JP2013524533A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013524533A5
JP2013524533A5 JP2013503817A JP2013503817A JP2013524533A5 JP 2013524533 A5 JP2013524533 A5 JP 2013524533A5 JP 2013503817 A JP2013503817 A JP 2013503817A JP 2013503817 A JP2013503817 A JP 2013503817A JP 2013524533 A5 JP2013524533 A5 JP 2013524533A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bandwidth
range
light beam
control
switching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013503817A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6097213B2 (ja
JP2013524533A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US12/755,772 external-priority patent/US8837536B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2013524533A publication Critical patent/JP2013524533A/ja
Publication of JP2013524533A5 publication Critical patent/JP2013524533A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6097213B2 publication Critical patent/JP6097213B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (15)

  1. 光ビームを生成する段階と、
    前記生成した光ビームに光学的に結合された第1の光学特徴部に接続された第1の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階を含む第1の帯域幅範囲内で該生成光ビームの帯域幅の制御を可能にする段階と、
    前記生成した光ビームに光学的に結合された第2の光学特徴部に接続された第2の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階を含む第2の帯域幅範囲内で該生成光ビームの帯域幅の制御を可能にする段階と、
    を含み、
    前記第2の帯域幅範囲は、前記第1の帯域幅範囲とは異なっている、
    ことを特徴とする方法。
  2. 前記生成光ビームの帯域幅を前記第1の帯域幅範囲から前記第2の帯域幅範囲に変更する要求を受け取る段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 切り換え指令に応答して前記第1の範囲内の帯域幅制御と前記第2の範囲内の帯域幅制御との間で切り換える段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  4. 前記第1の範囲内の帯域幅制御から前記第2の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を更に含み、
    前記切り換える段階は、
    第2のターゲット帯域幅情報を選択する段階と、
    前記第1の帯域幅作動システムを第1の固定状態に設定する段階と、
    帯域幅測定システムを第1の構成から第2の構成に切り換える段階と、
    前記帯域幅測定システムから測定帯域幅情報を受け取る段階と、
    前記測定帯域幅情報が前記第2のターゲット帯域幅情報に適合するか否かを判断する段階と、
    前記測定帯域幅情報が前記第2のターゲット帯域幅情報に適合すると判断されるまで、前記第2の光学特徴部に前記生成光ビームの前記帯域幅を修正させるように前記第2の帯域幅作動システムを起動する段階と、
    を含む、
    ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  5. 前記第1の帯域幅作動システムを前記第1の固定状態に設定する前に、該第1の帯域幅作動システムの1つ又はそれよりも多くの構成要素の状態に関する情報を格納する段階を更に含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
  6. 前記第1の固定状態は、前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第1の帯域幅範囲から前記第2の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での前記第1の帯域幅作動システムの状態であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
  7. 前記第1の固定状態は、前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第1の帯域幅範囲から前記第2の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での前記第1の帯域幅作動システムの状態の関数から判断されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
  8. 前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第2の帯域幅範囲から前記第1の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られるまで、前記測定帯域幅情報と前記第2のターゲット帯域幅情報の間の絶対誤差を低減するように前記第2の帯域幅作動システムを制御する段階を更に含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
  9. 前記帯域幅測定システムを前記第1の構成から前記第2の構成に切り換えた後に前記第2の帯域幅作動システムをリセットモードで制御する段階を更に含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
  10. 前記第1の範囲内の帯域幅制御から前記第2の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を更に含み、
    前記第1の範囲内の帯域幅制御から前記第2の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階は、帯域幅測定システムを第1の構成から第2の構成に切り換える段階を含む、
    ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  11. 前記帯域幅測定システムを前記第1の構成から前記第2の構成に切り換える段階は、第1の組の較正変数から第2の組の較正変数に切り換える段階を含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
  12. 前記第1の組の較正変数は、前記第1の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように事前に判断され、かつそのように構成され、
    前記第2の組の較正変数は、前記第2の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように事前に判断され、かつそのように構成される、
    ことを特徴とする請求項11に記載の方法。
  13. 光ビームを生成する光源と、
    前記光源から出力された光ビームの一部分を受け取るように構成され、かつ該光ビーム部分の帯域幅を測定して該帯域幅測定値を提供するように構成された帯域幅測定システムと、
    各々が、1つ又はそれよりも多くの帯域幅アクチュエータを含み、かつ各々が、前記生成光ビームに光学的に結合された光学特徴部に接続され、該接続された光学特徴部を修正して該生成光ビームの帯域幅範囲内の帯域幅を選択するように動作可能である複数の帯域幅作動システムと、
    前記帯域幅測定システムと前記複数の帯域幅作動システムとに接続され、提供された帯域幅測定値及び選択されたターゲット帯域幅に基づいて、第1の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階と、該第1の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階とは独立してかつ別々に第2の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階との間で切り換えるように構成された制御システムと、
    を含むことを特徴とする装置。
  14. 複数の異なるターゲット帯域幅範囲から選択されたターゲット帯域幅範囲内であるターゲット帯域幅に設定されるように構成されたターゲット帯域幅スイッチを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
  15. 前記光学特徴部の少なくとも1つは、分散要素及びビーム拡大器の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
JP2013503817A 2010-04-07 2011-04-04 光の帯域幅を制御する方法及び装置 Active JP6097213B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/755,772 2010-04-07
US12/755,772 US8837536B2 (en) 2010-04-07 2010-04-07 Method and apparatus for controlling light bandwidth
PCT/US2011/031116 WO2011126992A1 (en) 2010-04-07 2011-04-04 Method and apparatus for controlling light bandwidth

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016233858A Division JP2017046013A (ja) 2010-04-07 2016-12-01 光の帯域幅を制御する方法及び装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013524533A JP2013524533A (ja) 2013-06-17
JP2013524533A5 true JP2013524533A5 (ja) 2014-05-22
JP6097213B2 JP6097213B2 (ja) 2017-03-15

Family

ID=44760889

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013503817A Active JP6097213B2 (ja) 2010-04-07 2011-04-04 光の帯域幅を制御する方法及び装置
JP2016233858A Withdrawn JP2017046013A (ja) 2010-04-07 2016-12-01 光の帯域幅を制御する方法及び装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016233858A Withdrawn JP2017046013A (ja) 2010-04-07 2016-12-01 光の帯域幅を制御する方法及び装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8837536B2 (ja)
EP (1) EP2556569A4 (ja)
JP (2) JP6097213B2 (ja)
KR (1) KR101811742B1 (ja)
CN (1) CN102834988B (ja)
SG (1) SG184081A1 (ja)
TW (1) TWI538329B (ja)
WO (1) WO2011126992A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8624209B1 (en) * 2013-03-14 2014-01-07 Cymer, Llc Controlling spatial properties in an excimer ring amplifier
US9785050B2 (en) 2015-06-26 2017-10-10 Cymer, Llc Pulsed light beam spectral feature control
EP3363085B1 (en) * 2015-10-16 2023-05-10 Thorlabs, Inc. Linear motor for fast tuning of a laser cavity
US10416471B2 (en) 2016-10-17 2019-09-17 Cymer, Llc Spectral feature control apparatus
US9966725B1 (en) * 2017-03-24 2018-05-08 Cymer, Llc Pulsed light beam spectral feature control
US10096969B1 (en) * 2017-09-14 2018-10-09 Cymer, Llc Method for dither free adaptive and robust dose control for photolithography
US11754541B2 (en) 2017-09-25 2023-09-12 Cymer, Llc Fluorine detection in a gas discharge light source
KR102428750B1 (ko) 2017-10-19 2022-08-02 사이머 엘엘씨 단일의 리소그래피 노광 패스로 복수의 에어리얼 이미지를 형성하는 방법
US11588293B2 (en) * 2017-11-21 2023-02-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Methods and systems for aligning master oscillator power amplifier systems
CN108628109B (zh) * 2018-05-04 2021-06-15 上海华力集成电路制造有限公司 光刻曝光设备及光刻曝光方法
US20220255286A1 (en) * 2019-05-22 2022-08-11 Cymer, Llc Control system for a plurality of deep ultraviolet optical oscillators
US11803126B2 (en) * 2019-07-23 2023-10-31 Cymer, Llc Method of compensating wavelength error induced by repetition rate deviation

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2830492B2 (ja) 1991-03-06 1998-12-02 株式会社ニコン 投影露光装置及び投影露光方法
JPH05167163A (ja) * 1991-12-12 1993-07-02 Mitsubishi Electric Corp 狭帯域化レーザ装置
JP3600883B2 (ja) * 1995-12-25 2004-12-15 株式会社ニコン 露光方法
US6853653B2 (en) 1997-07-22 2005-02-08 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
US6671294B2 (en) 1997-07-22 2003-12-30 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
US6393037B1 (en) 1999-02-03 2002-05-21 Lambda Physik Ag Wavelength selector for laser with adjustable angular dispersion
US6496528B2 (en) * 1999-09-03 2002-12-17 Cymer, Inc. Line narrowing unit with flexural grating mount
JP2001258406A (ja) * 2000-03-22 2001-09-25 Kubota Corp 農用膜体の剥取り装置
US7088758B2 (en) 2001-07-27 2006-08-08 Cymer, Inc. Relax gas discharge laser lithography light source
US7154928B2 (en) 2004-06-23 2006-12-26 Cymer Inc. Laser output beam wavefront splitter for bandwidth spectrum control
JP2003298163A (ja) * 2002-01-31 2003-10-17 Canon Inc レーザー装置、露光装置及び露光方法
KR100624081B1 (ko) 2002-01-31 2006-09-19 캐논 가부시끼가이샤 레이저장치, 노광장치 및 노광방법
US6816535B2 (en) * 2002-09-17 2004-11-09 Northrop Grumman Corporation Co-alignment of time-multiplexed pulsed laser beams to a single reference point
US7256893B2 (en) * 2003-06-26 2007-08-14 Cymer, Inc. Method and apparatus for measuring bandwidth of an optical spectrum output of a very small wavelength very narrow bandwidth high power laser
US6952267B2 (en) 2003-07-07 2005-10-04 Cymer, Inc. Method and apparatus for measuring bandwidth of a laser output
US20060114956A1 (en) * 2004-11-30 2006-06-01 Sandstrom Richard L High power high pulse repetition rate gas discharge laser system bandwidth management
US7366219B2 (en) 2004-11-30 2008-04-29 Cymer, Inc. Line narrowing module
US7643522B2 (en) * 2004-11-30 2010-01-05 Cymer, Inc. Method and apparatus for gas discharge laser bandwidth and center wavelength control
JP5183013B2 (ja) * 2005-01-27 2013-04-17 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 レーザモジュールおよび外部共振型レーザの波長制御方法
US7317536B2 (en) 2005-06-27 2008-01-08 Cymer, Inc. Spectral bandwidth metrology for high repetition rate gas discharge lasers
US7653095B2 (en) 2005-06-30 2010-01-26 Cymer, Inc. Active bandwidth control for a laser
KR100702845B1 (ko) * 2006-01-20 2007-04-03 삼성전자주식회사 엑시머 레이저 및 그의 협대역 모듈
US7852889B2 (en) * 2006-02-17 2010-12-14 Cymer, Inc. Active spectral control of DUV light source
US7822084B2 (en) * 2006-02-17 2010-10-26 Cymer, Inc. Method and apparatus for stabilizing and tuning the bandwidth of laser light
US8259764B2 (en) 2006-06-21 2012-09-04 Cymer, Inc. Bandwidth control device
TWI424645B (zh) * 2007-04-13 2014-01-21 Cymer Inc 用以穩定及調諧雷射光帶寬之方法與裝置
US7659529B2 (en) * 2007-04-13 2010-02-09 Cymer, Inc. Method and apparatus for vibration reduction in laser system line narrowing unit wavelength selection optical element

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013524533A5 (ja)
JP2016538686A5 (ja)
JP2014177939A5 (ja)
JP2012531626A5 (ja)
JP2012517052A5 (ja)
EA202091785A1 (ru) Аэрозольное устройство, способ и программа для управления таким устройством
JP2014045172A5 (ja) 波長可変レーザの制御方法
JP2015206707A5 (ja)
MY179218A (en) Vehicle headlight device
JP2013503477A5 (ja)
JP2013544694A5 (ja)
JP2015531882A5 (ja)
RU2016147088A (ru) Исполнительная система для самолета
JP2013197807A5 (ja)
KR20130093486A (ko) 광 대역폭 제어 방법 및 장치
JP2019503218A5 (ja)
WO2014012660A3 (en) Method for operating a microlithographic projection exposure apparatus
JP2015534712A5 (ja)
JP2006216791A5 (ja)
JP2015040795A5 (ja)
WO2015019187A3 (en) System and method for return beam metrology with optical switch
JP2012224079A5 (ja) 制御装置、制御方法およびプログラム
JP2017134219A5 (ja)
JP2015144190A5 (ja)
JP5178964B1 (ja) アナログ変換装置およびプログラマブルコントローラシステム