JP2013232778A - 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 - Google Patents
音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013232778A JP2013232778A JP2012103763A JP2012103763A JP2013232778A JP 2013232778 A JP2013232778 A JP 2013232778A JP 2012103763 A JP2012103763 A JP 2012103763A JP 2012103763 A JP2012103763 A JP 2012103763A JP 2013232778 A JP2013232778 A JP 2013232778A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork type
- tuning fork
- base
- type piezoelectric
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】音叉型圧電振動片2は一対の脚部21,22と基部25とから構成され、前記脚部は前記基部の一端面から突出して並設され、前記一対の脚部の間に叉部253が形成される。前記基部の一端面に沿って一対の貫通孔241、242が形成され、前記基部の他端面252側に接合領域235,236を有する。前記一対の貫通孔は、前記一対の脚部の基端部212,222より基部の幅方向の中心線Pに近接する位置に、互いの貫通孔が接しない状態で形成され、前記貫通孔では、前記音叉型圧電振動片の表裏両主面における前記貫通孔の両端部から前記音叉型圧電振動片の内部に向かって前記貫通孔の平面積が次第に小さく、かつ、前記貫通孔の壁面が螺旋状に形成される。前記貫通孔の平面視形状は5つ以上の円弧状の稜辺により構成された略正多角形状に形成される。
【選択図】図2
Description
前記貫通孔では、前記圧電振動素板の表裏両主面における前記貫通孔の両端部から前記圧電振動素板の内部に向かって前記貫通孔の平面積が次第に小さくなり、かつ、前記貫通孔の壁面が螺旋状に形成され、前記貫通孔の平面視形状を5つ以上の円弧状の稜辺により構成された略正多角形状に形成したことを特徴とする。
また、基部25の一端面251において、一端面251に沿って(平行に)一対の貫通孔241,242が並んで形成されている。一対の貫通孔241,242は、後述する一対の脚部21,22の基端部212,222より基部25の幅方向の中心線P(図2参照)に近接する位置で、かつ、互い(相互)の貫通孔241,242が接しない状態で基部25の幅方向の中心線Pに線対称に形成されている。
2 音叉型水晶振動片
21 第1脚部
211 先端部
212 基端部
22 第2脚部
221 先端部
222 基端部
23 接合部
231 短辺部
232 長辺部
233 先端部
234 折曲部
235 第1の接合領域
236 第2の接合領域
241,242 貫通孔
25 基部
251 一端面
252 他端面
253 叉部
254 側面
255 括れ部
261 一主面
262 他主面
27 溝部
28 側面
291,292 励振電極
293,294 引出電極
295,296 接続電極
297,298 引出電極の他端部
3 ベース
30 堤部
31 段差部
32 電極パッド
33 端子電極
34 金属膜層
D1 最短長
D2,D3 長さ
D4 合算最短長
H 封止部材
M1(M11,M12) 金属膜
M3 調整用金属膜
P 基部の中心線
P1 境界点
P2 最短点
Q1,Q2 線分
S1 貫通孔の壁面
T1,T2 貫通孔の両端部
T3 音叉型水晶振動片の内部
Claims (3)
- 音叉型圧電振動片において、
圧電振動素板が、水晶からなり振動部である一対の脚部と、前記脚部を突出して設けた基部とから構成され、
前記一対の脚部は、前記基部の一端面から突出して並設され、前記一対の脚部の間であって、前記基部の一端面の幅方向における中間位置に叉部が形成され、
前記基部には、前記基部の一端面に沿って一対の貫通孔が形成され、前記基部の一端面に対向する他端面側に外部に接合する接合領域を有し、
前記一対の貫通孔は、前記一対の脚部の基端部より基部の幅方向の中心線に近接する位置に、互い(相互)の貫通孔が接しない状態で形成され、
前記貫通孔では、前記圧電振動素板の表裏両主面における前記貫通孔の両端部から前記圧電振動素板の内部に向かって前記貫通孔の平面積が次第に小さくなり、かつ、前記貫通孔の壁面が螺旋状に形成され、前記貫通孔の平面視形状を5つ以上の円弧状の稜辺により構成された略正多角形状に形成したことを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 特許請求項1記載の音叉型圧電振動片において、
前記貫通孔の平面視形状が偶数の稜辺の略正多角形状であり、この略正多角形の対向する2つの稜辺が前記脚部の突出方向と直交する方向に配置して形成したことを特徴とする音叉型圧電振動片 - 音叉型圧電振動子において、
特許請求項1、または特許請求項2記載の音叉型圧電振動片が、当該音叉型圧電振動子の筺体内部に設けられ気密封止されたことを特徴とする音叉型圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012103763A JP5831353B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012103763A JP5831353B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013232778A true JP2013232778A (ja) | 2013-11-14 |
JP5831353B2 JP5831353B2 (ja) | 2015-12-09 |
Family
ID=49678864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012103763A Active JP5831353B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5831353B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018212188A1 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動素子 |
JP2019161458A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2019176616A1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2019161459A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6939876B2 (ja) | 2017-03-30 | 2021-09-22 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
-
2012
- 2012-04-27 JP JP2012103763A patent/JP5831353B2/ja active Active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018212188A1 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動素子 |
JP2019161458A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2019176616A1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2019161459A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5831353B2 (ja) | 2015-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5333668B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 | |
JP5660162B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動デバイス | |
JP5218104B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動デバイス | |
TWI527372B (zh) | A piezoelectric vibrating plate, a piezoelectric vibrator, a method for manufacturing a piezoelectric vibrating plate, and a method of manufacturing a piezoelectric vibrator | |
JP5831353B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 | |
JP5146222B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2011160094A (ja) | 圧電振動片 | |
TWI618354B (zh) | Tuning fork type piezoelectric vibrating piece and tuning fork type piezoelectric vibrator | |
JP5397336B2 (ja) | 圧電振動片、および圧電振動子 | |
JP2011193436A (ja) | 音叉型水晶振動片、音叉型水晶振動子、および音叉型水晶振動片の製造方法 | |
JP2009296115A (ja) | 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動デバイス、および音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP6011282B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、及び音叉型圧電振動デバイス | |
JP6939876B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 | |
JP4595913B2 (ja) | 音叉型圧電振動デバイス | |
JP6179838B2 (ja) | 水晶振動子及び水晶振動デバイス | |
JP5935664B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動デバイス、及び、音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP2009284073A (ja) | 音叉型圧電振動デバイス | |
JP2009124587A (ja) | 圧電振動片、圧電振動デバイス、および圧電振動片の製造方法 | |
JP2014195133A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2018026723A (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 | |
JP2014127895A (ja) | 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動子、および音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP2010103868A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2009081670A (ja) | 圧電振動デバイス、およびその製造方法 | |
JP2017169107A (ja) | 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電振動子 | |
JP2021068955A (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141022 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5831353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |