JP2013248660A - 接合部材および接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接合部材100は、金属層10と、該金属層10の少なくとも一方の表面から突出している繊維状柱状構造体20とを含む。接合方法は、接合部材100を用いる接合方法であって、該接合部材100の上記繊維状柱状構造体20が突出している側を被着体に仮固定し、上記金属層10を構成する金属の融点以上の温度で加熱することによって該接合部材100と該被着体を金属接合して本固定する。
【選択図】図1
Description
本発明の接合部材を用いる接合方法であって、
該接合部材の上記繊維状柱状構造体が突出している側を被着体に仮固定し、
上記金属層を構成する金属の融点以上の温度で加熱することによって該接合部材と該被着体を金属接合して本固定する。
本発明の接合部材は、金属層と、該金属層の少なくとも一方の表面から突出している繊維状柱状構造体とを含む。本発明の接合部材に含まれる繊維状柱状構造体は、本発明の接合部材に含まれる金属層の少なくとも一方の表面から突出していれば良く、金属層の片方の表面のみから突出している形態でも良いし、金属層の両方の表面から突出している形態でも良い。また、金属層中に繊維状柱状構造体の一部が埋没されていても良い。本発明の接合部材に含まれる繊維状柱状構造体は、好ましくは、金属層の両方の表面から突出している。
金属層は、1層からなっていても良いし、2層以上からなっていても良い。金属層を構成する金属は、1種のみであっても良いし、2種以上であっても良い。
本発明の接合部材において、金属層の少なくとも一方の表面から突出している繊維状柱状構造体の、該金属層表面から突出部分先端までの長さは、好ましくは30μm以上であり、より好ましくは50μm以上であり、さらに好ましくは100μm以上であり、特に好ましくは300μm以上であり、最も好ましくは500μm以上である。上記長さの上限は、好ましくは1000μm以下である。上記長さが上記範囲内に収まることにより、本発明の接合部材は、繊維状柱状構造体の有する優れた粘着性能によって被着体への安定的な仮固定が可能となり、最終的に金属接合されるまでの間に接合箇所がずれてしまうという位置ずれがより生じにくく、意図した箇所へのより精密な接合を行うことができる。
本発明の接合部材において、繊維状柱状構造体は、好ましくは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体である。繊維状柱状構造体としてカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の接合部材は、カーボンナノチューブ集合体の有する非常に優れた粘着性能によって被着体へのより安定的な仮固定が可能となり、最終的に金属接合されるまでの間に接合箇所がずれてしまうという位置ずれがより一層生じにくく、意図した箇所へのより一層精密な接合を行うことができる。また、繊維状柱状構造体としてカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の接合部材は、高温での施工によっても有機揮発物による汚染が発生せず、半導体分野での使用などの非汚染用途に非常に適する。
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の1つ(以下、第1の好ましい実施形態と称することがある)は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下である。カーボンナノチューブ集合体がこのような実施形態をとることによって、本発明の接合部材は、被着体への非常に安定的な仮固定が可能となり、最終的に金属接合されるまでの間に接合箇所がずれてしまうという位置ずれが極めて生じにくく、意図した箇所への極めて精密な接合を行うことができる。
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の別の1つ(以下、第2の好ましい実施形態と称することがある)は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数10層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が30%以上である。カーボンナノチューブ集合体がこのような実施形態をとることによって、本発明の接合部材は、被着体への非常に安定的な仮固定が可能となり、最終的に金属接合されるまでの間に接合箇所がずれてしまうという位置ずれが極めて生じにくく、意図した箇所への極めて精密な接合を行うことができる。
カーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。
本発明の接合部材は、金属層の少なくとも一方の表面から繊維状柱状構造体が突出するように製造できる限り、任意の適切な製造方法を採用し得る。
本発明の接合方法は、本発明の接合部材を用いる接合方法であって、該接合部材の上記繊維状柱状構造体が突出している側を被着体に仮固定し、上記金属層を構成する金属の融点以上の温度で加熱することによって該接合部材と該被着体を金属接合して本固定する。
繊維状柱状構造体、繊維状柱状物の長さ、直径は、走査型電子顕微鏡(SEM)によって測定した。
(被着体面がシリコンウェハ面の場合)
シリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)2枚を用意し、そのシリコンウェハ面の間に測定対象を挟み、5kgローラーで一往復して圧着させ、30分間放置した後、50mm/minでせん断をかけ、剥がれた際の最大応力をせん断接着力とした。
(被着体面が銅面の場合)
銅箔(JX日鉱日石金属製、圧延銅箔、厚み=20μm)2枚を用意し、そのシリコンウェハ面の間に測定対象を挟み、5kgローラーで一往復して圧着させ、30分間放置した後、50mm/minでせん断をかけ、剥がれた際の最大応力をせん断接着力とした。
(被着体面がシリコンウェハ面の場合)
上記のように被着体面がシリコンウェハ面の場合の仮固定方法によって仮固定した後に、上面から、金属層がアルミニウム層の場合は700℃で、金属層が銅層の場合は1100℃で、金属層がハンダ層の場合は250℃で、10分間加熱した後、50mm/minでせん断をかけ、剥がれた際の最大応力をせん断接着力とした。
(被着体面が銅面の場合)
上記のように被着体面が銅面の場合の仮固定方法によって仮固定した後に、上面から、金属層がアルミニウム層の場合は700℃で、金属層が銅層の場合は1100℃で、金属層がハンダ層の場合は250℃で、10分間加熱した後、50mm/minでせん断をかけ、剥がれた際の最大応力をせん断接着力とした。
カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡(SEM)および/または透過電子顕微鏡(TEM)によって測定した。得られたカーボンナノチューブ集合体の中から少なくとも10本以上、好ましくは20本以上のカーボンナノチューブをSEMおよび/またはTEMにより観察し、各カーボンナノチューブの層数を調べ、層数分布を作成した。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、アルミナ薄膜(厚み20nm)を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み1nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、2.5分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(1)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(1)の長さは30μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(1)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は2層に存在し、相対頻度は75%であった。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、Al薄膜(厚み5nm)を形成した。このAl薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み0.35nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、5分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(2)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(2)の長さは120μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(2)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は1層に存在し、相対頻度は61%であった。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、アルミナ薄膜(厚み20nm)を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み2nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、10分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(3)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(3)の長さは400μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(3)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は3層に存在し、相対頻度は72%であった。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、アルミナ薄膜(厚み20nm)を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み1nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、10分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(4)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(4)の長さは540μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(4)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は2層に存在し、相対頻度は75%であった。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、アルミナ薄膜(厚み20nm)を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み2nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、60分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(5)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(5)の長さは850μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(5)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は3層に存在し、相対頻度は72%であった。
基板としてのシリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)により、アルミナ薄膜(厚み20nm)を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてFe薄膜(厚み1nm)を蒸着した。
その後、この基板を30mmφの石英管内に載置し、水分600ppmに保ったヘリウム/水素(90/50sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(85/50/5sccm、水分率600ppm)混合ガスを管内に充填させ、100分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体(6)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(6)の長さは1200μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(6)が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は2層に存在し、相対頻度は75%であった。
製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)を用いて、アルミニウム層(厚み=0.5μm)と、該アルミニウム層の両面から突出している繊維状柱状構造体とを含む、接合部材(1)を製造した。
すなわち、製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)の一方の表面にアルミニウムをスパッタしてアルミニウム層(厚み=0.25μm)を形成し、これを2枚、アルミニウム層の表面同士を重ね、700℃×1分間の加熱を行うことにより、接合部材(1)を製造した。
得られた接合部材(1)についての評価結果を表1に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例2で得られたカーボンナノチューブ集合体(2)を用いた以外は、実施例1と同様に行い、接合部材(2)を得た。
得られた接合部材(2)についての評価結果を表1に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例3で得られたカーボンナノチューブ集合体(3)を用いた以外は、実施例1と同様に行い、接合部材(3)を得た。
得られた接合部材(3)についての評価結果を表1に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例4で得られたカーボンナノチューブ集合体(4)を用いた以外は、実施例1と同様に行い、接合部材(4)を得た。
得られた接合部材(4)についての評価結果を表1に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例5で得られたカーボンナノチューブ集合体(5)を用いた以外は、実施例1と同様に行い、接合部材(5)を得た。
得られた接合部材(5)についての評価結果を表1に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例6で得られたカーボンナノチューブ集合体(6)を用いた以外は、実施例1と同様に行い、接合部材(6)を得た。
得られた接合部材(6)についての評価結果を表1に示した。
シリコンウェハ(シリコンテクノロジー製、厚み=525μm)の一方の表面にアルミニウムをスパッタしてアルミニウム層(厚み=0.5μm)を形成した。これを用いて、評価を行った。ただし、せん断接着力の測定の際の仮固定においては、被着体は、アルミニウム層の側にのみ重ねて圧着した。
評価結果を表1に示した。
製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)を用いて、銅層(厚み=35μm)と、該銅層の両面から突出している繊維状柱状構造体とを含む、接合部材(7)を製造した。
すなわち、製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)を2枚用意し、これら2枚の間に、銅箔(JX日鉱日石金属製、圧延銅箔、厚み=35μm)を挟み、He気流下で1100℃で1分間の加熱を行い、接合部材(7)を製造した。
得られた接合部材(7)についての評価結果を表2に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例2で得られたカーボンナノチューブ集合体(2)を用いた以外は、実施例7と同様に行い、接合部材(8)を得た。
得られた接合部材(8)についての評価結果を表2に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例3で得られたカーボンナノチューブ集合体(3)を用いた以外は、実施例7と同様に行い、接合部材(9)を得た。
得られた接合部材(9)についての評価結果を表2に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例4で得られたカーボンナノチューブ集合体(4)を用いた以外は、実施例7と同様に行い、接合部材(10)を得た。
得られた接合部材(10)についての評価結果を表2に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例5で得られたカーボンナノチューブ集合体(5)を用いた以外は、実施例7と同様に行い、接合部材(11)を得た。
得られた接合部材(11)についての評価結果を表2に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例6で得られたカーボンナノチューブ集合体(6)を用いた以外は、実施例7と同様に行い、接合部材(12)を得た。
得られた接合部材(12)についての評価結果を表2に示した。
銅箔(JX日鉱日石金属製、圧延銅箔、厚み=35μm)を用いて、評価を行った。
評価結果を表2に示した。
製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)を用いて、音響用無鉛銀ハンダ(Sn/Ag)(和光テクニカル(株)製、SR−4N)を用いたハンダ層(厚み=100μm)と、該ハンダ層の両面から突出している繊維状柱状構造体とを含む、接合部材(13)を製造した。
すなわち、250℃にて板状加工したハンダ層の両面にカーボンナノチューブ集合体(1)を配置し、250℃で1分間の加熱を行い、それぞれを固定した。
得られた接合部材(13)についての評価結果を表3に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例2で得られたカーボンナノチューブ集合体(2)を用いた以外は、実施例13と同様に行い、接合部材(14)を得た。
得られた接合部材(14)についての評価結果を表3に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例3で得られたカーボンナノチューブ集合体(3)を用いた以外は、実施例13と同様に行い、接合部材(15)を得た。
得られた接合部材(15)についての評価結果を表3に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例4で得られたカーボンナノチューブ集合体(4)を用いた以外は、実施例13と同様に行い、接合部材(16)を得た。
得られた接合部材(16)についての評価結果を表3に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例5で得られたカーボンナノチューブ集合体(5)を用いた以外は、実施例13と同様に行い、接合部材(17)を得た。
得られた接合部材(17)についての評価結果を表3に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例6で得られたカーボンナノチューブ集合体(6)を用いた以外は、実施例13と同様に行い、接合部材(18)を得た。
得られた接合部材(18)についての評価結果を表3に示した。
音響用無鉛銀ハンダ(Sn/Ag)(和光テクニカル(株)製、SR−4N)を用い、250℃にて板状加工によって形成したハンダ層(厚み=100μm)を用いて、評価を行った。
評価結果を表3に示した。
製造例1で得られたカーボンナノチューブ集合体(1)を用いて、用途別ハンダ板金用(Sn45/Pb55)(太陽電機産業(株)製、SD−58)を用いたハンダ層(厚み=80μm)と、該ハンダ層の両面から突出している繊維状柱状構造体とを含む、接合部材(19)を製造した。
すなわち、250℃にて板状加工したハンダ層の両面にカーボンナノチューブ集合体(1)を配置し、250℃で1分間の加熱を行い、それぞれを固定した。
得られた接合部材(19)についての評価結果を表4に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例2で得られたカーボンナノチューブ集合体(2)を用いた以外は、実施例19と同様に行い、接合部材(20)を得た。
得られた接合部材(20)についての評価結果を表4に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例3で得られたカーボンナノチューブ集合体(3)を用いた以外は、実施例19と同様に行い、接合部材(21)を得た。
得られた接合部材(21)についての評価結果を表4に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例4で得られたカーボンナノチューブ集合体(4)を用いた以外は、実施例19と同様に行い、接合部材(22)を得た。
得られた接合部材(22)についての評価結果を表4に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例5で得られたカーボンナノチューブ集合体(5)を用いた以外は、実施例19と同様に行い、接合部材(23)を得た。
得られた接合部材(23)についての評価結果を表4に示した。
カーボンナノチューブ集合体(1)の代わりに、製造例6で得られたカーボンナノチューブ集合体(6)を用いた以外は、実施例19と同様に行い、接合部材(24)を得た。
得られた接合部材(24)についての評価結果を表4に示した。
用途別ハンダ板金用(Sn45/Pb55)(太陽電機産業(株)製、SD−58)を用い、250℃にて板状加工によって形成したハンダ層(厚み=80μm)を用いて、評価を行った。
評価結果を表4に示した。
10 金属層
10a 金属層の表面
20 繊維状柱状構造体
2 繊維状柱状物
50 被着体
60 被着体
30 固化した金属
Claims (6)
- 金属層と、該金属層の少なくとも一方の表面から突出している繊維状柱状構造体とを含む、接合部材。
- 前記金属層の両方の表面から前記繊維状柱状構造体が突出している、請求項1に記載の接合部材。
- 前記繊維状柱状構造体が突出している側を常温で被着体面に仮固定した際の、該被着体面に対するせん断接着力が、常温において0.5N/cm2以上である、請求項1または2に記載の接合部材。
- 前記繊維状柱状構造体が突出している側を常温で被着体面に仮固定した後に前記金属層を構成する金属の融点以上の温度で10分間保持した後の、該繊維状柱状構造体が突出している側の該被着体面に対するせん断接着力が、常温において5N/cm2以上である、請求項1から3までのいずれかに記載の接合部材。
- 前記繊維状柱状構造体が、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体である、請求項1から4までのいずれかに記載の接合部材。
- 請求項1から5までのいずれかに記載の接合部材を用いる接合方法であって、
該接合部材の前記繊維状柱状構造体が突出している側を被着体に仮固定し、
前記金属層を構成する金属の融点以上の温度で加熱することによって該接合部材と該被着体を金属接合して本固定する、
接合方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015026634A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-05 | 株式会社日立製作所 | 接合構造およびそれを用いた半導体装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05185274A (ja) * | 1992-01-13 | 1993-07-27 | Komei Niki | ろう付け用材料およびこれを用いた接着方法 |
US20060068195A1 (en) * | 2004-05-19 | 2006-03-30 | Arun Majumdar | Electrically and thermally conductive carbon nanotube or nanofiber array dry adhesive |
WO2008035742A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | International Business Machines Corporation | Structure d'interface thermique et procédé de fabrication de celle-ci |
US20090246507A1 (en) * | 2008-01-15 | 2009-10-01 | Georgia Tech Research Corporation | Systems and methods for fabrication and transfer of carbon nanotubes |
WO2009128342A1 (ja) * | 2008-04-16 | 2009-10-22 | 日東電工株式会社 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
JP2011091106A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 熱伝導部材及びその製造方法、放熱用部品、半導体パッケージ |
JP2011132387A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Nitto Denko Corp | カーボンナノチューブ複合構造体および粘着部材 |
JP2012040664A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Nitto Denko Corp | 繊維状柱状構造体集合体および粘着部材 |
-
2012
- 2012-06-04 JP JP2012126824A patent/JP5986808B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05185274A (ja) * | 1992-01-13 | 1993-07-27 | Komei Niki | ろう付け用材料およびこれを用いた接着方法 |
US20060068195A1 (en) * | 2004-05-19 | 2006-03-30 | Arun Majumdar | Electrically and thermally conductive carbon nanotube or nanofiber array dry adhesive |
WO2008035742A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | International Business Machines Corporation | Structure d'interface thermique et procédé de fabrication de celle-ci |
US20090246507A1 (en) * | 2008-01-15 | 2009-10-01 | Georgia Tech Research Corporation | Systems and methods for fabrication and transfer of carbon nanotubes |
WO2009128342A1 (ja) * | 2008-04-16 | 2009-10-22 | 日東電工株式会社 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
JP2011091106A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 熱伝導部材及びその製造方法、放熱用部品、半導体パッケージ |
JP2011132387A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Nitto Denko Corp | カーボンナノチューブ複合構造体および粘着部材 |
JP2012040664A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Nitto Denko Corp | 繊維状柱状構造体集合体および粘着部材 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015026634A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-05 | 株式会社日立製作所 | 接合構造およびそれを用いた半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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