JP2014029957A - ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステージ装置の可動部の位置制御に有利な技術を提供する。
【解決手段】基板保持部が載置される可動部と、固定部に配置された第1コイルと、前記第1コイルに対向して前記可動部に配置された第1磁石とを含み、前記第1コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を移動させる駆動部と、前記基板を保持した前記基板保持部が前記可動部に載置された状態において、前記可動部が基準位置に位置するように、前記可動部を支持するばね要素と、前記固定部に配置された第1ヨークと、前記第1ヨークの周りに巻き付けられた第2コイルとを含み、前記第2コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を前記固定部側に引き付ける引付部と、を有し、前記引付部は、前記基板保持部の少なくとも一方が前記可動部から取り外された状態において、前記可動部が前記基準位置に位置するように、前記可動部を前記固定部側に引き付ける。
【選択図】図2
【解決手段】基板保持部が載置される可動部と、固定部に配置された第1コイルと、前記第1コイルに対向して前記可動部に配置された第1磁石とを含み、前記第1コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を移動させる駆動部と、前記基板を保持した前記基板保持部が前記可動部に載置された状態において、前記可動部が基準位置に位置するように、前記可動部を支持するばね要素と、前記固定部に配置された第1ヨークと、前記第1ヨークの周りに巻き付けられた第2コイルとを含み、前記第2コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を前記固定部側に引き付ける引付部と、を有し、前記引付部は、前記基板保持部の少なくとも一方が前記可動部から取り外された状態において、前記可動部が前記基準位置に位置するように、前記可動部を前記固定部側に引き付ける。
【選択図】図2
Description
本発明は、ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法に関する。
半導体デバイスや液晶デバイスの製造に用いられるリソグラフィ装置は、基板ステージに保持された基板を位置決めして、かかる基板にパターンを転写する処理(露光など)を行う。リソグラフィ装置では、基板に転写するパターンの微細化に伴い、基板ステージを粗動ステージと微動ステージとで構成することで、高精度な基板の位置決めを実現している。
基板ステージを構成する微動ステージは、一般に、固定部と、固定部の上に配置される可動部と、可動部を駆動する駆動部としてのリニアモータとを含む(特許文献1参照)。リニアモータは、優れた応答性や振動絶縁性を有しているが、力を発生した時(即ち、動作時)の発熱が大きいという欠点もある。従って、基板や可動部の重量はコイルばねなどのばね要素(弾性体)で支持し、リニアモータで支持しない(力を発生しない)ようにしている。
また、微動ステージでは、基板を保持するチャックが可動部の上に載置されている。従って、基板やチャックを交換する際など、基板やチャックを可動部から取り外すと、ばね要素が支持する重量が減少するため、ばね要素の力によって、可動部が上昇することになる。そこで、特許文献1では、上昇する可動部を突き当てて静止させるための(即ち、z軸方向の位置を規定するための)メカストッパーが微動ステージに設けられている。これは、ばね要素が可動部を上昇させる力を、例えば、可動部を駆動するリニアモータを用いて打ち消すと(即ち、ばね要素が可動部を上昇させる力を打ち消す力をリニアモータで発生させると)、リニアモータの発熱が問題となるからである。
しかしながら、従来技術のように、メカストッパーに突き当てて可動部を静止させる場合、メカストッパーと可動部との間には遊びが設けられているため、かかる可動部の姿勢、特に、z軸回りの回転方向(ωz方向)の位置の再現性が悪くなる。また、可動部の突き当ての繰り返しによるメカストッパーの摩耗も可動部の姿勢の再現性を悪くする要因となる。その結果、可動部にチャックを載置する際に、可動部とチャックとの正確な位置合わせが困難になってしまう。
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、ステージ装置の可動部の位置制御に有利な技術を提供することを例示的目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのステージ装置は、基板を保持するステージ装置であって、固定部と、前記固定部の上に配置され、前記基板を保持する基板保持部が載置される可動部と、前記固定部に配置された第1コイルと、前記第1コイルに対向して前記可動部に配置された第1磁石とを含み、前記第1コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を移動させる駆動部と、前記基板を保持した前記基板保持部が前記可動部に載置された状態において、前記可動部が基準位置に位置するように、前記可動部を支持するばね要素と、前記固定部に配置された第1ヨークと、前記第1ヨークの周りに巻き付けられた第2コイルとを含み、前記第2コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を前記固定部側に引き付ける引付部と、を有し、前記引付部は、前記基板及び前記基板保持部の少なくとも一方が前記可動部から取り外された状態において、前記可動部が前記基準位置に位置するように、前記可動部を前記固定部側に引き付けることを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、ステージ装置の可動部の位置制御に有利な技術を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の一側面としてのリソグラフィ装置1の構成を示す概略図である。リソグラフィ装置1は、基板の上にパターンを転写する装置であって、本実施形態では、荷電粒子線(電子線)を用いて基板の上にパターンを描画する描画装置として具現化される。但し、リソグラフィ装置1は、描画装置に限定されるものではなく、インプリント装置や露光装置であってもよい。ここで、インプリント装置とは、基板の上の樹脂とモールド(型)とを接触させた状態で樹脂を硬化させ、硬化した樹脂からモールドを剥離することで基板の上にパターンを転写する装置である。また、露光装置とは、レチクル(マスク)のパターンを投影光学系によって基板に投影することで基板の上にパターンを転写する装置である。
リソグラフィ装置1は、荷電粒子光学系10と、基板STを保持して移動するステージ装置20と、計測部30と、制御部40とを有する。リソグラフィ装置1では、荷電粒子線によるパターンの描画を真空雰囲気で行うために、荷電粒子光学系10、ステージ装置20及び計測部30が真空チャンバ50に収納されている。
荷電粒子光学系10は、例えば、荷電粒子レンズ(静電レンズ)、コリメータレンズ、アパーチャアレイ、ブランカーアレイ、ストッピングアパーチャアレイ、ディフレクターなどを含む。荷電粒子光学系10は、荷電粒子源(不図示)からの荷電粒子線を基板STに導いて、基板STの上にパターンを描画する。このように、荷電粒子光学系10は、基板STの上にパターンを転写する転写処理を行う処理部としての側面を有する。
ステージ装置20は、微動ステージ220と、粗動ステージ240とで構成される。微動ステージ220は、基板STのZ軸回りの回転を補正する機能、基板STのZ軸方向の位置を補正する機能、及び、基板STの傾きを補正する機能を有する。微動ステージ220は、基板STをX軸方向及びY軸方向の所定の位置に位置決めするための粗動ステージ240に配置されている。また、粗動ステージ240は、ベース定盤(不図示)に載置されている。
図2は、微動ステージ220の構成を示す概略図である。微動ステージ220は、粗動ステージ240の上に固定される固定部221と、固定部221の上に配置され、基板STを保持する基板保持部として機能するチャック60が載置される可動部222とを有する。また、微動ステージ220は、可動部222を移動させる駆動部223と、可動部222を支持するばね要素224と、可動部222を固定部側に引き付ける引付部225とを有する。なお、可動部222には、可動部222の位置を計測する際に使用される参照ミラー(不図示)が取り付けられている。
駆動部223は、固定部221に配置された第1コイル223aと、第1コイル223aに対向して可動部222に配置された第1磁石223bと、第1磁石223bとともに可動部222に配置された第2ヨーク223cとを含む。駆動部223は、第1コイル223aに電流を流すことで発生する磁界によって可動部222を移動させるリニアモータを構成する。リソグラフィ装置1では、制御部40の制御下において、駆動部223を介して、固定部221に対して可動部222の6軸の位置制御が可能となっている。
ばね要素224は、基板STを保持(吸着)したチャック60が可動部222に載置された状態において、可動部222が基準位置に位置するように、可動部222(基板ST及びチャック60)を支持する弾性体である。ばね要素224は、可動部222、基板ST及びチャック60に作用する重力(Z軸方向の力)につり合う力を可動部222に与える。従って、基板STの上にパターンを描画する際には、駆動部223は、可動部222の位置制御のみを行えばよく、可動部222、基板ST及びチャック60を支持する必要がない(Z軸方向に力を発生させる必要がない)ため、発熱を抑えることができる。
引付部225は、駆動部223とは別に設けられ、固定部221に配置された第1ヨーク225aと、第1ヨーク225aの周りに巻き付けられた第2コイル225bとを含む。本実施形態では、第1ヨーク225aは、第2ヨーク223cに対向して配置されているが、これに限定されるものではない。引付部225は、第2コイル225bに電流を流すことで発生する磁界によって可動部222を固定部側に引き付ける電磁石を構成する。具体的には、引付部225は、基板ST及び基板保持部60の少なくとも一方が可動部222から取り外された状態において、可動部222が基準位置に位置するように、可動部222を固定部側に引き付ける。
図1に戻って、計測部30は、可動部222の位置を計測する。例えば、計測部30は、可動部222に取り付けられた参照ミラーを用いて可動部222のX軸方向及びY軸方向の位置を計測するレーザ干渉計や可動部222のZ軸方向の位置を計測する静電容量センサなどを含む。
制御部40は、CPUやメモリなどを含み、リソグラフィ装置1の全体(動作)を制御する。制御部40は、本実施形態では、駆動部223の動作及び引付部225の動作のそれぞれを制御する。制御部40は、計測部30で計測された可動部222の位置に基づいて可動部222を位置決めする際には(即ち、基板STの上にパターンを描画する際には)、引付部225を動作させずに、駆動部223のみを動作させる。一方、制御部40は、基板STへのパターンの描画が終了し、基板STやチャック60を交換する際、即ち、基板ST及びチャック60の少なくとも一方が可動部222から取り外された際には、引付部225を動作させる。この際、制御部40は、駆動部223による可動部226のZ軸方向の位置制御が行われないように、駆動部223の動作を制御する。但し、駆動部223による可動部226のX軸方向及びY軸方向の位置制御は行われてもよい。
ここで、リソグラフィ装置1の動作、特に、基板STやチャック60を交換する際の動作について説明する。かかる動作は、上述したように、制御部40がリソグラフィ装置1の各部(特に、駆動部223や引付部225)を統括的に制御することで行われる。
リソグラフィ装置1において、微動ステージ220に保持された基板ST(具体的には、基板STを保持したチャック60が可動部222に載置されている)に対して、荷電粒子光学系10を介して荷電粒子線を導き、基板STにパターンを描画する。この際、可動部222の位置が計測部30によって計測され、制御部40は、かかる計測結果に基づいて、可動部222(の上の基板ST)が所定の位置に位置決めされるように、駆動部223を動作させる。制御部40は、第1コイル223aに電流を流すことによって駆動部223を動作させることができる。一方、制御部40は、基板STにパターンを描画する際には、引付部225を動作させない。
基板STに対するパターンの描画が終了すると、交換ハンド(不図示)によって、基板ST(パターンが描画された基板)を保持したチャック60が微動ステージ220(可動部222)から取り外される。この際、制御部40は、駆動部223の動作を停止させ、引付部225を動作させる。具体的には、引付部225において、第2コイル225bに電流を流し、第1ヨーク225aと第2ヨーク223cとの間に、基板ST及びチャック60に作用する重力に等しい力を発生させる。換言すれば、基板ST及びチャック60を微動ステージ220から取り外しても、可動部222が上昇しないように、即ち、ばね要素224による可動部22を上昇させようとする力とつり合うように、引付部225で力を発生させる。これにより、基板ST及びチャック60を微動ステージ220から取り外した場合であっても、可動部222が上昇したりすることなく、可動部222を基準位置に位置させることができる。なお、微動ステージ220から取り外された基板ST及びチャック60は、後工程の処理を施すために、リソグラフィ装置1から搬出される。
次に、交換ハンド(不図示)によって、パターンを描画すべき基板ST(即ち、新たな基板ST)を保持したチャック60が微動ステージ220(可動部222)に載置される。この際、制御部40は、引付部225の動作を停止させる。具体的には、第2コイル225bに流していた電流をゼロにして、引付部225によって第1ヨーク225aと第2ヨーク223cとの間に発生させていた力をゼロにする。これにより、可動部222、基板ST及びチャック60に作用する重力とばね要素224が可動部222に与える力とがつり合うことになる。従って、基板ST及びチャック60を微動ステージ220に載置した際に、可動部222が下降したりすることなく、可動部222を基準位置に位置させることができる。また、制御部40は、引付部225の動作を停止させるとともに、駆動部223を動作させて、計測部30の計測結果に基づく可動部222の6軸の位置制御を開始する。
このように、本実施形態のリソグラフィ装置1では、基板STやチャック60が微動ステージ220から取り外された際に、ばね要素224による可動部222を上昇させる力を引付部225が発生する力によって打ち消している。これにより、リソグラフィ装置1は、メカストッパーなどを用いることなく、可動部222を再現性よく、基準位置に高精度に位置させることができる。従って、リソグラフィ装置1は、可動部222にチャック60を載置する際に、可動部222とチャック60との位置合わせが高精度に行われる。
また、本実施形態では、引付部225が可動部222を固定部側に引き付ける際に、第2ヨーク223cを引き付ける(即ち、引付部225による引き付けの対象を第2ヨーク223cとする)ようにしている。これにより、可動部222に新たな引付部225による引き付けの対象を配置する必要がなく、可動部222の重量の増加を抑えている。従って、可動部222の6軸の位置制御の際に必要となる駆動部223の力を増加させることなく、駆動部223を構成するリニアモータでの発熱の増加を防止することができる。
更に、引付部225を構成する電磁石が力を発生した時の発熱は、駆動部223を構成するリニアモータが力を発生した時の発熱よりも十分に小さい。従って、リソグラフィ装置1では、ばね要素224による可動部222を上昇させる力を駆動部223が発生する力によって打ち消す場合と比較して、発熱量を抑えることもできる。
本実施形態のリソグラフィ装置1は、高いスループットで経済性よく高品位な半導体デバイス、LCD素子、撮像素子(CCDなど)、薄膜磁気ヘッドなどの物品を提供することができる。物品としてのデバイスの製造方法は、リソグラフィ装置1を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)にパターンを転写するステップを含む。かかる製造方法は、パターンが転写された基板を加工(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)するステップを更に含む。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、本実施形態では、可動部222に載置された基板ST及びチャック60は、かかる基板STに対するパターンの描画が終了するたびに交換されるものとしている。但し、チャック60は交換せずに、基板STのみを交換するようにしてもよい。この場合、引付部225が基板STに作用する重力に相当する力を発生するように制御すればよい。
Claims (8)
- 基板を保持するステージ装置であって、
固定部と、
前記固定部の上に配置され、前記基板を保持する基板保持部が載置される可動部と、
前記固定部に配置された第1コイルと、前記第1コイルに対向して前記可動部に配置された第1磁石とを含み、前記第1コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を移動させる駆動部と、
前記基板を保持した前記基板保持部が前記可動部に載置された状態において、前記可動部が基準位置に位置するように、前記可動部を支持するばね要素と、
前記固定部に配置された第1ヨークと、前記第1ヨークの周りに巻き付けられた第2コイルとを含み、前記第2コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記可動部を前記固定部側に引き付ける引付部と、を有し、
前記引付部は、前記基板及び前記基板保持部の少なくとも一方が前記可動部から取り外された状態において、前記可動部が前記基準位置に位置するように、前記可動部を前記固定部側に引き付けることを特徴とするステージ装置。 - 前記可動部の位置を計測する計測部と、
前記駆動部の動作及び前記引付部の動作のそれぞれを制御する制御部と、を更に有し、
前記制御部は、
前記計測部で計測された位置に基づいて前記可動部を位置決めする際には、前記引付部を動作させずに、前記駆動部のみを動作させ、
前記基板及び前記基板保持部の少なくとも一方が前記可動部から取り外された際には、前記引付部を動作させることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記駆動部は、前記第1磁石とともに前記可動部に配置された第2ヨークを含み、
前記引付部は、前記第2コイルに電流を流すことで発生する磁界によって前記第2ヨークを引き付けることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。 - リソグラフィ装置であって、
基板を保持するステージと、
前記ステージ装置に保持された前記基板の上にパターンを転写する転写処理を行う処理部と、を有し、
前記ステージは、請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のステージ装置を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記転写処理は、前記基板の上の樹脂とモールドとを接触させた状態で当該樹脂を硬化させ、硬化した樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板の上に前記パターンを転写する処理であることを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 前記転写処理は、前記基板に荷電粒子線で描画を行うことで前記基板の上に前記パターンを転写する処理であることを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 前記転写処理は、前記基板にレチクルのパターンを投影光学系によって投影することで前記基板の上に前記パターンを転写する処理であることを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項4乃至7のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板の上にパターンを転写するステップと、
前記パターンが転写された前記基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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