師の接触によるダメージや塵埃の侵入から内部の構成要素を保護している。また、ユニット内の温度が外気の影響を受けにくくなるため、第1格子14及び第2格子15や、これらを保持する保持部141の熱膨張等による格子位置の変動を低減することができる。   As shown in FIG. 1, the second cover unit 130 includes a subject table 13, a grating unit 140 including a first grating 14 and a second grating 15, an X-ray detector 16, and the like. As shown in FIG. 2, the second cover unit 130 has a subject table 13 on its upper surface. By covering the periphery of the subject table 13 with a cover member, the inside of the second cover unit 130 can be prevented from being damaged due to contact by a patient or an engineer or intrusion of dust. Protects the components. In addition, since the temperature in the unit is not easily affected by outside air, fluctuations in the lattice position due to thermal expansion or the like of the first lattice 14 and the second lattice 15 and the holding portion 141 that holds them can be reduced.

被写体台13は、被写体を載置するための台である。被写体台13には、図2に示すように、回転板131を設けることが好ましい。回転板131は、被写体台13上面中央部に設けられた切り欠き部132に装着されており、回転板131を回転させることによりこの回転板131の上に載置される被写体を動かすことで、第1格子14及び第2格子15のスリット向き、角度に対する被写体の向き、角度を簡易に変更・修正することができる。これにより容易にポジショニングの修正等を行うことができる。
また、回転板131のほぼ中央部であって第1格子14及び第2格子15に対応する位置には、ほぼ円形の切り欠き部133が設けられており、X線源11からのX線照射を妨げないようになっている。この切り欠き部133には、アクリルやガラス等の低吸収材料で形成されたほぼ円形の板部材305が装着されていることが好ましい。
The subject table 13 is a table for placing a subject. The subject table 13 is preferably provided with a rotating plate 131 as shown in FIG. The rotating plate 131 is attached to a notch 132 provided in the center of the upper surface of the subject table 13, and the subject placed on the rotating plate 131 is moved by rotating the rotating plate 131. The direction of the subject relative to the slit direction and angle of the first grating 14 and the second grating 15 can be easily changed and corrected. This makes it possible to easily correct the positioning.
Further, a substantially circular notch 133 is provided at a position corresponding to the first grating 14 and the second grating 15 in the substantially central portion of the rotating plate 131, and X-ray irradiation from the X-ray source 11 is performed. Is not disturbed. It is preferable that a substantially circular plate member 305 made of a low absorption material such as acrylic or glass is attached to the notch 133.

格子ユニット140は、第1格子14、第2格子15、保持部141、駆動部150等を備えて構成されている。図4に、格子ユニット140の斜視図を示す。   The lattice unit 140 includes a first lattice 14, a second lattice 15, a holding unit 141, a driving unit 150, and the like. FIG. 4 is a perspective view of the lattice unit 140.

第1格子14(G1格子)は、マルチスリット12と同様に、X線照射軸方向であるz方向と直交するx方向に複数のスリットが配列されて設けられた回折格子である。第1格子14は、マルチスリット12と同様にUVを用いたフォトリソグラフィーによって形成することもできるし、いわゆるICP法によりシリコン基板に微細細線で深掘加工を行い、シリコンのみで格子構造を形成することとしてもよい。第1格子14のスリット周期は1〜20(μm)である。スリットの幅はスリット周期の20〜70(%)であり、好ましくは35〜60(%)である。スリットの高さは1〜100(μm)である。   Similar to the multi-slit 12, the first grating 14 (G1 grating) is a diffraction grating provided with a plurality of slits arranged in the x direction orthogonal to the z direction, which is the X-ray irradiation axis direction. The first lattice 14 can be formed by photolithography using UV as in the case of the multi-slit 12, or a silicon substrate is deeply digged with a fine fine line by a so-called ICP method to form a lattice structure only with silicon. It is good as well. The slit period of the first grating 14 is 1 to 20 (μm). The width of the slit is 20 to 70 (%) of the slit period, and preferably 35 to 60 (%). The height of the slit is 1 to 100 (μm).

第2格子15(G2格子)は、マルチスリット12と同様に、X線照射軸方向であるz方向と直交する方向に複数のスリットが配列されて設けられた回折格子である。第2格子15もフォトリソグラフィーにより形成することができる。第2格子15のスリット周期は1〜20(μm)である。スリットの幅はスリット周期の30〜70(%)であり、好ましくは35〜60(%)である。スリットの高さは1〜100(μm)である。   Similar to the multi-slit 12, the second grating 15 (G2 grating) is a diffraction grating provided with a plurality of slits arranged in a direction orthogonal to the z direction that is the X-ray irradiation axis direction. The second grating 15 can also be formed by photolithography. The slit period of the second grating 15 is 1 to 20 (μm). The width of the slit is 30 to 70 (%) of the slit cycle, and preferably 35 to 60 (%). The height of the slit is 1 to 100 (μm).

第1格子14と第2格子15間の距離zは、後述する(式1)をほぼ満たすことが必要である。 The distance z p between the first grating 14 and the second grating 15 needs to substantially satisfy (Equation 1) described later.

保持部141は、第1格子14及び第2格子15を一体的に保持するものである。図4に示すように、保持部141は、保持部材141a〜141cが左側面から見てコの字型にねじ止めされて構成されたものであり、第1格子14、第1格子調整部143、第2格子15、第2格子調整部151等を一体的に保持する。
この保持部141は、走査用の駆動部150が設けられた基台取付部142に取り付けられ、基台取付部142は基台部19に固定される。この保持部141は、当該駆動部150の駆動により、不図示のガイドレールに沿ってx方向に移動するようになっている。
尚、保持部141は、基台取付部142を基台部19に固定した後に取り付けても良いし、予め基台取付部142に組み付け、然る後、当該組み付け体を基台部19に固定するようにしても良い。
ここで、第1格子調整部143は、第1格子14のx、y、z方向の位置やx、y、z軸周りの回転角度を調整するための機構である。第2格子調整部151は、第2格子15のx、y、z方向の位置やx、y、z軸周りの回転角度を調整するための機構である。第1格子調整部143及び第2格子調整部151は、それぞれ手動により第1格子14及び第2格子15を調整する構成であってもよいし、モーター等により自動的に第1格子14及び第2格子15の調整を行う構成であってもよい。第1格子調整部143及び第2格子調整部151は、第1格子14及び第2格子15の格子面が互いに平行になるように調整するとともに、マルチスリット12の格子面に対して平行になるように調整する。
尚、上記の第1格子調整部143及び第2格子調整部151は必ずしも必要では無く、保持部141を含む一連の部品精度アップや組立工程に於ける治具調整等によって不使用とすることもできる。この場合には一層の軽量化がはかれ、駆動部150のモーター負荷低減が図れるので好ましい。
The holding part 141 holds the first grating 14 and the second grating 15 integrally. As shown in FIG. 4, the holding part 141 is configured by screwing holding members 141 a to 141 c into a U shape when viewed from the left side, and includes a first grid 14 and a first grid adjustment part 143. The second grid 15, the second grid adjustment unit 151 and the like are integrally held.
The holding part 141 is attached to a base attaching part 142 provided with a scanning drive part 150, and the base attaching part 142 is fixed to the base part 19. The holding portion 141 is moved in the x direction along a guide rail (not shown) by driving the driving portion 150.
The holding portion 141 may be attached after the base mounting portion 142 is fixed to the base portion 19 or may be attached to the base mounting portion 142 in advance, and then the assembly is fixed to the base portion 19. You may make it do.
Here, the first grating adjustment unit 143 is a mechanism for adjusting the position of the first grating 14 in the x, y, and z directions and the rotation angle around the x, y, and z axes. The second lattice adjustment unit 151 is a mechanism for adjusting the position of the second lattice 15 in the x, y, and z directions and the rotation angle around the x, y, and z axes. The first lattice adjustment unit 143 and the second lattice adjustment unit 151 may be configured to manually adjust the first lattice 14 and the second lattice 15, respectively, or may be automatically adjusted by a motor or the like. The structure which adjusts 2 grating | lattices 15 may be sufficient. The first lattice adjustment unit 143 and the second lattice adjustment unit 151 adjust the lattice surfaces of the first lattice 14 and the second lattice 15 to be parallel to each other, and are parallel to the lattice surface of the multi slit 12. Adjust as follows.
Note that the first and second lattice adjustment units 143 and 151 are not necessarily required, and may not be used by increasing the accuracy of a series of parts including the holding unit 141 or adjusting jigs in the assembly process. it can. In this case, the weight can be further reduced and the motor load of the drive unit 150 can be reduced.

上記マルチスリット12、第1格子14、第2格子15は、例えば下記のように構成することができる。
X線源11のX線管の焦点径;300(μm)、管電圧:40(kVp)、付加フィルター:アルミ1.6(mm)
X線源11の焦点からマルチスリット12までの距離D : 240(mm)
マルチスリット12から第1格子14までの距離R :1110(mm)
マルチスリット12から第2格子15までの距離R+z:1370(mm)
マルチスリット12のサイズ:10(mm四方)、スリット周期:22.8(μm)
第1格子14のサイズ:50(mm四方)、スリット周期:4.3(μm)
第2格子15のサイズ:50(mm四方)、スリット周期:5.3(μm)
The multi-slit 12, the first grating 14, and the second grating 15 can be configured as follows, for example.
Focal diameter of X-ray tube of X-ray source 11: 300 (μm), tube voltage: 40 (kVp), additional filter: aluminum 1.6 (mm)
Distance D 1 from the focal point of the X-ray source 11 to the multi slit 12: 240 (mm)
Distance from multi slit 12 to first grating 14 R 1 : 1110 (mm)
Distance R 1 + z p from the multi slit 12 to the second grating 15: 1370 (mm)
Multi slit 12 size: 10 (mm square), slit period: 22.8 (μm)
Size of the first grating 14: 50 (mm square), slit period: 4.3 (μm)
Size of the second grating 15: 50 (mm square), slit period: 5.3 (μm)

駆動部150は、保持部141をx方向に移動させることで、第1格子14及び第2格子15をマルチスリット12に対してx方向に相対移動させるための駆動機構である。駆動部150は、格子ユニット140の重心に近い位置に設けられる。駆動部150の駆動方式は、ボールねじ方式、リニアモーター方式、ピエゾ駆動方式などの微小な精密送り可能な方式であればいずれの方式でもよい。また、駆動部150は、リニアスケールやエンコーダー等を用いたフィードバック機構を搭載していることが好ましい。   The drive unit 150 is a drive mechanism for moving the first grating 14 and the second grating 15 relative to the multi slit 12 in the x direction by moving the holding unit 141 in the x direction. The drive unit 150 is provided at a position close to the center of gravity of the lattice unit 140. The drive unit 150 may be driven by any method as long as it is capable of minute precision feeding, such as a ball screw method, a linear motor method, and a piezo drive method. The drive unit 150 preferably includes a feedback mechanism using a linear scale, an encoder, or the like.

X線検出器16は、照射されたX線に応じて電気信号を生成する変換素子が2次元状に配置され、当該変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取る。
X線検出器16の画素サイズは10〜300(μm)であり、さらに好ましくは50〜200(μm)である。X線検出器16は第2格子15に当接するように基台部19に位置を固定することが好ましい。第2格子15とX線検出器16間の距離が大きくなるほど、X線検出器16により得られるモアレ画像がボケるからである。
The X-ray detector 16 has two-dimensionally arranged conversion elements that generate electric signals in accordance with the irradiated X-rays, and reads the electric signals generated by the conversion elements as image signals.
The pixel size of the X-ray detector 16 is 10 to 300 (μm), more preferably 50 to 200 (μm). The position of the X-ray detector 16 is preferably fixed to the base portion 19 so as to abut on the second grating 15. This is because the moire image obtained by the X-ray detector 16 becomes blurred as the distance between the second grating 15 and the X-ray detector 16 increases.

X線検出器16としては、FPD(Flat Panel Detector)を用いることができる。FPDには、X線をシンチレーターを介して光電変換素子により電気信号に変換する間接変換型、X線を直接的に電気信号に変換する直接変換型があるが、何れを用いてもよい。
なお、CCD(Charge Coupled Device)、X線カメラ等の撮影手段をX線検出器16
として用いてもよい。
As the X-ray detector 16, an FPD (Flat Panel Detector) can be used. The FPD includes an indirect conversion type in which X-rays are converted into electric signals by a photoelectric conversion element via a scintillator, and a direct conversion type in which X-rays are directly converted into electric signals, either of which may be used.
Note that imaging means such as a CCD (Charge Coupled Device), an X-ray camera or the like is used as the X-ray detector 16.
It may be used as

本体部18は、図5に示すように、制御部181、操作部182、表示部183、通信部184、記憶部185を備えて構成されている。
制御部181は、CPU(Central Processing Unit)やRAM(Random Access Memory)等から構成され、記憶部185に記憶されているプログラムとの協働により、各種処理を実行する。制御部181は、本体部18外の各部(例えば、X線源11、X線検出器16、駆動部150等)に接続されており、後述するX線撮影制御処理を実行してX線撮影装置1の各部を制御することによりモアレ画像の生成を行う。
As shown in FIG. 5, the main body unit 18 includes a control unit 181, an operation unit 182, a display unit 183, a communication unit 184, and a storage unit 185.
The control unit 181 includes a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), and the like, and executes various processes in cooperation with a program stored in the storage unit 185. The control unit 181 is connected to each unit (for example, the X-ray source 11, the X-ray detector 16, the driving unit 150, etc.) outside the main body unit 18, and performs X-ray imaging control processing described later to perform X-ray imaging. A moire image is generated by controlling each part of the apparatus 1.

操作部182は曝射スイッチや撮影条件等の入力操作に用いるキー群の他、表示部183のディスプレイと一体に構成されたタッチパネルを備え、これらの操作に応じた操作信号を生成して制御部181に出力する。
表示部183は制御部181の表示制御に従って、ディスプレイに操作画面、X線撮影装置1の動作状況等を表示する。
The operation unit 182 includes a touch panel configured integrally with the display of the display unit 183 in addition to a key group used for input operations such as an exposure switch and an imaging condition, and generates an operation signal corresponding to these operations to generate a control unit. It outputs to 181.
The display unit 183 displays an operation screen, an operation state of the X-ray imaging apparatus 1 and the like on the display according to display control of the control unit 181.

通信部184は通信インターフェイスを備え、ネットワーク上のコントローラー5と通信する。例えば、通信部184は、X線検出器16によって読み取られ、記憶部185に記憶されたモアレ画像をコントローラー5に送信する。
記憶部185は、制御部181により実行されるプログラム、プログラムの実行に必要なデータを記憶している。また、記憶部185はX線検出器16によって得られたモアレ画像を記憶する。
The communication unit 184 includes a communication interface and communicates with the controller 5 on the network. For example, the communication unit 184 transmits the moire image read by the X-ray detector 16 and stored in the storage unit 185 to the controller 5.
The storage unit 185 stores a program executed by the control unit 181 and data necessary for executing the program. The storage unit 185 stores the moire image obtained by the X-ray detector 16.

コントローラー5は、オペレーターによる操作に従ってX線撮影装置1の撮影動作を制御し、X線撮影装置1により得られたモアレ画像を用いて縞走査法により被写体の再構成画像を作成するコンピュータ装置である。本実施形態では被写体の再構成画像を作成する画像処理装置としてコントローラー5を用いた例を説明するが、X線画像に様々な画像処理を施す専用の画像処理装置をX線撮影装置1と接続し、当該画像処理装置により再構成画像の作成を行うこととしてもよい。   The controller 5 is a computer device that controls the imaging operation of the X-ray imaging apparatus 1 in accordance with an operation by an operator, and creates a reconstructed image of the subject by the fringe scanning method using the moire image obtained by the X-ray imaging apparatus 1. . In the present embodiment, an example in which the controller 5 is used as an image processing apparatus that creates a reconstructed image of a subject will be described. However, a dedicated image processing apparatus that performs various image processing on an X-ray image is connected to the X-ray imaging apparatus 1. The reconstructed image may be created by the image processing apparatus.

<X線撮影システムの動作>
上記X線撮影装置1のタルボ・ロー干渉計によるX線撮影方法を説明する。
図6に示すように、X線源11から照射されたX線が第1格子14を透過すると、透過したX線がz方向に一定の間隔で像を結ぶ。この像を自己像といい、自己像が形成される現象をタルボ効果という。自己像を結ぶ位置に第2格子15が自己像と概ね平行に配置され、第2格子15を透過したX線によりモアレ画像(図6においてMoで示す)が得られる。X線源11と第1格子14間に被写体(図6においてHで示す)が存在すると、被写体によってX線の位相がずれるため、図6に示すようにモアレ画像上のモアレ縞は被写体の辺縁を境界に乱れる。このモアレ縞の乱れを、モアレ画像を処理することによって検出し、被写体像を画像化することができる。これがタルボ干渉計の原理である。
<Operation of X-ray imaging system>
An X-ray imaging method using the Talbot-Lau interferometer of the X-ray imaging apparatus 1 will be described.
As shown in FIG. 6, when the X-rays irradiated from the X-ray source 11 pass through the first grating 14, the transmitted X-rays form an image at a constant interval in the z direction. This image is called a self-image, and the phenomenon in which a self-image is formed is called the Talbot effect. The second grating 15 is arranged substantially parallel to the self-image at a position connecting the self-images, and a moire image (indicated by Mo in FIG. 6) is obtained by X-rays transmitted through the second grating 15. When a subject (indicated by H in FIG. 6) exists between the X-ray source 11 and the first grating 14, the phase of the X-ray is shifted depending on the subject, so that the moire fringes on the moire image are the sides of the subject as shown in FIG. Disturbed at the border. The disturbance of the moire fringes can be detected by processing the moire image, and the subject image can be imaged. This is the principle of the Talbot interferometer.

X線撮影装置1では、X線源11と第1格子14との間のX線源11に近い位置に、マルチスリット12が配置され、タルボ・ロー干渉計によるX線撮影が行われる。タルボ干渉計はX線源11が理想的な点線源であることを前提としているが、実際の撮影にはある程度焦点径が大きい焦点が用いられるため、マルチスリット12によってあたかも点線源が複数連なってX線が照射されているかのように多光源化する。これがタルボ・ロー干渉計によるX線撮影法であり、焦点径がある程度大きい場合にも、タルボ干渉計と同様のタルボ効果を得ることができる。   In the X-ray imaging apparatus 1, a multi-slit 12 is disposed near the X-ray source 11 between the X-ray source 11 and the first grating 14, and X-ray imaging using a Talbot-Lau interferometer is performed. The Talbot interferometer is based on the premise that the X-ray source 11 is an ideal point source. However, since a focal point having a large focal diameter is used for actual imaging, it is as if a plurality of point sources are connected by the multi slit 12. Multiple light sources are used as if they were irradiated with X-rays. This is an X-ray imaging method using a Talbot-Lau interferometer, and a Talbot effect similar to that of a Talbot interferometer can be obtained even when the focal diameter is somewhat large.

図7は、X線撮影装置1の制御部181により実行されるX線撮影制御処理の流れを示すフローチャートである。X線撮影制御処理は、制御部181と記憶部185に記憶されているプログラムとの協働により実行される。   FIG. 7 is a flowchart showing the flow of X-ray imaging control processing executed by the control unit 181 of the X-ray imaging apparatus 1. The X-ray imaging control process is executed in cooperation with the control unit 181 and a program stored in the storage unit 185.

図7に示すように、オペレーターにより操作部182の曝射スイッチがON操作されると(ステップS1;Y)、駆動部150により第1格子14及び第2格子15が一体的に移動され、複数ステップの撮影が実行される(ステップS2)。   As shown in FIG. 7, when the exposure switch of the operation unit 182 is turned on by the operator (step S <b> 1; Y), the drive unit 150 moves the first grid 14 and the second grid 15 together, Step photographing is performed (step S2).

即ち、駆動部150により、保持部141に保持された第1格子14及び第2格子15が一体的に等間隔毎に複数ステップ移動され、ステップ毎に撮影が行われて、各ステップのモアレ画像が取得される。第1格子14及び第2格子15の移動方向は、X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向であれば良い。第1格子14及び第2格子15の移動量を最小にする場合は、X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリット12のスリット延伸方向と直交する方向に移動させれば良い(マルチスリット12のスリット延伸方向をyとするとx方向に移動させる。これを直交走査と呼ぶ)。またX線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリット12のスリット延伸方向及ぶ直行方向とは異なる方向に移動させても良い(斜め走査と呼ぶ)。これはマルチスリット12のスリット延伸方向をyとした場合、x−y平面内のx軸とy軸以外の方向を意味する。x軸から角度θだけ傾けた斜め走査は、直交走査よりも1/cosθ倍の移動量が必要となるが、格子の送り誤差の影響は直交走査より受けにくい。これは送り誤差によるモアレ縞の位相変化が、誤差をトータルの送り量で割ったものであることに比例することから明らかである。本実施形態におけるX線撮影装置1は、簡略化のため直交走査の構成としており、第1格子14及び第2格子15は駆動部15によりx方向に移動される。直交走査の場合、第1格子14及び第2格子15の移動量の合計は、マルチスリット12のスリット周期1周期分である。
ステップ数は2〜20、さらに好ましくは3〜10である。視認性の高い再構成画像を短時間で得るという観点からすれば、5ステップが好ましい(参照文献1:K.Hibino, B.F.Oreb and D.I.Farrant, Phase shifting for nonsinusoidal wave forms with phase-shift errors, J.Opt.Soc.Am.A, Vol.12, 761-768(1995)、参照文献2:A.Momose, W.Yashiro, Y. Takeda, Y.Suzuki and T.Hattori, Phase Tomography by X-ray Talbot Interferometetry for biological imaging, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.45, 5254-5262(2006))。ここでは、5ステップの撮影を行うこととして説明する。
That is, the drive unit 150 moves the first grid 14 and the second grid 15 held by the holding unit 141 integrally at a plurality of steps at equal intervals, and photographing is performed for each step. Is acquired. The moving direction of the 1st grating | lattice 14 and the 2nd grating | lattice 15 should just be a direction different from the slit extending | stretching direction of a multi slit, orthogonal to the X-ray irradiation axis direction. In order to minimize the movement amount of the first grating 14 and the second grating 15, the movement may be performed in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and orthogonal to the slit extending direction of the multi-slit 12 (multi-slit If the slit extending direction of 12 is y, it is moved in the x direction (this is called orthogonal scanning). Further, it may be moved in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the orthogonal direction extending in the slit extending direction of the multi slit 12 (referred to as oblique scanning). This means directions other than the x axis and the y axis in the xy plane, where y is the slit extension direction of the multi slit 12. Oblique scanning tilted by an angle θ from the x-axis requires a movement amount that is 1 / cos θ times that of orthogonal scanning, but is less susceptible to the effect of grating feed errors than orthogonal scanning. This is apparent from the fact that the phase change of the moire fringes due to the feed error is proportional to the error divided by the total feed amount. The X-ray imaging apparatus 1 in the present embodiment has a configuration of orthogonal scanning for simplification, and the first grating 14 and the second grating 15 are moved in the x direction by the driving unit 15. In the case of orthogonal scanning, the total amount of movement of the first grating 14 and the second grating 15 is one slit period of the multi slit 12.
The number of steps is 2 to 20, more preferably 3 to 10. From the viewpoint of obtaining a reconstructed image with high visibility in a short time, 5 steps are preferable (Reference 1: K. Hibino, BFOreb and DIFarrant, Phase shifting for nonsinusoidal wave forms with phase-shift errors, J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 12, 761-768 (1995), Reference 2: A. Momose, W. Yashiro, Y. Takeda, Y. Suzuki and T. Hattori, Phase Tomography by X-ray Talbot Interferometetry for biological imaging, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 45, 5254-5262 (2006)). Here, description will be made on the assumption that shooting is performed in five steps.

ステップS2においては、被写体台13に被写体を載置した状態(被写体有り)でのX線撮影と被写体台13に被写体を載置しない状態(被写体無し)でのX線撮影が行われ、複数の被写体有りのモアレ画像と被写体無しのモアレ画像が生成される。具体的に、各X線撮影においては、まず、第1格子14及び第2格子15が停止した状態でX線源11によるX線の照射が開始される。X線検出器16ではリセット後、X線照射のタイミングに合わせて電荷が蓄積され、X線の照射停止のタイミングに合わせて蓄積された電荷が画像信号として読み取られる。これが1ステップ分の撮影である。1ステップ分の撮影が終了するタイミングで駆動部150による、保持部141に一体的に保持された第1格子14及び第2格子15の移動が開始され、所定量移動すると停止され、次のステップの撮影が行われる。このようにして、第1格子14及び第2格子15の移動と停止が所定のステップ数分だけ繰り返され、第1格子14及び第2格子15が停止したときにX線の照射と画像信号の読み取りが行われる。   In step S2, X-ray imaging with the subject placed on the subject table 13 (with subject) and X-ray photography with no subject placed on the subject table 13 (no subject) are performed. A moire image with a subject and a moire image without a subject are generated. Specifically, in each X-ray imaging, first, X-ray irradiation from the X-ray source 11 is started with the first grating 14 and the second grating 15 stopped. After the reset, the X-ray detector 16 accumulates charges in accordance with the timing of X-ray irradiation, and reads the accumulated charges as image signals in accordance with the timing of X-ray irradiation stop. This is one step of shooting. The movement of the first grid 14 and the second grid 15 integrally held by the holding unit 141 by the driving unit 150 is started at the timing when the photographing for one step is finished, and is stopped when a predetermined amount is moved, and the next step Is taken. In this manner, the movement and stop of the first grating 14 and the second grating 15 are repeated for a predetermined number of steps, and when the first grating 14 and the second grating 15 are stopped, the X-ray irradiation and the image signal are transmitted. Reading is done.

各ステップの撮影が終了すると、本体部18からコントローラー5に、各ステップのモアレ画像が送信される(ステップS3)。本体部18からコントローラー5に対しては各ステップの撮影が終了する毎に1枚ずつ送信することとしてもよいし、各ステップの撮影が終了し、全てのモアレ画像が得られた後、まとめて送信することとしてもよい。   When the photographing of each step is completed, the moire image of each step is transmitted from the main body 18 to the controller 5 (step S3). The main body 18 may send one image at a time to the controller 5 every time the shooting of each step is completed, or after the shooting of each step is completed and all moire images are obtained, the images are collected. It is good also as transmitting.

図8は、モアレ画像を受信した後のコントローラー5において実行される再構成画像作成処理の流れを示すフローチャートである。
図8に示すように、まずモアレ画像の解析が行われ(ステップS11)、再構成画像の作成に使用できるか否かが判断される(ステップS12)。理想的な送り精度により第1格子14及び第2格子15を一定の送り量で移動できた場合、図9に示すように、5ステップの撮影でマルチスリット12のスリット周期1周期分のモアレ画像5枚が得られる。各ステップのモアレ画像は0.2周期という一定周期間隔毎に縞走査をした結果であるので、各モアレ画像の任意の1画素に注目すると、その信号値を正規化して得られるX線相対強度は、図10に示すようにサインカーブを描く。よって、コントローラー5は得られた各ステップのモアレ画像のある画素に注目してX線相対強度を求める。各モアレ画像から求められたX線相対強度が、図10に示すようなサインカーブを形成すれば、一定周期間隔のモアレ画像が得られているので、再構成画像の作成に使用できると判断することができる。
FIG. 8 is a flowchart showing the flow of the reconstructed image creation process executed in the controller 5 after receiving the moire image.
As shown in FIG. 8, first, a moire image is analyzed (step S11), and it is determined whether it can be used to create a reconstructed image (step S12). When the first grating 14 and the second grating 15 can be moved at a constant feed amount with an ideal feed accuracy, as shown in FIG. 9, a moiré image corresponding to one slit period of the multi-slit 12 in five-step shooting. 5 sheets are obtained. Since the moire image of each step is a result of stripe scanning at fixed intervals of 0.2 cycles, when attention is paid to any one pixel of each moire image, the X-ray relative intensity obtained by normalizing the signal value Draws a sine curve as shown in FIG. Therefore, the controller 5 obtains the X-ray relative intensity by paying attention to the pixel having the moire image obtained in each step. If the X-ray relative intensity obtained from each moiré image forms a sine curve as shown in FIG. 10, it is determined that a moiré image having a constant periodic interval is obtained and can be used to create a reconstructed image. be able to.

各ステップのモアレ画像の中にサインカーブを形成できないモアレ画像がある場合、再構成画像の作成に使用できないと判断され(ステップS12;N)、撮影のタイミングを変更して再撮影するよう指示する制御情報がコントローラー5からX線撮影装置1に送信される(ステップS13)。例えば、図10に示すように、3ステップ目は本来0.4周期のところ、周期がずれて0.35周期のモアレ画像が得られた場合であれば、駆動部150の送り精度の低下が原因と考えられる。よって、0.05周期分だけ撮影のタイミングを早めて3ステップ目のみ再撮影を行うよう指示すればよい。或いは、5ステップ全てについて再撮影し、3ステップ目のみ0.05周期分の撮影時間を早めるように指示してもよい。5ステップ全てのモアレ画像が所定量ずつサインカーブからずれている場合、駆動部150の起動から停止までの間隔を増やすか、或いは減らすように指示してもよい。X線撮影装置1では、当該制御情報に従って撮影のタイミングが調整され、図7に示すX線撮影制御処理が再度実行される。   If there is a moiré image in which a sine curve cannot be formed in the moiré image at each step, it is determined that it cannot be used to create a reconstructed image (step S12; N), and an instruction is given to change the shooting timing and reshoot. Control information is transmitted from the controller 5 to the X-ray imaging apparatus 1 (step S13). For example, as shown in FIG. 10, if the third step is originally 0.4 period, and the period is shifted and a moiré image having 0.35 period is obtained, the feeding accuracy of the drive unit 150 is reduced. Possible cause. Therefore, it suffices to instruct to re-shoot only the third step by advancing the shooting timing by 0.05 cycles. Alternatively, it may be instructed to re-photograph all five steps and to advance the photographing time for 0.05 cycles only at the third step. When the moire images in all five steps are deviated from the sine curve by a predetermined amount, it may be instructed to increase or decrease the interval from activation to stop of the drive unit 150. In the X-ray imaging apparatus 1, the imaging timing is adjusted according to the control information, and the X-ray imaging control process shown in FIG. 7 is executed again.

一方、再構成画像の作成にモアレ画像を使用できると判断された場合(ステップS12;Y)、コントローラー5によってモアレ画像が処理され、被写体の再構成画像が作成される(ステップS14)。   On the other hand, when it is determined that a moiré image can be used to create a reconstructed image (step S12; Y), the moiré image is processed by the controller 5, and a reconstructed image of the subject is created (step S14).

再構成画像としては、例えば、吸収画像、微分位相画像、小角散乱画像の3種類の被写体の再構成画像が生成される。
吸収画像(X線吸収画像)は、モアレ縞の平均成分を画像化したものであり、被写体によるX線減衰量に応じてコントラストが付く。従来から診断に用いられており、医師等の医療従事者にとってなじみのある画像である。X線の吸収コントラストがつきやすい骨部の描写に優れている。
微分位相画像は、モアレ縞の位相情報を画像化したものであり、被写体によるX線波面の傾き量に応じてコントラストが付く。吸収画像よりも軟部組織の描写に優れている。
小角散乱画像は、モアレ縞のVisibilityを画像化したものであり、被写体によるX線散乱に応じてコントラストが付く(参照文献3:Distribution of unresolvable anisotropic microstructures revealed in visibility-contrast images using x-ray Talbot interferometry Wataru Yashiro et.al. PHYSICAL REVIEW B 84, 094106 (2011)参照。)。吸収画像よりも微細構造の描写に優れている。
As the reconstructed image, for example, three types of reconstructed images of the subject, that is, an absorption image, a differential phase image, and a small angle scattered image are generated.
The absorption image (X-ray absorption image) is an image of an average component of moire fringes, and has a contrast according to the amount of X-ray attenuation by the subject. The image has been used for diagnosis conventionally and is familiar to medical personnel such as doctors. Excellent depiction of bones where X-ray absorption contrast is likely.
The differential phase image is obtained by imaging phase information of moire fringes, and has a contrast according to the amount of inclination of the X-ray wavefront by the subject. It is superior to depict soft tissue than absorption images.
A small-angle scattered image is an image of the visibility of moire fringes, and contrast is added according to the X-ray scattering by the subject (Reference 3: Distribution of unresolvable anisotropic microstructures revealed in visibility-contrast images using x-ray Talbot interferometry. Wataru Yashiro et.al. PHYSICAL REVIEW B 84, 094106 (2011)). It is superior to the description of the fine structure than the absorption image.

上記3種類の再構成画像は、例えば、参照文献4(国際公開第2012/029340号公報)に記載のように、公知の手法により生成することができる。
まず、被写体有りのモアレ画像と被写体無しのモアレ画像に、オフセット補正処理、ゲイン補正処理、欠陥画素補正処理、X線強度変動補正等が施される。次いで、補正後の被写体有りのモアレ画像に基づいて、被写体有りの3種類の再構成画像(吸収画像、微分位相画像、小角散乱画像)が生成される。また、補正後の被写体無しのモアレ画像に基づいて、被写体無しの3種類の再構成画像(吸収画像、微分位相画像、小角散乱画像)が生成される。
具体的には、複数のモアレ画像のモアレ縞を加算することにより吸収画像が生成される。また、縞走査法の原理を用いてモアレ縞の位相が計算され、微分位相画像が生成される。また、縞走査法の原理を用いてモアレ縞のVisibilityが計算され(Visibility=2×振幅÷平均値)、小角散乱画像が生成される。
そして、生成された被写体有りの再構成画像に対し、同種の被写体無しの再構成画像を用いて(例えば、被写体有りの小角散乱画像に対し、被写体無しの小角散乱画像を用いて)、モアレ縞の位相の除去と、画像ムラを除去するための補正処理が行われ、最終的な診断用の3種類の再構成画像が生成される。
The three types of reconstructed images can be generated by a known method, for example, as described in Reference Document 4 (International Publication No. 2012/029340).
First, an offset correction process, a gain correction process, a defective pixel correction process, an X-ray intensity fluctuation correction, and the like are performed on a moiré image with a subject and a moiré image without a subject. Next, three types of reconstructed images (absorption image, differential phase image, and small angle scattered image) with a subject are generated based on the corrected moire image with the subject. Further, three types of reconstructed images (absorption image, differential phase image, and small angle scattered image) without a subject are generated based on the corrected moire image without the subject.
Specifically, an absorption image is generated by adding moire fringes of a plurality of moire images. In addition, the phase of moire fringes is calculated using the principle of the fringe scanning method, and a differential phase image is generated. Also, the visibility of moire fringes is calculated using the principle of the fringe scanning method (Visibility = 2 × amplitude ÷ average value), and a small-angle scattered image is generated.
Then, using the reconstructed image without the same kind of subject with respect to the generated reconstructed image with the subject (for example, using the small-angle scattered image without the subject with respect to the small-angle scattered image with the subject), the moire fringes Phase correction and correction processing for removing image unevenness are performed, and three types of reconstructed images for final diagnosis are generated.

ここで、上述のように、X線撮影装置1においては、第1格子14及び第2格子15を同時にマルチスリット12に対して相対移動させて撮影を行うことで、複数ステップのモアレ画像を取得している。以下、その有利な効果について説明する。   Here, as described above, in the X-ray imaging apparatus 1, the first grating 14 and the second grating 15 are simultaneously moved relative to the multi-slit 12 to perform imaging, thereby acquiring a multi-step moire image. doing. The advantageous effects will be described below.

従来、マルチスリット12を第1格子14及び第2格子15に対して相対移動させて撮影することにより複数ステップのモアレ画像を取得することが好ましいとされている(特許文献2参照)。これは、一般的に、マルチスリット12は、上述のようにスリット周期が第1格子14及び第2格子15より大きいため、各ステップ毎の移動量が大きく、マルチスリット12を駆動させる駆動機構の起動時及び停止時のバックラッシュ等の影響による移動量誤差の割合が、同一の精度の駆動機構部を用いて第1格子14又は第2格子15を移動させたときよりも小さくなるので、最終的な再構成画像への影響度も少なくなり、高画質の画像を得ることが可能となる(或いは、第1格子14又は第2格子15の駆動機構部に対し、マルチスリット12の駆動機構部はその送り精度を緩和できる)。   Conventionally, it is preferable to obtain a multi-step moire image by moving the multi-slit 12 relative to the first and second gratings 14 and 15 (see Patent Document 2). In general, the multi-slit 12 is larger in the slit period than the first grating 14 and the second grating 15 as described above, so that the movement amount of each step is large, and the drive mechanism for driving the multi-slit 12 is used. Since the ratio of the movement amount error due to the backlash and the like at the time of starting and stopping is smaller than when the first lattice 14 or the second lattice 15 is moved using the drive mechanism unit with the same accuracy, the final Therefore, it is possible to obtain a high-quality image (or the driving mechanism portion of the multi-slit 12 with respect to the driving mechanism portion of the first grating 14 or the second grating 15). Can ease its feed accuracy).

しかし、マルチスリット12が存在するX線源11の周辺には、図1に示すように、付加フィルター112、照射野絞り113、照射野ランプ114のように多数の部品が存在しており、これらを避けてマルチスリット12の駆動機構を配置するには複雑な機構が必要となり、駆動範囲も制限される。また、マルチスリット12の駆動機構のメンテナンス時に照射野絞り113や照射野ランプ114が邪魔になり、メンテナンス性が悪い。また、マルチスリット12及びその駆動機構をX線源11と独立して設計することができず、設計の自由度が狭く、拡張性が低い。更に、マルチスリット12の駆動機構はX線源11近傍に配置されるのでX線源11の熱や振動の影響を受け易く、安定してマルチスリット12を動かすことができない。   However, in the vicinity of the X-ray source 11 where the multi-slit 12 is present, as shown in FIG. 1, there are a large number of parts such as an additional filter 112, an irradiation field stop 113, and an irradiation field lamp 114. A complicated mechanism is required to arrange the drive mechanism of the multi-slit 12 while avoiding the above, and the drive range is limited. Further, the irradiation field stop 113 and the irradiation field lamp 114 become an obstacle during maintenance of the driving mechanism of the multi-slit 12, and the maintainability is poor. Further, the multi-slit 12 and its driving mechanism cannot be designed independently of the X-ray source 11, and the degree of design freedom is narrow and the expandability is low. Furthermore, since the drive mechanism of the multi-slit 12 is disposed in the vicinity of the X-ray source 11, it is easily affected by the heat and vibration of the X-ray source 11, and the multi-slit 12 cannot be moved stably.

そこで、本実施形態においては、第1格子14及び第2格子15を同時に同方向に同じ量だけマルチスリット12に対して相対移動させて撮影を行う。この場合の第1格子14及び第2格子15の各ステップの移動量は、マルチスリット12を相対移動させるときと同じ(方向は逆方向)であるため、マルチスリット12を移動させる場合と同様に、第1格子14又は第2格子15のいずれかを単独で移動させたときに比べて、駆動機構部の移動量誤差の割合を低減することができる(或いは、第1格子14又は第2格子15の駆動機構部に対し、本実施形態の走査用の駆動部150はその送り精度を緩和できる)。また、第1格子14及び第2格子15は、図1に示すようにX線源11から離れた位置にあるため、上述のマルチスリット12を移動させるときのよりもメンテナンス性、拡張性に優れている。更に、第1格子14及び第2格子15を保持部141により一体的に保持してユニット化することで、移動させるための駆動機構が1つですみ(駆動部150)、また、狭周期の2つの格子の相対移動を抑え、撮影中及び撮影間の両者の相対的なずれにより再構成画像にのる偽像の強度を小さくすることができる。   Therefore, in this embodiment, the first grating 14 and the second grating 15 are simultaneously moved in the same direction by the same amount relative to the multi-slit 12 to perform imaging. In this case, the amount of movement of each step of the first grating 14 and the second grating 15 is the same as the relative movement of the multi-slit 12 (the direction is the reverse direction), and thus the same as when the multi-slit 12 is moved. As compared with the case where either the first grating 14 or the second grating 15 is moved alone, the ratio of the movement amount error of the drive mechanism unit can be reduced (or the first grating 14 or the second grating). The scanning drive unit 150 of the present embodiment can reduce the feeding accuracy with respect to 15 drive mechanism units). Moreover, since the 1st grating | lattice 14 and the 2nd grating | lattice 15 are in the position away from the X-ray source 11, as shown in FIG. 1, it is excellent in maintainability and expansibility compared with the case where the above-mentioned multi slit 12 is moved. ing. Furthermore, the first grating 14 and the second grating 15 are integrally held by the holding portion 141 to form a unit, so that only one driving mechanism is required to move (the driving portion 150), and a narrow cycle The relative movement of the two gratings can be suppressed, and the intensity of the false image on the reconstructed image can be reduced due to the relative deviation between the two during and during the photographing.

また、従来のマルチスリット12を移動させる場合、その剛性によっては、外乱等により格子移動方向以外の変位を拾い誤差を生み易く、不安定になるという問題があった。本実施形態のように、第1格子14及び第2格子15を移動させる場合は、重心位置が低いために、外乱の影響が小さく、格子移動方向以外の誤差を生じにくいので好ましい。   Further, when the conventional multi-slit 12 is moved, there is a problem that, depending on its rigidity, a displacement other than the lattice moving direction is easily picked up due to disturbance or the like, and an error is likely to occur, resulting in instability. When the first grating 14 and the second grating 15 are moved as in the present embodiment, since the position of the center of gravity is low, the influence of disturbance is small, and errors other than the grating moving direction are less likely to occur.

<本実施形態による送り精度の検証>
以下、第1格子14及び第2格子15の移動の送り精度がマルチスリット12の移動の送り精度に対して劣らないことについて検証する。
<Verification of feeding accuracy according to this embodiment>
Hereinafter, it is verified that the feed accuracy of the movement of the first grating 14 and the second grating 15 is not inferior to the feed accuracy of the movement of the multi slit 12.

タルボ・ロー干渉計において、タルボ効果とロー効果によるモアレ縞を効果的に形成するためには、以下の(1)〜(3)の条件を保つ又は近い条件が必要である(参照文献5:W.Yashiro et al.,Efficiency of capturing a phase image using cone-beam x-ray Talbot interferometry.Opt.Soc.Am.,25,2025,2008.)
(1)タルボ効果で、第1格子14の自己像が第2格子15の面上に現れる条件
(2)第1格子14の自己像をモアレ縞に変換するため、自己像周期と第2格子15の周期(スリット周期)を一致させる条件
(3)第1格子14の各スリットの開口部を仮想的な光源とみなし、それら仮想光源による自己像が第2格子15の格子面上で重なる条件
ここで、dはマルチスリット12の周期、dは第1格子14の周期、dは第2格子15の周期である。Rはマルチスリット12から第2格子15までの距離である。λはX線の波長である。pはタルボ次数であり、αは第1格子14の型により決まるものである。第1格子14の種類によってpとαは異なる。これらの代表例を以下に示す。
ここで、nは正の整数である。
In the Talbot-Lau interferometer, in order to effectively form the moire fringes due to the Talbot effect and the low effect, the following conditions (1) to (3) must be maintained or close to the conditions (Reference Document 5: W. Yashiro et al., Efficiency of capturing a phase image using cone-beam x-ray Talbot interferometry.Opt.Soc.Am., 25,2025,2008.)
(1) Conditions under which the self-image of the first grating 14 appears on the surface of the second grating 15 due to the Talbot effect
(2) Conditions for matching the self-image period and the period of the second grating 15 (slit period) in order to convert the self-image of the first grating 14 into moire fringes.
(3) The condition that the opening of each slit of the first grating 14 is regarded as a virtual light source, and the self-images by these virtual light sources overlap on the grating surface of the second grating 15
Here, d 0 is the period of the multi-slit 12, d 1 is the period of the first grating 14, and d 2 is the period of the second grating 15. R 2 is the distance from the multi slit 12 to the second grating 15. λ is the wavelength of X-rays. p is the Talbot order, and α is determined by the type of the first lattice 14. P and α are different depending on the type of the first lattice 14. Typical examples of these are shown below.
Here, n is a positive integer.

上記(1)〜(3)の拘束条件より、マルチスリット12、第1格子14、第2格子15の周期の関係は以下の(式4)となる。
From the constraint conditions (1) to (3) above, the relationship among the periods of the multi slit 12, the first grating 14, and the second grating 15 is expressed by the following (formula 4).

本願発明者は、上記の関係からタルボ・ロー干渉計で形成されるモアレ縞の位相シフトΦは以下の(式5)で表せることを見出し、実験的に確認した。
ここで、lはマルチスリット12の移動量、lは第1格子14の移動量、lは第2格子15の移動量である。
この(式5)を用いることで、複数格子を移動させた際のモアレ縞の位相シフト量Φを算出することができる。
The inventor of the present application found out from the above relationship that the phase shift Φ of the moire fringes formed by the Talbot-Lau interferometer can be expressed by the following (Equation 5) and confirmed experimentally.
Here, l 0 is the amount of movement of the multi-slit 12, l 1 is the amount of movement of the first grating 14, and l 2 is the amount of movement of the second grating 15.
By using this (Formula 5), it is possible to calculate the phase shift amount Φ of moire fringes when a plurality of gratings are moved.

縞走査法の原理から、一連の撮影のうちkステップ目(k枚目。k=0、1、2・・・)に撮影された画像におけるモアレ縞の位相シフト量Φの目標値は以下の(式6)となる。
ここで、Mは縞走査回数(撮影毎にモアレ縞の位相を2π/Mずつ変化させて撮影する回数(全ステップ数))である。
そのため、下記(式7)を満たすようにkステップ目の各格子の格子移動量(撮影開始前の基準位置からの相対移動量)m0k、m1k、m2kを設定すればよい。m0kはマルチスリット12の格子移動量、m1kは第1格子14の格子移動量、m2kは、第2格子15の格子移動量である。
上記(式7)は、各格子の撮影間の移動量が一定でない場合にも対応している。つまり、駆動部150等の機構変動等で格子が変動した場合に、格子(複数の格子でもよい)の移動量を調整することで、理想的なモアレ縞の位相にすることができる。これについては後述する。
撮影間の格子移動量を一定として簡略化して考えると、以下の(式8)を満たすように撮影間の各格子の相対移動量l、l、lを設定すればよい。
From the principle of the fringe scanning method, the target value of the phase shift amount Φ K of the moire fringes in the image photographed at the k-th step (kth sheet, k = 0, 1, 2,. (Equation 6).
Here, M is the number of times of fringe scanning (the number of times of photographing by changing the phase of moire fringes by 2π / M for every photographing (total number of steps)).
Therefore, the lattice movement amounts (relative movement amounts from the reference position before the start of imaging) m 0k , m 1k , and m 2k may be set so as to satisfy the following (Equation 7). m 0k is the amount of lattice movement of the multi-slit 12, m 1k is the amount of lattice movement of the first lattice 14, and m 2k is the amount of lattice movement of the second lattice 15.
The above (Formula 7) also corresponds to the case where the amount of movement between the images of each grid is not constant. That is, when the grating changes due to a mechanism change of the driving unit 150 or the like, an ideal moire fringe phase can be obtained by adjusting the movement amount of the grating (may be a plurality of gratings). This will be described later.
Considering the amount of movement of the lattice between photographings in a simplified manner, the relative amount of movement l 0 , l 1 , l 2 of each lattice during photographing may be set so as to satisfy the following (Equation 8).

以下、第1格子14と第2格子15を動かす場合(G1G2移動法と呼ぶ)について説明する。
第1格子14と第2格子15を動かす場合、l=0であるので、撮影間のモアレ縞位相シフトΦは以下の(式9)で与えられる。
Hereinafter, a case where the first grating 14 and the second grating 15 are moved (referred to as G1G2 movement method) will be described.
When moving the first grating 14 and the second grating 15, since l 0 = 0, the moire fringe phase shift Φ between photographings is given by the following (formula 9).

ここで、第1格子14と第2格子15を同方向に同量移動させ、その移動量をlとすると、撮影間のモアレ縞の位相シフトΦは、(式9)及び(式4)より
となる。これらから第1格子14及び第2格子15間の移動量lは縞走査の原理に基づいて下記(式11)により与えられる。
Here, when the first grating 14 and the second grating 15 are moved in the same direction by the same amount and the movement amount is set to l, the phase shift Φ of the moire fringe between photographings is obtained from (Equation 9) and (Equation 4).
It becomes. Accordingly, the movement amount l between the first grating 14 and the second grating 15 is given by the following (formula 11) based on the principle of fringe scanning.

これは、第1格子14と第2格子15を同方向に同量移動させるG1G2移動法の場合、マルチスリット12のみを移動させる方法(G0移動法と呼ぶ)と移動量が同じで移動方向が逆であることを示している。   In the case of the G1G2 moving method in which the first grating 14 and the second grating 15 are moved in the same direction by the same amount, the moving amount is the same as the method of moving only the multi slit 12 (referred to as the G0 moving method) and the moving direction is the same. It shows the opposite.

理想的な系において、移動法の違い(どの格子を移動させるかの違い)は移動量の差だけとなるが、実際の系では、格子の送り精度や撮影中、撮影間の振動等による機構変動(これらを機構誤差と呼ぶ)によってモアレ縞の位相に誤差が生じる。モアレ縞に位相誤差が含まれる場合、再構成した微分位相画像、小角散乱画像、吸収画像に偽像が発生する。   In an ideal system, the difference in movement method (difference of which grid is moved) is only the difference in the amount of movement, but in the actual system, the mechanism is based on the grating feed accuracy, vibration during shooting, etc. Variations (these are called mechanism errors) cause errors in the phase of the moire fringes. When the moiré fringes include a phase error, a false image is generated in the reconstructed differential phase image, small angle scattered image, and absorption image.

例えば、以下の撮影条件で撮影した場合の各移動法毎の撮影間移動量(移動する格子の撮影間の移動量)及びモアレ縞の位相誤差は[表2]に示すとおりである。
(撮影条件)
X線管の焦点径;300(μm)、管電圧;40kV、付加フィルター;アルミ1.6(mm)、中心エネルギー28(keV)
X線検出器;Condor486(Fairchild Imaging社製)、画素サイズ;15(μm)
X線源11の焦点からマルチスリットまでの距離D: 34(mm)
マルチスリットから第1格子までの距離R :1110(mm)
マルチスリットから第2格子までの距離R+z :1370(mm)
マルチスリットのサイズ:5(mm四方)、スリット周期:22.8(μm)
第1格子のサイズ:50(mm四方)、スリット周期:4.3(μm)
第2格子のサイズ:50(mm四方)、スリット周期:5.3(μm)
第1格子14はπ/2位相型回折格子、タルボ次数pは1/2、縞走査回数Mは5である。
For example, the amount of movement between images (the amount of movement between images of a moving grid) and the phase error of moire fringes for each movement method when imaged under the following imaging conditions are as shown in [Table 2].
(Shooting conditions)
Focal diameter of X-ray tube: 300 (μm), tube voltage: 40 kV, additional filter: aluminum 1.6 (mm), center energy 28 (keV)
X-ray detector; Condor486 (Fairchild Imaging), pixel size: 15 (μm)
Distance D 1 from the focal point of the X-ray source 11 to the multi slit: 34 (mm)
Distance from multi slit to first grating R 1 : 1110 (mm)
Distance from multi slit to second grating R 1 + z p : 1370 (mm)
Multi slit size: 5 (mm square), slit period: 22.8 (μm)
First grating size: 50 (mm square), slit period: 4.3 (μm)
Second grating size: 50 (mm square), slit period: 5.3 (μm)
The first grating 14 is a π / 2 phase type diffraction grating, the Talbot degree p is 1/2, and the fringe scanning number M is 5.

ここで、G0移動法の撮影間移動量は、d/Mであることが知られている。G1G2移動法の撮影間移動量は、前述するG1G2移動法の計算と同様に(式4)と(式8)を用いて計算することが可能で、d/Mで算出することができる。つまり第1格子14、第2格子15の周期ではなく、移動させないマルチスリット12の周期を縞走査回数Mで割った量で移動させれば良い。
G1移動法の撮影間移動量は、d/Mであることが知られている。G0G2移動法の撮影間移動量は、前述するG1G2移動法の計算と同様に(式4)と(式8)を用いて計算することが可能でd/Mで算出することができる。つまりマルチスリット12、第2格子15の周期ではなく、移動させない第1格子14の周期を縞走査回数Mで割った量で移動させれば良い。
G2移動法の撮影間移動量は、d/Mであることが知られている。G0G1移動法の撮影間移動量は、前述するG1G2移動法の計算と同様に(式4)と(式8)を用いて計算することが可能で、d/Mで算出することができる。つまりマルチスリット12、第1格子14の周期ではなく、移動させない第2格子15の周期を縞走査回数Mで割った量で移動させれば良い。
また、機構誤差が与えるモアレ縞の位相誤差ΔΦ(所定位相からの偏差)は、各格子の移動誤差を(式5)の移動量l0、0、に代入して計算すれば良い。[表2]は、仮に0.1(μm)の機構誤差があった場合の各移動法におけるモアレ縞の位相誤差の絶対値を計算したものである。
Here, it is known that the movement amount between photographing in the G0 movement method is d 0 / M. The inter-shooting movement amount of the G1G2 movement method can be calculated using (Equation 4) and (Equation 8), similarly to the calculation of the G1G2 movement method described above, and can be calculated by d 0 / M. That is, instead of the period of the first grating 14 and the second grating 15, the period of the multi-slit 12 that is not moved may be moved by an amount divided by the number M of fringe scans.
It is known that the movement amount between photographing in the G1 movement method is d 1 / M. The inter-shooting movement amount in the G0G2 movement method can be calculated using (Equation 4) and (Equation 8) as in the G1G2 movement method described above, and can be calculated as d 1 / M. That is, instead of the period of the multi-slit 12 and the second grating 15, the period of the first grating 14 that is not moved may be moved by the amount divided by the number M of fringe scans.
It is known that the movement amount between photographing in the G2 movement method is d 2 / M. The inter-photographing movement amount of the G0G1 movement method can be calculated using (Equation 4) and (Equation 8), similarly to the calculation of the G1G2 movement method described above, and can be calculated by d 2 / M. That is, instead of the period of the multi-slit 12 and the first grating 14, the period of the second grating 15 that is not moved may be moved by the amount divided by the number M of fringe scans.
Further, the moire fringe phase error ΔΦ (deviation from the predetermined phase) given by the mechanism error may be calculated by substituting the movement error of each grating into the movement amounts l 0, l 0, l 0 in (Equation 5). . [Table 2] shows the absolute value of the phase error of the moire fringes in each moving method when there is a mechanism error of 0.1 (μm).

図11A、図11Bに、モアレ縞位相誤差の異なる2つの微分位相画像を示す。図11Aは、図11Bよりもモアレ縞位相誤差が大きい微分位相画像である。図11A、図11Bの右半分は被写体が無く、理想的にはフラットな画像となる。図11A、図11Bからわかるように、モアレ縞位相が縞走査の所定位相からずれるほど、再構成画像にのる偽像の強度は大きくなる。上記撮影条件では、[表2]に示すように、G1G2移動法はG1移動法に比べて所定位相からの位相誤差を1/5.3に低減することができ、G2移動法に比べて1/4.3に低減することができるため偽像の強さを大幅に低減可能である。また、G0移動法に比べても遜色がなく、G0移動と同じ送り精度でよい。   11A and 11B show two differential phase images with different moire fringe phase errors. FIG. 11A is a differential phase image having a larger moire fringe phase error than FIG. 11B. The right half of FIGS. 11A and 11B has no subject and is ideally a flat image. As can be seen from FIGS. 11A and 11B, the intensity of the false image on the reconstructed image increases as the moire fringe phase deviates from the predetermined phase of the fringe scanning. Under the above photographing conditions, as shown in [Table 2], the G1G2 moving method can reduce the phase error from a predetermined phase to 1 / 5.3 compared with the G1 moving method, and 1 compared with the G2 moving method. Since it can be reduced to /4.3, the strength of the false image can be greatly reduced. Further, there is no inferiority compared to the G0 movement method, and the same feeding accuracy as that of the G0 movement is sufficient.

<機構誤差を格子移動時にキャンセルする方法>
上述した(式7)を用いて、撮影中または撮影間の機構誤差による格子変動を補正してモアレ縞の位相シフト量を決定する方法について説明する。これは三枚の格子の格子駆動方向の変動を、駆動させる格子の移動量を調整することでキャンセルし、理想的なモアレ縞位相で撮影を可能にする。
<Method to cancel mechanism error when moving the grid>
A method for determining the phase shift amount of the moire fringes by correcting the lattice fluctuation due to the mechanism error during or between photographing using the above-described (Equation 7) will be described. This cancels the fluctuation in the grating driving direction of the three gratings by adjusting the moving amount of the grating to be driven, and enables photographing with an ideal moire fringe phase.

例えば、マルチスリット12、第1格子14、第2格子15のそれぞれの近傍にセンサー(図示せず)を設け、格子の移動前に各センサーにて各格子の変動量を読み取る。マルチスリット12の格子駆動方向の変動量をe、第1格子14の格子駆動方向の変動量をe、第2格子15の格子駆動方向の変動量をeとすると、(式7)は(式12)のように変形することができる。
上記(式12)を満たすように各格子の移動量m0k、m1k、m2kを設定すれば、モアレ縞を理想的な位相とすることができる。
For example, a sensor (not shown) is provided in the vicinity of each of the multi-slit 12, the first grating 14, and the second grating 15, and the fluctuation amount of each grating is read by each sensor before the grating is moved. Assuming that the fluctuation amount of the multi-slit 12 in the grating driving direction is e 0 , the fluctuation quantity of the first grating 14 in the grating driving direction is e 1 , and the fluctuation quantity of the second grating 15 in the grating driving direction is e 2 , (Equation 7) Can be transformed as shown in (Equation 12).
If the movement amounts m 0k , m 1k , and m 2k of the respective gratings are set so as to satisfy the above (Formula 12), the moire fringes can be set to an ideal phase.

ここで具体例としてG1G2移動の移動量の計算方法を示す。G1G2移動の場合は、G0移動がないため、m0k=0となり、m1k=m2kとなる。これを(式12)に代入して変形すると、(式13)となる。
Here, as a specific example, a method for calculating the movement amount of the G1G2 movement will be described. In the case of G1G2 movement, since there is no G0 movement, m 0k = 0 and m 1k = m 2k . Substituting this into (Equation 12) and transforming it yields (Equation 13).

ゆえに、各格子の格子変動を補正した第1格子14、第2格子15の移動量mは(式14)で与えられる。
この方法によれば、各格子に非理想的な変動があった場合でも、理想的なモアレ縞位相で撮影することが可能となり、送り誤差や機構変動による偽像を抑制することが可能である。
Therefore, the movement amount m k of the first grating 14 and the second grating 15 in which the grating fluctuation of each grating is corrected is given by (Expression 14).
According to this method, even when there is non-ideal fluctuation in each grating, it is possible to photograph with an ideal moire fringe phase, and it is possible to suppress false images due to feeding errors and mechanism fluctuations. .

以上説明したように、X線撮影装置1によれば、第1格子14及び第2格子15をX線の照射軸方向と直交する方向にマルチスリット12に対して相対移動させる駆動部150を備え、第1格子14及び第2格子15が駆動部150により一定周期間隔で移動する毎に、X線源11によりX線を照射し、到達したX線に応じてX線検出器16が画像信号を読み取る処理を繰り返し、一定周期間隔のモアレ画像を複数生成する。   As described above, according to the X-ray imaging apparatus 1, the driving unit 150 that moves the first grating 14 and the second grating 15 relative to the multi-slit 12 in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction is provided. Each time the first grating 14 and the second grating 15 are moved at regular intervals by the drive unit 150, the X-ray source 11 emits X-rays, and the X-ray detector 16 outputs an image signal according to the reached X-rays. Is repeated to generate a plurality of moire images at regular intervals.

従って、マルチスリット12を第1格子14及び第2格子15に対して相対的に移動させる場合に比べ、メンテナンス性、拡張性に優れ、安定して格子を駆動させることが可能となる。
特に、保持部141により第1格子14及び第2格子15を一体的に保持する構成とすることで、これらを移動させるための駆動機構が1つですむようになり、装置構成の簡略化が可能となる。また、狭周期の2つの格子の相対移動を抑え、撮影中及び撮影間の両者の相対的なずれにより再構成画像にのる偽像の強度を小さくすることができる。
Therefore, compared to the case where the multi-slit 12 is moved relative to the first grating 14 and the second grating 15, it is excellent in maintainability and expandability, and the grating can be driven stably.
In particular, since the first lattice 14 and the second lattice 15 are integrally held by the holding portion 141, only one drive mechanism is required to move them, and the device configuration can be simplified. Become. In addition, the relative movement of the two gratings having a narrow period can be suppressed, and the intensity of the false image on the reconstructed image can be reduced by the relative shift between the two during shooting and between shootings.

なお、上述した本実施形態における記述は、本発明に係る好適な一例であり、これに限定されるものではない。
例えば、上記実施形態においては、X線撮影装置1はR>zであり、マルチスリット12のスリット周期>第1格子14及び第2格子15のスリット周期であり、この場合に最適な格子移動法がG1G2移動法である旨を説明したが、機構誤差によるモアレ縞位相誤差は装置構成や各格子のスリット周期に依存するため、装置構成によって、移動させる格子のセットを変更することが好ましい。
In addition, the description in this embodiment mentioned above is a suitable example which concerns on this invention, and is not limited to this.
For example, in the above embodiment, the X-ray imaging apparatus 1 has R 1 > z p , the slit period of the multi-slit 12> the slit period of the first grating 14 and the second grating 15, and the optimum grating in this case Although it has been explained that the moving method is the G1G2 moving method, the moire fringe phase error due to the mechanism error depends on the apparatus configuration and the slit period of each grating, and therefore it is preferable to change the set of gratings to be moved depending on the apparatus configuration. .

複数枚の格子を移動させる方法において、機構誤差に対する耐性の観点で評価した結果を[表3]に示す。評価方法として、各移動方法で同じ量の送り誤差を与えた時に発生するモアレ縞の位相誤差の絶対値の大きさを採用した。
[表3]において、○はモアレ縞の位相誤差の絶対値が最も小さく、機構誤差に対する耐性が高いことを示す。×はモアレ縞の位相誤差の絶対値が最も大きく、耐性が低いことを示し、△は○と×の間であることを示す。
>zのときはG1G2移動、R<zのときはG0G2移動が好ましい。この組み合わせは、格子間距離が短い2格子の組み合わせと同じであり、ユニット化を考えると都合が良い。
>zは焦点が大きいX線源を用いた際に位相検出感度を高くしやすく、特に、医療用の用途が考えられる。逆に、R<zは微小な焦点を持つX線源(μFocusX線源等)を用いた高拡大撮影で有効であり、非破壊検査等での用途が考えられる構成である。
Table 3 shows the results of evaluation in terms of resistance to mechanical errors in the method of moving a plurality of gratings. As an evaluation method, the magnitude of the absolute value of the phase error of moire fringes that occurs when the same amount of feed error is given by each moving method is adopted.
In [Table 3], ◯ indicates that the absolute value of the phase error of the moire fringe is the smallest and the tolerance to the mechanism error is high. X indicates that the absolute value of the phase error of moire fringes is the largest and has low tolerance, and Δ indicates that it is between ◯ and x.
When R 1 > z p , G1G2 movement is preferable, and when R 1 <z p , G0G2 movement is preferable. This combination is the same as the combination of two lattices having a short inter-lattice distance, and is convenient when considering unitization.
R 1 > z p makes it easy to increase the phase detection sensitivity when using an X-ray source with a large focal point, and is particularly considered for medical use. On the contrary, R 1 <z p is effective in high-magnification imaging using an X-ray source (μFocus X-ray source or the like) having a minute focus, and can be used for nondestructive inspection or the like.

また、機構誤差を格子移動時にキャンセルする方法として、G1G2移動法におけるケースを説明したが、同様の計算で、3枚の格子のうち、1枚を移動させる場合、他の2枚を移動させる場合、3枚を移動させる場合においても式13を用いて同様の計算を行うことで、誤差を補正する移動量を計算可能である。また、複数枚の格子を移動させる場合は、移動量や移動方向を変えても良い。   In addition, the case of the G1G2 moving method has been described as a method for canceling the mechanism error when moving the lattice. However, in the same calculation, when one of the three lattices is moved, the other two are moved. Even when three sheets are moved, the movement amount for correcting the error can be calculated by performing the same calculation using Expression 13. Further, when moving a plurality of lattices, the moving amount or moving direction may be changed.

また、上記実施形態においては、第1格子14と第2格子15は保持部141により一体的に保持され、駆動部150により一体的に移動させることとして説明したが、第1格子14と第2格子15のそれぞれに駆動機構を設け、それぞれの駆動機構により第1格子14及び第2格子15をX方向に同じ量移動させることとしてもよい。ただし、この場合は、駆動機構が2つ必要となり、また、移動量を一致させるための調整等が必要となるので本実施形態の構成が好ましい。   In the above embodiment, the first grating 14 and the second grating 15 are integrally held by the holding part 141 and are moved integrally by the driving part 150. However, the first grating 14 and the second grating 15 are integrally moved. A driving mechanism may be provided for each of the gratings 15, and the first grating 14 and the second grating 15 may be moved in the X direction by the same amount by the respective driving mechanisms. However, in this case, two drive mechanisms are required, and adjustment for matching the movement amounts is necessary, so the configuration of this embodiment is preferable.

その他、X線撮影システムを構成する各装置の細部構成及び細部動作に関しても、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。   In addition, the detailed configuration and detailed operation of each apparatus constituting the X-ray imaging system can be changed as appropriate without departing from the spirit of the invention.

1 X線撮影装置
11 X線源
12 マルチスリット
13 被写体台
14 第1格子
15 第2格子
16 X線検出器
17 支柱
17a 緩衝部材
111 焦点
112 付加フィルター
113 照射野絞り
114 照射野ランプ
120 第1のカバーユニット
130 第2のカバーユニット
131 回転板
132 切り欠き部
133 切り欠き部
140 格子ユニット
141 保持部
141a〜141c 保持部材
142 基台取付部
143 第1格子調整部
150 駆動部
151 第2格子調整部
18 本体部
181 制御部
182 操作部
183 表示部
184 通信部
185 記憶部
19 基台部
305 板部材
5 コントローラー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray imaging apparatus 11 X-ray source 12 Multi slit 13 Subject stand 14 1st grating | lattice 15 2nd grating | lattice 16 X-ray detector 17 Support | pillar 17a Buffer member 111 Focal point 112 Additional filter 113 Irradiation field stop 114 Irradiation field lamp 120 1st Cover unit 130 Second cover unit 131 Rotating plate 132 Notch portion 133 Notch portion 140 Lattice unit 141 Holding portions 141a to 141c Holding member 142 Base mounting portion 143 First lattice adjusting portion 150 Driving portion 151 Second lattice adjusting portion 18 Main unit 181 Control unit 182 Operation unit 183 Display unit 184 Communication unit 185 Storage unit 19 Base unit 305 Plate member 5 Controller

Claims (4)

X線を照射するX線源と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、当該X線の照射軸方向と直交する方向に複数のスリットが配列されて構成されたマルチスリット、第1格子、及び第2格子と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、被写体を載置する被写体台と、
前記X線源により照射され、前記マルチスリット、前記第1格子、前記被写体及び前記第2格子を透過したX線に応じて電気信号を生成する変換素子が2次元状に配置され、当該変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取るX線検出器と、
を備えるX線撮影装置であって、
前記第1格子及び前記第2格子を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に前記マルチスリットに対して相対移動させる駆動部を備え、
前記第1格子及び前記第2格子が前記駆動部により一定周期間隔で移動する毎に、前記X線源によりX線を照射し、到達したX線に応じて前記X線検出器が画像信号を読み取る処理を繰り返し、一定周期間隔のモアレ画像を複数得るX線撮影装置。
An X-ray source that emits X-rays;
A multi-slit, a first grating, and a second grating that are provided in the X-ray irradiation axis direction and are configured by arranging a plurality of slits in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction;
A subject table provided in the X-ray irradiation axis direction, on which a subject is placed;
A conversion element that generates an electrical signal in accordance with X-rays irradiated by the X-ray source and transmitted through the multi slit, the first grating, the subject, and the second grating is two-dimensionally arranged, and the conversion element An X-ray detector that reads an electrical signal generated by
An X-ray imaging apparatus comprising:
A drive unit that moves the first grating and the second grating relative to the multi-slit in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the multi-slit slit extending direction;
Each time the first grating and the second grating are moved by the driving unit at a constant cycle interval, the X-ray source emits X-rays, and the X-ray detector outputs an image signal according to the reached X-rays. An X-ray imaging apparatus that repeats reading processing and obtains a plurality of moire images at regular intervals.
前記第1格子及び前記第2格子を一体的に保持する保持部を有し、
前記駆動部は前記保持部を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に移動させることにより前記第1格子及び前記第2格子を前記マルチスリットに対して相対的に移動させる請求項1に記載のX線撮影装置。
A holding portion that integrally holds the first grating and the second grating;
The driving unit moves the first and second gratings relative to the multi-slit by moving the holding unit in a direction perpendicular to the X-ray irradiation axis direction and different from the multi-slit slit extending direction. The X-ray imaging apparatus according to claim 1, which is relatively moved.
X線を照射するX線源と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、当該X線の照射軸方向と直交する方向に複数のスリットが配列されて構成されたマルチスリット、第1格子、及び第2格子と、
前記X線の照射軸方向に設けられ、被写体を載置する被写体台と、
前記X線源により照射され、前記マルチスリット、前記第1格子、前記被写体及び前記第2格子を透過したX線に応じて電気信号を生成する変換素子が2次元状に配置され、当該変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取るX線検出器と、
を備えるX線撮影装置におけるモアレ画像生成方法であって、
前記第1格子及び前記第2格子を前記X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に前記マルチスリットに対して相対移動させる移動工程と、
前記第1格子及び前記第2格子が一定周期間隔で移動する毎に、前記X線源によりX線を照射し、到達したX線に応じて前記X線検出器が画像信号を読み取る処理を繰り返し、前記被写体の一定周期間隔のモアレ画像を複数得るモアレ画像生成工程と、
を含むモアレ画像生成方法。
An X-ray source that emits X-rays;
A multi-slit, a first grating, and a second grating that are provided in the X-ray irradiation axis direction and are configured by arranging a plurality of slits in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction;
A subject table provided in the X-ray irradiation axis direction, on which a subject is placed;
A conversion element that generates an electrical signal in accordance with X-rays irradiated by the X-ray source and transmitted through the multi slit, the first grating, the subject, and the second grating is two-dimensionally arranged, and the conversion element An X-ray detector that reads an electrical signal generated by
A moire image generation method in an X-ray imaging apparatus comprising:
Moving the first grating and the second grating relative to the multi-slit in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the slit stretching direction of the multi-slit;
Each time the first grating and the second grating move at regular intervals, the X-ray source emits X-rays, and the X-ray detector repeatedly reads an image signal according to the reached X-rays. A moiré image generating step of obtaining a plurality of moiré images of the subject at regular intervals;
A moire image generating method.
前記X線撮影装置は、前記第1格子及び前記第2格子を一体的に保持する保持部を有し、
前記移動工程は、前記保持部を当該X線の照射軸方向と直交し、かつマルチスリットのスリット延伸方向とは異なる方向に移動させることにより前記第1格子及び前記第2格子を前記マルチスリットに対して相対的に移動させる請求項3に記載のモアレ画像生成方法。
The X-ray imaging apparatus includes a holding unit that integrally holds the first grating and the second grating,
In the moving step, the first grating and the second grating are moved to the multi slit by moving the holding portion in a direction orthogonal to the X-ray irradiation axis direction and different from the slit extending direction of the multi slit. The moiré image generation method according to claim 3, wherein the moiré image generation method is relatively moved.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107680699A (en) * 2017-11-06 2018-02-09 遵义市产品质量检验检测院 A kind of screening arrangement for being used to test x-ray focus
JP2018099269A (en) * 2016-12-20 2018-06-28 株式会社島津製作所 X-ray phase imaging apparatus
US11202361B2 (en) 2018-04-05 2021-12-14 Fujifilm Corporation X-ray tube device

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