JP2014035198A - 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム - Google Patents
形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014035198A JP2014035198A JP2012174937A JP2012174937A JP2014035198A JP 2014035198 A JP2014035198 A JP 2014035198A JP 2012174937 A JP2012174937 A JP 2012174937A JP 2012174937 A JP2012174937 A JP 2012174937A JP 2014035198 A JP2014035198 A JP 2014035198A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- imaging
- captured image
- imaging unit
- measurement target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【課題】三次元形状の測定時間が長くなる程度を低減する。
【解決手段】測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、撮像部によって生成された撮像画像が、測定対象にパターンが投影された画像として撮像されるように、撮像部が撮像している方向と異なる方向の投影方向から、測定対象の位置に応じて異なる光強度の光が照明されるように強度分布を有する照明光を照射する照射部と、測定対象に照射される参照光を生成する参照光生成部と、参照光が測定対象に投影された際に撮像部によって撮像された撮像画像を含む撮像画像に基づいて、照射部により照明光を照射して撮像部で取得された撮像画像から求めることができる測定対象の形状測定の対象範囲を検出する検出部とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、撮像部によって生成された撮像画像が、測定対象にパターンが投影された画像として撮像されるように、撮像部が撮像している方向と異なる方向の投影方向から、測定対象の位置に応じて異なる光強度の光が照明されるように強度分布を有する照明光を照射する照射部と、測定対象に照射される参照光を生成する参照光生成部と、参照光が測定対象に投影された際に撮像部によって撮像された撮像画像を含む撮像画像に基づいて、照射部により照明光を照射して撮像部で取得された撮像画像から求めることができる測定対象の形状測定の対象範囲を検出する検出部とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラムに関する。
測定対象の面形状(三次元形状)を非接触で測定する手法として、例えば位相シフト法によるパターン投影型の形状測定装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この形状測定装置では、正弦波状の強度分布を持つ格子パターンを測定対象物上に投影し、その格子パターンの位相を一定ピッチで変化させながら測定対象物を繰り返し撮像する。これによって得られた複数の撮像画像(輝度変化データ)を所定の演算式に当てはめることで、測定対象物の面形状に応じて変形した格子パターンの位相分布(位相画像)を求め、その位相画像をアンラップ(位相接続)してから、測定対象物の高さ分布に換算する。このようにして、形状測定装置は、撮像した複数の撮像画像から測定対象物の三次元形状データを生成する。ところで、上述のような形状測定装置においては、測定対象物を繰り返し撮像する間に測定対象との相対的な変化があると、撮像画像にブレが生じて、正確な三次元形状データを生成できないことがある。
しかしながら、上述のような形状測定装置においては、実際に三次元形状データを生成するまで、正確な三次元形状データを生成できるか否かがわからないことがある。つまり、上述のような形状測定装置は、正確な三次元形状データが得られるまで、三次元形状データを繰り返し生成する。したがって、上述のような形状測定装置には、正確な三次元形状データを生成するまでの時間が長くなるという問題があった。
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、三次元形状の測定時間が長くなる程度を低減することができる形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラムを提供することにある。
本発明の一実施形態は、測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、前記撮像部によって撮像される撮像画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像部が撮像している方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射部と、前記撮像部による撮像時における前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する判定部と、前記判定部が判定した結果に応じて、前記撮像部が生成した撮像画像に基づく前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成部とを有する形状測定装置である。
また、本発明の一実施形態は、構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する設計装置と、前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、作成された前記構造物の形状を、撮像画像に基づいて測定する請求項1から請求項17のいずれか一項に記載の形状測定装置と、前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する検査装置とを含む構造物製造システムである。
また、本発明の一実施形態は、測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像ステップと、前記撮像ステップにおいて撮像された画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像ステップにおいて撮像される方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射ステップと、前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像に基づいて、当該撮像画像にブレが生じている否かを判定する判定ステップと、前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像と前記判定ステップにおいて判定された結果とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成ステップとを有することを特徴とする形状測定方法である。
また、本発明の一実施形態は、構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する工程と、前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する工程と、作成された前記構造物の形状を、請求項19に記載の形状測定方法を用いて生成した撮像画像に基づいて測定する工程と、前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する工程とを含む構造物製造方法である。
また、本発明の一実施形態は、コンピュータに、測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像ステップと、前記撮像ステップにおいて撮像された画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像ステップにおいて撮像する方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射ステップと、前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像に基づいて、当該撮像画像にブレが生じている否かを判定する判定ステップと、前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像と前記判定ステップにおいて判定された結果とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成ステップとを実行させるための形状測定プログラムである。
本発明によれば、形状測定装置は、三次元形状の測定時間が長くなる程度を低減することができる。
[第1の実施形態]
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態による形状測定装置10の構成を示すブロック図である。形状測定装置10は、撮像部11と、照射部12と、受付部15と、出力部16と、制御部20と、記憶部26とを備え、位相シフト法により測定対象Mの三次元形状を測定するコンピュータ端末である。本実施形態では、形状測定装置10は、Nバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を撮像し、それぞれの像における同一画素の信号強度(例えば、輝度値やMAX(R,G,B)値などに代表される明度値など)に基づいて、測定対象Mの形状測定を行う。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態による形状測定装置10の構成を示すブロック図である。形状測定装置10は、撮像部11と、照射部12と、受付部15と、出力部16と、制御部20と、記憶部26とを備え、位相シフト法により測定対象Mの三次元形状を測定するコンピュータ端末である。本実施形態では、形状測定装置10は、Nバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を撮像し、それぞれの像における同一画素の信号強度(例えば、輝度値やMAX(R,G,B)値などに代表される明度値など)に基づいて、測定対象Mの形状測定を行う。
受付部15は、ユーザから入力される操作を受け付け、受け付けた操作に基づいて、操作を示す情報(操作指示情報)を出力する。例えば、受付部15は、主電源のオンとオフとを切替えるための電源釦、及び撮像処理開始の指示を受け付けるレリーズ釦等の操作部材を備えている。または、受付部15はタッチパネルにより、これらの指示等を受け付けることもできる。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされることよって、全押し状態に対応する操作を受け付ける。同様に、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされることよって、半押し状態に対応する操作を受け付ける。ここで、レリーズ釦の全押し状態とは、レリーズ釦が所定の位置まで押し込まれた状態であり、レリーズ釦の半押し状態とは、レリーズ釦が全押し状態の位置の手前まで押し込まれた状態である。受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の半押し状態を示す情報を操作指示情報として出力する。同様に、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の全押し状態を示す情報を操作指示情報として出力する。
撮像部11は、後述する撮像制御部19が出力する撮像制御信号に応じて、測定対象Mの像を撮像するとともに、撮像したデータをRAWデータである撮像画像データとして出力する。また、撮像部11は、照射部12と連動して動作し、照射部12によって測定対象Mに照明光が投影されるタイミングに合わせて撮像処理を行う。具体的には、撮像部11は、照射部12によってNバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を、明暗パターンの初期位相毎に撮像した複数の撮像画像データを生成する。
照射部12は、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を測定対象に照射する。この照射部12は、照射する照明光の光軸AX1と撮像部11の撮像軸AX2とが、測定対象Mの位置において所定の角度θをなすようにして、照明光を照射する。つまり、照射部12は、撮像部11が撮像している方向と異なる方向から、明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を測定対象に照射する。この照射部12の詳細な構成について、図2を参照して説明する。
図2は、照射部12の概略構成を示す構成図である。照射部12は、光源22と、コリーメートレンズ23と、シリンドリカルレンズ24と、走査ミラー25とを備えている。光源22は、レーザ光源を備えており、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じた強度の光を発する。コリーメートレンズ23及び、シリンドリカルレンズ24は、光源22が発する光の強度分布を、光の照射方向(図2の方向D1)に対して直交する方向(図2の方向D2)に長手方向を有するライン状の強度分布となるように、強度分布を変換する。走査ミラー25は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーであって、ライン状の強度分布となった光束を、光束の長手方向に対して垂直方向(図2の方向D3)に走査する。
具体的には、光源22は、照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、レーザ光の強度を変調し、変調した強度の光を図2に示す方向D1に発する。同時に、走査ミラー25は、照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、逐次偏向方向を変える。これにより、測定対象Mの表面上には、格子状の明暗パターン(格子パターン)が投影される。すなわち、照射部12は、光源22から照射されるレーザ光を光軸方向と垂直方向のある一方向(図2の方向D4)にライン状の光強度分布を有するように強度分布を整形する。また、照射部12は、光軸方向及びライン状の光強度分布の長手方向の両方に垂直な方向(図2の方向D3)に、ライン状の強度分布を有する光線を、強度変化をさせながら走査する。ここでは、照射部12は、一方向に正弦波状の輝度変化をもつ縞模様(正弦格子)のパターン光を形成する。このようにして、照射部12は、測定対象Mに格子パターンの照射光を投影する。なお、ここではレーザ光源が発する光をMEMS技術を用いて照明光として投影する例を示したが、照射部12は、液晶プロジェクタにより照明光を投影することもできる。次に、照射部12が照射する照明光の初期位相について、図3を参照して説明する。
図3は、本実施形態における照射部12が初期位相を90度ずつシフトさせて照射光を投影した測定対象Mの一例を示す模式図である。図3(a)は、初期位相が0度である照射光により測定対象Mの表面上に投影される明暗パターンAを示している。同様に、図3(b)〜(d)は、それぞれ、初期位相が90度である明暗パターンB、初期位相が180度である明暗パターンC、初期位相が270度である明暗パターンDを示している。一例として、Nバケット法においてN=5の場合、つまり5バケット法の場合には、撮像部11は、明暗パターンAから明暗パターンDまで及び、再び明暗パターンAが順次投影されている測定対象Mを、順次撮像して5枚の撮像画像を生成する。同様に、Nバケット法においてN=7の場合、つまり7バケット法の場合には、撮像部11は、明暗パターンAから明暗パターンDまで及び明暗パターンAから明暗パターンCまでが順次投影されている測定対象Mを、順次撮像して7枚の撮像画像を生成する。ここで、撮像の順序は、必ずしも明暗パターンA、明暗パターンB、明暗パターンC、明暗パターンD、明暗パターンAの順序でなくてもよい。例えば、撮像の順序は、明暗パターンA、明暗パターンD、明暗パターンC、明暗パターンB、明暗パターンAの順序にすることもできる。
再び、図1に戻って、形状測定装置10の構成について説明する。
記憶部26には、照射部12が照射する光の明暗パターンを示す情報と、初期位相を示す情報とが関連付けられて予め記憶されている。具体的には、記憶部26には、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数、及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を設定する情報が、明暗パターンAを示す情報として、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられて予め記憶されている。同様に、記憶部26には、明暗パターンBを示す情報が、明暗パターンBの初期位相(90度)に、明暗パターンCを示す情報が、明暗パターンCの初期位相(180度)に関連付けられて、明暗パターンDを示す情報が、明暗パターンDの初期位相(270度)に関連付けられて、それぞれが予め記憶されている。また、記憶部26には、撮像部11により生成された撮像画像データや、後述する生成部14が生成した測定対象の三次元形状を示すデータが記憶される。
記憶部26には、照射部12が照射する光の明暗パターンを示す情報と、初期位相を示す情報とが関連付けられて予め記憶されている。具体的には、記憶部26には、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数、及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を設定する情報が、明暗パターンAを示す情報として、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられて予め記憶されている。同様に、記憶部26には、明暗パターンBを示す情報が、明暗パターンBの初期位相(90度)に、明暗パターンCを示す情報が、明暗パターンCの初期位相(180度)に関連付けられて、明暗パターンDを示す情報が、明暗パターンDの初期位相(270度)に関連付けられて、それぞれが予め記憶されている。また、記憶部26には、撮像部11により生成された撮像画像データや、後述する生成部14が生成した測定対象の三次元形状を示すデータが記憶される。
制御部20は、判定部13と、生成部14と、照射制御部18と、撮像制御部19とを備えている。以下、これら各部の構成について説明する。
照射制御部18は、予め定められている照射部12の明暗パターンに基づいて、照射部12の光源22及び走査ミラー25を制御する。具体的には、受付部15がレリーズ釦の半押し状態を示す情報を出力すると、照射制御部18は、受付部15からバス21を介して、この半押し状態を示す情報を取得する。次に、照射制御部18は、半押し状態を示す情報を取得すると、記憶部26に記憶されている照射部12の明暗パターンのうちから、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられている明暗パターンを示す情報を、明暗パターンAを示す情報としてバス21を介して読み出す。次に、照射制御部18は、読み出した照射部12の明暗パターンAを示す情報に基づいて、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を制御して、明暗パターンを設定する。同様にして、照射制御部18は、記憶部26に記憶されている照射部12の明暗パターンのうちから、明暗パターンB〜Dを示す情報としてバス21を介して順次読み出す。次に、読み出した照射部12の明暗パターンB〜Dを示す情報に基づいて、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数をそれぞれ設定する。このようにして、照射制御部18は、順次読み出した明暗パターンA〜Dに対応する強度分布を有する照明光を設定することにより、測定対象Mに照射される照明光の明暗パターンを制御する。
撮像制御部19は、予め定められている撮像タイミングに基づいて、撮像部11の撮像タイミングを制御する。具体的には、受付部15がレリーズ釦の半押し状態を示す情報を出力すると、撮像制御部19は、受付部15からバス21を介して半押し状態を示す情報を取得する。次に、撮像制御部19は、半押し状態を示す情報を取得すると、バス21を介して照射制御部18が設定した明暗パターンを読み出すとともに、読み出した明暗パターンが変化する毎に、撮像制御信号を撮像部11に出力する。このとき、撮像部11は、照射制御部18が設定する明暗パターン毎に、測定対象を撮像した撮像画像データを生成する。つまり、撮像部11は、入力される撮像操作に応じて、測定対象Mを撮像した撮像画像データを生成する。
判定部13は、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。具体的には、判定部13は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。ここで、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化とは、撮像部11と測定対象Mとの相対的な位置の変化、及び撮像部11と測定対象Mとの相対的な方向の変化である。
より具体的には、判定部13は、撮像部11が明暗パターンごとに生成した複数の撮像画像データを取得する。上述したように、Nバケット法においてN=5の場合、つまり5バケット法の場合には、撮像部11は、明暗パターンAから明暗パターンDまで及び、再び明暗パターンAが順次投影されている測定対象Mを、順次撮像して5枚の撮像画像データを生成する。このとき、判定部13は、撮像部11が生成した5枚の撮像画像データを取得する。次に、判定部13は、取得した5枚の撮像画像データのうちの、最初に生成された撮像画像データである明暗パターンAの撮像画像データと、最後に生成された撮像画像データである明暗パターンAの撮像画像データとを、既知のパターンマッチング手法により比較する。次に、判定部13は、これらの撮像画像データの比較結果に基づいて、これらの撮像画像データの一致度を算出する。そして、判定部13は、算出した一致度が所定のしきい値を超えた場合には、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていないと判定する。一方、判定部13は、算出した一致度が所定のしきい値以下である場合には、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定する。
また、判定部13は、撮像操作が入力される期間を撮像時として、当該撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。ここで、撮像時とは、レリーズ釦が半押し状態にされる期間である。上述したように、撮像制御部19は、受付部15が出力するレリーズ釦の半押し状態を示す情報に基づいて、撮像部11に撮像制御信号を出力する。つまり、撮像制御部19は、レリーズ釦が半押し状態である間、撮像部11に撮像制御信号を出力する。これにより、撮像部11は、撮像画像データの生成を行う。すなわち、判定部13は、撮像操作が入力される期間としてのレリーズ釦が半押し状態にされる期間において、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。
生成部14は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。具体的には、生成部14は、受付部15が出力するレリーズ釦の全押し状態を示す情報が出力された場合には、測定対象Mの各位置の座標値を算出する。すなわち、生成部14は、レリーズ釦の状態が半押し状態から全押し状態に変化すると、撮像部11により初期位相が異なる複数の格子パターンが投影された測定対象Mが撮像された複数の撮像画像データに基づいて、測定対象Mの各位置の座標値を算出する。つまり、生成部14は、レリーズ釦の状態が半押し状態である場合に、さらに受付部15が操作を受け付けると(つまり、レリーズ釦が全押し状態にされると)、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。次に、生成部14は、算出した測定対象Mの各位置の座標値に基づいて、既知の位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータ(点群データ)を生成する。このとき、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていないと判定部13が判定した場合に、生成部14は、測定対象Mの各位置の座標値を算出する。一方、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定部13が判定した場合には、生成部14は、測定対象Mの各位置の座標値を算出しない。このようにして、生成部14は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づき、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていないと判定部13が判定した場合に、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。つまり、生成部14は、判定部13が判定した結果に応じて、撮像部11が生成した撮像画像データに基づく測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。
このようにして、生成部14は、撮像部11が明暗パターンの種類(つまり、明暗パターンA〜D)毎に測定対象Mを撮像して生成する複数の撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。そして、判定部13は、撮像部11が複数の撮像画像データを生成する期間を撮像時として、当該撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。
ここで、判定部13は、複数の撮像画像データどうしが比較された結果に基づいて、複数の撮像画像データを取得する間に、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否を判定する。このとき、撮像部11は、明暗パターンA〜Dを撮像した撮像画像データのうちの少なくともいずれかの撮像画像データに撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定部13が判定した場合に、当該撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じている撮像画像データを再度生成する。
出力部16は、情報を画像として表示するディスプレイや、情報を音として出力するスピーカを備えており、判定部13による判定結果を表示や音によって出力する。具体的には、出力部16は、判定部13が撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定した場合には、相対的な変化が生じていることを示す画像や音を出力する。
次に、図4から図6を参照して、形状測定装置10が、測定対象Mの三次元形状を測定する構成の一例を説明する。
図4は、測定対象Mの形状の一例を示す図である。測定対象Mは、図4(a)に示す側面形状及び正面形状を有している。また、この測定対象Mは、図4(b)に示す形状を有している。以下、形状測定装置10が、この図4に示す形状を有する測定対象Mの三次元形状を測定する構成について説明する。
図4は、測定対象Mの形状の一例を示す図である。測定対象Mは、図4(a)に示す側面形状及び正面形状を有している。また、この測定対象Mは、図4(b)に示す形状を有している。以下、形状測定装置10が、この図4に示す形状を有する測定対象Mの三次元形状を測定する構成について説明する。
図5は、本実施形態の照射部12が図4に示す測定対象Mに対して、図3に示す照射光を照射した場合に、測定対象Mの表面に現れる明暗パターンを示している。ここで、図5(a)は、初期位相(0度)の照明光が測定対象Mに照射されて、測定対象Mの表面に明暗パターンAが現れた状態を示している。同様に、図5(b)〜(d)は、それぞれ初期位相(90度)、初期位相(180度)及び初期位相(270度)の照明光が測定対象Mに照射されて、測定対象Mの表面に明暗パターンB〜Dが現れた状態を示している。このように、照射部12は、撮像部11によって撮像される撮像画像データが、測定対象Mに明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、明暗パターンA〜Dに対応する強度分布を有する照明光を測定対象Mに照射する。
次に、図6を参照して、生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を説明する。
図6は、本実施形態の生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を示す図である。生成部14は、図5(a)〜(d)に示す各照射光が照射された測定対象Mを撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、既知の位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。
図6は、本実施形態の生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を示す図である。生成部14は、図5(a)〜(d)に示す各照射光が照射された測定対象Mを撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、既知の位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。
次に、図7を参照して、形状測定装置10の動作について説明する。図7は、本実施形態の形状測定装置10の動作の一例を示すフローチャートである。
まず、受付部15は、ユーザから操作を受け付け、受け付けた操作の種類を判定する。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされたか否かを判定する(ステップS10)。受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされたと判定した場合には、操作を受け付けるとともに、受け付けた操作を示す情報を出力して、処理をステップS20に進める。一方、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされていないと判定した場合には、ステップS10の処理を繰り返す。
まず、受付部15は、ユーザから操作を受け付け、受け付けた操作の種類を判定する。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされたか否かを判定する(ステップS10)。受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされたと判定した場合には、操作を受け付けるとともに、受け付けた操作を示す情報を出力して、処理をステップS20に進める。一方、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされていないと判定した場合には、ステップS10の処理を繰り返す。
次に、照射制御部18は、受付部15が出力する半押し状態を示す情報を、バス21を介して取得する。次に、照射制御部18は、記憶部26に記憶されている照射部12の明暗パターンを順次読出す。次に、照射制御部18は、読み出した照射部12の明暗パターンを示す情報に基づいて、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を制御して、明暗パターンを設定する。一方、撮像制御部19は、受付部15が出力する半押し状態を示す情報を、バス21を介して取得する。次に、撮像制御部19は、バス21を介して照射制御部18が設定した明暗パターンを読み出すとともに、読み出した明暗パターンが変化する毎に、撮像制御信号を撮像部11に出力する。これにより、撮像部11は、測定対象Mを撮像した撮像画像データを明暗パターン毎に生成する(ステップS20)。
次に、判定部13は、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化を検出する(ステップS30)。ここで、判定部13は、上述のブレ検出手順によって、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化を検出する。
次に、判定部13は、ステップS30において検出した結果に基づいて、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する(ステップS40)。判定部13は、相対的な変化が生じていると判定した場合(ステップS40:YES)には、処理をステップS20に戻す。すなわち、撮像部11は、撮像画像データに撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定部13が判定した場合に、当該撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じている撮像画像データに対応する撮像画像データを再度生成する。一方、判定部13は、相対的な変化が生じていないと判定した場合(ステップS40:NO)には、処理をステップS50に進める。
次に、判定部13は、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていないことを示す情報を、バス21を介して出力部16に出力する。出力部16は、取得した相対的な変化が生じていないことを示す情報に基づき、相対的な変化が生じていないことを示す画像を表示する(ステップS50)。
次に、受付部15は、ユーザから操作を受け付け、受け付けた操作の種類を判定する。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされたか否かを判定する(ステップS60)。受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされたと判定した場合には、受け付けた操作を示す情報を出力して、処理をステップS70に進める。一方、受付部15は、レリーズ釦からユーザの指が離れた状態、つまり、レリーズ釦がオフの状態にされたと判定した場合には、ステップS10に処理を戻す。
次に、生成部14は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータ(点群データ)を生成して処理を終了する(ステップS70)。つまり、生成部14は、出力部16が判定結果を出力した後に、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。
以上説明したように、形状測定装置10は、撮像部11と、照射部12と、判定部13とを備えている。この撮像部11は、測定対象Mを撮像した撮像画像データを生成する。また、この照射部12は、撮像部11によって撮像される撮像画像データが、測定対象Mに明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、撮像部11が撮像している方向と異なる方向から、明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を測定対象Mに照射する。また、この判定部13は、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。
一般に、形状測定装置10において、撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じると、撮像部11が生成した撮像画像データにブレが生じる(つまり、撮像画像データがブレ画像になる)ことがある。ここで、撮像画像データのブレには、撮像部11が露光している間に、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じた場合に発生する、単一の撮像画像データのブレがある。また、撮像画像データのブレには、各初期位相の明暗パターンを順次撮像する間に、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じた場合に発生する、複数の撮像画像データ間のブレがある。この撮像画像データのブレは、ユーザが形状測定装置10を手に持った状態で測定対象Mの三次元形状を測定する場合や、測定対象Mの位置が形状測定装置10に対して相対的に移動する場合にも発生する。形状測定装置10においては、撮像画像データにブレが生じると、このブレが生じた撮像画像データに基づいて生成される測定対象Mの三次元形状を示すデータの正確さが低下することがある。したがって、形状測定装置10は、Nバケット法による各初期位相の撮像画像データを生成する間、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じないことが望ましい。
しかしながら、一般的な形状測定装置は、撮像画像データにブレが生じることにより、正確でない測定対象Mの三次元形状を示すデータが生成された場合には、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成するために、再度、測定対象Mを撮像する。つまり、一般的な形状測定装置は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまで、測定対象Mの撮像と、測定対象Mの三次元形状を示すデータの生成とを繰り返す。
一方、上述したように、形状測定装置10は、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する判定部13を備えている。これにより、形状測定装置10は、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する前に、判定部13が撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定することができる。したがって、形状測定装置10は、判定部13が撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定した場合には、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する前に、再度、撮像部11が撮像することができる。すなわち、形状測定装置10は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまで、測定対象Mの三次元形状を示すデータの生成を繰り返す場合に比して、再度、撮像部11が撮像を行うまでの時間を短縮することができる。つまり、形状測定装置10は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、判定部13は、撮像部11が生成した撮像画像に基づいて、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。これにより、形状測定装置10は、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化を検出するセンサー等を備えていなくても、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定することができる。つまり、形状測定装置10は、構成を簡素化して部品数を低減することができる。
また、形状測定装置10は、判定部13が判定した結果に応じて、撮像部11が生成した撮像画像データに基づく測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する生成部14を備えている。これにより、形状測定装置10は、撮像画像データにブレが生じていないと判定部13が判定した場合に、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成することができる。つまり、形状測定装置10は、正確でない測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する頻度を低減することができる。したがって、形状測定装置10は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。さらに、形状測定装置10は、正確でない測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する場合に消費する電力を低減することができる。
また、この生成部14は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づき、撮像部11と測定対象Mとの相対的な位置の変化が生じていないと判定部13が判定した場合に、当該撮像画像データに基づいてデータを生成する。これにより、形状測定装置10は、判定部13が撮像画像データにブレが生じていないと判定した場合に、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。また、形状測定装置10は、判定部13が撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定した場合には、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する前に、再度、撮像部11が撮像する。したがって、形状測定装置10は、撮像画像データにブレが生じている場合においても三次元形状を示すデータを生成する場合に比して、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、形状測定装置10は、入力される操作を受け付ける受付部15を備える。また、形状測定装置10の生成部14は、さらに受付部15が操作を受け付けた場合に、データを生成する。具体的には、形状測定装置10は、レリーズ釦が半押し状態にされた場合に、撮像部11が撮像画像データを生成し、さらに操作を受け付けた場合(例えば、レリーズ釦が全押し状態にされた場合)に、生成部14が測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。これにより、形状測定装置10は、撮像部11が生成した撮像画像データにブレがないと判定した後、レリーズ釦が全押し状態にされることによって、生成部14が測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。したがって、形状測定装置10は、レリーズ釦の操作により、撮像画像データの生成と、測定対象Mの三次元形状を示すデータの生成とを選択して制御することができるため、撮像画像データの生成及び測定対象Mの三次元形状を示すデータの生成を連続して行う場合に比して、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、形状測定装置10は、判定部13による判定結果を出力する出力部16を備える。これにより、形状測定装置10は、撮像部11が生成した撮像画像データにブレがあるか否かを判定した結果に基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成するか、再度、撮像画像データを生成するか、のいずれの操作を選択すべきかをユーザに対して通知することができる。
また、出力部16は、判定部13による判定結果を表示によって出力する。これにより、形状測定装置10は、撮像部11が生成した撮像画像データにブレがあるか否かを判定した結果に基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成するか、再度、撮像画像データを生成するか、のいずれの操作を選択すべきかをユーザに対して画面表示によって通知することができる。
また、生成部14は、出力部16が判定結果を出力した後に、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。これにより、形状測定装置10は、出力部16が判定結果を出力するまで、測定対象Mの三次元形状を示すデータの生成を待つことができる。したがって、形状測定装置10は、正確でない測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する頻度を低減することができるため、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、撮像部11は、撮像画像データに撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定部13が判定した場合に、当該撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じている撮像画像データに対応する撮像画像データを再度生成する。つまり、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちの、ブレが生じている撮像画像データについて、撮像画像データを再度生成する。これにより、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちの、ブレが生じていない撮像画像データも含めて撮像画像データを再度生成する場合に比して、撮像画像データを生成する時間を短縮することができる。つまり、形状測定装置10は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、生成部14は、撮像部11が明暗パターンの種類毎に測定対象Mを撮像して生成する複数の撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。そして、判定部13は、撮像部11が複数の撮像画像データを生成する期間を撮像時として、当該撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。これにより、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データ間においてブレが生じている場合に、撮像画像データを再度生成することができる。したがって、形状測定装置10は、正確でない測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する程度を低減することができる。つまり、形状測定装置10は、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、判定部13は、複数の撮像画像データどうしが比較された結果に基づいて、複数の撮像画像データを取得する間に撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否を判定する。そして、撮像部11は、撮像画像データのうちの少なくともいずれかの撮像画像データに撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じていると判定部13が判定した場合に、当該撮像部11と測定対象Mとの相対的の変化が生じている撮像画像データを再度生成する。これにより、形状測定装置10は、1枚の撮像画像データに基づいてブレを判定する場合に比して、撮像画像データのブレを判定する精度を向上させることができる。
また、撮像部11は、複数の撮像画像データのうちの少なくともいずれかの撮像画像データに撮像部11と測定対象Mとの相対的な位置の変化が生じていると判定部13が判定した場合に、当該撮像部11と測定対象Mとの相対的な位置の変化が生じている撮像画像データに対応する撮像画像データを再度生成する。すなわち、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちのいずれかがブレを生じている撮像画像データである場合に、撮像画像データを再度生成する。これにより、形状測定装置10は、ブレの生じていない撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成するため、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成することができる。
また、撮像部11は、複数の撮像画像データにそれぞれ対応する撮像画像データを再度生成する。すなわち、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちの、ブレが生じている撮像画像データにそれぞれ対応する撮像画像データを再度生成する。これにより、形状測定装置10は、ブレの生じていない撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成するため、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成することができる。
また、撮像部11は、複数の撮像画像データのうちの撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているブレ画像に対応する撮像画像データを再度生成する。そして、生成部14は、複数の撮像画像データのうちのブレ画像以外の撮像画像データと撮像部11が再度生成したブレ画像に対応する撮像画像データとに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。すなわち、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちのいずれかが、ブレを生じている撮像画像データである場合に、ブレが生じている初期位相の撮像画像データについて、撮像画像データを再度生成する。すなわち、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちの、ブレの生じている撮像画像データについては、撮像画像データを再度生成する。一方、形状測定装置10は、複数の初期位相の明暗パターンに応じた撮像画像データのうちの、ブレの生じていない撮像画像データについては、撮像画像データを再度生成しない。形状測定装置10は、このようにして生成した撮像画像データに基づいて、、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。つまり、形状測定装置10は、ブレが生じている撮像画像データを選択して再度生成するため、ブレが生じていない撮像画像データも再度生成する場合に比して、正確な測定対象Mの三次元形状を示すデータが得られるまでの時間が長くなる程度を低減することができる。
また、判定部13は、複数の撮像画像データのうちの明暗パターンの種類が対応する撮像画像データどうしが比較された結果に基づいて、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。これにより、形状測定装置10は、明暗パターンの種類が対応しない撮像画像データどうしが比較された結果に基づいてブレ生じているか否かを判定する場合に比して、撮像画像データのブレを判定する精度を向上させることができる。
なお、判定部13は、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化を検出することができればよく、撮像部11と測定対象Mとの相対的な位置を検出する位置センサーの出力に基づいて、判定してもよい。また、形状測定装置10は、形状測定装置10の加速度を検出するジャイロセンサーを備え、判定部13は、ジャイロセンサーが検出した形状測定装置10の加速度に基づいて、撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定してもよい。この場合、判定部13は、位置センサー又はジャイロセンサーの検出結果に基づいて、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。
この場合、撮像部11は、入力される撮像操作に応じて、測定対象Mを撮像した撮像画像データを生成する。また、判定部13は、撮像操作が入力される期間を撮像時として、当該撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。つまり、判定部13は、撮像部11が入力される撮像操作に応じて測定対象Mを撮像する際の、位置センサー又はジャイロセンサーの検出結果に基づいて、撮像部11による撮像時における撮像部11と測定対象Mとの相対的な変化が生じているか否かを判定する。このような構成にしても、形状測定装置10は、撮像画像データのブレを判定することができる。
[第2の実施形態]
次に、図8を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図8は、本発明の第2の実施形態に係る一例としての形状測定装置10aの構成を示す図である。
形状測定装置10aは、撮像部11が生成した撮像画像データを表示する撮像画像表示部17を備えている。これにより、形状測定装置10aは、撮像画像データをユーザに対して直接表示することができる。つまり、形状測定装置10aによれば、ユーザは撮像画像データにブレが生じているか否かを直接確認することができる。
次に、図8を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図8は、本発明の第2の実施形態に係る一例としての形状測定装置10aの構成を示す図である。
形状測定装置10aは、撮像部11が生成した撮像画像データを表示する撮像画像表示部17を備えている。これにより、形状測定装置10aは、撮像画像データをユーザに対して直接表示することができる。つまり、形状測定装置10aによれば、ユーザは撮像画像データにブレが生じているか否かを直接確認することができる。
[第3の実施形態]
次に、図9を参照して、本発明の第3の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態及び第2の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図9は、本発明の第3の実施形態に係る一例としての構造物製造システム100の構成を示す図である。
次に、図9を参照して、本発明の第3の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態及び第2の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図9は、本発明の第3の実施形態に係る一例としての構造物製造システム100の構成を示す図である。
構造物製造システム100は、上記の実施形態において説明したような形状測定装置10と、設計装置60と、成形装置30と、検査装置40と、リペア装置50とを備える。検査装置40は、座標記憶部41及び検査部42を備える。
設計装置60は、構造物の形状に関する設計情報を作製し、作製した設計情報を成形装置30に送信する。また、設計装置60は、作製した設計情報を検査装置40の座標記憶部41に記憶させる。設計情報は、構造物の各位置の座標を示す情報を含む。
成形装置30は、設計装置60から入力された設計情報に基づいて、上記の構造物を作製する。成形装置30の成形は、例えば鋳造、鍛造、切削等が含まれる。形状測定装置10は、作製された構造物(測定対象物)の座標を測定し、測定した座標を示す情報(形状情報)を検査装置40へ送信する。なお、ここでいう構造物とは、形状測定装置10の測定対象Mである。
検査装置40の座標記憶部41は、設計情報を記憶する。検査装置40の検査部42は、座標記憶部41から設計情報を読み出す。検査部42は、形状測定装置10から受信した座標を示す情報(形状情報)と、座標記憶部41から読み出した設計情報とを比較する。検査部42は、比較結果に基づき、構造物が設計情報通りに成形されたか否かを判定する。換言すれば、検査部42は、作製された構造物が良品であるか否かを判定する。検査部42は、構造物が設計情報通りに成形されていない場合に、構造物が修復可能であるか否か判定する。検査部42は、構造物が修復できる場合、比較結果に基づいて不良部位と修復量を算出し、リペア装置50に不良部位を示す情報と修復量を示す情報とを送信する。
リペア装置50は、検査装置40から受信した不良部位を示す情報と修復量を示す情報とに基づき、構造物の不良部位を加工する。
図10は、本実施形態の構造物製造方法を示すフローチャートである。本実施形態において、図10に示す構造物製造方法の各処理は、構造物製造システム100の各部によって実行される。
構造物製造システム100は、まず、設計装置60が構造物の形状に関する設計情報を作製する(ステップS31)。次に、成形装置30は、設計情報に基づいて上記構造物を作製する(ステップS32)。次に、形状測定装置10は、作製された上記構造物の形状を測定する(ステップS33)。次に、検査装置40の検査部42は、形状測定装置10で得られた形状情報と上記の設計情報とを比較することにより、構造物が設計情報通りに作製されたか否か検査する(ステップS34)。
構造物製造システム100は、まず、設計装置60が構造物の形状に関する設計情報を作製する(ステップS31)。次に、成形装置30は、設計情報に基づいて上記構造物を作製する(ステップS32)。次に、形状測定装置10は、作製された上記構造物の形状を測定する(ステップS33)。次に、検査装置40の検査部42は、形状測定装置10で得られた形状情報と上記の設計情報とを比較することにより、構造物が設計情報通りに作製されたか否か検査する(ステップS34)。
次に、検査装置40の検査部42は、作製された構造物が良品であるか否かを判定する(ステップS35)。構造物製造システム100は、作製された構造物が良品であると検査部42が判定した場合(ステップS35:YES)、その処理を終了する。また、検査部42は、作製された構造物が良品でないと判定した場合(ステップS35:NO)、作製された構造物が修復できるか否か判定する(ステップS36)。
構造物製造システム100は、作製された構造物が修復できると検査部42が判定した場合(ステップS36:YES)、リペア装置50が構造物の再加工を実施し(ステップS37)、ステップS33の処理に戻る。構造物製造システム100は、作製された構造物が修復できないと検査部42が判定した場合(ステップS36:NO)、その処理を終了する。
以上説明したように、構造物製造システム100は、上記の実施形態における形状測定装置10が構造物の座標を正確に測定することができるので、作製された構造物が良品であるか否か判定することができる。また、構造物製造システム100は、構造物が良品でない場合、構造物の再加工を実施し、修復することができる。
なお、本実施形態におけるリペア装置50が実行するリペア工程は、成形装置30が成形工程を再実行する工程に置き換えられてもよい。その際には、検査装置40の検査部42が修復できると判定した場合、成形装置30は、成形工程(鍛造、切削等)を再実行する。具体的には、例えば、成形装置30は、構造物において本来切削されるべき箇所であって切削されていない箇所を切削する。これにより、構造物製造システム100は、構造物を正確に作製することができる。
なお、構造物製造システム100は、形状測定装置10を備える例について説明したが、これに限られない。構造物製造システム100は、形状測定装置10aを備えていても、形状測定装置10を備える場合と同様の効果を奏することができる。
以上、本発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
なお、上記の各実施形態における形状測定装置10、形状測定装置10a、検査装置40、成形装置30、リペア装置50又は設計装置60(以下、これらを総称して制御装置と記載する)、又はこの制御装置が備える各部は、専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリおよびマイクロプロセッサにより実現させるものであってもよい。
なお、この制御装置又はこの制御装置が備える各部は、専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この制御装置又はこの制御装置が備える各部はメモリおよびCPU(中央演算装置)により構成され、制御装置、又はこの制御装置が備える各部の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
また、制御装置、又はこの制御装置が備える各部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、制御装置、又はこの制御装置が備える各部による処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
10、10a…形状測定装置、11…撮像部、12…照射部、13…判定部、14…生成部、15…受付部、16…出力部、17…撮像画像表示部、30…成形装置、40…検査装置、50…リペア装置、60…設計装置、100…構造物製造システム
Claims (20)
- 測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、
前記撮像部によって撮像される撮像画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像部が撮像している方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射部と、
前記撮像部による撮像時における前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する判定部と、
前記判定部が判定した結果に応じて、前記撮像部が生成した撮像画像に基づく前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成部
を有する形状測定装置。 - 前記判定部は、
前記撮像部が生成した撮像画像に基づいて、前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記撮像部は、
入力される撮像操作に応じて、測定対象を撮像した撮像画像を生成し、
前記判定部は、
前記撮像操作が入力される期間を前記撮像時として、当該撮像時における前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する
請求項1または請求項2に記載の形状測定装置。 - 前記生成部は、
前記撮像部が生成した撮像画像に基づき、前記撮像部と前記測定対象との相対的な位置の変化が生じていないと前記判定部が判定した場合に、当該撮像画像に基づいて前記データを生成する
請求項1から請求項3のうち何れか一項に記載の形状測定装置。 - 入力される操作を受け付ける受付部
を備え、
前記生成部は、
さらに前記受付部が操作を受け付けた場合に、前記データを生成する
請求項4に記載の形状測定装置。 - 前記判定部による判定結果を出力する出力部
を備える請求項4または請求項5に記載の形状測定装置。 - 前記出力部は、
前記判定部による判定結果を表示によって出力する
請求項6に記載の形状測定装置。 - 前記生成部は、
前記出力部が判定結果を出力した後に、前記データを生成する
請求項6または請求項7に記載の形状測定装置。 - 前記撮像部は、
前記撮像画像に前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じていると前記判定部が判定した場合に、当該撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じている前記撮像画像に対応する前記撮像画像を再度生成する
請求項4から請求項8のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記生成部は、
前記撮像部が前記明暗パターンの種類毎に前記測定対象を撮像して生成する複数の撮像画像に基づいて、前記データを生成するものであって、
前記判定部は、
前記撮像部が前記複数の撮像画像を生成する期間を前記撮像時として、当該撮像時における前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する
請求項4から請求項9のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記判定部は、前記複数の撮像画像どうしが比較された結果に基づいて、前記複数の撮像画像を取得する間に前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否を判定し、
前記撮像部は、前記撮像画像のうちの少なくともいずれかの前記撮像画像に前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じていると前記判定部が判定した場合に、当該撮像部と前記測定対象との相対的なの変化が生じている前記撮像画像を再度生成する
請求項10に記載の形状測定装置。 - 前記撮像部は、
前記複数の前記撮像画像のうちの少なくともいずれかの前記撮像画像に前記撮像部と前記測定対象との相対的な位置の変化が生じていると前記判定部が判定した場合に、当該撮像部と前記測定対象との相対的な位置の変化が生じている前記撮像画像に対応する前記撮像画像を再度生成する
請求項11に記載の形状測定装置。 - 前記撮像部は、
前記複数の前記撮像画像にそれぞれ対応する前記撮像画像を再度生成する
請求項11に記載の形状測定装置。 - 前記撮像部は、
前記複数の前記撮像画像のうちの前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているブレ画像に対応する前記撮像画像を再度生成し、
前記生成部は、
前記複数の前記撮像画像のうちの前記ブレ画像以外の前記撮像画像と前記撮像部が再度生成した前記ブレ画像に対応する前記撮像画像とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する
請求項11に記載の形状測定装置。 - 前記判定部は、
前記複数の撮像画像のうちの前記明暗パターンの種類が対応する撮像画像どうしが比較された結果に基づいて、前記撮像部と前記測定対象との相対的な変化が生じているか否かを判定する
請求項11から請求項14のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 撮像部が生成した撮像画像を表示する撮像画像表示部
を備える請求項1から請求項15のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する設計装置と、
前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
作成された前記構造物の形状を、撮像画像に基づいて測定する請求項1から請求項16のいずれか一項に記載の形状測定装置と、
前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する検査装置と
を含む構造物製造システム。 - 測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像ステップと、
前記撮像ステップにおいて撮像された画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像ステップにおいて撮像される方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射ステップと、
前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像に基づいて、当該撮像画像にブレが生じている否かを判定する判定ステップと、
前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像と前記判定ステップにおいて判定された結果とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成ステップと
を有することを特徴とする形状測定方法。 - 構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する工程と、
前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する工程と、
作成された前記構造物の形状を、請求項18に記載の形状測定方法を用いて生成した撮像画像に基づいて測定する工程と、
前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する工程と
を含む構造物製造方法。 - コンピュータに、
測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像ステップと、
前記撮像ステップにおいて撮像された画像が、前記測定対象に明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像ステップにおいて撮像する方向と異なる方向から、前記明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を前記測定対象に照射する照射ステップと、
前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像に基づいて、当該撮像画像にブレが生じている否かを判定する判定ステップと、
前記撮像ステップにおいて生成された前記撮像画像と前記判定ステップにおいて判定された結果とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を示すデータを生成する生成ステップと
を実行させるための形状測定プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012174937A JP2014035198A (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012174937A JP2014035198A (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014035198A true JP2014035198A (ja) | 2014-02-24 |
Family
ID=50284262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012174937A Pending JP2014035198A (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014035198A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016020966A1 (ja) * | 2014-08-04 | 2016-02-11 | 株式会社ニコン | 検出方法、形状測定方法、形状測定装置、構造物製造方法、構造物製造システム、及び形状測定プログラム |
WO2018143263A1 (ja) * | 2017-02-06 | 2018-08-09 | 富士フイルム株式会社 | 撮影制御装置、撮影制御方法及びプログラム |
JP2020038074A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元計測装置、ロボットおよびロボットシステム |
-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012174937A patent/JP2014035198A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016020966A1 (ja) * | 2014-08-04 | 2016-02-11 | 株式会社ニコン | 検出方法、形状測定方法、形状測定装置、構造物製造方法、構造物製造システム、及び形状測定プログラム |
WO2018143263A1 (ja) * | 2017-02-06 | 2018-08-09 | 富士フイルム株式会社 | 撮影制御装置、撮影制御方法及びプログラム |
JP2020038074A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元計測装置、ロボットおよびロボットシステム |
JP7172305B2 (ja) | 2018-09-03 | 2022-11-16 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元計測装置およびロボットシステム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5994787B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム | |
JP6253368B2 (ja) | 三次元形状計測装置およびその制御方法 | |
JP5576726B2 (ja) | 三次元計測装置、三次元計測方法、及びプログラム | |
JPWO2013133286A1 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、走査装置、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP2017110991A (ja) | 計測システム、計測方法、ロボット制御方法、ロボット、ロボットシステムおよびピッキング装置 | |
KR20070042840A (ko) | 영상 측정 장치 및 그 방법 | |
JP2015184056A (ja) | 計測装置、方法及びプログラム | |
JP2009036589A (ja) | 校正用ターゲット、校正支援装置、校正支援方法、および校正支援プログラム | |
WO2012057284A1 (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
JP2017075887A (ja) | 振動検出装置、検査装置、振動検出方法、及び振動検出プログラム | |
JP2014089062A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP2012093235A (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
JP2008145139A (ja) | 形状計測装置 | |
JP2014035198A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP6701745B2 (ja) | 三次元形状測定方法、変位測定方法、三次元形状測定装置、変位測定装置、構造物製造方法、構造物製造システム、及び三次元形状測定プログラム | |
JP4998077B2 (ja) | 3次元形状測定装置および3次元形状測定方法 | |
JP2011021970A (ja) | 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法 | |
JP2012173243A (ja) | 3次元計測装置、および3次元計測方法 | |
WO2013035847A1 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2010175554A (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP4797109B2 (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP2012093234A (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
KR101465996B1 (ko) | 선택적 큰 주기를 이용한 고속 3차원 형상 측정 방법 | |
KR101750883B1 (ko) | 비전 검사 시스템의 3차원 형상 측정 방법 | |
JP2009210509A (ja) | 3次元形状測定装置および3次元形状測定コンピュータプログラム |