JP2014034072A

JP2014034072A - Robot system

Info

Publication number: JP2014034072A
Application number: JP2012175763A
Authority: JP
Inventors: Osamu Yoshida; 修吉田
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2012-08-08
Filing date: 2012-08-08
Publication date: 2014-02-24
Anticipated expiration: 2032-08-08
Also published as: JP5609933B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a robot system capable of protecting an operator from harmful substances more securely.SOLUTION: The robot system according to an embodiment comprises: a draft chamber; a robot; and a work table. The draft chamber comprises: a chamber body inside of which is working space; a door capable of opening and closing an opening provided at a wall surface of the chamber body; and an air suction part provided outside the chamber body, for sucking air inside the chamber body. The robot is installed inside the chamber body and works. The work table is provided on a side of the wall surface on which the opening is provided, and the work table has a top plate at a position higher than an installation surface of the robot.

Description

開示の実施形態は、ロボットシステムに関する。 The disclosed embodiment relates to a robot system.

従来、作業中に有害物質から作業者を保護するドラフトチャンバがある。かかるドラフトチャンバは、内部が作業空間となるチャンバ本体と、チャンバ本体の側壁に設けられる開口部を開閉可能な扉と、チャンバ本体の外部に設けられ、チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備える（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, there are draft chambers that protect workers from harmful substances during work. Such a draft chamber includes a chamber main body having a working space therein, a door capable of opening and closing an opening provided in a side wall of the chamber main body, an air intake unit provided outside the chamber main body and sucking air inside the chamber main body, (For example, refer to Patent Document 1).

ドラフトチャンバによれば、作業者が手袋等を装着して開口部からチャンバ本体内部へ手を挿入して作業を行う場合に、チャンバ本体内部の有害物質が開口部から作業者側へ漏出することを防止することで、作業者を有害物質から保護することができる。 According to the draft chamber, when an operator wears gloves or the like and inserts a hand into the chamber body through the opening, harmful substances inside the chamber body leak out from the opening to the operator side. By preventing this, the worker can be protected from harmful substances.

特開２００３−２６９７６３号公報JP 2003-269663 A

しかしながら、ドラフトチャンバを用いて作業を行う場合であっても、チャンバ本体の内部で作業を行う作業者の手は有害物質にさらされる可能性がある。実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、有害物質から作業者をより確実に保護することが可能なロボットシステムを提供することを目的とする。 However, even when working using a draft chamber, the hands of workers working inside the chamber body may be exposed to harmful substances. One aspect of the embodiments has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a robot system that can more reliably protect an operator from harmful substances.

実施形態の一態様に係るロボットシステムは、ドラフトチャンバと、ロボットと、作業台とを備える。ドラフトチャンバは、内部が作業空間となるチャンバ本体と、前記チャンバ本体の壁面に設けられる開口部を開閉可能な扉と、前記チャンバ本体の外部に設けられ、前記チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備える。ロボットは、前記チャンバ本体内部に設置されて作業を行う。作業台は、前記開口部が設けられる前記壁面側に設けられ、前記ロボットの設置面よりも高い位置に天板がある。 A robot system according to an aspect of an embodiment includes a draft chamber, a robot, and a work table. The draft chamber has a chamber body in which the interior serves as a working space, a door capable of opening and closing an opening provided on a wall surface of the chamber body, and an intake air that is provided outside the chamber body and sucks air inside the chamber body. A part. The robot is installed inside the chamber body to perform work. The work table is provided on the wall surface side where the opening is provided, and has a top plate at a position higher than the installation surface of the robot.

実施形態の一態様によれば、有害物質から作業者をより確実に保護することが可能なロボットシステムを提供することができる。 According to one aspect of the embodiment, it is possible to provide a robot system that can more reliably protect workers from harmful substances.

図１Ａは、第１の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。FIG. 1A is an explanatory diagram illustrating the robot system according to the first embodiment. 図１Ｂは、第１の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。FIG. 1B is an explanatory diagram illustrating the robot system according to the first embodiment. 図２は、第１の実施形態に係るドラフトチャンバ内部の上面視による説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram viewed from above the inside of the draft chamber according to the first embodiment. 図３は、第１の実施形態に係る作業台の作用効果を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the operational effects of the workbench according to the first embodiment. 図４は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔を備える天板を示す上面視による説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram viewed from above showing a top plate including a plurality of through holes according to the first embodiment. 図５は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔を備える天板の作用効果を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating the operational effects of the top plate including a plurality of through holes according to the first embodiment. 図６は、第１の実施形態に係る天板へ配置される器具を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating an instrument placed on the top plate according to the first embodiment. 図７は、第１の実施形態に係る天板へ器具を配置した場合の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram when an instrument is arranged on the top plate according to the first embodiment. 図８は、第１の実施形態の変形例に係る作業台を示す斜視による説明図である。FIG. 8 is a perspective explanatory view showing a workbench according to a modification of the first embodiment. 図９Ａは、第２の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。FIG. 9A is an explanatory diagram illustrating a robot system according to the second embodiment. 図９Ｂは、第３の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。FIG. 9B is an explanatory diagram illustrating a robot system according to the third embodiment.

以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボットシステムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, an embodiment of a robot system disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited by embodiment shown below.

（第１の実施形態）
図１Ａおよび図１Ｂは、第１の実施形態に係るロボットシステム１を示す説明図である。なお、図１Ａには、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃによってドラフトチャンバ２の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが閉塞された状態を示しており、図１Ｂには、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃによってドラフトチャンバ２の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが開放された状態を示している。 (First embodiment)
1A and 1B are explanatory diagrams illustrating the robot system 1 according to the first embodiment. 1A shows a state in which the openings 2a, 2b, and 2c of the draft chamber 2 are closed by the doors 2A, 2B, and 2C, and FIG. 1B shows the draft chamber 2 by the doors 2A, 2B, and 2C. The openings 2a, 2b, 2c are opened.

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、ロボットシステム１は、ドラフトチャンバ２と、ロボット３と、ロボットコントローラ５１と、シミュレータ５２とを備える。ドラフトチャンバ２は、チャンバ本体２１と、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃと、吸気部２２とを備える。 As shown in FIGS. 1A and 1B, the robot system 1 includes a draft chamber 2, a robot 3, a robot controller 51, and a simulator 52. The draft chamber 2 includes a chamber main body 21, doors 2 A, 2 B, and 2 C, and an intake portion 22.

チャンバ本体２１は、内部が作業空間となる金属性の筐体である。かかるチャンバ本体２１は、前面および左右両側面の各壁面に、内部空間と外部空間とを連通する窓状の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる。また、チャンバ本体２１は、これら３箇所に設けられる各開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開閉可能な扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを備える。 The chamber main body 21 is a metallic casing whose inside is a working space. The chamber body 21 is provided with window-shaped openings 2a, 2b, and 2c that communicate the internal space with the external space on the front and left and right side walls. The chamber body 21 includes doors 2A, 2B, and 2C that can open and close the openings 2a, 2b, and 2c provided at these three locations.

これら３枚の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、例えば、矩形状をした金属性の枠体と、枠体の内周面に嵌め込まれ、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃの外部から扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃの内部を視認可能な程度の透光性を有する強化ガラスとによって形成される。 These three doors 2A, 2B, and 2C are fitted into, for example, a rectangular metal frame and an inner peripheral surface of the frame, and the doors 2A, 2B, and 2C from the outside of the doors 2A, 2B, and 2C. It is formed with the tempered glass which has the translucency of the grade which can visually recognize the inside.

かかる扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、それぞれ昇降可能に構成され、図１Ａに示すように下降されることで開口部２ａ、２ｂ、２ｃを閉塞してチャンバ本体２１の内部を外部から隔離された閉塞空間とする。また、各扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、図１Ｂに示すように、上昇されることで、開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放する。 The doors 2A, 2B, and 2C are configured to be movable up and down, and are closed as shown in FIG. 1A to close the openings 2a, 2b, and 2c and to isolate the inside of the chamber body 21 from the outside. Space. Each door 2A, 2B, 2C is lifted to open the openings 2a, 2b, 2c as shown in FIG. 1B.

吸気部２２は、例えば、チャンバ本体２１の屋根上に設けられ、チャンバ本体２１内部の空気を吸気するファンである。かかる吸気部２２は、チャンバ本体２１の内部から吸気した空気を浄化するＨＥＰＡフィルタ (High Efficiency Particulate Air Filter)を備え、ＨＥＰＡフィルタによって浄化された空気を、排気ダクト２３を介して屋外等へ排気する。 For example, the intake section 22 is a fan that is provided on the roof of the chamber body 21 and sucks air inside the chamber body 21. The intake section 22 includes a HEPA filter (High Efficiency Particulate Air Filter) that purifies the air sucked from the inside of the chamber body 21, and exhausts the air purified by the HEPA filter to the outside or the like via the exhaust duct 23. .

ロボット３は、チャンバ本体２１の床面に設けられる設置台２４上に設置され、作業者に代わって作業を行う。かかるロボット３は、基部３１と、基部３１上に設けられる胴部３２と、胴部３２の左右両側にそれぞれ設けられる腕部３３、３４とを備える。胴部３２は、基部３１に対して水平に回転自在に構成される。 The robot 3 is installed on an installation table 24 provided on the floor surface of the chamber body 21 and performs work on behalf of the operator. The robot 3 includes a base portion 31, a trunk portion 32 provided on the base portion 31, and arm portions 33 and 34 provided on both left and right sides of the trunk portion 32. The body portion 32 is configured to be horizontally rotatable with respect to the base portion 31.

また、腕部３３、３４は、例えば、図１Ａおよび図１Ｂの腕部３３に点線または黒点によって示す６つの軸の可動軸を備えるロボットアームである。かかる腕部３３の先端側には、ワークの把持動作が可能なロボットハンド３５が設けられる。かかるロボット３は、チャンバ本体２１の外部に設けられるロボットコントローラ５１に接続され、ロボットコントローラ５１による制御に従って所定の作業を行う。 The arm portions 33 and 34 are, for example, robot arms provided with six movable axes indicated by dotted lines or black dots on the arm portion 33 in FIGS. 1A and 1B. A robot hand 35 capable of gripping a workpiece is provided on the distal end side of the arm portion 33. The robot 3 is connected to a robot controller 51 provided outside the chamber body 21 and performs a predetermined operation according to control by the robot controller 51.

ロボットコントローラ５１は、ロボット３へ所定の動作を行わせるシミュレーションを実行するシミュレータ５２に接続される。かかるロボットコントローラ５１は、シミュレータ５２から所定の動作をロボット３へ教示するための教示データを受付け、受付けた教示データに基づいてロボット３の動作を制御する。 The robot controller 51 is connected to a simulator 52 that executes a simulation for causing the robot 3 to perform a predetermined operation. The robot controller 51 receives teaching data for teaching a predetermined operation to the robot 3 from the simulator 52, and controls the operation of the robot 3 based on the received teaching data.

シミュレータ５２は、表示画面５２Ａと入力装置５２Ｂとを有する演算装置（例えば、パーソナルコンピュータまたはプログラミングペンダントなど）で構成されており、ロボットコントローラ５１に接続されることでデータの送受信が可能に構成されている。表示画面５２Ａには、チャンバ本体２１内部の上面視による模式的な図が表示されるようになっている。 The simulator 52 is configured by an arithmetic device (for example, a personal computer or a programming pendant) having a display screen 52A and an input device 52B, and is configured to be able to transmit and receive data by being connected to the robot controller 51. Yes. On the display screen 52A, a schematic diagram of the inside of the chamber body 21 as viewed from above is displayed.

また、チャンバ本体２１の内部には、開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面側に作業台４が設けられる。かかる作業台４は、脚部４０と、脚部４０によって支持される天板４１とを備える。なお、天板４１の形状については、図２を参照して後述する。 In addition, a work table 4 is provided inside the chamber body 21 on the wall surface side where the openings 2a, 2b, and 2c are provided. The work table 4 includes a leg portion 40 and a top plate 41 supported by the leg portion 40. The shape of the top plate 41 will be described later with reference to FIG.

脚部４０は、天板４１の高さ位置がロボット３の設置面となる設置台２４上面の高さ位置よりも高い位置となるように天板４１を支持する。これにより、ドラフトチャンバ２では、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃが上昇して開口部２ａ、２ｂ、２ｃが開放された場合に、天板４１上面近傍の空気をチャンバ本体２１の天井側へ効率的に導いて排気させることができる。なお、かかる点については、図３を参照して後述する。 The leg portion 40 supports the top plate 41 so that the height position of the top plate 41 is higher than the height position of the upper surface of the installation base 24 that is the installation surface of the robot 3. Thereby, in the draft chamber 2, when the doors 2A, 2B, and 2C are raised and the openings 2a, 2b, and 2c are opened, the air in the vicinity of the top surface of the top plate 41 is efficiently transferred to the ceiling side of the chamber body 21. Can be guided and exhausted. This point will be described later with reference to FIG.

ここで、ロボットシステム１によって行われる作業の流れについて簡単に説明する。なお、ここでは、ロボット３によって薬品の調合作業を行わせる場合について説明するが、ロボット３によって行わせる作業は、薬品の調合作業に限定するものではない。 Here, the flow of work performed by the robot system 1 will be briefly described. Here, a case where the robot 3 performs the medicine mixing operation will be described, but the operation performed by the robot 3 is not limited to the medicine mixing operation.

まず、作業者は、調合作業に使用する薬品や器具を作業台４上に配置する前に、各薬品や器具の作業台４上における予定配置位置、および、ロボット３に実行させる作業手順をシミュレータ５２へ入力する。 First, before placing the chemicals and instruments used for the blending work on the work table 4, the operator simulates the planned placement positions of the chemicals and instruments on the work table 4 and the work procedure to be executed by the robot 3. 52.

シミュレータ５２は、作業者によって入力される情報に基づいて、薬品の調合作業動作をロボット３に行わせるシミュレーションを実行し、シミュレーションによって作成した調合動作の教示データをロボットコントローラ５１へ出力する。 The simulator 52 executes a simulation for causing the robot 3 to perform a medicine blending operation based on information input by the operator, and outputs teaching data of the blending operation created by the simulation to the robot controller 51.

続いて、作業者は、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気させた状態で、ドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを上昇させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放させる。 Subsequently, the operator raises the doors 2A, 2B, and 2C of the draft chamber 2 to open the openings 2a, 2b, and 2c in a state where the air inside the chamber main body 21 is sucked by the intake portion 22.

そして、作業者は、開口部２ａ、２ｂ、２ｃからチャンバ本体２１の内部へ調合作業で使用される薬品の入った瓶や調合作業で使用される各器具を搬入する。このとき、作業者は、シミュレータ５２へ入力した予定配置位置どおりに薬品の入った瓶や器具を配置する。 Then, the operator carries in the bottles containing the chemicals used in the mixing operation and the respective instruments used in the mixing operation into the chamber body 21 through the openings 2a, 2b, 2c. At this time, the worker arranges bottles and instruments containing chemicals in accordance with the planned arrangement position input to the simulator 52.

その後、作業者は、ドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを下降させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを閉塞させ、ロボットコントローラ５１によるロボット３の動作制御を開始させる。これにより、ロボット３がチャンバ本体２１の内部で薬品の調合作業を開始する。 Thereafter, the operator lowers the doors 2A, 2B, and 2C of the draft chamber 2 to close the openings 2a, 2b, and 2c, and starts operation control of the robot 3 by the robot controller 51. As a result, the robot 3 starts the medicine mixing operation inside the chamber body 21.

このように、ロボットシステム１では、外部から隔離されたチャンバ本体２１の内部で、ロボット３が作業者に代わって薬品の調合作業を行うので、例えば、薬品の調合によって有害物質が発生しても、有害物質から作業者をより確実に保護することができる。 Thus, in the robot system 1, the robot 3 performs the medicine preparation work on behalf of the worker inside the chamber body 21 isolated from the outside. For example, even if a harmful substance is generated by the medicine preparation, , Can protect workers from harmful substances more reliably.

また、ロボット３による作業中にドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを上昇させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放させても、チャンバ本体２１内部の空気は吸気部２２によって吸気されているので、開口部２ａ、２ｂ、２ｃから外部へ漏出することがない。 Further, even if the doors 2A, 2B, and 2C of the draft chamber 2 are raised and the openings 2a, 2b, and 2c are opened during the operation by the robot 3, the air inside the chamber body 21 is sucked by the intake portion 22. Therefore, it does not leak out from the openings 2a, 2b, and 2c.

したがって、ロボットシステム１によれば、薬品の調合によって有害物質が発生しても、有害物質が開口部２ａ、２ｂ、２ｃから外部へ漏出することを抑制することで、作業者をより確実に保護することができる。 Therefore, according to the robot system 1, even if harmful substances are generated by mixing chemicals, the hazardous substances are prevented from leaking outside through the openings 2a, 2b, 2c, thereby protecting the worker more reliably. can do.

次に、図２を参照して、作業台４の天板４１の形状について説明する。図２は、第１の実施形態に係るドラフトチャンバ２内部の上面視による説明図である。なお、図２には、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。 Next, the shape of the top plate 41 of the work table 4 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is an explanatory diagram viewed from above the inside of the draft chamber 2 according to the first embodiment. FIG. 2 shows a state where the ceiling of the chamber body 21 is removed.

ここでは、図２に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。 Here, among the components shown in FIG. 2, the same components as those shown in FIG. 1A and FIG. 1B are given the same reference numerals as those shown in FIG. 1A and FIG. Omitted.

図２に示すように、作業台４の天板４１は、チャンバ本体２１の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面とロボット３との間に配設される。これにより、作業者は、作業で用いられる器具等を開口部２ａ、２ｂ、２ｃから天板４１上へ容易に配置することができる。 As shown in FIG. 2, the top plate 41 of the work table 4 is arranged between the robot 3 and the wall surface where the openings 2 a, 2 b, 2 c of the chamber body 21 are provided. Thereby, the operator can arrange | position the instrument etc. which are used by work | work on the top plate 41 from opening part 2a, 2b, 2c easily.

また、天板４１は、チャンバ本体２１の隣接される３つの壁面に沿ってロボット３の周囲を上面視Ｃ字状に囲む形状に形成される。ロボットシステム１では、背面側を除くロボット３の全周囲を作業領域としてロボット３に使用させることができるので、チャンバ本体２１の内部空間の中で作業領域として使用できないデッドスペースを極力なくすことができる。 Further, the top plate 41 is formed in a shape that surrounds the periphery of the robot 3 in a C-shape when viewed from above along three adjacent wall surfaces of the chamber body 21. In the robot system 1, the entire periphery of the robot 3 except the back side can be used as a work area by the robot 3, so that dead space that cannot be used as a work area in the internal space of the chamber body 21 can be minimized. .

また、ロボットシステム１では、前述のように、チャンバ本体２１の前面および左右両側面に開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる。これにより、作業者は、ロボット３の左右両側へ作業で用いられる器具等を配置する場合に、チャンバ本体２１の左右側面に設けられる開口部２ｂ、２ｃからチャンバ本体２１の内部へ器具等を搬入することができる。 In the robot system 1, as described above, the openings 2 a, 2 b, and 2 c are provided on the front surface and the left and right side surfaces of the chamber body 21. As a result, when an operator places an instrument or the like used for work on the left and right sides of the robot 3, the operator carries the instrument or the like into the chamber body 21 from the openings 2b and 2c provided on the left and right side surfaces of the chamber body 21. can do.

したがって、作業者は、作業で使用される器具等の予定配置位置がロボット３の左右両側であっても、シミュレータ５２へ入力した予定配置位置へ正確に器具等を配置することができる。 Therefore, even if the planned placement positions of the tools and the like used in the work are on the left and right sides of the robot 3, the worker can accurately place the tools and the like at the planned placement positions input to the simulator 52.

次に、図３を参照し、ロボット３の設置面よりも高い位置に作業台４の天板４１を設けたことによる作用効果について説明する。図３は、第１の実施形態に係る作業台４の作用効果を示す説明図である。 Next, with reference to FIG. 3, the effect by having provided the top plate 41 of the work table 4 in the position higher than the installation surface of the robot 3 is demonstrated. FIG. 3 is an explanatory diagram showing the operational effects of the work table 4 according to the first embodiment.

なお、図３は、図２におけるＡ−Ａ´線による断面を模式的に示している。また、図３では、チャンバ本体２１内部の空気の流れを示すため、天板４１上に配置される器具については図示を省略し、ロボット３については点線によって示している。 FIG. 3 schematically shows a cross section taken along line AA ′ in FIG. Further, in FIG. 3, in order to show the air flow inside the chamber body 21, the illustration of the instruments arranged on the top plate 41 is omitted, and the robot 3 is indicated by a dotted line.

また、ここでは、図３に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。 In addition, here, among the components shown in FIG. 3, the same components as those shown in FIGS. 1A and 1B are denoted by the same reference numerals as those shown in FIGS. 1A and 1B. Description is omitted.

図３に示すように、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気している状態で、扉２Ａを上昇させて開口部２ａを開放した場合、チャンバ本体２１外部の空気ａ１がチャンバ本体２１の内部へ吸い込まれる。 As shown in FIG. 3, when the door 2 A is lifted and the opening 2 a is opened while the air inside the chamber main body 21 is being sucked by the air intake portion 22, the air a 1 outside the chamber main body 21 is discharged from the chamber main body 21. Is sucked into the inside.

ここで、仮に、チャンバ本体２１の内部空間が天板４１によって上下に仕切られていた場合、チャンバ本体２１外部からチャンバ本体２１内部へ吸い込まれた空気ａ１は、吸気部２２の設置位置へ向けて斜め上方向へ吸い上げられる。 Here, if the internal space of the chamber main body 21 is partitioned up and down by the top plate 41, the air a1 sucked into the chamber main body 21 from the outside of the chamber main body 21 is directed toward the installation position of the intake section 22. Sucked up diagonally.

つまり、チャンバ本体２１外部から内部へ吸い込まれた空気ａ１は、天板４１の上面近傍を通過せずに吸気部２２へ吸気される。このため、天板４１の上面近傍では、空気の滞留が起こる可能性がある。 That is, the air a 1 sucked from the outside to the inside of the chamber body 21 is sucked into the suction portion 22 without passing near the top surface of the top plate 41. For this reason, in the vicinity of the top surface of the top plate 41, there is a possibility that air stays.

このとき、天板４１の近傍で危険物質が発生していた場合、作業者が手袋をせずに天板４１近傍へ手を挿入したり、天板４１近傍へ挿入した手に装着された手袋が破損していたりすると、作業者の手が危険物質の危険にさらされることになる。 At this time, if dangerous substances are generated in the vicinity of the top plate 41, the operator inserts his hand near the top plate 41 without wearing gloves, or a glove attached to a hand inserted in the vicinity of the top plate 41. If it is damaged, the operator's hands are at risk of hazardous materials.

そこで、ロボットシステム１では、天板４１の高さ位置がロボット３の設置面よりも高い位置となる作業台４を設けることで、チャンバ本体２１の内部に天板４１よりも高さ位置が低い領域を形成した。 Therefore, in the robot system 1, the work table 4 in which the height position of the top plate 41 is higher than the installation surface of the robot 3 is provided, so that the height position is lower than the top plate 41 inside the chamber body 21. A region was formed.

これにより、ロボットシステム１では、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気する場合に、天板４１よりも高さ位置の低い領域から天板４１よりも高さ位置の高い領域へ向かうチャンバ本体２１内部の空気ａ２の流れが形成される。 As a result, in the robot system 1, when the air inside the chamber body 21 is sucked by the air intake unit 22, the chamber moves from a region having a lower height position than the top plate 41 to a region having a higher height position than the top plate 41. A flow of air a2 inside the main body 21 is formed.

このように、チャンバ本体２１内部に、天板４１よりも高さ位置の低い領域から上方向へ向かう空気ａ２の流れが形成されることで、天板４１近傍に滞留する空気は、かかる上方向へ向かう空気ａ２の流れに引き寄せられ、吸気部２２によって吸気される。 As described above, the flow of the air a 2 directed upward from the region having a lower height than the top plate 41 is formed inside the chamber body 21, so that the air staying in the vicinity of the top plate 41 is in the upward direction. The air is drawn in by the air intake unit 22 and is drawn in by the flow of the air a 2 toward the air.

したがって、ロボットシステム１によれば、天板４１近傍で有害物質が発生する場合であっても、かかる有害物質を含んだ空気が天板４１近傍に滞留することを抑制することができるので、作業者を有害物質からより確実に保護することができる。 Therefore, according to the robot system 1, even when a harmful substance is generated in the vicinity of the top board 41, air containing the harmful substance can be prevented from staying in the vicinity of the top board 41. Can be protected more reliably from harmful substances.

なお、これまで、作業台４の天板４１が平坦な板体である場合について説明したが、天板４１としては、表裏を貫通する複数の貫通孔が形成されたものを用いることができる。次に、図４および図５を参照し、表裏を貫通する複数の貫通孔を備えた天板を設ける場合について説明する。 Heretofore, the case where the top plate 41 of the work table 4 is a flat plate has been described. However, as the top plate 41, one having a plurality of through holes penetrating the front and back can be used. Next, with reference to FIG. 4 and FIG. 5, the case where the top plate provided with the some through-hole which penetrates front and back is provided is demonstrated.

図４は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔４２ａを備える天板４２を示す上面視による説明図であり、図５は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔４２ａを備える天板４２の作用効果を示す説明図である。なお、図５には、図２に示す天板４１を複数の貫通孔４２ａが設けられた天板４２へ交換した場合の図２におけるＢ−Ｂ´線による断面を模式的に示している。 FIG. 4 is a top view illustrating the top plate 42 including the plurality of through holes 42a according to the first embodiment, and FIG. 5 is a top view including the plurality of through holes 42a according to the first embodiment. It is explanatory drawing which shows the effect of the board. FIG. 5 schematically shows a cross section taken along line BB ′ in FIG. 2 when the top plate 41 shown in FIG. 2 is replaced with a top plate 42 provided with a plurality of through holes 42a.

また、ここでは、図４および図５に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。 Here, among the components shown in FIGS. 4 and 5, the same components as those shown in FIGS. 1A and 1B are denoted by the same reference numerals as those shown in FIGS. 1A and 1B. Therefore, the description is omitted.

図４に示すように、天板４２は、表裏を貫通する複数の貫通孔４２ａが形成される。なお、かかる天板４２の外形は、図２に示す天板４１と同一であり、ロボット３の背面側を除く周囲を囲むように上面視Ｃ字形状に形成される。 As shown in FIG. 4, the top plate 42 has a plurality of through holes 42a penetrating the front and back. The outer shape of the top plate 42 is the same as the top plate 41 shown in FIG. 2, and is formed in a C shape when viewed from the top so as to surround the periphery of the robot 3 except for the back side.

かかる天板４２を設けることにより、ロボットシステム１では、図５に示すように、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気した場合、天板４２の貫通孔４２ａを通って天板４２の下面側から天板４２の上面側へ向かう空気ａ３の流れが形成される。 By providing such a top plate 42, in the robot system 1, as shown in FIG. 5, when the air inside the chamber body 21 is inhaled by the intake portion 22, the top plate 42 passes through the through hole 42 a of the top plate 42. A flow of air a3 from the lower surface side toward the upper surface side of the top plate 42 is formed.

したがって、かかる天板４２によれば、天板４２の上面で行われる作業によって有害物質が発生した場合に、有害物質を含んだ空気を天板４２の上面近傍から吸気部２２によって効率的に吸気させることで、作業者をより確実に有害物質から保護することができる。 Therefore, according to the top plate 42, when harmful substances are generated by the work performed on the top surface of the top plate 42, the air containing the harmful substances is efficiently sucked from the vicinity of the top surface of the top plate 42 by the intake unit 22. By doing so, the worker can be more reliably protected from harmful substances.

また、複数の貫通孔４２ａを備える天板４２を設ける場合、図５に示すように、天板４２は、裏面となる下面の高さ位置がチャンバ本体２１の開口部２ａにおける下側縁部よりも高い位置となるように配設される。 Further, when the top plate 42 having a plurality of through holes 42a is provided, as shown in FIG. 5, the top plate 42 has a lower surface that serves as a back surface, the height position of which is lower than the lower edge of the opening 2a of the chamber body 21. Are arranged so as to be higher.

これにより、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気させた状態で、扉２Ａを上昇させて開口部２ａを開放した場合、チャンバ本体２１外部の空気ａ４を天板４２の裏面となる下面よりも下側からチャンバ本体２１の内部へ導入させることができる。 Thus, when the door 2A is raised and the opening 2a is opened while the air inside the chamber main body 21 is sucked by the air intake portion 22, the air a4 outside the chamber main body 21 becomes the lower surface serving as the back surface of the top plate 42. It can be introduced into the chamber body 21 from below.

こうして、天板４２の下面よりも下側からチャンバ本体２１の内部へ導入される空気ａ４は、天板４２に設けられる複数の貫通孔４２ａを通って吸気部２２によって吸気される。このように、危険物質等が含まれていないチャンバ本体２１外部の空気ａ４を天板４２の下側から上側へ通過させることで、危険物質を含む可能性のある天板４２上面近傍の空気をより確実に吸気部２２によって吸気して排気させることができる。 Thus, the air a4 introduced into the chamber body 21 from the lower side of the lower surface of the top plate 42 is sucked by the intake portion 22 through the plurality of through holes 42a provided in the top plate 42. In this way, by passing the air a4 outside the chamber main body 21 that does not contain a dangerous substance or the like from the lower side to the upper side of the top plate 42, the air in the vicinity of the upper surface of the top plate 42 that may contain a dangerous substance can be obtained. Intake and exhaust can be performed more reliably by the intake unit 22.

また、天板４２に複数の貫通孔４２ａを設ける場合、各貫通孔４２ａは、天板４２における予め定められた位置に設けられる。これにより、ロボットシステム１では、作業で使用される器具の天板４２に対する予定配置位置の決定および予定配置位置のシミュレータ５２への入力を容易に行うことができる。次に、かかる点について、図６および図７を参照して説明する。 Moreover, when providing the several through-hole 42a in the top plate 42, each through-hole 42a is provided in the predetermined position in the top plate 42. As shown in FIG. As a result, the robot system 1 can easily determine the planned placement position of the instrument used in the work with respect to the top plate 42 and input the planned placement position to the simulator 52. Next, this point will be described with reference to FIGS.

図６は、第１の実施形態に係る天板４２へ配置される器具を示す説明図であり、図７は、第１の実施形態に係る天板４２へ器具を配置した場合の説明図である。天板４２の予め定められた位置に複数の貫通孔４２ａが設けられる場合、図６に示すように、例えば、試験管６０を立てる冶具６１等、作業で使用される器具の底面に貫通孔４２ａへ嵌合可能な突起状の嵌合部６が貫通孔４２ａへ嵌合可能な間隔で設けられる。 FIG. 6 is an explanatory diagram showing an instrument placed on the top plate 42 according to the first embodiment, and FIG. 7 is an explanatory diagram when the instrument is placed on the top plate 42 according to the first embodiment. is there. When a plurality of through holes 42a are provided at predetermined positions of the top plate 42, as shown in FIG. 6, for example, a through hole 42a is formed on the bottom surface of a tool used in the work, such as a jig 61 for standing the test tube 60. Protruding fitting portions 6 that can be fitted to each other are provided at intervals that can be fitted to the through holes 42a.

そして、例えば、冶具６１を天板４２へ配置する場合、図７に示すように、冶具６１の底面に設けられる嵌合部６を天板４２の貫通孔４２ａへ嵌合して配置する。なお、例えば、フラスコ６３のように、冶具６１を用いずに天板４２上へ配置される器具については、器具（ここでは、フラスコ６３）の底面に嵌合部６が直付けされる。 For example, when the jig 61 is arranged on the top plate 42, the fitting portion 6 provided on the bottom surface of the jig 61 is fitted into the through hole 42 a of the top plate 42 as shown in FIG. 7. Note that, for example, for an instrument arranged on the top plate 42 without using the jig 61, such as the flask 63, the fitting portion 6 is directly attached to the bottom surface of the instrument (here, the flask 63).

これにより、作業者は、各器具の嵌合部６を嵌合する貫通孔４２ａを決定することで、天板４２における器具の予定配置位置を容易に決定することができる。しかも、天板４２に設けられる各貫通孔４２ａの天板４２における位置が既知のため、作業者は、各器具の嵌合部６を嵌合する貫通孔４２ａの天板４２における位置を予定配置位置として容易、且つ、正確にシミュレータ５２へ入力することができる。 Thereby, the operator can determine easily the planned arrangement position of the instrument in the top plate 42 by determining the through-hole 42a which fits the fitting part 6 of each instrument. And since the position in the top plate 42 of each through-hole 42a provided in the top plate 42 is known, an operator schedules the position in the top plate 42 of the through-hole 42a which fits the fitting part 6 of each instrument. The position can be input to the simulator 52 easily and accurately.

また、作業で使用される各器具の底面に、貫通孔４２ａへ嵌合可能な嵌合部６が設けられることで、作業中に天板４２上で器具の位置ずれが生じることを防止することができる。したがって、器具の位置ずれによるロボット３の作業ミスを防止することができる。 Further, by providing the fitting portion 6 that can be fitted into the through hole 42a on the bottom surface of each instrument used in the work, it is possible to prevent the equipment from being displaced on the top plate 42 during the work. Can do. Therefore, it is possible to prevent an operation error of the robot 3 due to the displacement of the instrument.

次に、図８を参照し、作業台の変形例について説明する。図８は、第１の実施形態の変形例に係る作業台４ａを示す斜視による説明図である。図８に示すように、変形例に係る作業台４ａは、天板４３と、脚部４４とを備える。 Next, a modified example of the work table will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a perspective view illustrating a work table 4a according to a modification of the first embodiment. As shown in FIG. 8, the work table 4 a according to the modification includes a top plate 43 and leg portions 44.

天板４３は、図４に示す天板４２と同一の形状である。つまり、かかる天板４３は、ロボット３の背面側を除く周囲を囲む上面視Ｃ字形状の板体であり、予め定められた位置に複数の貫通孔４２ａが設けられる。 The top plate 43 has the same shape as the top plate 42 shown in FIG. That is, the top plate 43 is a C-shaped plate body in a top view surrounding the periphery excluding the back side of the robot 3, and a plurality of through holes 42a are provided at predetermined positions.

また、脚部４４は、チャンバ本体２１の内部に配設される場合に、ロボット３と対面する側の周縁部における中央部分から下方へ垂下する縦板部４５と、縦板部４５の下端に連設され、天板４３と平行な横板部４６とを備える。 Further, when the leg portion 44 is disposed inside the chamber body 21, the leg portion 44 is provided at the lower end of the vertical plate portion 45 and the vertical plate portion 45 that hangs downward from the central portion of the peripheral portion on the side facing the robot 3. It is provided with a horizontal plate portion 46 that is provided continuously and parallel to the top plate 43.

かかる作業台４ａは、チャンバ本体２１内部でロボット３が設置される設置台２４の上面に、脚部４４における横板部４６の下面が当接された状態で設置される。そして、作業台４ａを用いる場合、ロボット３は、基部３１の前面が脚部４４の横板部４６におけるロボット３側端部と当接された状態で設置される。 The work table 4 a is installed in a state where the lower surface of the horizontal plate portion 46 in the leg portion 44 is in contact with the upper surface of the installation table 24 on which the robot 3 is installed inside the chamber body 21. When the work table 4 a is used, the robot 3 is installed in a state where the front surface of the base portion 31 is in contact with the end portion on the side of the robot 3 in the horizontal plate portion 46 of the leg portion 44.

このように、作業台４ａおよびロボット３を設置台２４の上面に設置することで、脚部４４の寸法および天板４３の厚さに基づいて、設置台２４の上面から天板４３の上面までの高さＨと、ロボット３から天板４３までの距離Ｌとを正確に算出することができる。 Thus, by installing the work table 4 a and the robot 3 on the upper surface of the installation table 24, from the upper surface of the installation table 24 to the upper surface of the top plate 43 based on the dimensions of the legs 44 and the thickness of the top plate 43. And the distance L from the robot 3 to the top plate 43 can be accurately calculated.

したがって、かかる高さＨと距離Ｌとを予めシミュレータ５２へ記憶させておくことにより、シミュレータ５２は、ロボット３に対する各貫通孔４２ａの３次元的な相対位置をより正確に算出可能となるので、さらに正確な教示データを生成することができる。 Therefore, by storing the height H and the distance L in the simulator 52 in advance, the simulator 52 can calculate the three-dimensional relative position of each through hole 42a with respect to the robot 3 more accurately. Further, accurate teaching data can be generated.

上述してきたように、第１の実施形態に係るロボットシステム１によれば、チャンバ本体２１の内部においてロボット３が作業者に代わって作業を行うので、作業中に発生する有害物質から作業者をより確実に保護することができる。 As described above, according to the robot system 1 according to the first embodiment, the robot 3 performs work on behalf of the worker inside the chamber body 21, so that the worker can be removed from harmful substances generated during the work. It can protect more reliably.

また、ロボットシステム１は、チャンバ本体２１の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面側に設けられ、ロボット３の設置面よりも高い位置に天板４１がある作業台４を備える。これにより、ロボットシステム１によれば、天板４１上面近傍の空気を効率的に吸気部２２によって吸気して排気させることができる。 The robot system 1 includes a work table 4 provided on the wall surface side where the openings 2 a, 2 b, and 2 c of the chamber body 21 are provided and having a top plate 41 at a position higher than the installation surface of the robot 3. Thereby, according to the robot system 1, the air near the top surface of the top plate 41 can be efficiently sucked and exhausted by the suction portion 22.

（第２の実施形態）
次に、図９Ａを参照し、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａについて説明する。図９Ａは、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａを示す説明図である。ここで、図９Ａに示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。なお、図９Ａには、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。 (Second Embodiment)
Next, the robot system 1a according to the second embodiment will be described with reference to FIG. 9A. FIG. 9A is an explanatory diagram showing a robot system 1a according to the second embodiment. Here, among the constituent elements shown in FIG. 9A, the same constituent elements as those shown in FIG. 1A and FIG. 1B are given the same reference numerals as those shown in FIG. 1A and FIG. Omitted. FIG. 9A shows a state where the ceiling of the chamber body 21 is removed.

図９Ａに示すように、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａは、チャンバ本体２１が開口部２ｄおよび扉２Ｄを備える点、および、作業台４の天板４７の上面視による形状が図２に示すロボットシステム１とは異なる。 As shown in FIG. 9A, the robot system 1a according to the second embodiment has a shape in which the chamber body 21 includes an opening 2d and a door 2D, and the shape of the top plate 47 of the work table 4 as viewed from above. Is different from the robot system 1 shown in FIG.

具体的には、ロボットシステム１ａは、チャンバ本体２１におけるロボット３の背面側の壁面にも開口部２ｄと、この開口部２ｄを開閉可能な扉２Ｄをさらに備える。なお、かかる扉２Ｄは、他の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃと同様に、扉２Ｄの外部から扉２Ｄの内部を視認可能に構成される。 Specifically, the robot system 1a further includes an opening 2d on the wall surface on the back side of the robot 3 in the chamber body 21 and a door 2D that can open and close the opening 2d. In addition, this door 2D is comprised so that the inside of the door 2D can be visually recognized from the exterior of the door 2D similarly to the other doors 2A, 2B, and 2C.

したがって、ロボットシステム１ａによれば、例えば、チャンバ本体２１を室内の中央に設置することで、チャンバ本体２１の周囲全方向からロボット３による作業を確認することができる。 Therefore, according to the robot system 1a, for example, the operation by the robot 3 can be confirmed from all directions around the chamber body 21 by installing the chamber body 21 in the center of the room.

また、ロボットシステム１ａに設けられる天板４７は、上面視においてロボット３の全周囲をＯ字状に囲む形状に形成される。なお、かかる天板４７には、図４に示す天板４２と同様に、予め定められた位置に、複数の貫通孔４２ａが形成される。 The top plate 47 provided in the robot system 1a is formed in a shape surrounding the entire periphery of the robot 3 in an O shape when viewed from above. The top plate 47 is formed with a plurality of through holes 42a at predetermined positions, similarly to the top plate 42 shown in FIG.

かかるロボットシステム１ａによれば、チャンバ本体２１の内部で、ロボット３の全周囲をロボット３の作業領域として使用することができるため、作業効率を向上させることができる。 According to the robot system 1a, the entire periphery of the robot 3 can be used as the work area of the robot 3 inside the chamber body 21, so that work efficiency can be improved.

上述したように、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａによれば、ロボット３の全周囲をロボット３の作業領域として使用することで作業効率を向上させることができ、チャンバ本体２１の周囲全方向からロボット３による作業を確認することができる。 As described above, according to the robot system 1 a according to the second embodiment, the work efficiency can be improved by using the entire periphery of the robot 3 as the work area of the robot 3, and the entire periphery of the chamber body 21 can be improved. The operation by the robot 3 can be confirmed from the direction.

（第３の実施形態）
次に、図９Ｂを参照し、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂについて説明する。図９Ｂは、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂを示す説明図である。ここで、図９Ｂに示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。なお、図９Ｂには、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。 (Third embodiment)
Next, a robot system 1b according to a third embodiment will be described with reference to FIG. 9B. FIG. 9B is an explanatory diagram showing a robot system 1b according to the third embodiment. Here, among the components shown in FIG. 9B, the same components as those shown in FIG. 1A and FIG. 1B are given the same reference numerals as those shown in FIG. 1A and FIG. Omitted. FIG. 9B shows a state where the ceiling of the chamber body 21 is removed.

図９Ｂに示すように、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂは、チャンバ本体２１に開口部２ｃおよび扉２Ｃが設けられない点、および、作業台４の天板４８の上面視による形状が図２に示すロボットシステム１とは異なる。 As shown in FIG. 9B, the robot system 1b according to the third embodiment has a shape in which the opening 2c and the door 2C are not provided in the chamber body 21, and the shape of the top plate 48 of the work table 4 as viewed from above. It is different from the robot system 1 shown in FIG.

かかるロボットシステム１ｂに設けられる天板４８は、上面視において開口部２ａ、２ｂが設けられる壁面に沿ってロボット３の周囲をＬ字状に囲む形状に形成される。なお、かかる天板４８には、図４に示す天板４２と同様に、予め定められた位置に、複数の貫通孔４２ａが形成される。 The top plate 48 provided in the robot system 1b is formed in a shape surrounding the robot 3 in an L shape along a wall surface provided with the openings 2a and 2b in a top view. The top plate 48 has a plurality of through holes 42a at predetermined positions, similarly to the top plate 42 shown in FIG.

かかるロボットシステム１ｂによれば、例えば、チャンバ本体２１における開口部２ａ、２ｂが設けられない壁面を室内の壁面Ｗに当接させて配設することにより、チャンバ本体２１を室内の角に寄せて配設することができる。 According to such a robot system 1b, for example, the wall surface of the chamber main body 21 where the openings 2a and 2b are not provided is disposed in contact with the indoor wall surface W, thereby bringing the chamber main body 21 close to the corner of the room. It can be arranged.

上述したように、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂによれば、チャンバ本体２１を室内の角へ寄せて配設することができるので、室内の角部を有効利用することができる。 As described above, according to the robot system 1b according to the third embodiment, the chamber main body 21 can be arranged close to the corner of the room, so that the corner of the room can be used effectively.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications can be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

１、１ａ、１ｂロボットシステム
２ドラフトチャンバ
２１チャンバ本体
２２吸気部
２３排気ダクト
２４設置台
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ開口部
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ扉
３ロボット
３１基部
３２胴部
３３、３４腕部
３５ロボットハンド
４、４ａ作業台
４１、４２、４３、４７、４８天板
４２ａ貫通孔
４０、４４脚部
４５縦板部
４６横板部
５１ロボットコントローラ
５２シミュレータ
５２Ａ表示画面
５２Ｂ入力装置
６１冶具
６嵌合部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a, 1b Robot system 2 Draft chamber 21 Chamber main body 22 Intake part 23 Exhaust duct 24 Installation stand 2a, 2b, 2c, 2d Opening part 2A, 2B, 2C, 2D Door 3 Robot 31 Base 32 Trunk part 33, 34 Arm Part 35 Robot hand 4, 4a Work table 41, 42, 43, 47, 48 Top plate 42a Through hole 40, 44 Leg part 45 Vertical plate part 46 Horizontal plate part 51 Robot controller 52 Simulator 52A Display screen 52B Input device 61 Jig 6 Fitting portion

Claims

内部が作業空間となるチャンバ本体と、前記チャンバ本体の壁面に設けられる開口部を開閉可能な扉と、前記チャンバ本体の外部に設けられ、前記チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備えるドラフトチャンバと、
前記チャンバ本体内部に設置されて作業を行うロボットと、
前記開口部が設けられる前記壁面側に設けられ、前記ロボットの設置面よりも高い位置に天板がある作業台と
を備えることを特徴とするロボットシステム。 A chamber main body serving as a working space, a door capable of opening and closing an opening provided on a wall surface of the chamber main body, and an intake portion provided outside the chamber main body for sucking air inside the chamber main body A draft chamber;
A robot installed inside the chamber body for working;
A robot system comprising: a work table provided on the wall surface side where the opening is provided and having a top plate at a position higher than the installation surface of the robot.

前記天板は、
前記開口部が設けられる前記壁面と前記ロボットとの間に配設される
ことを特徴とする請求項１に記載のロボットシステム。 The top plate is
The robot system according to claim 1, wherein the robot system is disposed between the wall surface provided with the opening and the robot.

前記開口部は、
前記チャンバ本体の２以上の壁面に設けられる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のロボットシステム。 The opening is
The robot system according to claim 1, wherein the robot system is provided on two or more wall surfaces of the chamber body.

前記開口部は、
隣接される３つの壁面にそれぞれ設けられ、
前記天板は、
前記隣接される３つの壁面に沿って前記ロボットの周囲を上面視Ｃ字状に囲む形状に形成される
ことを特徴とする請求項３に記載のロボットシステム。 The opening is
Provided on each of the three adjacent walls,
The top plate is
The robot system according to claim 3, wherein the robot system is formed in a shape that surrounds the robot in a C-shape when viewed from above along the three adjacent wall surfaces.

前記天板は、
表裏を貫通する複数の貫通孔
を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のロボットシステム。 The top plate is
The robot system according to claim 1, further comprising a plurality of through holes penetrating the front and back surfaces.

前記天板は、
裏側の面の高さ位置が前記開口部における下側縁部よりも高い位置となるように配設され、
前記吸気部は、
前記天板における表側の面の高さ位置よりも高い位置から前記チャンバ本体内部の空気を吸気する
ことを特徴とする請求項５に記載のロボットシステム。 The top plate is
It is arranged so that the height position of the back side surface is higher than the lower edge of the opening,
The intake section is
The robot system according to claim 5, wherein the air inside the chamber body is sucked from a position higher than a height position of a front surface of the top plate.

前記複数の貫通孔は、
前記天板における予め定められた位置に設けられ、
前記作業で使用される器具は、
前記天板に対する設置面に、前記貫通孔へ嵌合可能な嵌合部
を備える
ことを特徴とする請求項５または請求項６に記載のロボットシステム。 The plurality of through holes are:
Provided at a predetermined position on the top plate,
The instrument used in the work is
The robot system according to claim 5, further comprising: a fitting portion that can be fitted into the through hole on an installation surface with respect to the top plate.