JP2014078673A - Solid state image pickup device, manufacturing method of the same, and electronic apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、光電変換素子を画素として含む固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法ならびに電子機器に関する。 The present disclosure relates to a solid-state imaging device including a photoelectric conversion element as a pixel, a method for manufacturing the solid-state imaging device, and an electronic apparatus.
CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ、あるいはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサなどの固体撮像装置として、1つの画素内に複数色(例えばR,G,B)の光電変換層を積層し、1画素から3色の信号を得るものが提案されている(例えば、特許文献1)。特許文献1の固体撮像装置では、例えば、シリコン基板上に、緑色光を検出してこれに応じた信号電荷を発生する有機光電変換部を設け、シリコン基板内に赤色光および青色光をそれぞれ検出するフォトダイオード(無機光電変換部)を設けている。
As a solid-state imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor, a plurality of colors (for example, R, G, B) photoelectric conversion layers are stacked in one pixel. A device that obtains signals of three colors from a pixel has been proposed (for example, Patent Document 1). In the solid-state imaging device of
上記のような固体撮像装置において、有機光電変換材料の劣化による信頼性低下を招くことなく、有機光電変換層への集光効率を向上させることが望まれている。 In the solid-state imaging device as described above, it is desired to improve the light collection efficiency on the organic photoelectric conversion layer without causing a decrease in reliability due to deterioration of the organic photoelectric conversion material.
本開示はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、信頼性を保持しつつ、有機光電変換層への集光効率を向上させることが可能な固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器を提供することにある。 The present disclosure has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a solid-state imaging device capable of improving the light collection efficiency on the organic photoelectric conversion layer while maintaining reliability, a manufacturing method thereof, and To provide electronic equipment.
本開示の固体撮像装置は、各々が有機光電変換層を含む複数の画素と、複数の画素を覆って設けられた封止層と、封止層の有機光電変換層側に、画素毎に設けられると共に封止層と一体的に形成された第1のレンズ部とを備えたものである。 A solid-state imaging device of the present disclosure includes a plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer, a sealing layer provided to cover the plurality of pixels, and an organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer provided for each pixel. And a first lens portion formed integrally with the sealing layer.
本開示の固体撮像装置の製造方法は、各々が有機光電変換層を含む複数の画素を形成する工程と、複数の画素を覆って封止層を形成する工程とを含み、封止層を形成する工程では、有機光電変換層側に、封止層と一体化された第1のレンズ部を画素毎に形成するものである。 A method for manufacturing a solid-state imaging device of the present disclosure includes a step of forming a plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer and a step of forming a sealing layer so as to cover the plurality of pixels, thereby forming a sealing layer In this step, the first lens unit integrated with the sealing layer is formed for each pixel on the organic photoelectric conversion layer side.
本開示の電子機器は、上記本開示の固体撮像装置を有するものである。 An electronic apparatus according to the present disclosure includes the solid-state imaging device according to the present disclosure.
本開示の固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法並びに電子機器では、封止層の有機光電変換層側において、第1のレンズ部が封止層と一体的に設けられることにより、製造プロセスにおける有機光電変換層へのダメージが軽減されると共に、封止層のカバレッジが良好となる。 In the solid-state imaging device, the manufacturing method of the solid-state imaging device, and the electronic apparatus according to the present disclosure, the first lens unit is provided integrally with the sealing layer on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer. Damage to the organic photoelectric conversion layer is reduced and the coverage of the sealing layer is improved.
本開示の固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法並びに電子機器によれば、封止層の有機光電変換層側において、第1のレンズ部を封止層と一体的に設けるようにしたので、信頼性を保持しつつ、有機光電変換層への集光効率を向上させることが可能となる。 According to the solid-state imaging device and the manufacturing method of the solid-state imaging device and the electronic apparatus of the present disclosure, the first lens unit is provided integrally with the sealing layer on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer. It is possible to improve the light collection efficiency to the organic photoelectric conversion layer while maintaining the reliability.
以下、本開示における実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。尚、説明する順序は、下記の通りである。
1.実施の形態(下凸レンズ部が封止層と一体形成された光電変換素子の例)
2.変形例1(受光波長と屈折率の関係を考慮して設計した場合の例)
3.変形例2(瞳補正を行う場合の例)
4.固体撮像装置の全体構成例
5.適用例(電子機器(カメラ)の例)
Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The order of explanation is as follows.
1. Embodiment (an example of a photoelectric conversion element in which a downward convex lens portion is integrally formed with a sealing layer)
2. Modification 1 (example when designed taking into account the relationship between the light receiving wavelength and the refractive index)
3. Modification 2 (example when pupil correction is performed)
4). 4. Example of overall configuration of solid-state imaging device Application example (Example of electronic device (camera))
<実施の形態>
[構成]
図1は、本開示の固体撮像装置における画素(光電変換素子10)の概略断面構成を表すものである。固体撮像装置は、詳細は後述するが、例えばCCD(Charge Coupled Device)またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサなどである。光電変換素子10では、半導体基板11の表面(受光面と反対側の面S2)側に、画素トランジスタ(後述の転送トランジスタTr1〜3を含む)が形成されると共に多層配線層(多層配線層51)が設けられている。
<Embodiment>
[Constitution]
FIG. 1 illustrates a schematic cross-sectional configuration of a pixel (photoelectric conversion element 10) in a solid-state imaging device of the present disclosure. The solid-state imaging device is, for example, a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor. In the photoelectric conversion element 10, pixel transistors (including transfer transistors Tr1 to 3 described later) are formed on the surface of the semiconductor substrate 11 (surface S2 opposite to the light receiving surface) and a multilayer wiring layer (
光電変換素子10は、例えば、互いに異なる波長の光を選択的に検出して光電変換を行う有機光電変換部10aと無機光電変換部10bとを縦方向に積層した構造を有している。有機光電変換部10aは、半導体基板11上に形成されており、有機光電変換層(有機光電変換層17)を含む。無機光電変換部10bは、半導体基板11内に形成されている。これにより後述の固体撮像装置では、カラーフィルタを用いることなく、1画素において複数種類の色信号を取得可能となる。
The photoelectric conversion element 10 has, for example, a structure in which an organic
本実施の形態では、図2に示したように、光電変換素子10が、1つの有機光電変換部11Gと2つの無機光電変換層11B,11Rとを縦方向に積層させた構造を有しており、これにより、赤(R),緑(G),青(B)の各色信号を取得する。有機光電変換部11Gは、例えば緑色光を検出する(緑色光の光電変換を行う)有機光電変換層17Gを有し、無機光電変換部10bは、例えば青色光を検出する無機光電変換層11Bと、赤色光を検出する無機光電変換層11Rとを有している。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the photoelectric conversion element 10 has a structure in which one organic
(半導体基板11)
半導体基板11は、例えばn型のシリコン(Si)層110の所定の領域に、無機光電変換層11B,11Rと緑用蓄電層110Gとが埋め込まれたものである。半導体基板11には、また、有機光電変換部11Gからの電荷(電子または正孔(ホール))の伝送経路となる導電性プラグ120a1が埋設されている。本実施の形態では、この半導体基板11の裏面(面S1)が受光面となっている。半導体基板11の表面(面S2)側には、有機光電変換部11G,無機光電変換層11B,11Rのそれぞれに対応する複数の画素トランジスタ(転送トランジスタTr1〜Tr3を含む)が形成されると共に、ロジック回路等からなる周辺回路が形成されている。
(Semiconductor substrate 11)
The
画素トランジスタとしては、例えば転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタおよび選択トランジスタが挙げられる。これらの画素トランジスタは、いずれも例えばMOSトランジスタにより構成され、面S2側のp型半導体ウェル領域に形成されている。このような画素トランジスタを含む回路が、赤、緑、青の光電変換部毎に形成されている。各回路では、これらの画素トランジスタのうち、例えば転送トランジスタ、リセットトランジスタおよび増幅トランジスタからなる、計3つのトランジスタを含む3トランジスタ構成を有していてもよいし、これに選択トランジスタを加えた4トランジスタ構成であってもよい。ここでは、これらの画素トランジスタのうち、転送トランジスタTr1〜Tr3についてのみ図示している。但し、図1には、転送トランジスタTr1〜Tr3のうちのゲート電極(ゲート電極TG1〜TG3)のみ示している。尚、転送トランジスタ以外の他の画素トランジスタについては、光電変換部間あるいは画素間において共有することもできる。また、フローティングディフージョンを共有する、いわゆる画素共有構造を適用することもできる。 Examples of the pixel transistor include a transfer transistor, a reset transistor, an amplification transistor, and a selection transistor. Each of these pixel transistors is formed of a MOS transistor, for example, and is formed in the p-type semiconductor well region on the surface S2. A circuit including such a pixel transistor is formed for each of the red, green, and blue photoelectric conversion units. Each circuit may have a three-transistor configuration including a total of three transistors, such as a transfer transistor, a reset transistor, and an amplifying transistor, among these pixel transistors, or four transistors including a selection transistor. It may be a configuration. Here, among these pixel transistors, only the transfer transistors Tr1 to Tr3 are illustrated. However, FIG. 1 shows only the gate electrodes (gate electrodes TG1 to TG3) of the transfer transistors Tr1 to Tr3. The pixel transistors other than the transfer transistor can be shared between the photoelectric conversion units or between the pixels. Further, a so-called pixel sharing structure that shares a floating diffusion can also be applied.
転送トランジスタTr1〜Tr3は、ゲート電極(ゲート電極TG1〜TG3)と、フローティングディフージョン(FD113,114,116)とを含んで構成されている。転送トランジスタTr1は、有機光電変換部11Gにおいて発生し、緑用蓄電層110Gに蓄積された、緑色に対応する信号電荷(本実施の形態では電子)を、後述の垂直信号線Lsigへ転送するものである。転送トランジスタTr2は、無機光電変換層11Bにおいて発生し、蓄積された、青色に対応する信号電荷(本実施の形態では電子)を、後述の垂直信号線Lsigへ転送するものである。同様に、転送トランジスタTr3は、無機光電変換層11Rにおいて発生し、蓄積された、赤色に対応する信号電荷(本実施の形態では電子)を、後述の垂直信号線Lsigへ転送するものである。
The transfer transistors Tr1 to Tr3 include gate electrodes (gate electrodes TG1 to TG3) and floating diffusions (
無機光電変換層11B,11Rはそれぞれ、pn接合を有するフォトダイオード(Photo Diode)であり、半導体基板11内に、例えば、面S1側(光入射側)から無機光電変換層11B,11Rの順に形成されている。これらのうち、無機光電変換層11Bは、青色光を選択的に検出して青色に対応する信号電荷を蓄積させるものであり、例えば半導体基板11の面S1に沿った選択的な領域から、多層配線層51との界面近傍の領域にかけて延在して形成されている。無機光電変換層11Rは、赤色光を選択的に検出して赤色に対応する信号電荷を蓄積させるものであり、例えば無機光電変換層11Bよりも下層(面S2側)の領域に形成されている。尚、青(B)は、例えば450nm〜495nmの波長域、赤(R)は、例えば620nm〜750nmの波長域にそれぞれ対応する色であり、無機光電変換層11B,11Rはそれぞれ、上記波長域のうちの一部または全部の波長域の光を検出可能であればよい。
Each of the inorganic photoelectric conversion layers 11B and 11R is a photodiode having a pn junction, and is formed in the
図3A,図3Bは、無機光電変換層11B,11Rの詳細構成例を表したものである。これらの図3A,図3Bは、互いに異なる断面における構成を表したものである。尚、本実施の形態では、光電変換によって生じる電子およびホールの対のうち、電子を信号電荷として読み出す場合(n型半導体領域を光電変換層とする場合)について説明を行う。また、図中において、「p」「n」に上付きで記した「+(プラス)」は、p型またはn型の不純物濃度が高いことを表している。また、画素トランジスタのうち、転送トランジスタTr2,Tr3のゲート電極TG2,TG3についても示している。 3A and 3B show detailed configuration examples of the inorganic photoelectric conversion layers 11B and 11R. FIG. 3A and FIG. 3B show configurations in different cross sections. Note that in this embodiment, a case where electrons out of a pair of electrons and holes generated by photoelectric conversion are read as signal charges (when an n-type semiconductor region is a photoelectric conversion layer) will be described. In the figure, “+ (plus)” superscripted on “p” and “n” represents a high p-type or n-type impurity concentration. In addition, among the pixel transistors, the gate electrodes TG2 and TG3 of the transfer transistors Tr2 and Tr3 are also shown.
無機光電変換層11Bは、例えば、ホール蓄積層となるp型半導体領域(以下、単にp型領域という、n型の場合についても同様。)111pと、電子蓄積層となるn型光電変換層(n型領域)111nとを含んで構成されている。p型領域111pおよびn型光電変換層111nはそれぞれ、面S1近傍の選択的な領域に形成されると共に、その一部が屈曲し、面S2との界面に達するように延在形成されている。p型領域111pは、面S1側において、図示しないp型半導体ウェル領域に接続されている。n型光電変換層111nは、青色用の転送トランジスタTr2のFD113(n型領域)に接続されている。尚、p型領域111pおよびn型光電変換層111nの面S2側の各端部と面S2との界面近傍には、p型領域113p(ホール蓄積層)が形成されている。
The inorganic
無機光電変換層11Rは、例えば、p型領域112p1,112p2(ホール蓄積層)間に、n型光電変換層112n(電子蓄積層)を挟み込んで形成されている(p−n−pの積層構造を有する)。n型光電変換層112nは、その一部が屈曲し、面S2との界面に達するように延在形成されている。n型光電変換層112nは、赤色用の転送トランジスタTr3のFD114(n型領域)に接続されている。尚、少なくともn型光電変換層111nの面S2側の端部と面S2との界面近傍にはp型領域113p(ホール蓄積層)が形成されている。
The inorganic
図4は、緑用蓄電層110Gの詳細構成例を表したものである。尚、ここでは、有機光電変換部11Gによって生じる電子およびホールの対のうち、電子を信号電荷として、下部電極14側から読み出す場合について説明を行う。また、図4には、画素トランジスタのうち、転送トランジスタTr1のゲート電極TG1についても示している。
FIG. 4 illustrates a detailed configuration example of the green
緑用蓄電層110Gは、電子蓄積層となるn型領域115nを含んで構成されている。n型領域115nの一部は、導電性プラグ120a1に接続されており、下部電極14側から導電性プラグ120a1を介して供給される電子を蓄積するようになっている。このn型領域115nは、また、緑色用の転送トランジスタTr1のFD116(n型領域)に接続されている。尚、n型領域115nと面S2との界面近傍には、p型領域115p(ホール蓄積層)が形成されている。
The green
導電性プラグ120a1は、後述の導電性プラグ120a2と共に、有機光電変換部11Gと半導体基板11とのコネクタとして機能すると共に、有機光電変換部11Gにおいて生じた電子またはホールの伝送経路を形成するものである。ここでは、導電性プラグ120a1は、有機光電変換部11Gの下部電極14と導通すると共に、緑用蓄電層110Gと接続されている。
The conductive plug 120a1, together with a conductive plug 120a2 described later, functions as a connector between the organic
この導電性プラグ120a1は、例えば導電型の半導体層により構成され、半導体基板11に埋め込み形成されたものである。この場合、電子の伝送経路となることから、導電性プラグ120a1はn型とするとよい。あるいは、導電性プラグ120a1は、例えば貫通ビアにタングステン等の導電膜材料が充填されたものであってもよい。この場合、例えばシリコンとの短絡を抑制するために、酸化シリコン(SiO2)または窒化シリコン(SiN)などの絶縁膜でビア側面が覆われていることが望ましい。
The conductive plug 120a1 is formed of, for example, a conductive semiconductor layer and is embedded in the
上記のような半導体基板11の面S2側には、図1に示したように、多層配線層51を介して、例えばシリコンよりなる支持基板53が貼り合わせられている。多層配線層51では、複数の配線51aおよび配線51bが層間絶縁膜52を介して配設されている。このように、光電変換素子10では、多層配線層51が受光面とは反対側に形成されており、いわゆる裏面照射型の固体撮像装置を実現可能となっている。
On the surface S2 side of the
(有機光電変換部)
有機光電変換部10a(ここでは、有機光電変換部11G)は、有機半導体を用いて、選択的な波長の光(ここでは、緑色光)を吸収して、電子・ホール対を発生させる有機光電変換素子である。この有機光電変換部10a(11G)は、信号電荷を取り出すための一対の電極(下部電極14,上部電極18)間に有機光電変換層17(17G)を挟み込んだ構成を有している。下部電極14(第1電極)は、半導体基板11内に埋設された導電性プラグ120a1に電気的に接続されている。上部電極18(第2電極)は、例えば固体撮像装置の周縁部において、図示しないコンタクト部を介して多層配線層51内の配線51aに接続されており、これにより電荷(ここではホール)が排出されるようになっている。
(Organic photoelectric conversion part)
The organic
有機光電変換部11Gは、半導体基板11の面S1上に、層間絶縁膜12A,12Bを介して形成されている。層間絶縁膜12Aには、導電性プラグ120a1と対向する領域に導電性プラグ120a2が埋設され、層間絶縁膜12Bには、導電性プラグ120a2と対向する領域に、配線層13aが埋設されている。この層間絶縁膜12B上に、下部電極14が配設されている。下部電極14上には、開口H1を有する絶縁膜15が設けられている。
The organic
この絶縁膜15上に、有機光電変換層17Gおよび上部電極18がこの順に設けられている。絶縁膜15の開口H1では、下部電極14の表面が露出しており、有機光電変換層17Gは、その開口H1内において下部電極14と接触している。ここで、本実施の形態のように、下部電極14から信号電荷の取り出しがなされる場合には、下部電極14が画素毎に設けられると共に、絶縁膜15により下部電極14が画素毎に電気的に分離される。有機光電変換層17Gおよび上部電極18は、下部電極14上に、そのような絶縁膜15を介して形成されるため、有機光電変換層17Gおよび上部電極18には、絶縁膜15の開口H1に対応する凹みが生じる。言い換えると、有機光電変換層17Gおよび上部電極18の各上面形状(光入射側の面形状)は、絶縁膜15の凹凸形状(開口H1に起因する段差)に倣って形成されている(絶縁膜15の凹凸形状が反映されたものである)。上部電極18上には、塗布膜19が設けられ、この塗布膜に隣接して封止層20が形成されている。この封止層20の具体的な構成については後述する。
On the insulating
導電性プラグ120a2は、上述のように導電性プラグ120a1と共にコネクタとして機能すると共に、導電性プラグ120a1および配線層13aと共に、下部電極14から緑用蓄電層110Gへの電荷(電子)の伝送経路を形成するものである。導電性プラグ120a2は、遮光膜として機能させてもよく、この場合には、例えばチタン(Ti)、窒化チタン(TiN)およびタングステンなどの金属材料の積層膜により構成されることが望ましい。
As described above, the conductive plug 120a2 functions as a connector together with the conductive plug 120a1, and together with the conductive plug 120a1 and the
層間絶縁膜12Aは、半導体基板11(シリコン層110)との界面準位を低減させると共に、シリコン層110との界面からの暗電流の発生を抑制するために、界面準位の小さな絶縁膜から構成されることが望ましい。このような絶縁膜としては、例えば、酸化ハフニウム(HfO2)膜と酸化シリコン(SiO2)膜との積層膜を用いることができる。層間絶縁膜12Bは、例えば酸化シリコン、窒化シリコンおよび酸窒化シリコン(SiON)等のうちの1種よりなる単層膜か、あるいはこれらのうちの2種以上よりなる積層膜により構成されている。
The
下部電極14は、半導体基板11内に形成された無機光電変換層11B,11Rの受光面と正対して、これらの受光面を覆う領域に設けられている。この下部電極14は、光透過性を有すると共に、例えば屈折率1.8〜2.0の導電膜、例えばITO(インジウム錫酸化物)から構成されている。但し、この他にも、酸化錫(TO)、ドーパントを添加した酸化スズ(SnO2)系材料、あるいは酸化亜鉛(ZnO)にドーパントを添加してなる酸化亜鉛系材料が用いられてもよい。酸化亜鉛系材料としては、例えば、ドーパントとしてアルミニウム(Al)を添加したアルミニウム亜鉛酸化物(AZO)、ガリウム(Ga)添加のガリウム亜鉛酸化物(GZO)、インジウム(In)添加のインジウム亜鉛酸化物(IZO)が挙げられる。また、この他にも、CuI、InSbO4、ZnMgO、CuInO2、MgIN2O4、CdO、ZnSnO3等が用いられてもよい。尚、本実施の形態では、上述のように下部電極14から信号電荷(電子)の取り出しがなされるので、光電変換素子10を画素として用いた後述の固体撮像装置では、下部電極14が、絶縁膜15によって画素毎に分離される。
The
絶縁膜15は、例えば酸化シリコン、窒化シリコンおよび酸窒化シリコン(SiON)等のうちの1種よりなる単層膜か、あるいはこれらのうちの2種以上よりなる積層膜により構成されている。これらの絶縁膜15は、光電変換素子10が、固体撮像装置の画素として用いられる場合に、各画素の下部電極14を電気的に分離する機能を有している。この絶縁膜15の開口H1の縁部分はテーパを有しており、このテーパの角度(後述のテーパ角θ)は、後述するように封止層20の下凸レンズ20Bにおいて必要とされる曲率に応じて適宜設定されればよいが、例えば30°以下であることが望ましい。
The insulating
有機光電変換層17は、選択的な波長域の光を吸収して光電変換する一方、他の波長域の光を透過させる有機半導体により構成されている。有機半導体としては、有機p型半導体および有機n型半導体のうちの一方または両方を含んで構成されることが望ましい。このような有機半導体としては、キナクリドン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、およびフルオランテン誘導体のうちのいずれか1種が好適に用いられる。あるいは、フェニレンビニレン、フルオレン、カルバゾール、インドール、ピレン、ピロール、ピコリン、チオフェン、アセチレン、ジアセチレン等の重合体やその誘導体が用いられていてもよい。加えて、金属錯体色素、ローダーミン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素、フェニルキサンテン系色素、トリフェニルメタン系色素、ロダシアニン系色素、キサンテン系色素、大環状アザアヌレン系色素、アズレン系色素、ナフトキノン、アントラキノン系色素、アントラセンおよびピレン等の縮合多環芳香族および芳香環ないし複素環化合物が縮合した鎖状化合物、または、スクアリリウム基およびクロコニツクメチン基を結合鎖として持つキノリン、ベンゾチアゾール、ベンゾオキサゾール等の二つの含窒素複素環、または、スクアリリウム基およびクロコニツクメチン基により結合したシアニン系類似の色素等を好ましく用いることができる。尚、上記金属錯体色素としては、ジチオール金属錯体系色素、金属フタロシアニン色素、金属ポルフィリン色素、またはルテニウム錯体色素が好ましいが、これに限定されるものではない。本実施の形態では、有機光電変換層17Gが、例えば495nm〜570nmの波長域の一部または全部の波長域に対応する緑色光を光電変換可能であり、上記材料のうちの1または2種以上の材料を含んで構成されている。このような有機光電変換層17Gの厚みは、例えば50nm〜500nmである。
The organic photoelectric conversion layer 17 is composed of an organic semiconductor that absorbs light in a selective wavelength range and performs photoelectric conversion while transmitting light in other wavelength ranges. The organic semiconductor is preferably configured to include one or both of an organic p-type semiconductor and an organic n-type semiconductor. As such an organic semiconductor, any one of quinacridone derivatives, naphthalene derivatives, anthracene derivatives, phenanthrene derivatives, tetracene derivatives, pyrene derivatives, perylene derivatives, and fluoranthene derivatives is preferably used. Alternatively, a polymer such as phenylene vinylene, fluorene, carbazole, indole, pyrene, pyrrole, picoline, thiophene, acetylene, diacetylene, or a derivative thereof may be used. In addition, metal complex dyes, rhodamine dyes, cyanine dyes, merocyanine dyes, phenylxanthene dyes, triphenylmethane dyes, rhodacyanine dyes, xanthene dyes, macrocyclic azaannulene dyes, azulene dyes, naphthoquinones , Anthraquinone dyes, chain compounds condensed with condensed polycyclic aromatics and aromatic rings or heterocyclic compounds such as anthracene and pyrene, or quinoline, benzothiazole, benzoxazole having a squarylium group and a croconic methine group as a binding chain Or the like, or a cyanine-like dye bonded by two nitrogen-containing heterocycles or the like, or a squarylium group and a croconite methine group can be preferably used. The metal complex dye is preferably a dithiol metal complex dye, a metal phthalocyanine dye, a metal porphyrin dye, or a ruthenium complex dye, but is not limited thereto. In the present embodiment, the organic
尚、2種以上の有機半導体(例えばp型有機半導体とn型有機半導体)を同時に蒸着させることにより、それらの有機半導体の複合膜である有機共蒸着膜を有機光電変換層17として用いてもよい。また、有機光電変換層17の下部電極14との間、および上部電極18との間には、図示しない他の層が設けられていてもよい。例えば、下部電極14側から順に、下引き膜、電子ブロッキング膜、有機光電変換層17、正孔ブロッキング膜、バッファ膜および仕事関数調整膜等が積層されていてもよい。
Even if two or more kinds of organic semiconductors (for example, a p-type organic semiconductor and an n-type organic semiconductor) are vapor-deposited at the same time, an organic co-deposition film that is a composite film of these organic semiconductors may be used as the organic photoelectric conversion layer 17. Good. In addition, another layer (not shown) may be provided between the
上部電極18は、下部電極14と同様の光透過性を有する無機導電膜により構成されている。尚、本実施の形態のように、下部電極14側から信号電荷の取り出しを行う場合には、この上部電極18は、各画素に共通して設けられている。
The
塗布膜19は、例えばSOG(Spin on Glass)、フォトレジスト、SOD(Spin on Dielectric)等のLow-k(低誘電率)材料、ポリイミドまたはポリベンゾオキサゾール等の塗布型の(塗布法により成膜可能な)材料により構成されている。また、塗布膜19は、封止層20の構成材料(後述の無機材料)よりも低屈折率の材料により構成されていることが望ましく、これにより下凸レンズ部20Bの集光効率を高めることができる。本実施の形態では、塗布膜19は、上部電極18の上面を覆って形成され、この塗布膜19の上面に隣接して封止層20が設けられている。塗布膜19の膜厚は、後述するように封止層20の下凸レンズ20Bにおいて必要とされる曲率に応じて設定されるが、例えば100nmである。
The
封止層20は、例えば光透過性を有する無機材料、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムおよび酸化チタン等の金属酸化物および金属窒化物、シリコーン樹脂等のうちのいずれかよりなる単層膜、あるいはそれらのうちの2種以上よりなる積層膜である。または、封止層20は、上記無機材料に限らず、例えば光透過性を有する有機材料、例えばポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、アクリル樹脂およびポリスチレン等のうちのいずれかよりなる単層膜あるいはそれらのうちの2種以上よりなる積層膜であってもよい。あるいは、封止層20は、上記材料よりなる無機膜と有機膜とが積層されたものでもよい。本実施の形態では、この封止層20と一体的に、上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ20Bが設けられている(封止層20の一部が、上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ20Bを構成する)。上凸レンズ部20Aは、いわゆるオンチップレンズに相当するものであり、封止層20の上面(光入射側の面)に形成されている。下凸レンズ20Bは、封止層20の下面(有機光電変換層17G側の面)に形成されている。換言すると、封止層20の上面が光入射側に凸のレンズ形状を、封止層20の下面が有機光電変換層17G側に凸のレンズ形状をそれぞれ有している。
The
図5は、有機光電変換部11Gの積層構造の一部を拡大したものである。塗布膜19は、上記のような凹凸形状を有する上部電極18を覆って形成されるが、この塗布膜19の上面形状(光入射側の面形状)は、上部電極18の上面形状に概ね沿った曲面形状となっている。即ち、塗布膜19の上面は、角部や屈曲部分を有さず、全体が滑らかな曲面によって形成されている。このため、塗布膜19に隣接形成される封止層20の下面形状(下凸レンズ部20Bの面形状)は、塗布膜19の曲面形状に倣った曲面形状となる。ここで、塗布膜19の曲面形状は、開口H1の形状,大きさおよびテーパ角θ、絶縁膜15,有機光電変換層17および上部電極18の各膜厚、塗布膜19の膜厚および粘度等の設計条件により決まるが、特に塗布膜19の膜厚によって制御可能である。従って、塗布膜19の膜厚を制御することにより、下凸レンズ部20Bにおいて所望の面形状(曲率)を得ることができる。
FIG. 5 is an enlarged view of a part of the laminated structure of the organic
上凸レンズ20Aおよび下凸レンズ20Bは、上方から入射した光を、有機光電変換層17G、無機光電変換層11B,11Rの各受光面へ集光させるものである。本実施の形態では、多層配線層51が半導体基板11の面S2側に形成される(裏面照射型である)ことから、有機光電変換層17G、無機光電変換層11B,11Rの各受光面間の距離が近く、オンチップレンズ21のF値に依存して生じる各色間の感度のばらつきを低減することができる。また、上凸レンズ20Aに加えて下凸レンズ20Bが設けられていることにより、より各色光の集光効率を向上させ易くなる。上凸レンズ20Aおよび下凸レンズ20Bの各集光点は、互いに同一であってもよいが、最適な集光効率が得られるように、各集光点が設定されていることが望ましい。例えば、上凸レンズ20Aおよび下凸レンズ20Bのうちの一方の集光点が有機光電変換層17Gに、他方の集光点が無機光電変換層11B,11Rにそれぞれ合うように設計することができる。また、波長により集光点が異なることから、後述の変形例のように、各色の光電変換層の積層順序を入れ替えた構成としてもよい。
The upper
[製造方法]
上記のような光電変換素子10は、例えば次のようにして製造することができる。図6〜図14は、光電変換素子10の製造方法を工程順に表したものである。但し、ここでは、光電変換素子10の要部構成のみを図示し、半導体基板11の面S1側に、有機光電変換部11G、塗布膜19および封止層20を形成する際の手順について具体的に説明する。
[Production method]
The photoelectric conversion element 10 as described above can be manufactured, for example, as follows. 6-14 represents the manufacturing method of the photoelectric conversion element 10 in order of a process. However, here, only the main configuration of the photoelectric conversion element 10 is illustrated, and a specific procedure for forming the organic
尚、図示はしないが、有機光電変換部11Gを形成する前に、無機光電変換部11B,11Rを有する半導体基板11を形成し、この半導体基板11の面S2側に、多層配線層51および支持基板53を形成しておく。具体的には、まず、例えばシリコン酸化膜等よりなる仮基板上にシリコン層110を形成し、このシリコン層110に、導電性プラグ120a1、緑用蓄積層110Gおよび無機光電変換層11B,11Rを、例えばイオン注入により埋め込むことにより、半導体基板11を形成する。この後、半導体基板11の面S2側に、転送トランジスタTr1〜Tr3を含む画素トランジスタと、ロジック回路などの周辺回路および多層配線層51を形成する。続いて、多層配線層51上に支持基板53を貼り合わせた後、半導体基板11の面S1側から上記仮基板を剥離し、半導体基板11の面S1を露出させる。
Although not shown, the
まず、図6に示したように、半導体基板11の面S1上に、層間絶縁膜12A,12Bを形成する。具体的には、まず、半導体基板11の面S1上に、上述したような酸化ハフニウム膜と酸化シリコン膜との積層膜よりなる層間絶縁膜12Aを形成する。この際、例えば、ALD(原子層堆積)法により酸化ハフニウム膜を成膜した後、例えばプラズマCVD法により酸化シリコン膜を成膜する。この後、層間絶縁膜12Aの導電性プラグ120a1に対向する領域を開口し、上述した材料よりなる導電性プラグ120a2を形成する。続いて、層間絶縁膜12A上に、上述した材料よりなる層間絶縁膜12Bを、例えばプラズマCVD法により成膜する。次いで、層間絶縁膜12Bの導電性プラグ120a2に対向する領域を開口し、上述した材料よりなる配線層13aを形成する。
First, as shown in FIG. 6, interlayer insulating films 12 </ b> A and 12 </ b> B are formed on the surface S <b> 1 of the
次いで、図7に示したように、層間絶縁膜12B上に下部電極14を形成する。具体的には、まず、層間絶縁膜12B上の全面にわたって、上述した透明導電膜を成膜する。成膜手法としては、例えばゾルゲル法、スピンコーティング法、スプレー法、ロールコーティング法、イオンビーム蒸着(Ion Beam Deposition)法、電子ビーム蒸着(electron beam deposition)法、レーザーアブレーション(laser ablation)法、CVD法またはスパッタリング法などが挙げられる。但し、特に大面積かつ均一な厚みの下部電極14を成膜するためには、上記手法のうちスパッタリング法を用いることが望ましい。この後、例えばフォトリソグラフィ法を用いたドライエッチング(またはウェットエッチング)を用いて、パターニングすることにより、下部電極14を形成する。この際、下部電極14を、配線層13aに対向する領域に形成することにより、下部電極14が配線層13aおよび導電性プラグ120a1,120a2を介して緑用蓄電層110Gに電気的に接続されるようにする。
Next, as shown in FIG. 7, the
続いて、図8Aに示したように、絶縁膜15を形成する。具体的には、半導体基板11上の全面にわたって、層間絶縁膜12Bおよび下部電極14を覆うように、上述した材料よりなる絶縁膜15を、例えばプラズマCVD法により成膜する。次いで、成膜した絶縁膜15の表面を、例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨)法を用いて平坦化する。
Subsequently, as shown in FIG. 8A, an insulating
この後、図8Bに示したように、絶縁膜15に開口H1を形成する。具体的には、絶縁膜15の下部電極14に対向する領域の一部を、例えばフォトリソグラフィ法を用いたドライエッチングにより選択的に除去する。これにより、下部電極14の表面を絶縁膜15から露出させる。
Thereafter, an opening H1 is formed in the insulating
続いて、図9Aに示したように、上述した材料等よりなる有機光電変換層17Gを、例えば真空蒸着法を用いて形成する。これにより、有機光電変換層17Gが、開口H1において下部電極14と接して形成される。
Subsequently, as shown in FIG. 9A, an organic
この後、図9Bに示したように、上部電極18を形成する。具体的には、有機光電変換層17上に、上述した導電膜を、例えば真空蒸着法、スパッタリング法等により、半導体基板11の全面にわたって成膜する。この際、導電膜を、有機光電変換層17と真空雰囲気において連続的に(真空一貫プロセスで)形成することが望ましい。このようにして導電膜を成膜した後、導電膜を例えばフォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりパターニングすることにより、上部電極18を形成する。尚、この際、有機光電変換層17Gを同時にパターニングしてもよい。
Thereafter, as shown in FIG. 9B, the
次に、図10に示したように、上述した材料(例えばSOG)よりなる塗布膜19を、例えばスピンコート法、ディップコート法等の塗布法により所定の膜厚で成膜する。これにより、所定の曲面形状を有する塗布膜19を形成する。
Next, as shown in FIG. 10, a
続いて、封止層20を形成する。具体的には、まず、図11に示したように、塗布膜19上に、例えばプラズマCVD法により、上述した無機材料よりなる封止層20を成膜する。これにより、封止層20の下面に、下凸レンズ部20Bが形成される。この後、図12に示したように、封止層20の表面を、例えばCMP法を用いて平坦化する。次いで、封止層20の上面に上凸レンズ部20Aを形成する(封止層20の上面をレンズ形状に加工する)。この際、まず図13に示したように、封止層20上に、フォトレジスト210をパターン形成した後、図14に示したように、形成したフォトレジスト210をリフローする。この後、封止層20の上面側の全面を例えばドライエッチングによりエッチバックすることにより、封止層20の上面に、上凸レンズ部20Aが形成される。このようにして、図1に示した光電変換素子10を形成する。
Subsequently, the
[作用、効果]
本実施の形態の光電変換素子10では、例えば固体撮像装置の画素として、次のようにして信号電荷が取得される。即ち、光電変換素子10へ光が入射すると、その光は、封止層20の上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ部20Bを通過した後、有機光電変換部10a(11G)、無機光電変換部10b(無機光電変換層11B,11R)のいずれかにおいて波長毎に光電変換される。
[Action, effect]
In the photoelectric conversion element 10 of the present embodiment, signal charges are acquired as follows, for example, as a pixel of a solid-state imaging device. That is, when light enters the photoelectric conversion element 10, the light passes through the upper
ここでは、まず、緑色光が、有機光電変換部11Gにおいて選択的に検出(吸収)され、光電変換される。これにより、発生した電子・ホール対のうち、例えば電子が下部電極14側から取り出された後、配線層13aおよび導電性プラグ120a1,120a2を介して緑用蓄電層110Gへ蓄積される。尚、ホールは、上部電極18側から、図示しない配線層を介して排出される。この後、有機光電変換部11Gを透過した光のうち、青色光は無機光電変換層11B、赤色光は無機光電変換層11Rにおいて、それぞれこの順に吸収され、光電変換される。無機光電変換層11Bでは、青色光に対応した電子がn型領域(n型光電変換層111n)に蓄積される。同様に、無機光電変換層11Rでは、赤色光に対応した電子がn型領域(n型光電変換層112n)に蓄積される。
Here, first, green light is selectively detected (absorbed) in the organic
読み出し動作の際には、転送トランジスタTr1,Tr2,Tr3がオン状態となり、緑用蓄電層110Gおよびn型光電変換層111n,112nにそれぞれ蓄積された電子が、FD113,114,116に転送される。これにより、各色の受光信号がそれぞれ、図示しない他の画素トランジスタを通じて後述の垂直信号線Lsigに読み出される。このように、縦方向に有機光電変換部11G、無機光電変換層11B,11Rを積層することにより、カラーフィルタを設けることなく、赤、緑、青の色光を分離して検出し、各色の信号電荷を得ることができる。
During the read operation, the transfer transistors Tr1, Tr2, and Tr3 are turned on, and the electrons accumulated in the green
(比較例)
図15は、本実施の形態の比較例に係る光電変換素子(光電変換素子100)の要部構成を表したものである。光電変換素子100においても、本実施の形態の光電変換素子10と同様、半導体基板11内に無機光電変換部10bが形成され、半導体基板11上に有機光電変換部11Gが形成されている。但し、光電変換素子100では、有機光電変換部11G上に、封止層101,平坦化膜102およびオンチップレンズ103がこの順に設けられている。封止層101は、例えば無機材料よりなり、平坦化膜102およびオンチップレンズ103は、有機材料より構成されている。このように、比較例の光電変換素子100では、封止層101が、上部電極18の上面形状に倣って形成されており、本実施の形態のような下凸レンズ20Bが設けられていない。比較例では、入射光Lのうちオンチップレンズ103によって屈折された光が、有機光電変換層17G、無機光電変換部11B,11Rにおいて受光されるが、特にオンチップレンズ103から離れた位置に配置された無機光電変換部11B,11Rでは、集光されにくく、これによって集光効率が低下し易い。
(Comparative example)
FIG. 15 illustrates a main configuration of a photoelectric conversion element (photoelectric conversion element 100) according to a comparative example of the present embodiment. Also in the
これに対し、本実施の形態では、上述したように、オンチップレンズとして機能する上凸レンズ部20Aに加え、下凸レンズ部20Bを有している。これにより、図16に示したように、入射光Lは上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ部20Bによって屈折されることから、特にオンチップレンズ103から離れた位置に配置された無機光電変換部11B,11Rにおいても集光され易くなる。よって、集光効率が向上する。
On the other hand, in this embodiment, as described above, in addition to the upward
また、本実施の形態では、下凸レンズ部20Bが、封止層20と一体的に設けられていることから、製造プロセスにおける有機光電変換層17Gへのダメージが軽減されると共に、封止層20のカバレッジが良好となる。これは次のような理由による。即ち、本実施の形態では、上述のように、上部電極18を覆って塗布膜19が設けられ、この塗布膜19の上面形状が、上部電極18の凹凸形状(絶縁膜15の開口H1に起因する凹凸形状)に概ね沿って形成された曲面となっている。このため、塗布膜19上に隣接して形成される封止層20の下面の形状も、塗布膜19の曲面形状に対応した曲面となり、この曲面が下凸レンズ部20Bを構成する。
In the present embodiment, since the downward
ここで、いわゆるインナーレンズとして下凸型のレンズを形成する手法としては、例えばリフロー法やHDP(High Density Plasma)スパッタ法等が挙げられるが、これらの手法を用いた場合には、成膜温度が有機光電変換材料の耐熱温度(100〜200℃程度)よりも高くなることがある。従って、製造プロセスにおいて有機光電変換膜に熱的(あるいは物理的)ダメージを与え、特性劣化を引き起こすことから、有機光電変換膜を用いた固体撮像装置には不向きである。 Here, as a method of forming a downward convex lens as a so-called inner lens, for example, a reflow method, an HDP (High Density Plasma) sputtering method, and the like can be mentioned. When these methods are used, a film forming temperature is used. May become higher than the heat-resistant temperature (about 100-200 degreeC) of an organic photoelectric conversion material. Therefore, it causes thermal (or physical) damage to the organic photoelectric conversion film in the manufacturing process and causes characteristic deterioration, and is not suitable for a solid-state imaging device using the organic photoelectric conversion film.
本実施の形態では、上述のように、塗布膜19上に封止層20を堆積させることによって下凸レンズ部20Bを形成可能であるため、製造プロセスにおける有機光電変換層17Gへのダメージを軽減できる。また、封止層20が、上記のような曲面上に形成されることにより、屈曲部分や角部分を有する面上に形成される場合に比べ、シームや歪みが発生しにくい。このため、封止層20のカバレッジが良好となる。
In the present embodiment, as described above, the downward
以上説明したように本実施の形態では、封止層20の下面に、下凸レンズ部20Bが封止層20と一体的に設けられることにより、製造プロセスにおける有機光電変換層17Gへのダメージが軽減されると共に、封止層20のカバレッジが良好となる。よって、信頼性を保持しつつ、有機光電変換層17Gへの集光効率を向上させることが可能となる。
As described above, in the present embodiment, the downward
<変形例1>
上記第1の実施の形態では、有機光電変換部10a(11G)において、緑色光の光電変換を行い、無機光電変換部10b(11B,11R)において、青色光,赤色光の光電変換を行う場合について説明したが、各光電変換部における色の組み合わせ(R,G,Bの割り振り)はこれに限定されない。即ち、有機光電変換部10aに、青色光(または赤色光)の光電変換を行う有機光電変換層を設け、無機光電変換部10bに、緑色光および赤色光(または青色光および緑色光)の光電変換を行う2つの無機光電変換層を設けるようにしてもよい。
<
In the first embodiment, the organic
例えば、図17に示したように、有機光電変換部10a(11R)として赤色光の光電変換を行う有機光電変換層17Rを設け、無機光電変換部10bとして、青色光および緑色光の光電変換を行う無機光電変換部11B,11Gを設けるようにしてもよい。波長が短い程、屈折率が高くなることから、より近い位置により長波長(例えば赤色)、より離れた位置により短波長(例えば、青色,緑色)の光電変換部を設けることにより、集光効率をより高めることができる。このように、波長と屈折率の関係を利用して、上凸レンズ20Aおよび下凸レンズ部20Bの各曲率(焦点距離,集光点)および各色の光電変換部の積層順序を設定することが望ましい。
For example, as shown in FIG. 17, an organic
<変形例2>
また、後述の固体撮像装置において、上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ部20Bのうちのいずれか一方または両方を用いて、瞳補正が施されていてもよい。具体的には、画素位置に応じて、上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ部20Bのうちのいずれか一方または両方の光軸をシフトさせる。あるいは、画素位置に応じて、上凸レンズ部20Aおよび下凸レンズ部20Bのうちの一方または両方の曲率を変化させてもよい。また、これらの各構成を組み合わせてもよい。
<
In the solid-state imaging device described later, pupil correction may be performed using either one or both of the upper
<変形例3>
更に、図18に示したように、半導体基板11と下部電極14との間に設けられる絶縁膜(上記実施の形態等の層間絶縁膜12A,12Bに相当する絶縁膜)として、低屈折率層12C(第1の屈折率層)と高屈折率層12D(第2の屈折率層)とによる導波路構造を形成してもよい。具体的には、開口H1に非対向の領域に低屈折率層12Cが形成され、開口H1に対向する領域には、高屈折率層12Dが形成されている。低屈折率層12Cは、例えばSiO2,SOG,SOD,low-K等の無機または有機の絶縁材料から構成されている。高屈折率層12Dは、そのような低屈折率層12Cよりも屈折率の高い絶縁材料から構成されている。また望ましくは、下部電極14の屈折率(下部電極14としてITOが用いられる場合には2.0)と同程度以上の屈折率を有する材料から構成されている。このような高屈折率層12Dは、例えば窒化シリコン(例えばプラズマCVD法により成膜されたP−SiN),酸化ハフニウム,酸化アルミニウムおよび酸化タンタルのうちの1種よりなる単層膜か、あるいはそれらのうちの2種以上からなる積層膜からなる。また、高屈折率層12Dには、有機材料が用いられてもよいし、有機材料と上記無機材料との積層膜あるいはそれらを混合させたものが用いられてもよい。このような低屈折率層12Cおよび高屈折率層12Dからなる導波路構造は、例えば次のようにして形成することができる。即ち、まず、半導体基板11の全面に亘って、高屈折率層12Dを成膜した後、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより、開口H1に非対向な領域を選択的に除去する。この後、低屈折率層12Cを成膜した後、表面を例えばCMP法等により平坦化(研磨)することにより、上記のような導波路構造を形成することができる。あるいは逆に、低屈折率層12Cを所定の領域に形成しておき、その後に高屈折率層12Dを成膜後、平坦化してもよい。尚、低屈折率層12および高屈折率層12Dの成膜手法としては、例えばPE―CVD法、HDP−CVD法、スパッタ法および塗布法等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、CMP法による平坦化処理については、必要に応じて行えばよく、必ずしも実施しなくともよい。
<Modification 3>
Further, as shown in FIG. 18, a low refractive index layer is used as an insulating film (an insulating film corresponding to the
本変形例では、上記導波路構造により、入射光Lにおいて、下部電極14および半導体基板11間の界面反射が抑制され(図18中の反射光L100の発生が抑制され)、隣接画素への光漏れ等を軽減することができる。特に、高屈折率層12Dが、下部電極14と同等の屈折率を有する絶縁材料からなる場合、下部電極14および層間絶縁膜間の界面反射を効果的に抑制できる。また、半導体基板11が例えばシリコンからなる場合、シリコンの屈折率は約4.0であることから、層間絶縁膜に酸化シリコン等の低屈折率材料を用いた場合に比べ、半導体基板11および層間絶縁膜間の界面反射の抑制効果も得られる。また、ここで、高屈折率材料を層間絶縁膜に用いた場合、容量増加が懸念されるが、開口H1に非対向な領域は低屈折率層12Cであることから、容量増加を抑えつつ、上記のような導波路構造を実現できる。
In this modification, the waveguide structure suppresses interface reflection between the
<固体撮像装置の全体構成>
図19は、上記実施の形態において説明した光電変換素子を各画素に用いた固体撮像装置(固体撮像装置1)の機能ブロック図である。この固体撮像装置1は、CMOSイメージセンサであり、撮像エリアとしての画素部1aを有すると共に、例えば行走査部131、水平選択部133、列走査部134およびシステム制御部132からなる回路部130を有している。この画素部1aの周辺領域あるいは画素部1aと積層されて、回路部130は、画素部1aの周辺領域に設けられていてもよいし、画素部1aと積層されて(画素部1aに対向する領域に)設けられていてもよい。
<Overall configuration of solid-state imaging device>
FIG. 19 is a functional block diagram of a solid-state imaging device (solid-state imaging device 1) using the photoelectric conversion element described in the above embodiment for each pixel. The solid-
画素部1aは、例えば行列状に2次元配置された複数の単位画素P(光電変換素子10に相当)を有している。この単位画素Pには、例えば画素行ごとに画素駆動線Lread(具体的には行選択線およびリセット制御線)が配線され、画素列ごとに垂直信号線Lsigが配線されている。画素駆動線Lreadは、画素からの信号読み出しのための駆動信号を伝送するものである。画素駆動線Lreadの一端は、行走査部131の各行に対応した出力端に接続されている。
The pixel unit 1a has, for example, a plurality of unit pixels P (corresponding to the photoelectric conversion element 10) that are two-dimensionally arranged in a matrix. In the unit pixel P, for example, a pixel drive line Lread (specifically, a row selection line and a reset control line) is wired for each pixel row, and a vertical signal line Lsig is wired for each pixel column. The pixel drive line Lread transmits a drive signal for reading a signal from the pixel. One end of the pixel drive line Lread is connected to an output end corresponding to each row of the
行走査部131は、シフトレジスタやアドレスデコーダ等によって構成され、画素部1aの各画素Pを、例えば行単位で駆動する画素駆動部である。行走査部131によって選択走査された画素行の各画素Pから出力される信号は、垂直信号線Lsigの各々を通して
水平選択部133に供給される。水平選択部133は、垂直信号線Lsigごとに設けられ
たアンプや水平選択スイッチ等によって構成されている。
The
列走査部134は、シフトレジスタやアドレスデコーダ等によって構成され、水平選択部133の各水平選択スイッチを走査しつつ順番に駆動するものである。この列走査部134による選択走査により、垂直信号線Lsigの各々を通して伝送される各画素の信号が
順番に水平信号線135に伝送され、当該水平信号線135を通して外部へ出力される。
The
システム制御部132は、外部から与えられるクロックや、動作モードを指令するデータなどを受け取り、また、固体撮像装置1の内部情報などのデータを出力するものである。システム制御部132はさらに、各種のタイミング信号を生成するタイミングジェネレータを有し、当該タイミングジェネレータで生成された各種のタイミング信号を基に行走査部131、水平選択部133および列走査部134などの駆動制御を行う。
The
<適用例>
上述の固体撮像装置1は、例えばデジタルスチルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話など、撮像機能を備えたあらゆるタイプの電子機器に適用することができる。図20に、その一例として、電子機器2(カメラ)の概略構成を示す。この電子機器2は、例えば静止画または動画を撮影可能なビデオカメラであり、固体撮像装置1と、光学系(光学レンズ)310と、シャッタ装置311と、固体撮像装置1およびシャッタ装置311を駆動する駆動部313と、信号処理部312とを有する。
<Application example>
The above-described solid-
光学系310は、被写体からの像光(入射光)を固体撮像装置1の画素部1aへ導くものである。この光学系310は、複数の光学レンズから構成されていてもよい。シャッタ装置311は、固体撮像装置1への光照射期間および遮光期間を制御するものである。駆動部313は、固体撮像装置1の転送動作およびシャッタ装置311のシャッタ動作を制御するものである。信号処理部312は、固体撮像装置1から出力された信号に対し、各種の信号処理を行うものである。信号処理後の映像信号Doutは、メモリなどの記憶媒体
に記憶されるか、あるいは、モニタ等に出力される。
The
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて説明したが、本開示内容は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態等では、1つの画素内に有機光電変換部と無機光電変換部とが縦方向に積層された構成を例示したが、本開示の固体撮像装置の画素の構成はこれに限定されるものではない。例えば、有機光電変換部と無機光電変換部とが受光面内に2次元配列されたものであってもよいし、有機光電変換部のみが設けられた構成であってもよい。 As described above, the embodiments, modifications, and application examples have been described. However, the present disclosure is not limited to the above-described embodiments and the like, and various modifications can be made. For example, in the above-described embodiment and the like, the configuration in which the organic photoelectric conversion unit and the inorganic photoelectric conversion unit are stacked in the vertical direction in one pixel is illustrated, but the configuration of the pixel of the solid-state imaging device of the present disclosure is the same. It is not limited. For example, the organic photoelectric conversion unit and the inorganic photoelectric conversion unit may be two-dimensionally arranged in the light receiving surface, or a configuration in which only the organic photoelectric conversion unit is provided.
また上記実施の形態等では、裏面照射型の固体撮像装置を例に挙げて説明したが、表面照射型のものにも本開示内容は適用可能である。 In the above-described embodiment and the like, the backside irradiation type solid-state imaging device has been described as an example. However, the present disclosure can be applied to a frontside irradiation type.
また、本開示の光電変換素子では、上記実施の形態等で説明した各構成要素を全て備えている必要はなく、また逆に他の層を備えていてもよい。 In addition, the photoelectric conversion element of the present disclosure does not have to include all the components described in the above embodiments and the like, and conversely, may include other layers.
尚、本開示は、以下のような構成であってもよい。
(1)
各々が有機光電変換層を含む複数の画素と、
前記複数の画素を覆って設けられた封止層と、
前記封止層の前記有機光電変換層側に、前記画素毎に設けられると共に前記封止層と一体的に形成された第1のレンズ部と
を備えた固体撮像装置。
(2)
各画素は、半導体基板上に、前記画素毎に設けられた第1電極、開口を有する絶縁膜、前記有機光電変換層、第2電極および塗布膜をこの順に有し、
前記封止層は、前記塗布膜に隣接して設けられている
上記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記第1のレンズ部は、前記塗布膜の光入射側の面形状に倣った曲面形状を有する
上記(2)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記塗布膜は、前記封止層よりも低屈折率の材料により構成されている
上記(3)に記載の固体撮像装置。
(5)
前記塗布膜は、SOG、SOD、フォトレジスト、ポリイミドまたはポリベンゾオキサゾールにより構成されている
上記(4)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記封止層は、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化チタン、シリコーン樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、アクリル樹脂およびポリスチレンのうちの一種よりなる単層膜またはそれらのうちの2種以上よりなる積層膜である
上記(4)または(5)に記載の固体撮像装置。
(7)
前記封止層の光入射側に、前記画素毎に設けられると共に前記封止層と一体的に形成された第2のレンズ部を更に備えた
上記(1)〜(6)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(8)
前記有機光電変換層は半導体基板上に1または複数積層され、
前記半導体基板内には、1または複数の無機光電変換層が設けられている
上記(1)〜(7)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(9)
前記1または複数の無機光電変換層の受光波長が、前記有機光電変換層の受光波長よりも短波長である
上記(8)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記第1および第2のレンズ部のうちの一方または両方を用いて瞳補正がなされている
上記(7)〜(9)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(11)
各画素は、半導体基板上に、層間絶縁膜、前記画素毎に設けられた第1電極、開口を有する絶縁膜、前記有機光電変換層および第2電極をこの順に有し、
前記層間絶縁膜は、
前記絶縁膜の前記開口に非対向な領域に設けられた第1の屈折率層と、
前記絶縁膜の前記開口に対向する領域に設けられ、前記第1の屈折率層よりも高屈折率を有する第2の屈折率層とを含む
上記(1)〜(10)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(12)
各々が有機光電変換層を含む複数の画素を形成する工程と、
前記複数の画素を覆って、封止層を形成する工程とを含み、
前記封止層を形成する工程では、前記有機光電変換層側に、前記封止層と一体化された第1のレンズ部を画素毎に形成する
固体撮像装置の製造方法。
(13)
前記複数の画素を形成する工程では、半導体基板上に、画素毎に設けられた第1電極、開口を有する絶縁膜、前記有機光電変換層、第2電極および塗布膜を、この順に形成し、
前記封止層を形成する工程では、前記塗布膜上に隣接して前記封止層を形成する
上記(12)に記載の固体撮像装置の製造方法。
(14)
前記封止層を形成する工程では、
前記封止層の光入射側に、前記画素毎に前記封止層と一体化された第2のレンズ部を形成する
上記(12)または(13)に記載の固体撮像装置の製造方法。
(15)
前記封止層を形成する工程では、
前記塗布膜上に前記封止層を堆積させることにより、前記塗布膜の表面形状に対応した曲面を有する前記第1のレンズ部を形成し、
堆積させた封止層の表面を加工することにより、前記第2のレンズ部を形成する
上記(14)に記載の固体撮像装置の製造方法。
(16)
前記複数の画素を形成する工程では、半導体基板上に、層間絶縁膜、画素毎に設けられた第1電極、開口を有する絶縁膜、前記有機光電変換層および第2電極を、この順に形成し、
前記層間絶縁膜は、
前記絶縁膜の前記開口に非対向な領域に設けられた第1の屈折率層と、
前記絶縁膜の前記開口に対向する領域に設けられ、前記第1の屈折率層よりも高屈折率を有する第2の屈折率層とを含む
上記(12)〜(15)のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
(17)
各々が有機光電変換層を含む複数の画素と、
前記複数の画素を覆って設けられた封止層と、
前記封止層の前記有機光電変換層側に、前記画素毎に設けられると共に前記封止層と一体的に形成された第1のレンズ部と
を備えた固体撮像装置を有する電子機器。
The present disclosure may be configured as follows.
(1)
A plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
A sealing layer provided to cover the plurality of pixels;
A solid-state imaging device, comprising: a first lens unit provided for each of the pixels and integrally formed with the sealing layer on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer.
(2)
Each pixel has a first electrode provided for each pixel on the semiconductor substrate, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, a second electrode, and a coating film in this order.
The solid-state imaging device according to (1), wherein the sealing layer is provided adjacent to the coating film.
(3)
The solid-state imaging device according to (2), wherein the first lens unit has a curved surface shape that follows the surface shape on the light incident side of the coating film.
(4)
The solid-state imaging device according to (3), wherein the coating film is made of a material having a lower refractive index than the sealing layer.
(5)
The said coating film is comprised by SOG, SOD, a photoresist, a polyimide, or polybenzoxazole. The solid-state imaging device as described in said (4).
(6)
The sealing layer is a single layer film made of one of silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, hafnium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, silicone resin, polyimide, polybenzoxazole, acrylic resin, and polystyrene. The solid-state imaging device according to the above (4) or (5), which is a laminated film composed of two or more of them.
(7)
The optical system according to any one of (1) to (6), further including a second lens portion that is provided for each of the pixels and is formed integrally with the sealing layer on the light incident side of the sealing layer. Solid-state imaging device.
(8)
One or more organic photoelectric conversion layers are stacked on a semiconductor substrate,
One or a plurality of inorganic photoelectric conversion layers are provided in the semiconductor substrate. The solid-state imaging device according to any one of (1) to (7).
(9)
The solid-state imaging device according to (8), wherein a light reception wavelength of the one or more inorganic photoelectric conversion layers is shorter than a light reception wavelength of the organic photoelectric conversion layer.
(10)
The solid-state imaging device according to any one of (7) to (9), wherein pupil correction is performed using one or both of the first and second lens units.
(11)
Each pixel has an interlayer insulating film, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, and a second electrode in this order on a semiconductor substrate,
The interlayer insulating film is
A first refractive index layer provided in a region not facing the opening of the insulating film;
And a second refractive index layer provided in a region of the insulating film facing the opening and having a higher refractive index than the first refractive index layer. Solid-state imaging device.
(12)
Forming a plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
Covering the plurality of pixels and forming a sealing layer,
In the step of forming the sealing layer, a first lens unit integrated with the sealing layer is formed for each pixel on the organic photoelectric conversion layer side.
(13)
In the step of forming the plurality of pixels, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, a second electrode, and a coating film are formed in this order on a semiconductor substrate.
In the step of forming the sealing layer, the sealing layer is formed adjacent to the coating film. The method for manufacturing a solid-state imaging device according to (12).
(14)
In the step of forming the sealing layer,
The manufacturing method of the solid-state imaging device according to (12) or (13), wherein a second lens unit integrated with the sealing layer is formed for each pixel on the light incident side of the sealing layer.
(15)
In the step of forming the sealing layer,
By depositing the sealing layer on the coating film, the first lens portion having a curved surface corresponding to the surface shape of the coating film is formed,
The method for manufacturing a solid-state imaging device according to (14), wherein the second lens unit is formed by processing the surface of the deposited sealing layer.
(16)
In the step of forming the plurality of pixels, an interlayer insulating film, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, and a second electrode are formed in this order on a semiconductor substrate. ,
The interlayer insulating film is
A first refractive index layer provided in a region not facing the opening of the insulating film;
And a second refractive index layer provided in a region of the insulating film facing the opening and having a higher refractive index than the first refractive index layer. Manufacturing method of solid-state imaging device.
(17)
A plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
A sealing layer provided to cover the plurality of pixels;
An electronic apparatus comprising: a solid-state imaging device provided on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer, the first lens unit provided for each pixel and integrally formed with the sealing layer.
10…光電変換素子、11…半導体基板、10a(11G,11R)…有機光電変換部、10b(11B,11R,11G)…無機光電変換部、12A,12B…層間絶縁膜、13a…配線層、14…下部電極、15…絶縁膜、17(17G,17R)…有機光電変換層、18…上部電極、19…塗布膜、20…封止層、20A…上凸レンズ部、20B…下凸レンズ部、110…シリコン層、110G…緑用蓄電層、120a1,120a2…導電性プラグ、51…多層配線層、53…支持基板、1…固体撮像装置、2…電子機器。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Photoelectric conversion element, 11 ... Semiconductor substrate, 10a (11G, 11R) ... Organic photoelectric conversion part, 10b (11B, 11R, 11G) ... Inorganic photoelectric conversion part, 12A, 12B ... Interlayer insulation film, 13a ... Wiring layer, DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記複数の画素を覆って設けられた封止層と、
前記封止層の前記有機光電変換層側に、前記画素毎に設けられると共に前記封止層と一体的に形成された第1のレンズ部と
を備えた固体撮像装置。 A plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
A sealing layer provided to cover the plurality of pixels;
A solid-state imaging device, comprising: a first lens unit provided for each of the pixels and integrally formed with the sealing layer on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer.
前記封止層は、前記塗布膜に隣接して設けられている
請求項1に記載の固体撮像装置。 Each pixel has a first electrode provided for each pixel on the semiconductor substrate, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, a second electrode, and a coating film in this order.
The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the sealing layer is provided adjacent to the coating film.
請求項2に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 2, wherein the first lens unit has a curved surface shape that follows the surface shape on the light incident side of the coating film.
請求項3に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 3, wherein the coating film is made of a material having a refractive index lower than that of the sealing layer.
請求項4に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 4, wherein the coating film is made of SOG, SOD, photoresist, polyimide, or polybenzoxazole.
請求項4に記載の固体撮像装置。 The sealing layer is a single layer film made of one of silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, hafnium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, silicone resin, polyimide, polybenzoxazole, acrylic resin, and polystyrene. The solid-state imaging device according to claim 4, which is a laminated film composed of two or more of them.
請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, further comprising a second lens unit that is provided for each of the pixels and is formed integrally with the sealing layer on the light incident side of the sealing layer.
前記半導体基板内には、1または複数の無機光電変換層が設けられている
請求項7に記載の固体撮像装置。 One or more organic photoelectric conversion layers are stacked on a semiconductor substrate,
The solid-state imaging device according to claim 7, wherein one or a plurality of inorganic photoelectric conversion layers are provided in the semiconductor substrate.
請求項8に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 8, wherein a light reception wavelength of the one or more inorganic photoelectric conversion layers is shorter than a light reception wavelength of the organic photoelectric conversion layer.
請求項7に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 7, wherein pupil correction is performed using one or both of the first and second lens units.
前記層間絶縁膜は、
前記絶縁膜の前記開口に非対向な領域に設けられた第1の屈折率層と、
前記絶縁膜の前記開口に対向する領域に設けられ、前記第1の屈折率層よりも高屈折率を有する第2の屈折率層とを含む
請求項1に記載の固体撮像装置。 Each pixel has an interlayer insulating film, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, and a second electrode in this order on a semiconductor substrate,
The interlayer insulating film is
A first refractive index layer provided in a region not facing the opening of the insulating film;
The solid-state imaging device according to claim 1, further comprising: a second refractive index layer provided in a region facing the opening of the insulating film and having a higher refractive index than the first refractive index layer.
前記複数の画素を覆って、封止層を形成する工程とを含み、
前記封止層を形成する工程では、前記有機光電変換層側に、前記封止層と一体化された第1のレンズ部を画素毎に形成する
固体撮像装置の製造方法。 Forming a plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
Covering the plurality of pixels and forming a sealing layer,
In the step of forming the sealing layer, a first lens unit integrated with the sealing layer is formed for each pixel on the organic photoelectric conversion layer side.
前記封止層を形成する工程では、前記塗布膜上に隣接して前記封止層を形成する
請求項12に記載の固体撮像装置の製造方法。 In the step of forming the plurality of pixels, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, a second electrode, and a coating film are formed in this order on a semiconductor substrate.
The method for manufacturing a solid-state imaging device according to claim 12, wherein in the step of forming the sealing layer, the sealing layer is formed adjacent to the coating film.
前記封止層の光入射側に、前記画素毎に前記封止層と一体化された第2のレンズ部を形成する
請求項12に記載の固体撮像装置の製造方法。 In the step of forming the sealing layer,
The manufacturing method of the solid-state imaging device according to claim 12, wherein a second lens unit integrated with the sealing layer is formed for each pixel on the light incident side of the sealing layer.
前記塗布膜上に前記封止層を堆積させることにより、前記塗布膜の表面形状に対応した曲面を有する前記第1のレンズ部を形成し、
堆積させた封止層の表面を加工することにより、前記第2のレンズ部を形成する
請求項14に記載の固体撮像装置の製造方法。 In the step of forming the sealing layer,
By depositing the sealing layer on the coating film, the first lens portion having a curved surface corresponding to the surface shape of the coating film is formed,
The method for manufacturing a solid-state imaging device according to claim 14, wherein the second lens portion is formed by processing a surface of the deposited sealing layer.
前記層間絶縁膜は、
前記絶縁膜の前記開口に非対向な領域に設けられた第1の屈折率層と、
前記絶縁膜の前記開口に対向する領域に設けられ、前記第1の屈折率層よりも高屈折率を有する第2の屈折率層とを含む
請求項12に記載の固体撮像装置の製造方法。 In the step of forming the plurality of pixels, an interlayer insulating film, a first electrode provided for each pixel, an insulating film having an opening, the organic photoelectric conversion layer, and a second electrode are formed in this order on a semiconductor substrate. ,
The interlayer insulating film is
A first refractive index layer provided in a region not facing the opening of the insulating film;
The method for manufacturing a solid-state imaging device according to claim 12, further comprising: a second refractive index layer provided in a region facing the opening of the insulating film and having a higher refractive index than the first refractive index layer.
前記複数の画素を覆って設けられた封止層と、
前記封止層の前記有機光電変換層側に、前記画素毎に設けられると共に前記封止層と一体的に形成された第1のレンズ部と
を備えた固体撮像装置を有する電子機器。 A plurality of pixels each including an organic photoelectric conversion layer;
A sealing layer provided to cover the plurality of pixels;
An electronic apparatus comprising: a solid-state imaging device provided on the organic photoelectric conversion layer side of the sealing layer, the first lens unit provided for each pixel and integrally formed with the sealing layer.
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JP2012258402A JP2014078673A (en) | 2012-09-20 | 2012-11-27 | Solid state image pickup device, manufacturing method of the same, and electronic apparatus |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015198878A1 (en) * | 2014-06-25 | 2015-12-30 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging element, manufacturing method therefor, and electronic device |
JP2016033978A (en) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and imaging system |
WO2016136502A1 (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | ソニー株式会社 | Solid state imaging element, and electronic device |
WO2016143531A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | ソニー株式会社 | Image capture element and method for manufacturing same, and electronic device |
US9628734B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked image sensor |
WO2017169314A1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging element and electronic device |
JP2018019068A (en) * | 2016-07-15 | 2018-02-01 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and imaging system |
CN109716527A (en) * | 2016-10-05 | 2019-05-03 | 索尼半导体解决方案公司 | Solid-state image pickup element and solid-state imaging device |
JPWO2018169009A1 (en) * | 2017-03-16 | 2020-01-16 | シャープ株式会社 | Imaging device and X-ray imaging device |
JP7457989B2 (en) | 2020-07-30 | 2024-03-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Photodetector, solid-state imaging device, and method for manufacturing photodetector |
-
2012
- 2012-11-27 JP JP2012258402A patent/JP2014078673A/en active Pending
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015198878A1 (en) * | 2014-06-25 | 2015-12-30 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging element, manufacturing method therefor, and electronic device |
US10854660B2 (en) | 2014-06-25 | 2020-12-01 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state image capturing element to suppress dark current, manufacturing method thereof, and electronic device |
JP2016033978A (en) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and imaging system |
US9628734B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked image sensor |
US10403662B2 (en) | 2015-02-26 | 2019-09-03 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging element and electronic apparatus |
WO2016136502A1 (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | ソニー株式会社 | Solid state imaging element, and electronic device |
JPWO2016136502A1 (en) * | 2015-02-26 | 2017-12-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | Solid-state imaging device and electronic device |
WO2016143531A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | ソニー株式会社 | Image capture element and method for manufacturing same, and electronic device |
JPWO2016143531A1 (en) * | 2015-03-09 | 2017-12-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | Image sensor, manufacturing method thereof, and electronic apparatus |
WO2017169314A1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging element and electronic device |
KR20180127327A (en) * | 2016-03-31 | 2018-11-28 | 소니 주식회사 | Solid-state image pickup device, and electronic device |
JPWO2017169314A1 (en) * | 2016-03-31 | 2019-02-07 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging device and electronic device |
CN108713252A (en) * | 2016-03-31 | 2018-10-26 | 索尼公司 | Solid imaging element and electronic device |
US11335722B2 (en) | 2016-03-31 | 2022-05-17 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
KR102653045B1 (en) * | 2016-03-31 | 2024-04-01 | 소니그룹주식회사 | Solid-state imaging devices, and electronic devices |
JP2018019068A (en) * | 2016-07-15 | 2018-02-01 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and imaging system |
JP7140469B2 (en) | 2016-07-15 | 2022-09-21 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and imaging system |
CN109716527A (en) * | 2016-10-05 | 2019-05-03 | 索尼半导体解决方案公司 | Solid-state image pickup element and solid-state imaging device |
JPWO2018169009A1 (en) * | 2017-03-16 | 2020-01-16 | シャープ株式会社 | Imaging device and X-ray imaging device |
JP7457989B2 (en) | 2020-07-30 | 2024-03-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Photodetector, solid-state imaging device, and method for manufacturing photodetector |
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