JP2014074661A - 歪ゲージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象に貼り付けまたは密着させて使用する歪ゲージであって、金属または半金属の酸化物、窒化物または炭化物からなる電気絶縁性のセラミックスからなり、厚さが80μm以下の基板と、基板上に形成された薄膜からなる検知材料とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような知見に基づいてなされたものであり、以下の(1)〜(6)を提供する。
金属または半金属の酸化物、窒化物または炭化物からなる電気絶縁性のセラミックスからなり、厚さが80μm以下の基板と、前記基板上に形成された薄膜からなる検知材料とを有することを特徴とする歪ゲージ。
(2)前記薄膜からなる検知材料は、ゲージ率が3以上であり、かつ抵抗温度係数が±100ppm/℃以内であることを特徴とする(1)に記載の歪ゲージ。
(3)前記基板として前記薄膜の熱膨張係数の±7ppm/℃の範囲内の熱膨張係数を有するものを用いることを特徴とする(1)または(2)に記載の歪ゲージ。
(4)前記薄膜からなる検知材料の厚さは2μm以下であることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の歪ゲージ。
(5)前記薄膜からなる検知材料は、窒素を原子%で0.0001〜30%の範囲で含むCr−N薄膜であることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の歪ゲージ。
(6)前記基板としてジルコニア基板を用いることを特徴とする(5)に記載の歪ゲージ。
図1は本発明の一実施形態に係る歪ゲージを模式的に示す断面図である。図1に示すように、歪ゲージ10は、検知材料(ゲージ材)としての薄膜12を、金属および半金属の酸化物、窒化物または炭化物からなる電気絶縁性のセラミックスからなる厚さ80μm以下の基板11上に形成してなり、測定対象(起歪体)13に貼り付けまたは密着させて使用する。
ここでは、厚さ0.03mm(30μm)のジルコニア基板上に、図2の写真に示すパターンを有するCr−N薄膜が形成された歪ゲージ試料を作製した。Cr−N薄膜の成膜は、Arとともに微量の窒素ガスを導入して成膜を行う反応性スパッタリング法によって行った。スパッタリング装置にはキャノンアネルバ製の高周波スパッタリング装置SPF−312Hをコンベンショナル方式で使用した。窒素の添加量は、導入する窒素ガス流量を調節することにより制御した。ターゲットには公称純度99.9%のCr円盤を用い、成膜前真空度(背景真空度)、ターゲット−基板間距離(T−S距離)および入力電力をそれぞれ2×10−5Pa、70mmおよび100Wとして成膜を行った。ジルコニア基板としては、日本ファインセラミックス社製セラフレックスAを用いた。
抵抗測定には直流四端子法を用い、0.1mAの定電流を流した時に得られる電圧値から抵抗値を算出した。抵抗温度係数(TCR)は、温度制御可能な恒温槽内において異なる温度での抵抗値測定から求めた。なお、本実験例では特に指定しない限りTCRは0〜50℃における値を示すものとする。
ここでは、貼り付けによる影響を調べるために、ジルコニア基板の厚さを0.03〜0.2mmと変化させ、実験例1と同様にしてCr−N薄膜を形成した歪ゲージと、市販の歪ゲージ(厚さ約0.013mm)とを、起歪体に貼り付けて片持ち梁曲げ試験を行った。起歪体としては、厚さがジルコニア基板の最大厚さと等しい0.2mmであり、長さが50mm、幅が12mmであるステンレス板(SUS304)を用いた。
v = Wx3/(3EI)
ここで、Wは印加荷重、xは支点から荷重印加点までの距離、Eはヤング率、Iは慣性モーメントを示す。この式から印加荷重と撓み量は比例関係にあることになるが、図10におけるそれらの関係は、いずれの試料においても直線から外れて撓み量が増すに従って荷重がやや減少する挙動を示している。貼り付け箇所の強化された状況が、接着剤などのクリープによって緩和されている可能性がある。そこで次の実験例3において、撓みについてのクリープ挙動を調べた。
図11および図12に、それぞれ市販歪ゲージおよび0.1mm厚ジルコニア基板Cr−N薄膜歪ゲージを貼り付けたステンレス板に対し6mmの撓みを印加して3時間保持した時の印加荷重とA試料(位置A)およびB試料(位置B)の出力を示す。図11の市販歪ゲージでは時間に対する印加荷重の変動は小さいのに対し、図12の0.1mm厚基板試料ではその変動が大きかった。このとき市販歪ゲージからの出力に大きな変化は見られず、ほぼ一定と考えられ、ゲージ部分に生じた歪も一定であったと考えられる。一方、0.1mm厚基板試料では時間に対し出力がほぼ単調に増加しているが、これは抵抗温度係数が約220ppm/℃あることによって室温に対する変化によるものと考えられ、実際その傾きは測定時の室温変化(開始時19.7℃、終了時20.5℃)から導かれる傾きと良く一致していた。よって、0.1mm厚基板試料も歪はほぼ一定になっていたと考えられる。
上記片持ち梁での曲げ試験から、基板は薄い方が良いという結果を得た。そこで、力計測における適した基板の厚さを明らかにするために、貼り付け型歪ゲージに必要な条件として上記結果を整理検討し、基板厚さに対する各因子の値を以下の表2にまとめた。
性能指数=ゲージ率×歪伝達性÷応力緩和変化率
緩和前の歪量:ε=σ/E
緩和後の歪量:ε′=σ′/E
と表すことができる。
ここで、σ′=σ・p(p:温力緩和変化率)であるから、ε′=σ・p/Eと表すことができ、この式から、σ=E・ε′/pとなる。
したがって、ΔR/R=σ・Gf/E=Gf・ε′/pとなるから、性能指数は出力を意味し、また、測定結果は応力緩和をともなうと考えられ、性能指数は緩和後の応力による出力を示唆している。
この性能指数の計算値を表2の最右欄に合わせて示す。
Claims (6)
- 測定対象に貼り付けまたは密着させて使用する歪ゲージであって、
金属または半金属の酸化物、窒化物または炭化物からなる電気絶縁性のセラミックスからなり、厚さが80μm以下の基板と、前記基板上に形成された薄膜からなる検知材料とを有することを特徴とする歪ゲージ。 - 前記薄膜からなる検知材料は、ゲージ率が3以上であり、かつ抵抗温度係数が±100ppm/℃以内であることを特徴とする請求項1に記載の歪ゲージ。
- 前記基板として前記薄膜の熱膨張係数の±7ppm/℃の範囲内の熱膨張係数を有するものを用いることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の歪ゲージ。
- 前記薄膜からなる検知材料の厚さは2μm以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の歪ゲージ。
- 前記薄膜からなる検知材料は、窒素を原子%で0.0001〜30%の範囲で含むCr−N薄膜であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の歪ゲージ。
- 前記基板としてジルコニア基板を用いることを特徴とする請求項5に記載の歪ゲージ。
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