JP2014011356A - 電気機械変換素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents
電気機械変換素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本電気機械変換素子は、第1の層、及び前記第1の層上の所定領域の周囲に形成された第2の層を備えた第1の電極と、前記第1の層上の前記所定領域に、前記第2の層から突出するように形成された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に形成された第2の電極と、を有し、前記第2の層は、前記第2の電極と同一の層構成である。
【選択図】図1
Description
[第1の実施の形態に係る電気機械変換素子の構造]
第1の実施の形態では、電気機械変換素子の例を示す。まず、電気機械変換素子の構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る電気機械変換素子を例示する断面図である。図1を参照するに、電気機械変換素子1は、第1の電極11と、電気機械変換膜13と、第2の電極14とを有する。なお、第1の電極11及び第2の電極14は、各々下部電極及び上部電極と称される場合もある。
[第1の実施の形態に係る電気機械変換素子の製造方法]
次に、電気機械変換素子の製造方法について説明する。図2〜図4は、第1の実施の形態に係る電気機械変換素子の製造工程を例示する図である。まず、図2(a)に示す工程では、基板10を準備する。基板10上には、後述の工程で共通電極となる第1の電極11を形成するので、基板10としては、絶縁体又は表面が絶縁処理された導体や半導体を用いることができる。基板10としては、例えば、表面に酸化膜が形成されたシリコン等を用いることができる。
第1の実施の形態の変形例では、第1の実施の形態に係る電気機械変換素子1の製造方法の他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態に係る電気機械変換素子を用いた液滴吐出ヘッドの例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第3の実施の形態では、液滴吐出ヘッド3(図10参照)を搭載したインクジェット記録装置の例を示す。図11は、インクジェット記録装置を例示する斜視図である。図12は、インクジェット記録装置の機構部を例示する側面図である。なお、インクジェット記録装置4は、本発明に係る液滴吐出装置の代表的な一例である。
本実施例では、第1の実施の形態の図2〜図4を用いて説明した工程に基づいて電気機械変換素子を作製した。まず、基板上に、第1の金属膜としてPt膜を250nm、第1の導電性酸化物膜としてSrRuO3膜を50nm、スパッタ法で順次成膜した(図2(a)及び図2(b)参照)。
2、3 液滴吐出ヘッド
4 インクジェット記録装置
10 基板
11 第1の電極
11a 第1の金属膜
11b 第1の導電性酸化物膜
11c 第2の導電性酸化物膜
11d 第2の金属膜
12 SAM膜
13、13a 電気機械変換膜
13x PZT前駆体溶液
14 第2の電極
14c 第2の導電性酸化物膜
14d 第2の金属膜
20 ノズル板
21 ノズル
30 圧力室基板
31 圧力室
40 振動板
50 密着層
60 インクジェット塗布装置
61 架台
62 Y軸駆動手段
63 基板
64 ステージ
65 X軸支持部材
66 X軸駆動手段
67 Z軸駆動手段
68 ヘッドベース
69 インクジェットヘッド
70 着色樹脂インク供給用パイプ
81 記録装置本体
82 印字機構部
83 用紙
84 給紙カセット
85 手差しトレイ
86 排紙トレイ
91 主ガイドロッド
92 従ガイドロッド
93 キャリッジ
94 インクジェット記録ヘッド
95 インクカートリッジ
97 主走査モータ
98 駆動プーリ
99 従動プーリ
100 タイミングベルト
101 給紙ローラ
102 フリクションパッド
103 ガイド部材
104 搬送ローラ
105 搬送コロ
106 先端コロ
107 副走査モータ
109 印写受け部材
111 搬送コロ
112 拍車
113 排紙ローラ
114 拍車
115、116 ガイド部材
117 回復装置
200、210、230 レジスト層
230x 開口部
Claims (10)
- 第1の層、及び前記第1の層上の所定領域の周囲に形成された第2の層を備えた第1の電極と、
前記第1の層上の前記所定領域に、前記第2の層から突出するように形成された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上に形成された第2の電極と、を有し、
前記第2の層は、前記第2の電極と同一の層構成である電気機械変換素子。 - 前記第1の電極は、前記所定領域と前記電気機械変換膜との間に形成された第1の導電性酸化物膜を更に備えた請求項1記載の電気機械変換素子。
- 前記第1の導電性酸化物膜の材料は、化学式ABO3で記述され、AはSr、Ba、Ca、Laの何れか1つ以上、BはRu、Co、Niの何れか1つ以上を主成分とする複合酸化物、又は、IrO2、RuO2の何れかからなる酸化物である請求項2記載の電気機械変換素子。
- 前記第1の層は、第1の金属膜から形成され、
前記第2の層及び前記第2の電極は、各々第2の導電性酸化物膜と第2の金属膜とが順次積層された積層構造である請求項1乃至3の何れか一項記載の電気機械変換素子。 - 前記第1の層は、第1の金属膜から形成され、
前記第2の層及び前記第2の電極は、各々第2の金属膜から形成されている請求項1乃至3の何れか一項記載の電気機械変換素子。 - 請求項1乃至5の何れか一項記載の電気機械変換素子を具備する液滴吐出ヘッド。
- 請求項6記載の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置。
- 第1の金属膜の所定領域上に第1の導電性酸化物膜を形成する工程と、
前記第1の導電性酸化物膜上に電気機械変換膜を形成する工程と、
前記電気機械変換膜の周囲に露出する前記第1の金属膜上、及び前記電気機械変換膜上に、各々第2の導電性酸化物膜と第2の金属膜とを順次積層する工程と、を有し、
前記順次積層する工程において、前記電気機械変換膜は、前記電気機械変換膜の周囲に露出する前記第1の金属膜上に形成された第2の導電性酸化物膜及び第2の金属膜よりも突出し、
前記第1の金属膜、前記第1の導電性酸化物膜、並びに前記電気機械変換膜の周囲に露出する前記第1の金属膜上に積層された前記第2の導電性酸化物膜及び前記第2の金属膜は、第1の電極を構成し、
前記電気機械変換膜上に積層された前記第2の導電性酸化物膜及び前記第2の金属膜は第2の電極を構成する電気機械変換素子の製造方法。 - 前記電気機械変換膜を形成する工程は、前記第1の導電性酸化物膜の周囲に露出する前記第1の金属膜を表面改質させて疏水化する工程と、
前記疏水化する工程の後、前記第1の導電性酸化物膜上にインクジェット法により電気機械変換膜を形成する工程と、を含む請求項8記載の電気機械変換素子の製造方法。 - 前記疏水化する工程では、チオール化合物を用いて前記第1の金属膜を表面改質する請求項9記載の電気機械変換素子の製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007073598A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Seiko Epson Corp | 複合酸化物積層体、複合酸化物積層体の製造方法、デバイス |
JP2012061703A (ja) * | 2010-09-15 | 2012-03-29 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2012119386A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子、液体噴射ヘッド、及び電気機械変換素子の製造方法 |
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2012
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007073598A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Seiko Epson Corp | 複合酸化物積層体、複合酸化物積層体の製造方法、デバイス |
JP2012061703A (ja) * | 2010-09-15 | 2012-03-29 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2012119386A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子、液体噴射ヘッド、及び電気機械変換素子の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019071361A (ja) * | 2017-10-10 | 2019-05-09 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置、超音波発生装置及び電気機械変換素子の製造方法 |
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