JP6179838B2 - 水晶振動子及び水晶振動デバイス - Google Patents
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-
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Landscapes
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
10 水晶基板
11 水晶基板
12 第1面
14 第2面
16 第1端部
18 第2端部
20 第1励振電極
22 延出電極
30 第2励振電極
32 延出電極
40 凹部
42 凹部
44 凹部
50 水晶基板
52 凹部
54 凹部
60 水晶基板
62 凹部
70 水晶基板
72 貫通穴
100 水晶振動デバイス
112 内部空間
120 ベース部材
130 リッド部材
Claims (10)
- 厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子であって、
長手方向及び短手方向を有し、当該長手方向の一方の端部である第1端部と他方の端部である第2端部とを有する、ATカット水晶基板と、
前記ATカット水晶基板の第1面及び当該第1面とは反対の第2面に設けられた励振電極と、
前記励振電極に電気的に接続された延出電極と、
前記励振電極及び前記延出電極に電気的に接続された接続電極と、
を備え、
前記ATカット水晶基板には、前記第1端部及び前記第2端部の少なくとも一方と前記励振電極との間に、複数の開口部が長手方向に並んで、前記延出電極及び前記接続電極の配置を避けて形成され、
前記複数の開口部の開口面積は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって大きくなっており、
前記複数の開口部の開口数は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって多くなる、水晶振動子。 - 前記複数の開口部は、前記第1端部と前記励振電極との間、及び、前記第2端部と前記励振電極との間の両方に形成された、請求項1に記載の水晶振動子。
- 前記延出電極は、前記ATカット水晶基板の長手方向の前記第2端部に向かって延出され、
前記複数の開口部は、前記第1端部と前記励振電極との間に形成された、請求項1に記載の水晶振動子。 - 前記複数の開口部のそれぞれの開口径は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって大きくなる、請求項1から3のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記複数の開口部は、凹部である、請求項1から4のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記複数の凹部は、前記ATカット水晶基板の前記第1面及び前記第2面に形成された、請求項5に記載の水晶振動子。
- 前記ATカット水晶基板の前記第1面に形成されたいずれか一つの凹部が、前記ATカット水晶基板の前記第2面に形成された他の複数の凹部のそれぞれと全部が重なることがないように配置された、請求項6に記載の水晶振動子。
- 前記複数の開口部のそれぞれは、前記ATカット水晶基板の前記第1面及び前記第2面を貫通する貫通穴である、請求項1から4のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記複数の開口部は、エッチングによって形成された、請求項1から8のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- ベース部材と、
密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、
前記内部空間に収容された、請求項1から9のいずれか一項に記載の水晶振動子と、
を備える水晶振動デバイス。
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