JP2014032102A - 信号処理装置及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は材料の種類やパターンの形状の変化等に因らず、適正な平滑化条件を設定する信号処理装置及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】
本発明は、荷電粒子線装置によって取得された検出信号に対し、平滑化処理を施す信号処理装置であって、平滑化処理の平滑化係数を変化させたときに得られる複数の信号波形を用いたパターン寸法の測定、或いはエッジ位置の検出を実行し、前記平滑化係数の変化前後のパターン寸法測定結果の差分又はエッジの検出位置の差分が、最小値となる平滑化係数、当該最小値に最も近接する値を示す平滑化係数、或いは所定値以下の平滑化係数を選択する信号処理装置、及び荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】図2
Description
102 電子銃
103 電子線
104 偏向器
105 試料
106 電子検出器
107 増幅器
108 制御信号
109 画像処理プロセッサ
110 制御用計算機
111 表示装置
112 入力手段
Claims (13)
- 荷電粒子線装置によって取得された検出信号に対し、平滑化処理を施す演算処理装置を備えた信号処理装置において、
当該演算処理装置は、平滑化処理の平滑化係数を変化させたときに得られる複数の信号波形を用いたパターン寸法の測定、或いはエッジ位置の検出を実行し、前記平滑化係数の変化前後のパターン寸法測定結果の差分又はエッジの検出位置の差分が、最小値となる平滑化係数、当該最小値に最も近接する値を示す平滑化係数、或いは所定値以下の平滑化係数を選択することを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記平滑化係数を一定の間隔で変化させながら、平滑化処理、およびエッジ位置を求める処理を行うことを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、平滑化係数変化前後におけるエッジ検出位置座標の変化が最小となる時の値を、平滑化係数とすることを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記平滑化係数を指標値として、前記検出信号に基づいて積算画像を形成するときのフレーム積算数を決定することを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記信号波形のピーク位置、及びボトム位置から前記平滑化係数を求めることを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記エッジ位置に関する情報、或いは前記パターン寸法の測定結果に関する情報と、前記平均化係数を関連付けて記憶媒体に記憶することを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、エッジ抽出処理で記憶したエッジ情報を、平滑化係数の昇順、または降順に読み出して、順番にエッジ検出位置の変化量を求めることを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記左エッジと右エッジの変化量の絶対値を、平滑化係数毎に加算し、全体の変化量を求めることを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、エッジ検出位置の変化量と、平滑化係数を軸とした点を、関数でカーブフィッティングし、極小値に最も近い整数値の平滑化係数を選択することを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記エッジ検出位置の変化量と、平滑化係数を軸とした点を、関数でカーブフィッティングした時に、極小値が平滑化係数1よりも小さい値の時に現れる場合、或いは二次関数の二次の係数が負の場合に、1を平滑化係数として選択することを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、左右のエッジ付近のラインプロファイルに別々の平滑化係数の平滑化処理を施すことを特徴とする信号処理装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、
前記平滑化係数が事前に指定した値、または事前に定めた閾値以下になるまで、原画像の積算と、平滑化係数算出処理を繰り返すことを特徴とする信号処理装置。 - 試料に対する荷電粒子線の照射によって得られる検出信号に基づいて、試料上に形成されたパターンを測定する演算処理装置を備えた荷電粒子線装置において、
当該演算処理装置は、平滑化処理の平滑化係数を変化させたときに得られる複数の信号波形を用いたパターン寸法の測定、或いはエッジ位置の検出を実行し、前記平滑化係数の変化前後のパターン寸法測定結果の差分又はエッジの検出位置の差分が、最小値となる平均化係数、当該最小値に最も近接する値を示す平均化係数、或いは所定値以下の平滑化係数を選択することを特徴とする荷電粒子線装置。
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