JP2014010314A5 - - Google Patents
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Claims (11)
- 光源から発せられたレーザ光を標本に照射し、該標本から戻る戻り光を集光する対物レンズと、
前記戻り光を受光して光電変換する受光素子を有する光検出器と、
前記対物レンズにより集光された前記戻り光を前記光検出器の前記受光素子に入射させる入射光学系と、
前記受光素子に入射する前記戻り光の入射位置を変更する入射位置変更部とを備えるレーザ顕微鏡。 - 前記対物レンズにより集光された前記戻り光をスペクトル成分に分光する分光素子を備え、
前記入射位置変更部が、前記受光素子における前記戻り光の入射位置を前記スペクトル成分の分光方向に直交する方向に変更する請求項1に記載のレーザ顕微鏡。 - 前記光検出器が、前記分光素子による前記スペクトル成分の分光方向に沿って配列された複数の前記受光素子を備える請求項2に記載のレーザ顕微鏡
- 前記入射位置変更部が、前記分光素子により前記スペクトル成分に分光された戻り光の光路を、光路長が異なる2つの光路に切替える光路切替部として機能する請求項2または請求項3に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記入射位置変更部が、前記光源の起動時に前記受光素子における前記戻り光の入射位置を変更する請求項1から請求項4のいずれかに記載のレーザ顕微鏡。
- 前記受光素子ごとの受光感度を測定する感度測定部と、
該感度測定部により測定された前記受光素子ごとの受光感度と前記複数の受光素子における前記戻り光の入射位置とを対応付けて記憶する記憶部と、
該記憶部により記憶されている前記受光素子ごとの受光感度と前記感度測定部により新たに測定された前記受光素子ごとの受光感度との差分を計測する計測部とを備え、
該計測部により計測された前記差分が所定の閾値よりも大きい場合に、前記入射位置変更部が前記複数の受光素子における前記戻り光の入射位置を変更し、前記記憶部が前記入射位置変更部により変更された前記複数の受光素子における前記戻り光の入射位置とその入射位置において前記感度測定部により測定された前記受光素子ごとの受光感度とを対応付けて記憶する請求項2から請求項4のいずれかに記載のレーザ顕微鏡。 - 前記感度測定部が、前記対物レンズによる前記レーザ光の照射位置に配置した反射ミラーからの反射光を用いて、前記受光素子の受光感度を測定する請求項6に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記レーザ光の光路上に該レーザ光を折返す折返し部材を挿脱可能な切替機構を備える請求項6に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記切替機構が、前記レーザ光を前記対物レンズに入射させる光学素子と前記折返し部材とを前記レーザ光の光路に選択的に配置可能な請求項8に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記光源から発せられた前記レーザ光を反射して前記標本上で走査させる走査部と、
該走査部と前記対物レンズとの間の前記レーザ光の光路から外れた位置に配置された、前記レーザ光を折返し可能な折返し部材とを備え、
前記走査部が、前記折返し部材に向けて前記レーザ光を反射可能な請求項6に記載のレーザ顕微鏡。 - 光源からレーザ光を発して標本に照射することにより該標本から戻る戻り光を光検出器の受光素子に入射させ、該受光素子により前記戻り光を受光して前記標本を観察するレーザ顕微鏡に使用される前記受光素子の受光感度延命方法であって、
前記受光素子の受光感度が劣化した場合に、前記受光素子における前記戻り光の入射位置を異なる位置に変更する受光感度延命方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012147078A JP6009837B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | レーザ顕微鏡および受光感度延命方法 |
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JP2012147078A JP6009837B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | レーザ顕微鏡および受光感度延命方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2014010314A JP2014010314A (ja) | 2014-01-20 |
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JP (1) | JP6009837B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6954358B2 (ja) * | 2017-09-08 | 2021-10-27 | ソニーグループ株式会社 | 微小粒子測定装置、情報処理装置および情報処理方法 |
EP4074453B1 (en) * | 2019-12-13 | 2024-05-01 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4529587B2 (ja) * | 2004-08-23 | 2010-08-25 | 株式会社ニコン | 分光装置及びスペクトルレーザ顕微鏡 |
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