JP2014029286A - 低熱膨張インターポーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】 インターポーザに反り防止効果を有する低熱膨張基板と、狭ピッチを実現するオーガニック基板を効果的に積層して形成された低熱膨張インターポーザを提供する。
【解決手段】 低熱膨張インターポーザ1は、プローブカード基板3と半導体デバイス2aとの間に介在させて電気的接続を媒介し、半導体デバイス2a側から順に第1段FUN−OUT有機基板1a、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b、第2段FAN−OUT有機基板1c、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1dを積層して形成され、第1段FUN−OUT有機基板1aには、プローブ針1abが取り付けられ、100〜150μmのピッチで配列され、0.5mmピッチ迄にファンアウトされ、次に、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b内では、配線は0.5mmピッチのままで、第2段FUN−OUT有機基板1c内では、配線は1mmピッチにファンアウトされる。
【選択図】図1
【解決手段】 低熱膨張インターポーザ1は、プローブカード基板3と半導体デバイス2aとの間に介在させて電気的接続を媒介し、半導体デバイス2a側から順に第1段FUN−OUT有機基板1a、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b、第2段FAN−OUT有機基板1c、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1dを積層して形成され、第1段FUN−OUT有機基板1aには、プローブ針1abが取り付けられ、100〜150μmのピッチで配列され、0.5mmピッチ迄にファンアウトされ、次に、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b内では、配線は0.5mmピッチのままで、第2段FUN−OUT有機基板1c内では、配線は1mmピッチにファンアウトされる。
【選択図】図1
Description
本発明は、液晶パネル、タッチパネル式のタブレット、カメラモジュール、およびIC・LSI等の多電極半導体デバイスの検査用または実装用のインターポーザに係り、特にインターポーザとして、反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板とを効果的に積層して形成された低熱膨張インターポーザに関する。
液晶パネル、タッチパネル式のタブレット、カメラモジュール、およびIC・LSI等の半導体デバイスには、その縁辺配列およびエリア配列された多数の端子電極(以下、単に「電極」と略す)を設けている。
このようなデバイスは製造中の検査工程において、単品ごとの動作試験等が行われ、大量生産品から不良品を排除するように品質管理される。
このようなデバイスは製造中の検査工程において、単品ごとの動作試験等が行われ、大量生産品から不良品を排除するように品質管理される。
従来これらのデバイスを単品で動作試験するためには、そのデバイスを動作させる駆動回路と、検査に固有の信号処理回路、測定手段、および合否判定表示手段等を組み合わせた検査装置を用意する。検査段階では、その検査装置と被検査デバイスとの電気的導通を検査し、検査後は導通を解除するとともに検査装置から被検査デバイスを取り外して検査終了し、出荷等に供する。プローブカード基板には、デバイスの微細な電極の配置およびピッチ(以下、「電極配置」ともいう)に対応する多数のプローブ針が配置され、これを検査位置に送られてきたデバイスの各電極に接触させ、プローブカード基板により測定手段とデバイスの導通を検査するようにしたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
図3は、従来の低熱膨張インターポーザ101を示す断面図である。図3に示すように、従来の低熱膨張インターポーザ101はウエハ側から第1の低CTE材105、ファンアウトの有機基板106、および第2の低CTE材107から構成されている。すなわち、有機基板106を低CTE材105および低CTE材107でサンドイッチ構成して、有機基板の熱変形を抑制している。このように有機基板の両側に熱変形率の小さい低CTE材を設けてサンドイッチしているためインターポーザの変形が防止される。一般的には、インターポーザが熱変形で反っていると、インターポーザの電極をウエハ上の半田ボールと接触させる際に、ウエハとインターポーザとの平行精度が出し難い。そのため、インターポーザがウエハに干渉しないようにするにはかなりの時間をかけて平行出しなどの調整をする必要があった。この従来の実施形態の低熱膨張インターポーザ101もその点を考慮して、ピッチファンアウト可能な有機基板を低熱膨張インターポーザ101によって上下で挟んでインターポーザの変形を防止しているが、さらに狭ピッチ対応の低熱膨張インターポーザが必要とされている。
しかしながら、このように、液晶パネル、タッチパネル式のタブレット、カメラモジュール、およびIC・LSI等の半導体デバイスを検査する場合、これらの半導体デバイスは微細化が進むとプロービングのZストロークを確保するのが益々厳しくなっている上に、狭ピッチ化が益々進み、インターポーザは、半導体デバイスの電極との電気的接続時に接触不良を出さないように確実なコンタクトを行う必要があり、このような接触信頼性を確保してプロービングするインターポーザを用いる必要があった。
本発明は、前記課題を解決するために創案されたものであり、インターポーザに反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板を効果的に積層して形成された低熱膨張インターポーザを提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために創案されたものであり、インターポーザに反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板を効果的に積層して形成された低熱膨張インターポーザを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明の低熱膨張インターポーザは、検査対象であるウエハ上に形成された半導体デバイスをLSIテスタに接続して動作試験を行うプローブカード基板と前記半導体デバイスとの間に介在させて電気的接続を媒介する低熱膨張インターポーザであって、
前記低熱膨張インターポーザは、この低熱膨張インターポーザの前記半導体デバイス側から順に第1段FUN−OUT有機基板、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板、第2段FAN−OUT有機基板、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板を積層して形成され、
前記低熱膨張インターポーザの前記半導体デバイス側にはこの半導体デバイスの電極の配置に対応する第1の電極端子と、前記低熱膨張インターポーザの前記プローブカード基板側にはこのプローブカード基板の電極の配置に対応する第2の電極端子と、を備え、
前記第1の電極端子と前記第2の電極端子との間が電気的に導通することを特徴とする。
前記低熱膨張インターポーザは、この低熱膨張インターポーザの前記半導体デバイス側から順に第1段FUN−OUT有機基板、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板、第2段FAN−OUT有機基板、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板を積層して形成され、
前記低熱膨張インターポーザの前記半導体デバイス側にはこの半導体デバイスの電極の配置に対応する第1の電極端子と、前記低熱膨張インターポーザの前記プローブカード基板側にはこのプローブカード基板の電極の配置に対応する第2の電極端子と、を備え、
前記第1の電極端子と前記第2の電極端子との間が電気的に導通することを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の低熱膨張インターポーザであって、前記第1の電極端子にはプローブ針を設けることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の低熱膨張インターポーザであって、前記第1の電極端子には途中にくの字状の伸縮用の曲部を備えた垂直ピン状のプローブ針を設けることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の低熱膨張インターポーザであって、前記第2の電極端子にはスパイラルコンタクタを設けることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の低熱膨張インターポーザであって、前記第1の電極端子はランド状に形成されていることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の低熱膨張インターポーザであって、前記第2の電極端子はランド状に形成されていることを特徴とする。
請求項1に係る発明によれば、低熱膨張インターポーザは、半導体デバイス側から順に第1段FUN−OUT有機基板、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板、第2段FAN−OUT有機基板、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板を積層して形成されているので、インターポーザとして、反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板とを効果的に積層している。すなわち、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板と第2段上下接続低熱膨張セラミック基板との2層で熱膨張による変形を防止して、第1段FUN−OUT有機基板と第2段FUN−OUT有機基板との2層で100〜150μmの狭ピッチを実現することができる。
請求項2に係る発明によれば、低熱膨張インターポーザの第1の電極端子にプローブ針を設けることによって、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。
請求項3に係る発明によれば、プローブ針として、途中にくの字状の伸縮用の曲部を備えた垂直ピンを設けることによって、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。
請求項4に係る発明によれば、低熱膨張インターポーザの第2の電極端子にスパイラルコンタクタを設けることによって、半導体デバイスの反りを吸収すると共に、低い接触荷重でありながら安定したコンタクトを実現でき、さらなる多ピン化にも対応可能であり、さらに、金属間接合で取り付けるのに優れている低熱膨張インターポーザを実現できる。
請求項5に係る発明によれば、低熱膨張インターポーザの第1の電極端子をランド状に形成することによって、プローブ針を交換可能に精度良く取り付けることができ、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。
請求項6に係る発明によれば、低熱膨張インターポーザの第2の電極端子をランド状に形成することによって、スパイラルコンタクタを交換可能に精度良く取り付けることができ、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。
以下、本発明に係る低熱膨張インターポーザの実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態の構成を説明するための概略図であり、(a)は全体概略を示す断面図、(b)は(a)に示すB部の拡大断面図である。
図1の(a)(b)に示すように、低熱膨張インターポーザ1は、検査対象であるウエハ2上に形成された半導体デバイス2aの動作試験を行うLSIテスタ(図略)に接続して用いるプローブカード基板3と、半導体デバイス2aと、の間に介在させて電気的接続を媒介する。この低熱膨張インターポーザ1は、半導体デバイス2a側から順に第1段FUN−OUT有機基板1a、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b、第2段FAN−OUT有機基板1c、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1dを積層して形成されている。また、低熱膨張インターポーザ1の半導体デバイス2a側には、この半導体デバイス2aの複数の電極の配置に対応して第1の電極端子1aaが複数設けられ、また、低熱膨張インターポーザ1のプローブカード基板3側にはこのプローブカード基板3の複数の電極の配置に対応して第2の電極端子1daが複数設けられている。このように半導体デバイス2a側の第1の電極端子1aaと、プローブカード基板3側の第2の電極端子1daとの間が電気的に導通するようになっている。
図1は、本発明の実施形態の構成を説明するための概略図であり、(a)は全体概略を示す断面図、(b)は(a)に示すB部の拡大断面図である。
図1の(a)(b)に示すように、低熱膨張インターポーザ1は、検査対象であるウエハ2上に形成された半導体デバイス2aの動作試験を行うLSIテスタ(図略)に接続して用いるプローブカード基板3と、半導体デバイス2aと、の間に介在させて電気的接続を媒介する。この低熱膨張インターポーザ1は、半導体デバイス2a側から順に第1段FUN−OUT有機基板1a、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b、第2段FAN−OUT有機基板1c、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1dを積層して形成されている。また、低熱膨張インターポーザ1の半導体デバイス2a側には、この半導体デバイス2aの複数の電極の配置に対応して第1の電極端子1aaが複数設けられ、また、低熱膨張インターポーザ1のプローブカード基板3側にはこのプローブカード基板3の複数の電極の配置に対応して第2の電極端子1daが複数設けられている。このように半導体デバイス2a側の第1の電極端子1aaと、プローブカード基板3側の第2の電極端子1daとの間が電気的に導通するようになっている。
さらに詳細には、この低熱膨張インターポーザ1の第1段FUN−OUT有機基板1aの第1の電極端子1aaには、プローブ針1abが取り付けられる。半導体デバイス2aの電極パッド2aaに対応して複数設けられた第1の電極端子1aaは100〜150μmのピッチで配列されている。この第1段FUN−OUT有機基板1aは多層基板であり、この第1段FUN−OUT有機基板1a内に、100〜150μmピッチで配列された第1の電極端子1aaから配線がビア構造などによって0.5mmピッチ迄にファンアウトされる。
そして、このファンアウトされた0.5mmピッチの配線は、第1段FUN−OUT有機基板1a上に積層された第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1bに引き継がれる。この第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b内では、配線は0.5mmピッチのまま、電気的な導通を備えてスルーホール1bbによって垂直に配設されている。
さらに、この0.5mmピッチの配線は、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板1b上に積層された第2段FUN−OUT有機基板1cに配線が引き継がれる。この第2段FUN−OUT有機基板1c内では、配線は1mmピッチにファンアウトされている。
次に、このファンアウトされた1mmピッチの配線は、第2段FUN−OUT有機基板1c上に積層された第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1dに導電性と共に引き継がれる。この第2段上下接続低熱膨張セラミック基板1d内では、配線は1mmピッチのまま、電気的な導通を備えてスルーホール1dbによって垂直に配設されている。そして、このスルーホール1dbの端部に前記した第2の電極端子1daが設けられている。
そして、この第2の電極端子1daに設けられたスパイラルコンタクタ1dd(図2参照)がプローブカード基板3の電極パッド3aに接続され、プローブカード基板3に接続されたLSIテスタによって、検査対象であるウエハ2上に形成された半導体デバイス2aの動作試験が行われる。
また、低熱膨張インターポーザ1の半導体デバイス2a側の第1段FUN−OUT有機基板1aに設けられているランド状に形成された複数の第1の電極端子1aaには、プローブ針1abがそれぞれ取り付けられる。このプローブ針1abを垂直ピン状にすることによって、狭ピッチを実現するのに有利である。また、この垂直ピン状のプローブ針1abは、垂直ピンの途中にくの字状の伸縮用の屈曲部1abaが設けられ、狭ピッチで配列されている。この垂直ピン状のプローブ針1abの先端が半導体デバイス2aの電極パッド2aaに押し当てられると、隣接して狭ピッチに配列されたプローブ針1abの途中に設けられたくの字状の屈曲部1abaが互いに収縮することによって狭ピッチかつ精度良い電気的接触が得られる。この伸縮用の曲部を備えたプローブ針1abはバーチカルプローブと称し、垂直方向(長手方向)に沿って屈曲部1abaを有し、極小狭ピッチに対応して用いられる。この屈曲部1abaは、バーチカルプローブを伸縮させる方向であるバーチカルプローブの長手方向を垂直方向と称したとき、この垂直方向に対して直角な水平方向に突出して屈曲している。そして、このプローブ針1abは、セラミック材で形成されたプローブヘッド4またはガイド壁4aで支持されて半導体デバイス2aの検査・測定に用いられる。
これによれば、低熱膨張インターポーザは、半導体デバイス側から順に第1段FUN−OUT有機基板、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板、第2段FAN−OUT有機基板、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板を積層して形成されているので、インターポーザに反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板を効果的に積層している。すなわち、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板と第2段上下接続低熱膨張セラミック基板との2層で熱膨張による変形を防止して、第1段FUN−OUT有機基板と第2段FUN−OUT有機基板との2層で150μm以下の狭ピッチをも実現することができる。
また、低熱膨張インターポーザのランド状に形成された第1の電極端子にはプローブ針を設けることによって、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。さらに、このプローブ針として、途中にくの字状の伸縮用の曲部を備えた垂直ピンを設けることによって、反り防止効果と狭ピッチを併せ持った高精度のインターポーザを実現できる。
さらに、有機基板と低熱膨張材との貼り合せによって強度がアップし、低温および高温でのコンタクト荷重による反りや熱応力による反りが低減され、さらに、DUTに近い第1段FUN−OUT有機基板内に電源やGNDを備えることによってパスコン搭載を可能にしノイズ対策がなされても良い。
さらに、有機基板と低熱膨張材との貼り合せによって強度がアップし、低温および高温でのコンタクト荷重による反りや熱応力による反りが低減され、さらに、DUTに近い第1段FUN−OUT有機基板内に電源やGNDを備えることによってパスコン搭載を可能にしノイズ対策がなされても良い。
図2は、本発明の実施形態に係る低熱膨張インターポーザの構成を説明するための断面図である。
図2に示すように、低熱膨張インターポーザ1のプローブカード基板3側において、ランド状に形成された第2の電極端子1daにはスパイラルコンタクタ1ddが設けられている。
低熱膨張インターポーザ1である新インターポーザの概念として、第2の電極端子1daにスパイラルコンタクタ1ddを設けることによって、PC基板とインターポーザをスパイラルコンタクト金属間接合させて着脱可能化を実現し、これによって納期短縮およびメンテナンスが容易になっている。また、プローブ針として用いることによって、半導体デバイスの反りを吸収すると共に、低い接触荷重でありながら安定したコンタクトを実現できる。そのため、さらなる多ピン化にも対応可能である。
図2に示すように、低熱膨張インターポーザ1のプローブカード基板3側において、ランド状に形成された第2の電極端子1daにはスパイラルコンタクタ1ddが設けられている。
低熱膨張インターポーザ1である新インターポーザの概念として、第2の電極端子1daにスパイラルコンタクタ1ddを設けることによって、PC基板とインターポーザをスパイラルコンタクト金属間接合させて着脱可能化を実現し、これによって納期短縮およびメンテナンスが容易になっている。また、プローブ針として用いることによって、半導体デバイスの反りを吸収すると共に、低い接触荷重でありながら安定したコンタクトを実現できる。そのため、さらなる多ピン化にも対応可能である。
以上、好ましい実施の形態を説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱することの無い範囲内において適宜変更が可能なものである。例えば、プローブ針やスパイラルコンタクタを接続する電極をランド状に形成された電極端子として説明したが、ランド状に限るものではなく、プローブ針やスパイラルコンタクタを接続することができる形状であれば構わない。低熱膨張セラミック材に貫通孔を設けてその内部に導電性材が埋め込まれて形成されても構わない。また、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板は必ずしもセラミック材に限定するものではなく、他の低熱膨張材であっても構わない。
本発明は、液晶パネル、タッチパネル式のタブレット、カメラモジュール、およびIC・LSI等の多電極半導体デバイスの検査用または実装用のインターポーザに係り、特にインターポーザに反り防止効果を有する低熱膨張セラミック材と、狭ピッチを実現するオーガニック基板を効果的に積層して形成された低熱膨張インターポーザに適用される。
1 低熱膨張インターポーザ
1a 第1段FUN−OUT有機基板
1aa 第1の電極端子
1ab プローブ針
1b 第1段上下接続低熱膨張セラミック基板
1bb スルーホール
1c 第2段FUN−OUT有機基板
1d 第2段上下接続低熱膨張セラミック基板
1da 第2の電極端子
1db スルーホール
1dd スパイラルコンタクタ
2 ウエハ
2a 半導体デバイス
2aa 電極パッド
2b ダイシングエリア
3 プローブカード基板
3a 電極パッド
4 プローブヘッド
4a ガイド壁
1a 第1段FUN−OUT有機基板
1aa 第1の電極端子
1ab プローブ針
1b 第1段上下接続低熱膨張セラミック基板
1bb スルーホール
1c 第2段FUN−OUT有機基板
1d 第2段上下接続低熱膨張セラミック基板
1da 第2の電極端子
1db スルーホール
1dd スパイラルコンタクタ
2 ウエハ
2a 半導体デバイス
2aa 電極パッド
2b ダイシングエリア
3 プローブカード基板
3a 電極パッド
4 プローブヘッド
4a ガイド壁
Claims (6)
- 検査対象であるウエハ上に形成された半導体デバイスの動作試験を行うLSIテスタに接続して用いるプローブカード基板と、前記半導体デバイスと、の間に介在させて電気的接続を媒介する低熱膨張インターポーザであって、
前記低熱膨張インターポーザは、前記半導体デバイス側から順に第1段FUN−OUT有機基板、第1段上下接続低熱膨張セラミック基板、第2段FAN−OUT有機基板、および第2段上下接続低熱膨張セラミック基板を積層して形成され、
前記低熱膨張インターポーザの前記半導体デバイス側にはこの半導体デバイスの電極の配置に対応する第1の電極端子と、前記低熱膨張インターポーザの前記プローブカード基板側にはこのプローブカード基板の電極の配置に対応する第2の電極端子と、を備え、
前記第1の電極端子と前記第2の電極端子との間が電気的に導通することを特徴とする低熱膨張インターポーザ。 - 前記第1の電極端子にはプローブ針を設けることを特徴とする請求項1に記載の低熱膨張インターポーザ。
- 前記第1の電極端子には途中にくの字状の伸縮用の曲部を備えた垂直ピン状のプローブ針を設けることを特徴とする請求項1に記載の低熱膨張インターポーザ。
- 前記第2の電極端子にはスパイラルコンタクタを設けることを特徴とする請求項1に記載の低熱膨張インターポーザ。
- 前記第1の電極端子はランド状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の低熱膨張インターポーザ。
- 前記第2の電極端子はランド状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の低熱膨張インターポーザ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012169599A JP2014029286A (ja) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 低熱膨張インターポーザ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105676494A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-06-15 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板测试装置 |
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2012
- 2012-07-31 JP JP2012169599A patent/JP2014029286A/ja active Pending
Cited By (1)
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CN105676494A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-06-15 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板测试装置 |
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