JP2014073657A - アライメント装置及びアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源から照射された光の光路をハーフミラー43aで2つの光路に分割して2箇所で結像させる。そして、一方の光路による基準となる位置に位置決めされている基準マーク61aの画像と、他方の光路によるアライメントマーク18aの画像とを同一視野で撮像して、基準マーク61aとアライメントマーク18aとが一致するように位置決め調整を行っている。
【選択図】図11
Description
図1は電気圧力変換手段に適用したインクジェットヘッドの吐出部のチャンネル間方向の要部拡大断面図である。同図において、インクジェットヘッド吐出部は、フレーム部材1、振動板2、流路板3、ノズルプレート4、積層圧電素子5及びPZTベース6を備えている。フレーム部材1は、インク供給口16と共通液室8となる彫り込みを形成した部材である。振動板2は、凸部13、ダイヤフラム部14及びインク流入口15を有する。流路板3には、加圧液室9、流体抵抗部10となる彫り込みと、ノズル11に連通する連通孔12とが形成されている。ノズルプレート4には、ノズル11が形成されている。積層圧電素子5は、振動板2に接着層を介して接合されている。PZTベース6は、積層圧電素子5を固定している。
図2はフレーム部材の外形形状の実施例を示す平面図である。第1部品は図2のフレーム部材1である。フレーム部材1の外形には、位置基準となる突き当て部21、22、23を三箇所有している。長手方向(図2のX方向)の突き当て部21が一箇所、短手方向(Y方向)の突き当て部22、23を二箇所備えている。突き当て部21、22、23と、取付ベース30に設けられた基準ピン27、28、29とは、付勢バネ24、25、26によって付勢されて突き当たることで、フレーム部材1の取付ベース30に対する位置が決まる。
はじめに、シリアルプリンタへの取付けについて説明する。図4はシリアルプリンタへの取付例を示す概略図である。シリアルプリンタは、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。このキャリッジ233には、一つのインクジェットヘッド234がフレームの外形基準で位置決めされて滴吐出方向を用紙242に向けて固定されている。一つのインクジェットヘッド234はイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出する4列のノズル列を備えている。インクジェットヘッド234には、各色の供給チューブ236を介して、供給ユニット224によって各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。用紙242を静電吸着してインクジェットヘッド234に対向する位置に搬送して印字する。
図6は、本実施形態に係るアライメント装置の全体を示す斜視図である。本実施形態のアライメント装置は、フレーム部材1とノズルプレート付き一体部品17とを接合する装置である。図7は、本実施形態に係るフレーム部材、ガラスチャート(基準部材)及びハーフミラーの固定の様子を示す図である。両図において、本実施形態のアライメント装置は、加圧ステージ36(荷重制御:例えば、電空アクチュエータ駆動)、接合面倣い機構38、上吸着ステージ34、XYθステージ37、下吸着ステージ31、クランプ手段32、33、Z軸ステージ35を有している。更に、基準ピン27、28、29、ハーフミラー43、マスターワーク46、ガラスチャート60、姿勢位置調整手段62を含んでいる。前工程から搬送されてきたノズルプレート付き一体部品17は、上吸着ステージ34に真空ポンプによって、狙いの位置で真空吸着されて固定される。
フレーム部材1は下吸着ステージ31上でクランプ手段32、33によって、長手方向(X方向)と短手方向(Y方向)の二方向に位置決めされる。X方向の位置を規制する一つの基準ピン27に対して、クランプ手段32を用いてX方向に押圧し突き当てる。また、Y方向の位置を規制する二つの基準ピン28、29に対して、クランプ手段33を用いてY方向に押圧し突き当てる。クランプ手段32、33の押圧には先端Rのプランジャーが備えられており、このバネ力により押付力を作用させる。クランプ手段32、33の駆動にはシリンダなどを用いる。フレーム部材1は所定の位置に位置決めされたのち、下吸着ステージ31の真空ポンプ(不図示)によって真空吸着されて固定される。
本実施形態のアライメント装置では、2つの検出光学手段100、200を用いている。ここでは、検出光学手段100の検出光学系の光路について、図12を用いて説明するが、検出光学手段200も全く同じである。CCDカメラ50の位置は、手動三軸ステージ53を用いて調整することができる。図12に示すように、手動三軸ステージ53の調整方向として、X方向はアライメントマークのピッチ方向であり、Y方向はカメラの深度方向であり、Z方向はカメラ高さを上下方向に調整する方向である。CCDカメラ50には同軸落射照明51が光軸に入射されており、光路はハーフミラー43により2つの光路L1、L2に分岐される。
図12に示す検出光学手段の光路L1、L2の調整は、ハーフミラー43とガラスチャート60の位置調整して固定することで行われる。ハーフミラー43とガラスチャート60の位置は、マスターワーク46の調整目標マーク47とガラスチャート60の基準マーク61とがCCDカメラ50で取得する画像で位置が合うように調整される。これにより、マスターワーク46の調整目標マーク47の位置がガラスチャート60の基準マーク61の位置にトレースされる。つまり、ノズル11にあるノズルアライメントマーク18においてフレーム部材1の外形基準からの接合理想位置は、マスターワーク46の調整目標マーク47の位置である。このため、この調整目標マーク47の位置をガラスチャート60の基準マークにトレースすることができれば、実際のフレーム部材1とノズルプレート付一体部品17とを接合する。その際に、フレーム部材1を所定の位置に所定のクランプ手段で固定する。その後、ノズルプレート付一体部品17のノズルアライメントマーク18とガラスチャート60の基準マーク61とを前述のニ焦点検出光学系を備える検出手段100、200を用いて同時に撮像する。そして、画像処理部により移動指令量を算出し、XYθステージ37でアライメントし位置合せすることで、フレーム部材1とノズルプレート付一体部品17を精度良く位置決め接合することができる。
はじめに、ガラスチャート60を略設計位置に配置する。Z軸ステージ35は所定の接合高さとする。ここで、CCDカメラ50a、50bの位置を手動三軸ステージ53によって、ガラスチャート60の基準マーク61a、61bの光路L1による検出画像がそれぞれの画各中央で合焦するように調整する。例えば、図13(a)のようなるように行う。次に、マスターワーク46をフレーム部材1と同じ外形基準で、同じクランプ手段32、33を使ってクランプし固定する。マスターワーク46の調整目標マーク47a、47bの光路L2による検出画像がCCDカメラ50a、50bの画各中央で合焦する。そして、マスターワーク46の調整目標マーク47a、47bのY方向位置が、それぞれガラスチャート60の基準マーク61a、61bのY方向位置と一致するように、ガラスチャート固定ベース44への取付け高さと姿勢を調整する。そして、ハーフミラー43a、43bを固定する。このとき、調整目標マーク47a、47bの検出画像をCCDカメラ50に合焦させるためには、CCDカメラ50a、50bの深度方向であるカメラY軸の位置を、手動三軸ステージ53を使って移動させる。
(態様1)
液滴吐出ヘッドのヘッドフレームにノズルプレートを組み付ける際、ノズルプレートに対応する第1マークを撮像手段により撮像した画像に基づいて、ヘッドフレームとノズルプレートとの位置決めするアライメント装置において、ヘッドフレームが設置されるヘッドフレーム設置部と、撮像手段に対しヘッドフレーム設置部とは異なる方向に設けた第2マークと、ヘッドフレーム設置部に設置されたヘッドフレーム上のノズルプレートに対応する第1マークとを同一の撮像手段に結像させる光学系と、同一視野上で第1マークと第2マークとが一致するようにノズルプレートに対しヘッドフレームを移動させて位置調整する調整手段とを備えた。これによれば、上記実施形態について説明したように、光源から照射された光の光路をハーフミラー43aで2つの光路に分割して2箇所で結像させる。そして、一方の光路による基準となる位置に位置決めされている基準マーク61aの画像と、他方の光路によるアライメントマーク18aの画像とを同一視野で撮像して、基準マーク61aとアライメントマーク18aとが一致するように位置決め調整を行っている。この位置決め調整は、光学部材として1つのハーフミラー43aで行っている。インクジェットヘッドのフレーム部材に設置されたノズルプレートのアライメントマーク18aと基準部材の基準マーク61aとが撮像手段に対して異なる方向である。このため、ノズルプレートのアライメントマーク18aと基準マーク61aとを同一の撮像手段50aに結像させるための光学系における対物側の光路の向きが互いに異なる。これにより、従来の二焦点顕微鏡を用いるアライメント装置と異なり、一つの対物レンズに向けて焦点距離が互いに異なる光路を一つにするための光学部材を省略することができる。よって、比較的少ない光学部品でヘッドフレームにノズルプレートをアライメントできる。
(態様2)
(態様1)において、撮像手段によって第2マークと、第2マークに対応する第1マークとを同一視野で撮像し、第2マークと第1マークとが一致するように第2マークが設けられた基準部材の初期姿勢及び位置を調整する初期姿勢位置調整手段を備える。これによれば、上記実施形態について説明したように、光源とハーフミラーとの光軸が互いに略一致させるだけで、画像上で基準マークとアライメントマークが簡易に一致することができる。簡易に各光学部材の光軸を互いに一致でき、光学部材を少なくして温度変化の影響を減らしアライメントの精度を良くすることができる。
(態様3)
(態様1)において、ノズルプレートの長手方向に関する両端部にそれぞれ形成された2つの第1マークに、それぞれの位置合せされる2つの第2マークを、同時に2箇所で撮像する撮像手段を備えた。これによれば、上記実施形態について説明したように、2つの撮像手段を使って1つのノズルプレートに対し2つのアライメントマークを使う。これにより、インクジェットヘッドのフレーム部材の取付基準位置から狙いの距離だけ離れた位置に高精度に位置決めを行うことができる。
(態様4)
(態様1)において、第2マークの初期姿勢及び位置を調整する際に、第3マークが設けられた調整用部材は、外形から第3マークまでの距離がヘッドフレームの外形と第1マークの設計値であり、かつヘッドフレームと同一の外形形状となる取付け基準を備え、ヘッドフレームの外形をクランプするものと同一なクランプ手段によって、所定位置に配設した。これによれば、上記実施形態について説明したように、マスターワークの調整目標マークを目標として位置調整できるようにするために光軸を調整しながら基準マークの初期姿勢、位置を調整する。その際に、調整目標マークが設けられたマスターワークを、インクジェットヘッドのフレーム部材にクランプする機構によって狙いの位置に再現性良く設置することができる。そして、マスターワークの調整目標マークの位置は、固定配置されているガラスチャートの基準マークの位置と、ほとんどずれることが無い。このため、マスターワークの調整目標マークの位置に合せて、ガラスチャートの基準マークの位置を調整が必要になった場合にも調整に要する時間は極めて短時間で行うことができる。
(態様5)
(態様4)において、第2マーク、及び、第3マークは、SUS基材に石英ガラスを貼り合わせた構成であり、石英ガラスにマスクパターンを露光し転写する反射用クロム膜で作成されている。これによれば、上記実施形態について説明したように、単なる反射面があれば良いので、凸部を持つ形状にする必要が無く、さらに凸部へのアライメントマークを形成する必要がない。このため、非常に安価に作製することができる。また、反射用クロム膜で作成されているので、インクジェットヘッドのフレーム部材をクランプするクランプベースに貫通孔を設ける必要が無いので、インクジェットヘッドのフレーム部材の真空吸着を容易に行うことができる。
(態様6)
(態様2)において、ヘッドフレーム設置部、基準部材、姿勢位置調整手段及びハーフミラーを搭載し、かつ一体となって上下方向に移動するZ軸ステージと、該Z軸ステージを含めて一体となってXYθ方向に移動するXYθステージとを備えた。これによれば、上記実施形態について説明したように、調整目標マークが設けられたマスターワークをクランプするクランプ手段と、基準マークの設けられたガラスチャートの初期姿勢、位置を調整する姿勢位置調整手段とは、独立して配置されている。このため、マスターワークの調整目標位置に合せて、基準マークの設けたガラスチャートの姿勢と位置を調整することができる。よって、光軸の調整を容易に、かつ精度良く行うことができる。
(態様7)
(態様1)において、ノズルプレートを真空吸着により保持するノズルプレート保持手段と、ノズルプレート保持手段によって保持されたノズルプレートをヘッドフレーム設置部によって固定されているヘッドフレームに対して押し付ける押し付け手段と、押し付け手段によりヘッドフレームとヘッドプレートとの接合する面が平行になるように接合面倣い手段とを備えた。これによれば、上記実施形態について説明したように、加圧接合時に、付勢手段による押圧ピンの押圧による加圧接合時に位置ずれが生じることが無い。そして、液室プレートと一体となったノズルプレートからなるヘッド部材と固定部材とを接合する際に、それぞれの接合面が平行でない状態でアライメントしたあと、接着剤を介して加圧接合した場合にも、接合面倣い手段を備える。これにより、アライメント時には精度良くアライメントされたまま、加圧接合時に位置ずれが生じることが無く、高精度な位置精度で接合を行うことができる。
(態様8)
(態様6)において、撮像手段により同一視野で撮像した第2マークと第1マークの位置ずれ量をもとに、位置調整量としてXYθステージへの移動指令量を算出する画像処理手段を備えた。これによれば、上記実施形態について説明したように、高精度な位置精度で接合を行うことができる。
(態様9)
液滴吐出ヘッドのヘッドフレームにノズルプレートを組み付ける際、ノズルプレートに対応する第1マークを撮像手段により撮像した画像に基づいて、ヘッドフレームとノズルプレートとの位置決めするアライメント方法において、撮像手段に対し、ヘッドフレームが設置されるヘッドフレーム設置部とは異なる方向に設けた第2マークと、ヘッドフレーム設置部に設置されたヘッドフレーム上のノズルプレートに対応する第1マークとを同一の撮像手段によって撮像し、同一視野上で第1マークと第2マークとが一致するようにノズルプレートに対しヘッドフレームを移動させて位置調整する。これによれば、上記実施形態について説明したように、光源から照射された光の光路をハーフミラー43aで2つの光路に分割して2箇所で結像させる。そして、一方の光路による理想の位置に位置決めされている基準マーク61aの画像と、他方の光路によるアライメントマークの画像とを同一視野で撮像して、基準マーク61aの中心とアライメントマークの中心とが一致するように位置決め調整を行っている。この位置決め調整は、光学部材として1つのハーフミラー43aで行っている。インクジェットヘッドのフレーム部材に設置されたノズルプレートのアライメントマークと基準部材の基準マークの箇所とが撮像手段に対して異なる方向である。このため、ノズルプレートのアライメントマークと基準マークとを同一の撮像手段に結像させるための光学系における対物側の光路の向きが互いに異なる。これにより、従来の二焦点顕微鏡を用いるアライメント装置と異なり、一つの対物レンズに向けて焦点距離が互いに異なる光路を一つにするための光学部材を省略することができる。よって、比較的少ない光学部品でヘッドフレームにノズルプレートをアライメントできる。
2 振動板
3 流路板
4 ノズルプレート
5 積層圧電素子
6 PZTベース
7 FPC
8 共通液室
9 加圧液室
10 流体抵抗部
11 ノズル
12 連通孔
13 島状凸部
14 ダイヤフラム部
15 インク流入口
16 インク供給口
17 ノズルプレート付き一体部品
31 下吸着ステージ
32 クランプ手段
33 クランプ手段
34 上吸着ステージ
35 Z軸ステージ
36 加圧ステージ
37 XYθステージ
38 接合面倣い機構
39 加圧アクチュエータ
40 ガイド機構
41 加圧テーブル
42 ブロックベース
43a ハーフミラー
43b ハーフミラー
44 ガラスチャート固定ベース
46 マスターワーク
47a 調整目標マーク
47b 調整目標マーク
50a CCDカメラ
50b CCDカメラ
51a 同軸落射照明
51b 同軸落射照明
53 手動三軸ステージ
60 ガラスチャート
61a 基準マーク
61b 基準マーク
62 姿勢位置調整手段
63 クランプボルト
64 ガラスチャート連結ブロック
70 シリンダ
71 ピストン
72 ロックポート
73 フリーポート
74 給気ポート
75 凸球面
76 球面部材
77 凹球面
78 受け部材
79 受け軸受部材
81 真空ポート
82 真空ポート
83 真空ポート
91 接着剤
92 加圧逃げ部
100 検出光学手段
200 検出光学手段
Claims (9)
- 液滴吐出ヘッドのヘッドフレームにノズルプレートを組み付ける際、前記ノズルプレートに対応する第1マークを撮像手段により撮像した画像に基づいて、前記ヘッドフレームと前記ノズルプレートとの位置決めするアライメント装置において、
前記ヘッドフレームが設置されるヘッドフレーム設置部と、
前記撮像手段に対し前記ヘッドフレーム設置部とは異なる方向に設けた第2マークと、前記ヘッドフレーム設置部に設置されたヘッドフレーム上のノズルプレートに対応する第1マークとを同一の撮像手段に結像させる光学系と、
同一視野上で第1マークと第2マークとが一致するようにノズルプレートに対しヘッドフレームを移動させて位置調整する調整手段と
を備えたことに特徴があるアライメント装置。 - 請求項1記載のアライメント装置において、
前記撮像手段によって前記第2マークと、前記第2マークに対応する前記第1マークとを同一視野で撮像し、前記第2マークと前記第1マークとが一致するように前記第2マークが設けられた基準部材の初期姿勢及び位置を調整する初期姿勢位置調整手段を備えることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1記載のアライメント装置において、
前記ノズルプレートの長手方向に関する両端部にそれぞれ形成された2つの前記第1マークに、それぞれの位置合せされる2つの前記第2マークを、同時に2箇所で撮像する前記撮像手段を備えたことを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1記載のアライメント装置において、
前記第2マークの初期姿勢及び位置を調整する際に、第3マークが設けられた調整用部材は、外形から前記第3マークまでの距離が前記ヘッドフレームの外形と前記第1マークの設計値であり、かつ前記ヘッドフレームと同一の外形形状となる取付け基準を備え、前記ヘッドフレームの外形をクランプするものと同一なクランプ手段によって、所定位置に配設したことを特徴とするアライメント装置。 - 請求項4記載のアライメント装置において、
前記第2マーク、及び、前記第3マークは、SUS基材に石英ガラスを貼り合わせた構成であり、石英ガラスにマスクパターンを露光し転写する反射用クロム膜で作成されていることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項2記載のアライメント装置において、
前記ヘッドフレーム設置部、前記基準部材、前記姿勢位置調整手段及び前記ハーフミラーを搭載し、かつ一体となって上下方向に移動するZ軸ステージと、該Z軸ステージを含めて一体となってXYθ方向に移動するXYθステージとを備えたことを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1記載のアライメント装置において、
前記ノズルプレートを真空吸着により保持するノズルプレート保持手段と、前記ノズルプレート保持手段によって保持されたノズルプレートを前記ヘッドフレーム設置部によって固定されている前記ヘッドフレームに対して押し付ける押し付け手段と、前記押し付け手段により前記ヘッドフレームと前記ヘッドプレートとの接合する面が平行になるように接合面倣い手段とを備えたことを特徴とするアライメント装置。 - 請求項6記載のアライメント装置において、
前記撮像手段により同一視野で撮像した前記第2マークと前記第1マークの位置ずれ量をもとに、位置調整量として前記XYθステージへの移動指令量を算出する画像処理手段を備えたことを特徴とするアライメント装置。 - 液滴吐出ヘッドのヘッドフレームにノズルプレートを組み付ける際、前記ノズルプレートに対応する第1マークを撮像手段により撮像した画像に基づいて、前記ヘッドフレームと前記ノズルプレートとの位置決めするアライメント方法において、
前記撮像手段に対し、前記ヘッドフレームが設置されるヘッドフレーム設置部とは異なる方向に設けた第2マークと、前記ヘッドフレーム設置部に設置されたヘッドフレーム上のノズルプレートに対応する第1マークとを同一の撮像手段によって撮像し、同一視野上で第1マークと第2マークとが一致するようにノズルプレートに対しヘッドフレームを移動させて位置調整することを特徴とするアライメント方法。
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