JP2014025855A - 外形検査装置および外形検査方法 - Google Patents

外形検査装置および外形検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】より異常が検出されやすい外形検査装置および外形検査方法を得る。
【解決手段】実施形態にかかる外形検査装置にあっては、長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から照らす光の第一光源と、検査対象物に長手方向の他方側から照らす光の第二光源と、検査対象物が長手方向に搬送されている状態で、第一光源からの光で照らされている際の検査対象物の第一画像と第二光源からの光で照らされている際の検査対象物の第二画像とを取得する撮像部と、第一画像と第二画像とが合成された合成画像を画像処理して検査対象物の異常を検出する異常検出部と、を備えた。
【選択図】図13

Description

本発明は、外形検査装置および外形検査方法に関する。
従来、長尺状の検査対象物を撮像した画像から当該検査対象物の異常を検出する外形検査装置が知られている(例えば、特許文献1)。
特開2011−011496号公報
この種の外形検査装置では、検査対象物の撮像部に対する接近や離間等の移動が生じる状況では、当該移動に伴って画像の大きさが変化して、外形の異常を検出しにくくなる場合があった。
そこで、本発明は、一例としては、外形の異常をより検出しやすい外形検査装置および外形検査方法を得ることを目的の一つとする。
本発明の実施形態にかかる外形検査装置にあっては、長尺状の検査対象物が長手方向に搬送されている状態で、検査対象物を長手方向と交叉した第一方向から撮像した第一画像と、検査対象物を長手方向と交叉して第一方向とは異なる第二方向から撮像した第二画像と、を取得し、第一画像中で検査対象物が大きくなった場合には第二画像中の検査対象物が小さくなり、第一画像中で検査対象物が小さくなった場合には第二画像中の検査対象物が大きくなるよう設定された撮像部と、第一画像を画像処理して得られた検査対象物の外形に応じた第一データと第二画像を画像処理して得られた検査対象物の外形に応じた第二データとを合成した合成データを取得する合成データ取得部と、合成データから検査対象物の異常を検出する異常検出部と、を備えた。
本発明によれば、一例としては、外形の異常をより検出しやすい外形検査装置および外形検査方法を得ることができる。
図1は、実施形態にかかる外形検査装置の一例が示された斜視図である。 図2は、実施形態にかかる外形検査装置の上流側に位置された検査部の一例を検査対象物の長手方向から見た模式図である。 図3は、実施形態にかかる外形検査装置の下流側に位置された検査部の一例を検査対象物の長手方向から見た模式図である。 図4は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された第一画像、第二画像、および合成画像の一例が示された模式図である。 図5は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された合成画像の一例が示された模式図である。 図6は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された画像から得られた幅のデータ(第一データ)の経時変化の一例が示されたグラフである。 図7は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された画像から得られた幅のデータ(第二データ)の経時変化の一例が示されたグラフである。 図8は、図6のデータおよび図7のデータが示されたグラフである。 図9は、図6のデータおよび図7のデータのうち一方が他方に対して時間方向に所定量ずらされたグラフである。 図10は、図9の二つのデータが合成されたデータのグラフである。 図11は、実施形態にかかる外形検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。 図12は、実施形態にかかる外形検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。 図13は、実施形態にかかる外形検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。 図14は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された合成画像の別の一例が示された模式図である。 図15は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された合成画像のさらに別の一例が示された模式図である。 図16は、実施形態にかかる外形検査装置で撮像された合成画像の一例の一部が拡大されて示された模式的な説明図である。
本実施形態では、一例として、図1に示される外形検査装置1は、検査対象物100を撮像した画像に基づいて検査対象物100の検査を行う。検査対象物100は、一例としては、長尺状かつ円管状(または円柱状)の部品(例えば、ホース、チューブ、棒等)である。
また、本実施形態では、一例として、図1に示されるように、外形検査装置1は、複数(本実施形態では、一例として二つ)の光源2U,2Dを備えている。具体的に、光源2Uおよび光源2Dは、検査対象物100の長手方向(軸方向)に離間して配置されている。光源2Uおよび光源2Dは、環状(例えば円環状)に構成されている。光源2Uおよび光源2Dは、環状に配置された複数のLED(light emitting diode)を有している。長尺状の検査対象物100は、光源2Uおよび光源2Dの環状部分の内側(例えば、中央部、中央)を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。また、光源2Uおよび光源2Dは、検査対象物100の長手方向(軸方向)と直交する面について面対称に配置されている。
また、本実施形態では、一例として、検査対象物100の撮像領域Aは、光源2Uと光源2Dとの間(本実施形態では、一例として中間位置)に設定されている。光源2Uからの光は、検査対象物100の長手方向の一方側(図1では左側)から撮像領域Aに照射され、光源2Dからの光は、長手方向の他方側(図1では右側)から撮像領域Aに照射される。
また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、検査中、搬送装置30(図11参照)によって、長手方向(軸方向)に搬送されている。すなわち、外形検査装置1は、搬送装置30によって搬送されて移動している検査対象物100を、検査する。したがって、撮像領域Aは、検査対象物100の移動に伴って、検査対象物100の長手方向に沿って移動する。なお、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、光源2U側から光源2D側へ移動する。すなわち、光源2Uは、撮像領域Aに対して搬送方向の上流側に位置され、光源2Dは、撮像領域Aに対して搬送方向の下流側に位置されている。
また、本実施形態では、一例として、撮像部3(例えば、カメラ等)は、検査対象物100の径方向外側に位置され、検査対象物100の表面100a(外面、周面、側面)の画像を取得する。すなわち、撮像領域Aは、検査対象物100の表面100aの一部である。
また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、光学部品4を介して、撮像領域Aの画像を取得する。本実施形態では、一例として、光学部品4は、複数(本実施形態では、一例として二つ)のミラー4U,4Lである。具体的に、ミラー4U,4Lは、図2,3に示されるように、検査対象物100の撮像部3とは反対側で、軸方向からの視線でV字状に配置されている。ミラー4U,4Lは互いに略120°の角度(撮像部3と検査対象物100とを結ぶ線Lに対して互いに反対側に略60°となる角度)となる姿勢で配置されている。ミラー4U,4Lは、いずれも、検査対象物100の表面100aに面した(対向した)平面状の反射面4a(鏡面)を有している。反射面4aは、検査対象物100の径方向と略直交する面に沿って拡がっている。また、ミラー4U,4Lは、検査対象物100の長手方向(軸方向)と直交する面に沿って帯状に延びている。このような構成では、撮像領域Aは、検査対象物100の表面100aの全周のうち、ミラー4U,4Lに面した7割程度の領域である。なお、本実施形態では、一例として、隣接するミラー4U,4Lは一体化されているが、分離されていてもよい。
また、本実施形態では、一例として、光源2U,2D、撮像部3、および光学部品4を含む検査部10(10U,10D)が、検査対象物100の長手方向(軸方向、搬送方向)に間隔をあけて複数箇所(本実施形態では、一例として二箇所)に設けられている。これら検査部10では、撮像部3および光学部品4の配置が異なっている。本実施形態では、一例として、搬送方向の上流側(図1の左側)に位置された検査部10Uでは、図2に示されるように、検査対象物100の軸方向上流側からの視線で右側に撮像部3が位置し、左側に光学部品4が位置する。よって、検査部10Uの撮像部3は、検査対象物100の図2の左側の領域(撮像領域A)の画像を取得する。一方、下流側(図1の右側)に位置された検査部10Dでは、図3に示されるように、検査対象物100の軸方向上流側からの視線で左側に撮像部3が位置し、右側に光学部品4が位置する。よって、検査部10Dの撮像部3は、検査対象物100の図3の右側の領域(撮像領域A)の画像を取得する。すなわち、複数の撮像部3は、それぞれ、検査対象物100の表面100aの相異なる領域(部位、位置)を撮像する。
また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、ラインカメラ(ラインセンサ)として構成されている。撮像部3は、検査対象物100の幅方向に沿って一列に配置された複数の光電変換素子(撮像素子、図示されず)を有する。すなわち、撮像部3は、検査対象物100の幅方向に沿った線状の画像(画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列)を取得する。各撮像素子では、例えば256階調で輝度値のデータが取得される。撮像部3は、撮像される各時刻(タイミング)で、一次元の画像を取得する。モノクロ(白黒)の撮像部3の場合、各撮像素子について一つの画像データが取得され、カラーの撮像部3の場合、各撮像素子について複数(例えば、R(赤)G(緑)B(青)の三つ)の画像データが取得される。
また、本実施形態では、一例として、光源2U,2Dによる検査対象物100への光の照射は交互に実行される。そして、撮像部3による撮像(画像の取得)と、光源2U,2Dによる検査対象物100への光の照射(一例としては光源2U,2Dの発光、切り替え)とが、同期されている。すなわち、本実施形態では、一例として、図4に示されるように、撮像部3は、光源2Uからの光で照らされている際の検査対象物100の一次元の画像IL1(第一画像、線状画像、画像データ、図4中では「1」と表記)と、光源2Dからの光で照らされている際の検査対象物100の一次元の画像IL2(第二画像、線状画像、画像データ、図4中では「2」と表記)とを、交互に取得する。画像処理部20d(図12参照)は、光源2Uからの光で照らされている際の検査対象物100の画像IL1を取得順に並べて二次元の画像IA1(第一画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群)を得ることができるとともに、光源2Dからの光で照らされている際の検査対象物100の画像IL2を取得順に並べて二次元の画像IA2(第二画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群)を得ることができる。
また、本実施形態では、一例として、光源2U,2Dからの光の切り替えの周波数、すなわち撮像部3によるライン毎の撮像の周波数は、比較的高い値(例えば6kHz等)に設定される。よって、画像IA1,IA2を、検査対象物100の表面100a(の全周の略7割程度の領域)を静止状態でエリアセンサ(二次元の領域として撮像する撮像部)によって撮像した画像に類似させることができる。ラインセンサは、エリアセンサより分解能が比較的高く、また応答性も比較的高いため、ラインセンサを用いることで、より精度の高い異常検出(検査)が可能となる場合がある。画像IA1,IA2では、含まれる画像IL1,IL2中でのデータの配列方向(図4で左右方向)が、検査対象物100の幅方向(短手方向)に対応し、画像IA1,IA2中で画像IL1,IL2が並べられた方向(図4で上下方向)が、検査対象物100の長手方向(軸方向)に対応する。
本実施形態では、さらに画像IA1と画像IA2とが合成(加算)された画像ICが得られる。画像ICの合成では、画像IA1,IA2中に含まれ互いに隣接した時間(タイミング、時刻)の画像IL1と画像IL2とが重ねられる。なお、互いに隣接する画像IL1と画像IL2とは、図4に示されるように、厳密には1ライン分だけタイミングがずれるが、特に光の照射あるいは撮像の切り替え周波数が比較的高い場合には、ほぼ同じ場所の画像(画像データ)と見なすことができる。
図5に、画像IA1と画像IA2とが合成(加算)された画像ICの一例が示されている。上述したように、撮像部3は、複数(本実施形態では、一例として二つ)のミラー4U,4Lを介して検査対象物100の画像を取得するため、図5に示されるように、上記構成の外形検査装置1で得られた画像ICには、それぞれ、検査対象物100の複数(二つ)の画像Ia,Ibが含まれる。図示されないが、画像IA1,IA2中にも、画像Ia,Ibが含まれる。これら画像Ia,Ibは、検査対象物100の撮像部3とは反対側(ミラー4U,4Lが位置された側)を、撮像部3と検査対象物100とを結ぶ線L(図2,3参照)から外れた位置より見た画像である。また、二次元の画像ICには、画像Iaと画像Ibとの間に、検査対象物100のミラー4U,4Lを介さない画像Inが含まれている。図示されないが、画像IA1,IA2中にも、画像Inが含まれる。しかしながら、本実施形態では、一例として、撮像部3の焦点は、画像Ia,Ibに対応して設定されているため、画像Inはぼやけている。すなわち、本実施形態では、一例として、画像Inは、異常検出には用いられない。また、これら画像Ia,Ib,Inの背景は、暗く設定されている。本実施形態にかかる外形検査装置1の画像処理部20d(図12参照)は、このようにして得られた二次元の画像ICに基づいて画像処理を実行し、検査対象物100の外形(画像Ia,Ibの外形、例えば、寸法、大きさ、間隔、距離、位置関係等)を検出する。この外形検査装置1で検出対象となる外形には、一例としては、図5に示されるように、検査対象物100の幅Wa,Wb等がある。なお、外形検査装置1は、幅以外の外形(の異常)も検出することができる。また、画像IL1,IL2にも、画像Ia,Ib,In(ただし、1ライン分)は含まれている。
図6,7には、合成された画像ICから得られた検査対象物100に対応した画像Iaの幅Waならびに画像Ibの幅Wbの値(データ)の経時変化の一例が示されている。横軸は、線状の画像IL1,IL2が得られた時間t(タイミング、時刻)を示している。上述したように、検査対象物100は、長手方向(軸方向)に搬送されているため、横軸は、検査対象物100の長手方向(軸方向)の位置に対応している。また、縦軸は、幅Wa,Wbの値(画素数)に対応している。図6の例では、幅Waの値は時間の経過とともに減少(漸減)していることがわかる。一方、図7の例では、幅Wbの値は時間の経過とともに増大(漸増)していることがわかる。このような現象は、ミラー4U,4Lと検査対象物100との位置関係に起因する場合がある。すなわち、外形検査装置1において、検査対象物100が上下方向に移動(振動)可能な状況で、検査対象物100が下方に移動した場合、当該検査対象物100は下方へ移動するにつれてミラー4Uから離間するため、当該ミラー4Uを介して取得された検査対象物100の画像Iaから得られた幅Waの値は、時間の経過とともに減少する。また、検査対象物100は下方へ移動するにつれてミラー4Lには近接するため、当該ミラー4Lを介して取得された検査対象物100の画像Ibから得られた幅Wbの値は、時間の経過とともに増大する。すなわち、図6,7に示されるような結果が得られる。また、図示されないが、逆に、検査対象物100が上方に移動した場合、当該検査対象物100は上方へ移動するにつれてミラー4Uに近接するため、当該ミラー4Uを介して取得された検査対象物100の画像Iaから得られた幅Waの値は、時間の経過とともに増大する。また、検査対象物100は上方に移動するにつれてミラー4Lからは離間するため、当該ミラー4Lを介して取得された検査対象物100の画像Ibから得られた幅Wbの値は、時間の経過とともに減少する。このように、画像Iaの幅Waあるいは画像Ibの幅Wbの値の変化については、検査対象物100の移動に基づく成分が含まれている場合がある。よって、幅Wa,Wbの値に基づいて検査対象物100の外形(寸法、大きさ、間隔、距離、位置関係等)あるいはその異常を検出する場合には、当該検査対象物100の移動の影響は除去されるのが望ましい。
このような現象について、発明者は、鋭意検討を重ねた結果、画像Iaに基づく外形のデータ(値、第一データ、一例としては幅Waの値)と画像Ibに基づく外形のデータ(値、第二データ、一例としては幅Wbの値)とを合成(加算)することで、検査対象物100の移動による影響を低減しやすいことを見出した。具体的には、例えば、図6,7に示されるように、幅Waの値が時間の経過とともに減少し、幅Wbの値が時間の経過とともに増大する場合には、時間毎に幅Waの値と幅Wbの値とを合成(加算)した値では、時間の経過による減少と増大とが減殺(相殺)される。このように、画像Iaに基づくデータおよび画像Ibに基づくデータに基づいて検査対象物100の外形の異常を検出する場合にあっては、画像Iaに基づくデータと画像Ibに基づくデータとを合成(加算)することにより、検査対象物100の移動による影響を低減しやすい。なお、このようなデータの合成(加算)は、画像Iaに基づくデータと画像Ibに基づくデータとの平均を算出していることと等価である。
さらに、発明者は、鋭意検討を重ねた結果、以下の問題点を見出した。すなわち、図6,7に示されるように、幅Wa,Wbの値は、周期的に変動している。例えば、図5に示されるように、検査対象物100(一例としては、ホース)が、螺旋状に一定のピッチで巻かれた巻回物100b(例えば、テープ、リボン、帯状体等)を有している場合には、画像Ia,Ibには、当該巻回物100bの境界部分100cの間隔(ピッチ)に対応して、周期的な凹凸形状(段差)が含まれる。そして、図8に示されるように、図6の幅Waの値(データ)と図7の幅Wbの値(データ)とを並べてみると、幅Waの値の変動および幅Wbの値の変動の、周期は同じであるが、位相は時間δtの分ずれている(位相が異なっている、位相差がある)ことがわかる。この位相差は、図5から明らかとなるように、時間方向(検査対象物100の軸方向、長手方向)の画素数d(時間δt)に対応したものであり、検査対象物100を径方向に沿った異なる方向から撮像していることに起因する。そして、このような位相差がある状態で幅Waの値と幅Wbの値とが合成(加算)された値(データ)からは、幅Wa,Wbの周期的な変動に基づく値の変化が減殺(相殺)されてしまう虞がある。
そこで、本実施形態では、一例として、図9に示されるように、画像Iaに基づく外形のデータ(値、第一データ、一例としては幅Wa)と画像Ibに基づく外形のデータ(値、第二データ、一例としては幅Wb)とを、時間方向(検査対象物100の軸方向、長手方向)に、位相差に対応した所定量ずらして、それらの周期的な変動を合わせる。図9から、幅Waの値の周期的な変動の位相と幅Wbの値の周期的な変動の位相とがほぼ一致していることが理解できるであろう。そして、このように位相差を減らした状態で、幅Waの値と幅Wbの値とを合成(加算)する。図10には、位相を補正された図9の幅Waの値と幅Wbの値とを合成した幅Wdの値(データ)が示される。図10から明らかとなるように、このようにして合成(加算)された幅Wdのデータからは、検査対象物100の移動に伴う経時的な増大または減少の影響が減るとともに、幅Wdのデータには、周期的な変動の成分は残っている。
本実施形態では、一例として、図11に示されるように、外形検査装置1は、制御部20(例えばCPU(central processing unit)等)や、ROM21(read only memory)、RAM22(random access memory)、SSD23(solid state drive)、光照射コントローラ24、撮像コントローラ25、搬送コントローラ26、表示コントローラ27等を備えることができる。光照射コントローラ24は、制御部20からの制御信号に基づいて、光源2U,2Dの発光(オン、オフ)等を制御する。なお、開閉を切り替えて光の出射と出射停止とを切り替えるシャッター等の可変装置が設けられた場合には、当該可変装置の動作が制御される。撮像コントローラ25は、制御部20からの制御信号に基づいて、撮像部3による撮像を制御する。搬送コントローラ26は、制御部20から受けた制御信号に基づいて、搬送装置30を制御し、検査対象物100の搬送(開始、停止、速度等)を制御する。表示コントローラ27は、制御部20からの制御信号に基づいて、表示装置40を制御する。また、制御部20は、不揮発性の記憶部としてのROM21やSSD23等にインストールされたプログラム(アプリケーション)を読み出して実行する。RAM22は、制御部20がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図11に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部20等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。
また、本実施形態では、一例として、制御部20は、ハードウエアとソフトウエア(プログラム)との協働によって、外形検査装置1の少なくとも一部として機能(動作)する。すなわち、図12に示されるように、制御部20は、光照射制御部20aや、撮像制御部20b、搬送制御部20c、画像処理部20d、表示制御部20e等として機能する。光照射制御部20aは、光照射コントローラ24を制御する。撮像制御部20bは、撮像コントローラ25を制御する。搬送制御部20cは、搬送コントローラ26を制御する。画像処理部20dは、撮像部3が取得した画像データを画像処理する。この画像処理部20dによる画像処理によって、検査対象物100の異常が検出される。よって、画像処理部20dは、異常検出部の一例である。表示制御部20eは、表示装置40(例えば、LCD(liquid crystal display)、OELD(organic electroluminescent display)等)を制御する。
また、本実施形態にかかる外形検査装置1は、その外周に螺旋状の凹部または凸部を有した検査対象物100の検査を行うことができる。螺旋状の凹部または凸部(溝、突起、段差等)は、螺旋状の巻回物(例えば、テープ、リボン、ワイヤ等、図示されず)を有した場合等に形成されやすい。巻回物は、外周に露出するものと、露出しないものとがある。巻回物が外周に露出せず、外壁(壁部)の内部に巻回物(例えば、ワイヤ等)が設けられた場合、巻回物を覆う部分が螺旋状に突出する。
本実施形態では、一例として、外形検査装置1の制御部20は、図13に示されるような手順で画像処理ならびに異常検出を実行する。制御部20は、検査対象物100が一定速度で移動している状態で、光照射制御部20aならびに撮像制御部20bとして機能し、光照射コントローラ24および撮像コントローラ25ひいては光源2U,2Dならびに撮像部3を制御して、一次元の画像IL1と画像IL2とを交互に取得する(ステップS10)。次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、上述したように複数列の画像IL1と画像IL2とを所定期間内でそれぞれ取得された順に並べて、二次元の画像IA1と画像IA2とを得る(ステップS11)。次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、上述したように画像IA1と画像IA2とを合成(加算)して、画像ICを得る(ステップS12)。なお、画像ICは、画像IA1および画像IA2を経由して生成することは必須ではなく、画像IL1および画像IL2から生成してもよい。
次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、画像Ia,Ibのエッジを検出する(ステップS13)。ここで、エッジとは、画像Ia,Ibの幅方向(検査対象物100の幅方向、図5の左右方向)の両側の端部(縁部)を意味する。このステップS13では、画像Ia,Ibの出現位置はほぼ定まっているため、制御部20は、例えば、閾値に対する大小によって二値化処理されたデータから、画像Ia,Ibのエッジを、値が変化する位置として検出することができる。
次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、画像Ia,Ibの幅Wa,Wbを算出する(ステップS14)。このステップS14で、幅Wa,Wbの値は、例えば、ステップS13で検出された画像Ia,Ib毎の二つのエッジ間の距離として算出されることができる。また、幅Wa,Wbの値は、データが取得された時間t(タイミング、時刻)毎に、すなわち、画像Ia,Ibの長手方向の各位置で、算出される。幅Waのデータは、第一データの一例であり、幅Wbのデータは第二データの一例である。
ここで、本実施形態では、一例として、制御部20は、上述したように位相をずらす場合には(ステップS15でYes)、幅Waの値(データ)および幅Wbの値(データ)の経時変化のうち一方を他方に対して時間方向に所定量ずらして、時間毎に合成(加算)して、当該各時間における幅Wdの値(データ、合成データ)を取得する(ステップS16)。このステップS16で、経時変化のデータの時間方向のずらし量δt(所定量、位相差に対応した画素数、図8参照)は、検査部10における各部品のレイアウトや、検査対象物100のスペック(大きさ、巻回物100bのピッチ)等に応じて定まる。よって、一例としては、事前のトライアル等にて取得し、設定しておくことができる。なお、幅Wdは、厳密には実測値に対応するものではなく、異常検出等に用いるための値(パラメータ、代表値)に相当する。
一方、制御部20は、特に位相をずらさない場合には(ステップS15でNo)、幅Waの値(データ)および幅Wbの値(データ)を時間毎に合成(加算)して、当該各時間における幅Wdの値(データ、合成データ)を取得する(ステップS17)。
次に、制御部20は、画像処理部(異常検出部)20dとして機能し、ステップS16またはステップS17で合成された幅Wdの値(データ)の経時変化(すなわち、一例としては図10のデータ)に基づいて、異常を検出する(ステップS18)。このステップS18では、制御部20は、一例として、図16に示されるように、時間方向(検査対象物100の長手方向、軸方向、図10,16では横軸方向)の所定区間における幅Wdの値の平均値Wavと、各時間での幅Wdの値(図16中の四角形)との差の積分値(図16中のハッチングを施した領域Aa〜Aeの面積、大きさ)に基づいて、当該積分値が閾値と同じかあるいは超えた場合に、当該箇所(一例としては、図16中の領域Aaの部分)に異常があると判断することができる。この場合、積分値は、撮像された画像Ia,Ib中の異常箇所(例えば、凸部、凹部、突起、段差等)の二次元的な大きさに対応した値(パラメータ、代表値)に相当する。また、このステップS18では、制御部20は、画像Ia,Ib中の巻回物100bと巻回物100bとの境界部分100cに出現する凹凸形状(例えば、凹部、凸部、突起、段差等)については、異常として検出しない。
次に、制御部20は、表示制御部20eとして機能し、ステップS18で検出された異常を表示装置40の表示画面に表示させる(ステップS19)。このステップS19で、制御部20は、例えば、異常を、図5,14,15等に示されるような、画像Iaや画像Ib中に指標(矢印や、マーク、文字、図形等、図示されず)で表示することができる。この際、制御部20は、ステップS16で位相をずらした場合には、当該ずらした分を考慮して画像Iaまたは画像Ib中の異常に対応した位置に、異常を示す指標を表示する。
上述した本実施形態にかかる外形検査装置1の制御部20は、例えば、図5,14,15に示されるような異常を検出することができる。図5の例では、制御部20は、画像Ia中の凸部A1(突起)ならびに画像Ib中の凸部A2(突起)を異常として検出することができる。この例では、凸部A1および凸部A2は一つの(同じ、一塊の)凸部である可能性がある。このような異常を検出するため、ステップS16で、制御部20は、幅Waの値または幅Wbの値を、画像Ia,Ib中の対応する部分同士(隣接する部分や同じ部分)が重なり合うようにずらす。また、図14の例では、制御部20は、画像Ia中の凹部A3ならびに画像Ib中の凹部A4を異常として検出することができる。この例では、凹部A3および凹部A4は一つの(同じ、一塊の)凹部である可能性がある。また、図15の例では、制御部20は、画像Ia中の凹部A5ならびに画像Ib中の凸部A6を異常として検出することができる。この例では、凹部A5および凸部A6はそれぞれ別の異常である。このような場合にあっても、閾値を適切に設定することで、制御部20は、当該異常を検出することができる。
以上、説明したように、本実施形態にかかる外形検査装置1では、一例として、撮像部3は、画像Ia(第一画像)中で検査対象物100が大きくなった場合には画像Ib(第二画像)中の検査対象物100が小さくなり、画像Ia中で検査対象物100が小さくなった場合には画像Ib中の検査対象物100が大きくなるよう設定される。そして、画像処理部20d(異常検出部)は、画像Iaを画像処理して得られた検査対象物100の外形に応じた幅Waのデータ(第一データ)と画像Ibを画像処理して得られた検査対象物100の外形に応じた幅Wbのデータ(第二データ)とを合成(加算)した幅Wdのデータ(合成データ)から検査対象物100の異常を検出する。よって、本実施形態によれば、一例としては、検査対象物100の外形の異常の検出に対する検査対象物100の移動による影響が低減されやすい。
また、本実施形態では、一例として、画像Iaおよび画像Ibのうち一方は検査対象物100を上側から撮像した画像であり、他方は下側から撮像した画像である。検査対象物100は、重力の作用によって上下方向に移動しやすい場合がある。よって、本実施形態によれば、一例としては、このような場合に、検査対象物100の外形の異常の検出に対する検査対象物100の移動による影響が低減されやすい。
また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、光を屈折あるいは反射させる光学部品4(ミラー4U,4L)を介して複数の部位の画像を取得する。よって、本実施形態によれば、一例としては、複数の部位の画像を取得する構成が、より簡素な構成として得られやすい。二つのミラー4U,4Lが一体化された光学部品4が用いられる場合、当該外形検査装置1の製造時やメンテナンス時に、ミラー4U,4Lをより取り扱いやすくなる。
また、本実施形態では、一例として、画像処理部20d(合成データ取得部)は、幅Waのデータおよび幅Wbのデータを長手方向(時間方向)に対応した方向にずらして合成する。また、本実施形態では、一例として、画像処理部20d(合成データ取得部)は、幅Waのデータのピッチに応じたデータの変動と、幅Wbのデータのピッチに応じたデータの変動との位相差が減るように幅Waのデータおよび幅Wbのデータをずらして合成する。よって、本実施形態によれば、一例としては、幅Waのデータおよび幅Wbのデータが周期的に変動し、当該周期的な変動の位相がずれている場合に、幅Waのデータおよび幅Wbのデータの合成(加算)によって周期的な変動の成分が減殺(相殺)されるのが抑制される。よって、一例としては、周期的な変動がある状態で、検査対象物100の外形の異常がより精度良く検出されやすくなる。
また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、一定のピッチで螺旋状に巻かれた巻回物100bを有した。また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状部品である。よって、本実施形態によれば、一例としては、幅Waのデータおよび幅Wbのデータが周期的に変動する検査対象物100の外形の異常がより精度良く検出されやすくなる。
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック(構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等)は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、長尺状部品以外であってもよい。また、外形検査装置は、上述した異常以外の異常を画像処理で検出することができる。また、外形検査装置は、静止状態で取得された画像で検査してもよい。また、光学部品はミラー以外(例えば、レンズ、プリズム等)であってもよい。また、画像中に検査対象物の三つ以上の部位が含まれてもよい。また、撮像部は、幅方向と交叉する方向(斜め方向)に延びた線状の画像を取得してもよい。
1…外形検査装置、3…撮像部、4…光学部品、20d…画像処理部(合成データ取得部、異常検出部)、100…検査対象物、100b…巻回物。

Claims (10)

  1. 長尺状の検査対象物が長手方向に搬送されている状態で、前記検査対象物を前記長手方向と交叉した第一方向から撮像した第一画像と、前記検査対象物を前記長手方向と交叉して前記第一方向とは異なる第二方向から撮像した第二画像と、を取得し、前記第一画像中で前記検査対象物が大きくなった場合には前記第二画像中の前記検査対象物が小さくなり、前記第一画像中で前記検査対象物が小さくなった場合には前記第二画像中の前記検査対象物が大きくなるよう設定された撮像部と、
    前記第一画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第一データと前記第二画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第二データとを合成した合成データを取得する合成データ取得部と、
    前記合成データから前記検査対象物の異常を検出する異常検出部と、
    を備えた、外形検査装置。
  2. 前記第一画像および前記第二画像のうち一方は前記検査対象物を上側から撮像した画像であり、他方は下側から撮像した画像である、請求項1に記載の外形検査装置。
  3. 前記撮像部は、光を屈折あるいは反射させる光学部品を介して前記第一画像および前記第二画像を取得する、請求項1または2に記載の外形検査装置。
  4. 前記合成データ取得部は、前記第一データおよび前記第二データを前記長手方向に対応した方向にずらして合成する、請求項1〜3のうちいずれか一つに記載の外形検査装置。
  5. 前記検査対象物は、一定のピッチで螺旋状に巻かれた巻回物を有した、請求項4に記載の外形検査装置。
  6. 前記合成データ取得部は、前記第一データの前記ピッチに応じたデータの変動と、前記第二データの前記ピッチに応じたデータの変動との位相差が減るように前記第一データおよび前記第二データをずらして合成した、請求項5に記載の外形検査装置。
  7. 検査対象物を第一方向から撮像した第一画像と、前記検査対象物を前記第一方向とは異なる第二方向から撮像した第二画像と、を取得し、前記第一画像中で前記検査対象物が大きくなった場合には前記第二画像中の前記検査対象物が小さくなり、前記第一画像中で前記検査対象物が小さくなった場合には前記第二画像中の前記検査対象物が大きくなるよう設定された撮像部と、
    前記撮像部で取得された前記第一画像および前記第二画像から前記検査対象物の異常を検出する異常検出部と、
    を備えた、外形検査装置。
  8. 前記異常検出部は、前記第一画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第一データと前記第二画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第二データとを合成した合成データから前記検査対象物の異常を検出する、請求項7に記載の外形検査装置。
  9. 前記検査対象物は、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状部品である、請求項7または8に記載の外形検査装置。
  10. 検査対象物を撮像した画像を画像処理して当該検査対象物の異常を検出する外形検査装置による外形検査方法であって、
    撮像制御部が、前記検査対象物を第一方向から撮像した第一画像と前記検査対象物を前記第一方向とは異なる第二方向から撮像した第二画像とが取得されるよう撮像部を制御するステップと、
    異常検出部が、前記第一画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第一データと前記第二画像を画像処理して得られた前記検査対象物の外形に応じた第二データとを合成した合成データから前記検査対象物の異常を検出するステップと、
    を含む、外形検査方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016206071A (ja) * 2015-04-24 2016-12-08 株式会社日立ハイテクファインシステムズ 検査装置及び検査方法
JP2017158370A (ja) * 2016-03-03 2017-09-07 北海道電力株式会社 撮影装置及び撮影方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61246605A (ja) * 1985-04-24 1986-11-01 Honda Motor Co Ltd 物体の寸法測定方法
JPS6479605A (en) * 1987-09-22 1989-03-24 Toshiba Corp Apparatus for detecting winding pitch of insulating tape
JPH0961124A (ja) * 1995-08-22 1997-03-07 Sumitomo Electric Ind Ltd ネジ付棒鋼の寸法測定装置
JP2009192474A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Takao Nemoto 雄螺子の測定装置及び判定装置
JP2011209112A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Furukawa Electric Co Ltd:The 被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61246605A (ja) * 1985-04-24 1986-11-01 Honda Motor Co Ltd 物体の寸法測定方法
JPS6479605A (en) * 1987-09-22 1989-03-24 Toshiba Corp Apparatus for detecting winding pitch of insulating tape
JPH0961124A (ja) * 1995-08-22 1997-03-07 Sumitomo Electric Ind Ltd ネジ付棒鋼の寸法測定装置
JP2009192474A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Takao Nemoto 雄螺子の測定装置及び判定装置
JP2011209112A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Furukawa Electric Co Ltd:The 被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016206071A (ja) * 2015-04-24 2016-12-08 株式会社日立ハイテクファインシステムズ 検査装置及び検査方法
JP2017158370A (ja) * 2016-03-03 2017-09-07 北海道電力株式会社 撮影装置及び撮影方法

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