JP2013534647A - 差分測定に基づき顕微鏡検査をスキャンするためのオートフォーカス - Google Patents
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Description
により与えられる。
Claims (15)
- 顕微鏡システムに関するオートフォーカス撮像システムであって、
関心対象物のプライマリ画像データ及び前記関心対象物の斜め断面の第1及び第2のオートフォーカス画像データを取得する画像センサ構成であって、前記画像センサ構成が、前記第1のオートフォーカス画像データを取得し、後に、前記第2のオートフォーカス画像データを取得する構成される傾けられた画像センサを含む、画像センサ構成と、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡システムの焦点位置の有極誤差信号を生成する計算ユニットとを有する、オートフォーカス撮像システム。 - 前記画像センサ構成が、
前記関心対象物の前記プライマリ画像データを取得するプライマリ画像センサと、
前記関心対象物の斜め断面の前記第1のオートフォーカス画像データを取得し、後に前記第2のオートフォーカス画像データを取得する傾けられたオートフォーカス画像センサとを有する、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。 - 前記比較が、
前記第1のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第1のコントラストを決定し、及び、前記第2のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第2のコントラストを決定することと、
前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較することとを有する、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。 - 前記関心対象物が、前記第1のオートフォーカス画像データが取得される第1の位置から第2の位置へ並進された後、前記第2のオートフォーカス画像データが取得される、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するため、前記計算ユニットが、前記関心対象物の並進のため前記第2のコントラスト関数を修正し、前記2つのコントラスト関数、又はフィルタリング若しくは変形されたバージョンの前記2つのコントラスト関数を互いから減算するよう構成され、これにより、S字曲線が生じる、請求項3に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記有極誤差信号を生成するため、前記計算ユニットが、前記S字曲線のゼロ交差を決定するよう構成される、請求項5に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 最適な焦点位置の決定後、前記焦点位置のフィードバック又はフィードフォワード制御を実行するよう更に構成される、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記オートフォーカス画像センサが、前記オートフォーカス画像センサにおける前記関心対象物から放射される放射線を焦束させるレンズの光学軸に対して傾けられる、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記プライマリ画像センサが、ラインセンサであり、
前記オートフォーカス画像センサは、2次元センサである、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。 - 前記プライマリ画像センサ及び前記傾けられたオートフォーカスセンサの機能が、1つの物理的な画像センサにより提供され、該画像センサが、前記光学軸に対して傾けられる、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 請求項1に記載のオートフォーカス撮像システムを有する顕微鏡システム。
- 顕微鏡システムのオートフォーカス撮像に関する方法において、
画像センサ構成により関心対象物のプライマリ画像データを取得するステップと、
前記画像センサ構成の傾けられたオートフォーカス画像センサにより前記関心対象物の斜め断面の第1のオートフォーカス画像データ、及び、後に第2のオートフォーカス画像データを取得するステップと、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡システムの焦点位置の有極誤差信号を生成するステップとを有する、方法。 - 前記比較が、
前記第1のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第1のコントラストを決定し、及び、前記第2のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第2のコントラストを決定するステップと、
前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するステップとを有する、請求項12に記載の方法。 - 前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するステップが、
前記2つのコントラスト関数、又はフィルタリング若しくは変形されたバージョンの前記2つのコントラスト関数を互いから減算することにより、S字曲線を決定するステップと、
前記S字曲線のゼロ交差を決定することにより前記有極誤差信号を生成するステップとを有する、請求項13に記載の方法。 - 顕微鏡システムのオートフォーカス撮像に関するプログラム要素であって、前記顕微鏡システムのプロセッサにより実行されるとき、前記プロセッサに、
プライマリ画像センサ構成により、関心対象物のプライマリ画像データを取得するステップと、
前記画像センサ構成の傾けられたオートフォーカス画像センサにより、前記関心対象物の斜め断面の第1のオートフォーカス画像データ、及び、後に、第2のオートフォーカス画像データを取得するステップと、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡の焦点位置の有極誤差信号を生成するステップとを実行させる、プログラム。
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