JP2014025625A - 減圧システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の閾値と、この第1の閾値より低い第2の閾値との間に冷却部の温度が保持されるように第1及び第2の両電動機の作動を夫々制御する制御手段を備え、冷却部の温度が第1の閾値から第2の閾値に達するまで間で、冷却部のうち最も降温速度が遅い一の減圧手段を選択し、残りの減圧手段の第1の電動機の回転数を夫々下げ、各減圧手段の冷却部が第2の閾値に夫々達すると、全ての減圧手段の第1の電動機を夫々作動停止させる。
【選択図】図3
Description
Claims (3)
- 第1の電動機により駆動部を作動させ、第1の電動機の回転数に対応して冷却部を所定温度に冷却してこの冷却部にて冷媒を膨張させて気体を捕捉する複数の減圧手段と、第2の電動機により圧縮部を作動させてこの圧縮部で圧縮した冷媒を第2の電動機の回転速度に応じた流量で各減圧手段に夫々供給する単一の圧縮手段と、各減圧手段の冷却部の温度を夫々測定する測定手段とを備える減圧システムであって、
第1の閾値と、この第1の閾値より低い第2の閾値との間に冷却部の温度が保持されるように第1及び第2の両電動機の作動を夫々制御する制御手段を備えるものにおいて、
制御手段は、第1及び第2の両電動機を作動させて各減圧手段の冷却部の温度が第1の閾値から第2の閾値に達するまでの間で、各減圧手段の冷却部のうち最も降温速度が遅い一の減圧手段を選択し、残りの減圧手段の第1の電動機の回転数を夫々下げ、各減圧手段の冷却部が第2の閾値に夫々達すると、全ての減圧手段の第1の電動機を夫々作動停止させることを特徴とする減圧システム。 - 圧縮した冷媒を貯蔵するアキュムレータを更に備え、
前記制御手段は、全ての第1電動機が作動停止された後、このアキュムレータに所定体積の冷媒が貯蔵されると、第2の電動機の回転数を低下させ、この状態で各減圧手段の冷却部が昇温したとき、各減圧手段の冷却部のうち昇温速度が比較的早い減圧手段を少なくとも1つ選択し、この選択された減圧手段の第1の電動機の回転数を上げると共に、アキュムレータに貯蔵されている冷媒を供給し、当該減圧手段の冷却部のみを選択的に冷却することを特徴とする請求項1記載の減圧システム。 - 前記制御手段は、各減圧手段の冷却部における単位時間当たり温度上昇速度を算出し、第2の電動機の作動を再開させ、第1の閾値に到達する時間の早いものから順次第1の電動機の作動を再開することを特徴とする請求項1または請求項2記載の減圧システム。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000121192A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Daikin Ind Ltd | 極低温冷凍装置 |
JP2004003792A (ja) * | 2002-04-18 | 2004-01-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 極低温冷凍機 |
JP2007502928A (ja) * | 2003-08-20 | 2007-02-15 | ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空装置 |
WO2010038416A1 (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空排気システム、基板処理装置、電子デバイスの製造方法、真空排気システムの運転方法 |
WO2011007652A1 (ja) * | 2009-07-15 | 2011-01-20 | 株式会社 アルバック | 減圧システム及び真空処理装置 |
JP2012067633A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム及びその制御方法 |
-
2012
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000121192A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Daikin Ind Ltd | 極低温冷凍装置 |
JP2004003792A (ja) * | 2002-04-18 | 2004-01-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 極低温冷凍機 |
JP2007502928A (ja) * | 2003-08-20 | 2007-02-15 | ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空装置 |
WO2010038416A1 (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空排気システム、基板処理装置、電子デバイスの製造方法、真空排気システムの運転方法 |
WO2011007652A1 (ja) * | 2009-07-15 | 2011-01-20 | 株式会社 アルバック | 減圧システム及び真空処理装置 |
JP2012067633A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム及びその制御方法 |
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