JP2010197080A - 誘導結合プラズマ分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 誘導結合プラズマ分析装置であって、プラズマ用ガスと霧滴化した試料が導入されるプラズマトーチ4と、プラズマトーチ4に高周波電圧を印加する誘導コイル6とを備え、この誘導コイル6は、プラズマトーチ4を通す空洞を備えた誘導コイル押さえ11で固定する。
【選択図】 図1
Description
このプラズマの発光スペクトルを分光器により分光したり、質量分析器により質量分離したりすることで、試料中の元素の定性定量測定がなされていた。
2 試料導入部
3 検出部
4 プラズマトーチ
5 プラズマトーチ押さえ
6 誘導コイル
7 試料容器
8 チューブ
9 ネブライザ
10 スプレーチャンバー
11 誘導コイル押さえ
12 試料ガス管
13 補助ガス管
14 プラズマ用ガス管
15 分析制御部
16 検出器
Claims (5)
- プラズマ用ガスと霧滴化した試料が導入されるプラズマトーチと、
前記プラズマトーチに高周波電圧を印加する誘導コイルと、
誘導コイルの高周波電圧で発生させるプラズマにより試料を電離して、
その電離した試料を試料中の元素の測定する検出器と、
を備えた誘導結合プラズマ分析装置において、
前記誘導コイルは、前記プラズマトーチを通す空洞を備えた誘導コイル押さえで固定されていることを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置。 - 請求項1に記載の誘導結合プラズマ分析装置において、
前記プラズマトーチは、円筒形であって、
前記誘導コイル押さえの空洞の形状は、前記円筒形プラズマトーチの外周とほぼ同じであることを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置。 - 請求項2に記載の誘導結合プラズマ分析装置において、
前記プラズマトーチの先端部と前記誘導コイル押さえの空洞の一方の出口側とが、ほぼ同一面上になるような配置で、前記プラズマトーチを固定することを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置。 - 請求項1に記載の誘導結合プラズマ分析装置において、
前記誘導コイル押さえは、比誘電率が空気と同程度の材料からなることを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置。 - 請求項4に記載の誘導結合プラズマ分析装置において、
前記誘導コイル押さえは、押出ポリスチレンからなることを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置。
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