JP2014055785A - プラズマ用高周波電源及びそれを用いたicp発光分光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 筐体31と、筐体31の内部に配置された高周波回路基板32とを備え、高周波回路基板32には、高周波誘導コイル21に高周波電流を供給するための素子が搭載されたプラズマ用高周波電源30であって、高周波回路基板32を冷却する冷却ブロック33を備え、冷却ブロック33の内部には、冷媒が流通するための冷媒流路33aが形成されており、高周波電流供給時には冷媒が冷媒流路33aを流通し、高周波電流非供給時には冷媒が冷媒流路33aを流通しないようにする。
【選択図】図1
Description
冷却用ガス供給部42は、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に、アルゴンガスを比較的高速で上方向に流通させる。これにより、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に形成された流路の上端部よりアルゴンガスが噴出され、噴出されたアルゴンガスが上端部に形成されているプラズマ炎22の外側を上方向に向かって流れる。
コンピュータ150は、CPU151と、キーボードやマウス等の入力装置52とにより構成され、光検出器43dで検出された発光スペクトルに基づいて、輝線スペクトルの波長の種類から試料中に含有される元素の定性分析を行い、さらにその輝線スペクトルの強度からその元素の定量分析を行う。
高周波回路基板32の平板形状の基板上面には、高周波誘導コイル21へ高周波電流Iを供給するための様々な素子(例えば、トランジスタ、大型のコンデンサ等)が搭載されている。
このようなプラズマ用高周波電源130によれば、高周波電流Iを供給する際には高周波回路基板32の素子が発熱するため、冷却用ファン133を回転させることによって空気を流通させることで、高周波回路基板32の素子に発生する熱を放熱している。
しかし、各素子の熱密度(発熱量)が上がることになり、空気を流通させる冷却用ファンでは、冷却が不充分となった。よって、空気を流通させる冷却用ファンを用いることに代えて、冷却水(冷媒)を内部に流通させる金属製(例えば銅製)の冷却ブロックを用いることにした。
また、上記の発明のプラズマ用高周波電源において、前記筐体の内部は、密閉されているようにしてもよい。
以上のように、本発明のプラズマ用高周波電源によれば、筐体の開口部から空気とともに埃等が侵入して、その埃が高周波回路基板の素子等に付着し、素子を短絡させて破壊してしまう場合があったが、プラズマ用高周波電源の筐体の内部を密閉空間にしたため埃等が侵入しないので、高周波回路基板の素子が短絡することを防止することができる。
また、上記の発明のプラズマ用高周波電源において、前記冷媒流路と、前記筐体の外部に配置されたバイパス流路とが切り替え可能な切替機構を備え、高周波電流供給時には冷媒が冷媒流路を流通し、高周波電流非供給時には冷媒がバイパス流路を流通するようにしてもよい。
本発明のICP発光分光分析装置によれば、プラズマの点灯・消灯と同期するように制御部によって自動で実行することができる。
ICP発光分光分析装置100は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ18と、試料ガス供給部44と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、高周波電流Iを供給するためのプラズマ用高周波電源30と、ICP発光分光分析装置100全体を制御するコンピュータ(制御部)50とを備える。
筐体31は、内部空間を有する直方体形状(例えば30cm×30cm×30cm)をしており、その内部は密閉されている。つまり、筐体31の内部に埃等が侵入することがない。
具体的には、操作者によって入力装置52から入力信号「プラズマ点灯」が入力されたときには、高周波回路基板32の素子から高周波誘導コイル21に高周波電流Iを供給させるとともに、三方切替弁70を用いて冷却水を冷却銅ブロック33の冷媒流路33aに流通させる。つまり、プラズマ点灯と同期して、冷却水が冷却銅ブロック33の冷媒流路33aを流れる。これにより、高周波回路基板32の素子が発熱するが、冷却銅ブロック33により高周波回路基板32の基板上の素子を冷却することができる。
21 高周波誘導コイル
22 プラズマ炎
30 プラズマ用高周波電源
31 筐体
32 高周波回路基板
33 冷却銅ブロック(冷却ブロック)
33a 冷媒流路
Claims (5)
- 筐体と、
前記筐体の内部に配置された高周波回路基板とを備え、
前記高周波回路基板には、高周波誘導コイルに高周波電流を供給するための素子が搭載されたプラズマ用高周波電源であって、
前記高周波回路基板を冷却する冷却ブロックを備え、
前記冷却ブロックの内部には、冷媒が流通するための冷媒流路が形成されており、
高周波電流供給時には冷媒が冷媒流路を流通し、高周波電流非供給時には冷媒が冷媒流路を流通しないようになっていることを特徴とするプラズマ用高周波電源。 - 前記筐体の内部は、密閉されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ用高周波電源。
- 前記冷媒流路と、前記筐体の外部に配置されたバイパス流路とが切り替え可能な切替機構を備え、
高周波電流供給時には冷媒が冷媒流路を流通し、高周波電流非供給時には冷媒がバイパス流路を流通することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプラズマ用高周波電源。 - 請求項1〜請求項3にいずれか1項に記載のプラズマ用高周波電源と、
高周波誘導コイルを有するプラズマトーチと、
発光光を検出する測光部と、
前記プラズマトーチを用いてプラズマ炎を形成して、試料をプラズマ炎に導入することにより、元素を分析する制御部とを備えることを特徴とするICP発光分光分析装置。 - 前記制御部は、高周波電流供給時には冷媒が冷媒流路を流通し、高周波電流非供給時には冷媒が冷媒流路を流通しないように制御することを特徴とする請求項4に記載のICP発光分光分析装置。
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