JP2014078585A - 塗布ユニット、塗布装置、および転写塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板4の塗布面の複数の点にフラックスを塗布する転写ヘッド3を備える。転写ヘッド3は、複数の点にそれぞれ対応した複数の第1の孔7を設けた平板面状のヘッド本体6と、第1の孔7の中に設けられた第1のベース部8と、第1のベース部8の基板4側から突設された転写針9と、ヘッド本体6の面内外方向で同一レベルに第1のベース部8を位置させて、第1の孔7の周縁および第1のベース部8の間を連結する第1の弾性支持部12とを含む。
【選択図】図1
Description
塗布ユニットは、第1の孔が開けられた平板部と、第1の孔内に設けられた第1のベース部と、第1のベース部の被塗布物側の表面から突設され、被塗布物に液状物質を塗布するための転写針と、平板部から第1の孔内へ延設され、第1のベース部と平板部を連結する第1の連結部とを備える。
さらに好ましくは、転写針の側面には、基端から先端に向けて液状物質を供給するための溝が形成されている。
さらに好ましくは、容器は、液状材料が注入された密閉容器を含み、さらに、密閉容器内の圧力を調整して、液状物質の供給量を調整する加減圧機構を備える。
図1に示す転写ヘッド3は、ワーク(被塗布物)に対して、対峙するように塗布ユニット2(図5参照)の下端部にフレーム枠材5部分を装着させて、ワーク(被塗布物)への塗布工程で使用されるものである。
また、第1の孔7の周縁部の四隅から延設された弾性支持部12で支持された第1のベース部8の転写針9がヘッド本体6の板面の面内外方向へ相対変位可能となるように弾性支持部12の太さ(幅および厚さ)寸法およびS字形状の蛇行量の設定されている。
[塗布装置の構成]
図5は、この塗布ユニット2を備える塗布装置1の全体構成を示す斜視図である。
図6は、この実施の形態の塗布ユニット2を用いた塗布装置1の基本的な動作について説明する概念図である。
図7は、実施の形態の転写ユニットを用いて、転写塗布を行なう一例として、個別に用意されたフラックス槽20内のフラックス21に、転写針9の先端が浸けられて、先端にフラックス21が添着されることにより、転写塗布を行なう工程の様子を示す概念図である。
[傾斜の修正]
図10は、実施の形態の転写ヘッド3に傾きがある場合の基板との関係を示す概念的な側面図である。
[変形例1]
図12は、実施の形態の変形例1の転写ヘッド13を示し、構成を説明する斜視図である。なお、実施の形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を繰返さない。
そして、次に、図14中(c)に示すように、傾斜角度θが修正されながら、反対側に設けられている脚部18が基板4の表面に当接する。
[変形例2]
図15は、実施の形態の変形例2の転写ユニットで、塗布ユニット2に用いる転写ヘッド23の隙間から、霧化溶剤25を噴きつける様子を示す概念的な側面図および要部の拡大図である。なお、実施の形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を繰返さない。
[変形例3]
図16は、実施の形態の変形例3の転写ユニットで、構成を示す概念的な側面図および要部の拡大図である。また、図17は、変形例3の転写ヘッドで、図16中XVII−XVII線に沿った位置での断面図である。
この変形例3の転写ユニットでは、転写針39の側面に設けられた基端から先端に向けてフラックス21を供給するため溝に連通する溝40が形成されている。
[変形例4]
図18は、この発明の実施の形態の変形例4の転写ヘッドを示す平面図である。
ヘッド本体6の第1の孔7には、弾性支持部12と第1のベース部8と第1の孔7の周縁との隙間17を閉塞する密閉シート50が貼設されている。
[一体に設けられたフラックス槽]
図20は、この変形例4の一例としての転写ヘッド53で、構成を示す概念的な側面図および要部の拡大図である。なお、上記変形例4と同様の部分については、説明を繰返さない。
[変形例5]
図22は、この発明の実施の形態の変形例5の転写ヘッド63で、構成を示す概念的な側面図および要部の拡大図である。
変形例5のフラックス槽20は、上面が覆われた密閉容器62を含み、密閉容器62内にはフラックス21が注入されている。
Claims (15)
- 被塗布物の表面に液状物質を塗布する塗布ユニットであって、
第1の孔が開けられた平板部と、
前記第1の孔内に設けられた第1のベース部と、
前記第1のベース部の前記被塗布物側の表面から突設され、前記被塗布物に前記液状物質を塗布するための転写針と、
前記平板部から前記第1の孔内へ延設され、前記第1のベース部と前記平板部を連結する第1の連結部とを備える、塗布ユニット。 - 前記第1のベース部は、前記第1の連結部によって、前記転写針の突設方向に沿って変位可能となるように弾性的に支持されている、請求項1に記載の塗布ユニット。
- 前記平板部、前記第1のベース部、前記転写針および前記第1の連結部は、同じ材料で形成されている、請求項1または請求項2に記載の塗布ユニット。
- 前記転写針は基端から先端に向けて細くなるテーパ状に形成され、
前記転写針の先端には所定の面積の平坦部が形成されている、請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。 - さらに、前記平板部の前記被塗布物側の表面において前記転写針の周りに設けられ、前記転写針の先端を前記被塗布物の表面に接触させたときに前記平板部と前記被塗布物の表面の間に所定の隙間を形成するための複数の脚部を備える、請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。
- 前記平板部には、さらに、それぞれ前記複数の脚部に対応する複数の第2の孔が開けられており、
さらに、それぞれ前記複数の第2の孔内に設けられた複数の第2のベース部と、
前記平板部から前記第2の孔内へ延設され、前記第2のベース部と前記平板部を連結する第2の連結部とを備え、
前記複数の脚部は、それぞれ前記複数の第2のベース部の前記被塗布物側の表面に突設されている、請求項5に記載の塗布ユニット。 - 前記転写針の側面には、基端から先端に向けて前記液状物質を供給するための溝が形成されている、請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。
- さらに、前記液状物質が注入され、開口部を有する容器を備え、
前記転写針の先端を前記開口部を介して前記容器内の前記液状物質に浸漬させ、前記転写針の先端に前記液状物質を付着させる、請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。 - さらに、前記平板部と前記第1のベース部との隙間を介して前記転写針の周囲に前記液状物質の溶剤を霧化したエアーを吹きつける霧化器を備える、請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。
- 前記転写針には、前記第1のベース部から先端まで貫通し、前記液状物質を供給するための供給孔が形成されている、請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の塗布ユニット。
- さらに、前記平板部の前記被塗布物と反対側の表面に設けられ、前記平板部と前記第1のベース部との隙間を閉塞し、変形可能なシートを備え、
前記シートの上に設けられ、前記供給孔に前記液状材料を供給する容器とを備える、請求項10に記載の塗布ユニット。 - 前記容器は、前記液状材料が注入された密閉容器を含み、
さらに、前記密閉容器内の圧力を調整して、前記液状物質の供給量を調整する加減圧機構を備える、請求項11に記載の塗布ユニット。 - 前記請求項1から請求項12までのいずれか一項に記載の塗布ユニットと、
前記被塗布物の表面を観察するための観察光学部と、
前記被塗布物に対して、前記塗布ユニットおよび前記観察光学部を相対的に移動させる駆動部とを備える、塗布装置。 - 被塗布物の表面の複数の点に、複数の転写針を用いて液状物質を塗布する塗布ユニットを用いた転写塗布方法であって、
各転写針に付着した前記液状物質の乾燥を防止するため、溶剤を霧化したエアーを噴きつける、転写塗布方法。 - 被塗布物の表面の複数の点に、複数の転写針を用いて液状物質を塗布する塗布ユニットを用いた転写塗布方法であって、
各転写針の基端から先端に貫通する供給孔を設け、
前記液状物質が注入され、各転写針の基端において前記供給孔に接続された密閉容器を設け、
前記密閉容器内の圧力を制御し、前記液状物質を各転写針の供給孔を介して前記転写針の先端に供給する、転写塗布方法。
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