JP6179838B2 - 水晶振動子及び水晶振動デバイス - Google Patents

Description

本発明は、水晶振動子及び水晶振動デバイスに関する。

発振装置や帯域フィルタなどに用いられる圧電振動素子として、厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子が広く用いられている。このような水晶振動子として、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図るために、励振用電極と、厚みすべり振動が伝搬する伝搬方向端部との間に複数の溝を形成することが知られている（特許文献１参照）。これによれば、バレル研磨などによって水晶基板の面取り加工を行う場合に比べて、加工精度が高い点及び歩留まりの向上が見込まれる点で安定した加工を行うことができる。

しかしながら、上記特許文献１に記載された構成によれば、水晶振動子の励振用電極に接続されるリード電極を、複数の溝と交差するように形成せざるを得ないため、リード電極が溝上で断線する可能性があった。そのため、電気的接続信頼性の観点から安定した品質を維持することが難しい場合があった。

特開２０１１−９７６２３号公報

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることを目的とする。

本発明の一側面に係る水晶振動子は、厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子であって、長手方向及び短手方向を有し、長手方向の一方の端部である第１端部と他方の端部である第２端部とを有する、ＡＴカット水晶基板と、ＡＴカット水晶基板の第１面及び第１面とは反対の第２面に設けられた励振電極と、を備え、ＡＴカット水晶基板には、第１端部及び第２端部の少なくとも一方と励振電極との間に、複数の開口部が長手方向に並んで形成され、複数の開口部の開口面積は、励振電極から長手方向の端部に向かって大きくなっている。

上記構成によれば、複数の開口部の開口面積が、励振電極から長手方向の端部に向かって大きくなっているので、水晶基板の中央部よりも長手方向の端部の方が厚さが小さい構成と同様の作用効果を有することができ、厚みすべり振動モードの振動エネルギーの漏れを少なくすることができる。したがって、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることができる。

上記水晶振動子において、複数の開口部は、第１端部と励振電極との間、及び、第２端部と励振電極との間の両方に形成されてもよい。

上記水晶振動子において、励振電極に電気的に接続され、ＡＴカット水晶基板の長手方向の第２端部に向かって延出された延出電極をさらに含み、複数の開口部は、第１端部と励振電極との間に形成されてもよい。

これによれば、凹部を起因として各電極の断線が発生することを防ぐことができる。

上記水晶振動子において、複数の開口部の開口数は、励振電極から長手方向の端部に向かって多くなっていてもよい。

上記水晶振動子において、複数の開口部のそれぞれの開口径は、励振電極から長手方向の端部に向かって大きくなっていてもよい。

上記水晶振動子において、複数の開口部は、凹部であってもよい。

これによれば、貫通穴に比べて水晶基板の機械的強度が低下するのを防ぐことができる。

上記水晶振動子において、複数の凹部は、ＡＴカット水晶基板の第１面及び第２面に形成されてもよい。

これによれば、振動エネルギーの閉じ込め性のさらなる向上を図ることができる。

上記水晶振動子において、ＡＴカット水晶基板の第１面に形成されたいずれか一つの凹部が、ＡＴカット水晶基板の第２面に形成された他の複数の凹部のそれぞれと全部が重なることがないように配置されてもよい。

これによれば、水晶基板の機械的強度が低下するのを防ぐことができる。

上記水晶振動子において、複数の開口部のそれぞれは、ＡＴカット水晶基板の第１面及び第２面を貫通する貫通穴であってもよい。

これによれば、より簡易に開口部を形成することができる。

上記水晶振動子において、複数の開口部は、エッチングによって形成されてもよい。

本発明の一側面に係る水晶振動デバイスは、ベース部材と、密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、内部空間に収容された上記水晶振動子と、を備える。

上記構成によれば、上記水晶基板の構成を含む水晶振動子を備えるので、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることができる。

本発明によれば、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることができる。

図１は、本実施形態に係る水晶振動子を説明するための平面図である。 図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。 図３は、本実施形態の第１変形例に係る水晶振動子を説明するための平面図である。 図４は、本実施形態の第２変形例に係る水晶振動子を説明するための平面図である。 図５は、本実施形態の第３変形例に係る水晶振動子を説明するための断面図である。 図６は、本実施形態の第４変形例に係る水晶振動子を説明するための断面図である。 図７は、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明するための平面図である。 図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。

図１は、本実施形態に係る水晶振動子の平面図を示したものであり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

本実施形態に係る水晶振動子１は、水晶基板１０と、水晶基板１０に形成された一対の第１及び第２励振電極２０，３０とを備える。

水晶基板１０は、例えば、ＡＴカットで形成された水晶からなる。ＡＴカット水晶基板を用いた水晶振動子は、広い温度範囲で極めて高い周波数安定性を有し、また、経時変化特性にも優れている上、低コストで製造することが可能である。また、ＡＴカット水晶振動子は、厚みすべり振動モード（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｓｈｅａｒ Ｍｏｄｅ）を主振動として用いられることが多い。図１及び図２に示す例では、水晶基板１０は、Ｘ方向に平行な長手方向と、Ｙ方向に平行な短手方向とを有する略矩形の外形形状を有し、ＸＹ平面を基準としてＺ方向に略対称な形状を有している。水晶基板１０は、第１面１２と、第１面１２とは反対の第２面１４とを有する。

水晶基板１０の第１面１２には第１励振電極２０が形成され、他方、水晶基板１０の第２面１４には第２励振電極３０が形成されている。第１及び第２励振電極２０，３０は、一対の電極として、ＸＹ平面視において略全体が重なり合うように配置されている。また、水晶基板１０の第１面１２には、第１励振電極２０に電気的に接続された延出電極２２が形成されている。延出電極２２は、水晶基板１０の長手方向の第１端部１６（Ｘ軸正方向側の端部）及び第２端部１８（Ｘ軸負方向側の端部）のうち、第２端部１８に向かって延出しており、さらに水晶基板１０の第２端部１８を通って、第２面１４に形成された接続電極２４と電気的に接続されている。他方、水晶基板１０の第２面１４には、第２励振電極３０に電気的に接続された延出電極３２が形成されている。延出電極３２は、水晶基板１０の長手方向の第２端部１８に向かって延出しており、第２面１４に形成された接続電極３４に電気的に接続されている。このように、第１及び第２励振電極２０，３０と電気的に接続された接続電極２４，３４が、水晶基板１０の第２面１４における長手方向の第２端部１８の側（すなわち短辺側）に配置されている。なお、これらの延出電極及び接続電極などの配置や引き回し形状などは上記に限定されるものではなく、適宜自由に設計することができる。

第１及び第２励振電極２０，３０を含む上記各電極は、例えば、下地をクロム（Ｃｒ）層で形成し、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を形成してもよく、その材料は限定されるものではない。

水晶基板１０の第１面１２には、開口部の一態様として、複数の凹部４０が形成されている。複数の凹部４０は、図１に示すように、水晶基板１０の長手方向の第１端部１６と、第１励振電極２０との間に長手方向に並んで形成されている。複数の凹部４０は、図１に示すように、長手方向に複数段（図１では３段）配列されていてもよいし、あるいは、長手方向にランダムに並んでいてもよい。そして、複数の凹部４０の開口面積（すなわち、ＸＹ平面視における開口の外縁で囲まれた範囲の合計面積）は、第１励振電極２０から第１端部１６に向かって大きくなっている。この場合、複数の凹部４０の開口面積は、長手方向に沿って常に連続的に大きくなっている構成に限られるものではなく、全体として長手方向に大きくなっている構成であればよい。例えば、第１端部１６と第１励振電極２０との間を、長手方向に同じ面積で複数の領域（例えば２つの領域）に分割した場合、第１端部１６の側の一つの領域の開口面積（すなわち開口部の密度）のほうが、第１励振電極２０の側の他の一つの領域の開口面積（すなわち開口部の密度）よりも大きくなっていればよい。

図１に示すように、複数の凹部４０の開口数が、第１励振電極２０から第１端部１６に向かって多くなるようになっていてもよい。それぞれ凹部４０の開口径は互いに略同じ大きさであってもよいし、異なる大きさであってもよい。

また、凹部４０の開口の平面形状（ＸＹ平面視の形状）は、図１に示すように円形状であってもよく、あるいは、矩形（正方形又は長方形）や楕円形などであってもよい。また、凹部４０の開口の断面形状（ＸＺ断面視の形状）は、図２に示すようにテーパが付された傾斜面（曲面又は平面）をもって形成されていてもよく、この場合、図２に示すように凹部４０の底部は、傾斜面が交差する部分であってもよい。

このような複数の凹部４０は、例えばリソグラフィ及びエッチングによって形成することができる。例えば、水晶基板上にレジスト層を形成し、露光及び現像等を行うことによってレジスト層に複数の開口部を形成し、複数の開口部によって露出した水晶基板の複数の領域をエッチングすることによって複数の凹部４０を形成することができる。エッチングは凹部４０の外周から内側方向に傾斜面を形成するように水晶基板の厚さ方向（すなわち深さ方向）に進行し、最終的には、凹部４０の外周からの傾斜面が交差する位置でエッチングが終了する。したがって、凹部４０の深さ及び傾斜角度は、エッチング時間や凹部４０の開口径などに依存する。

なお、凹部４０の形状や形成方法は上記に限定されるものではなく、例えば凹部４０は内面が曲面状に形成されてもよいし、底面及び底面から垂直に立ち上がる側壁面を有する形状であってよい。あるいは、円錐形状であってもよいし、円錐台形状であってもよい。また、凹部４０の形成方法もリソグラフィ及びエッチングによるものに限らず、その他の物理的及び化学的手法を用いて形成してもよい。

図１に示す例では、第１励振電極２０と電気的に接続される延出電極２２及び接続電極２４が、水晶基板１０の長手方向の第２端部１８の側に配置される場合、複数の凹部４０は、水晶基板１０の長手方向の第１端部１６の側に形成されている。すなわち、複数の凹部４０は、延出電極２２及び接続電極２４の配置を避けて形成される。したがって、凹部４０を起因として電極の断線が発生することを防ぐことができる。

本実施形態では、図２に示すように、水晶基板１０の第２面１４にも、開口部の一態様としての複数の凹部４２が形成されている。複数の凹部４２は、水晶基板１０の長手方向の第１端部１６と、第２励振電極３０との間に長手方向に並んで形成されている。すなわち、複数の凹部４２が形成される範囲は、凹部４０が形成される範囲と略重なっている。そして、凹部４０について説明した内容と同様に、複数の凹部４２の開口面積は、第１励振電極２０から第１端部１６に向かって大きくなっている。凹部４２のその他の構成は、上記した凹部４０について説明した内容が当てはまる。

図２に示すように、複数の凹部４０，４２は、水晶基板１０の第１面１２に形成されたいずれか一つの凹部４０が、水晶基板１０の第２面１４に形成された複数の凹部４２のそれぞれと全部が重なることがないように配置されている。言い換えれば、いずれか一つの凹部４０の中心が、複数の凹部４２のそれぞれの中心と重なることがないように配置されている。いずれか一つの凹部４０は、複数の凹部４２の全部と重ならなくてもよいし、あるいはいずれかの凹部４２の一部のみと重なるように配置されていてもよい。このように、凹部４０，４２同士がずれて配置されていることによって、複数の凹部を水晶基板１０の両面の側から形成したとしても、水晶基板１０の機械的強度が低下するのを防ぐことができる。

本実施形態に係る水晶振動子１によれば、複数の凹部４０，４２の開口面積が、第１及び第２励振電極２０，３０から長手方向の端部（例えば第１端部１６）に向かって大きくなっている、水晶基板１０の中央部よりも長手方向の端部の方が厚さが小さい構成と同様の作用効果を有することができ、厚みすべり振動モードの振動エネルギーの漏れを少なくすることができる。したがって、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることができる。

次に、図３〜図６を参照して、本実施形態の変形例に係る水晶振動子を説明する。なお、以下の変形例においては上記した内容と異なる点を説明する。

図３は、本実施形態の第１変形例に係る水晶振動子２を示す平面図である。本変形例に示すように、複数の凹部を、第１面においては長手方向の一方の端部側に形成し、第２面においては長手方向の他方の端部側に形成してもよい。

図３に示すように、水晶振動子２は水晶基板１１を有し、水晶基板１１の第１面１２には、第１端部１６と第１励振電極２０との間に複数の凹部４０が形成され、水晶基板１１の第２面１４には、第２端部１８と第２励振電極３０との間に複数の凹部４４が形成されている。この場合、複数の凹部４０，４４は延出電極や接続電極の配置を避けて形成されることが好ましい。なお、凹部４０，４４のその他の構成は、上記実施形態について説明した凹部の内容を適用することができる。

また、図３に示す例では、第２面１４において、複数の凹部４４を接続電極２４側である第２端部１８側に形成しているが、これに限定されるものではなく、第２面１４において、複数の凹部４４を第１端部１６側に形成してもよい（この場合、第１面１２において複数の凹部４０を第２端部１８側に形成する。）。これにより、第２面１４において接続電極の配置に妨げられることなく複数の凹部を自由に形成することができる。

図４は、本実施形態の第２変形例に係る水晶振動子３を示す平面図である。本変形例に示すように、複数の凹部を水晶基板の両方の端部の側に形成してもよい。

図４に示すように、水晶振動子３は水晶基板５０を有し、水晶基板５０の第１面１２には、第１端部１６と第１励振電極２０との間に長手方向に並んで複数の凹部５２が形成され、他方、第２端部１８と第１励振電極２０との間に長手方向に並んで複数の凹部５４が形成されている。複数の凹部５４の開口面積は、第１励振電極２０から第２端部１８に向かって大きくなっており、より具体的には、開口数（すなわち凹部の個数）が多くなっている。複数の凹部５４は、延出電極２２を避ける領域に形成されることが好ましい。これにより、凹部５４を起因として電極の断線が発生することを防止することができる。また、凹部５２，５４は、水晶基板５０の第２面１４にも形成されてもよい。なお、凹部５２，５４のその他の構成は、上記実施形態について説明した凹部の内容を適用することができる。本変形例によれば、水晶基板５０の両端の側に複数の凹部５２，５４が形成されているため、エネルギー振動の閉じ込め性のさらなる向上を図ることができる。

図５は、本実施形態の第３変形例に係る水晶振動子５を示す平面図である。本変形例に示すように、複数の凹部は、励振電極の側よりも長手方向の端部の側の方が開口径が大きくなっていてもよい。

図５に示すように、水晶振動子５は水晶基板６０を有し、水晶基板６０の第１面１２には、第１端部１６と第１励振電極２０との間に、長手方向に並んで複数の凹部６２，６４，６６が形成されている。具体的には、Ｘ軸正方向に沿って、凹部６２、凹部６４及び凹部６６がこの順番に配置され、凹部６２よりも凹部６４の方が開口径が大きく、また凹部６４よりも凹部６６の方が開口径が大きくなっている。なお、これらの開口径が異なる複数の凹部は、既に説明した内容と同様に、第２端部１８側に形成されてもよいし、あるいは、第２面１４にも形成されてもよい。また、上記実施形態の構成と組み合わせて、開口数と開口径とを組み合わせて、複数の凹部の開口面積を長手方向に大きくしてもよい。

図６は、本実施形態の第４変形例に係る水晶振動子７を示す断面図である。本変形例に示すように、複数の開口部は貫通穴であってもよい。

図６に示すように、水晶振動子７は水晶基板７０を有し、水晶基板７０には、第１面１２及び第２面１４を貫通する複数の貫通穴７２が形成されている。複数の貫通穴７２は、図６に示すように、第１端部１６と第１励振電極２０（及び第２励振電極３０）との間に長手方向に並んで形成されている。あるいは、複数の貫通穴は、第２端部１６と第１励振電極２０（及び第２励振電極３０）との間にも形成されてもよい。貫通穴７２が第２端部１６の側に形成される場合は、延出電極２２，３２及び接続電極２４，３４を避ける領域に形成されることが好ましい。

貫通穴７２の開口の平面形状（ＸＹ平面視の形状）は、円形状であってもよいし、矩形や楕円形などであってもよい。また、貫通穴７２の断面形状（ＸＺ断面視の形状）は、図６に示すようにテーパが付された傾斜面（曲面又は平面）をもって形成されていてもよい。例えば、貫通穴７２をエッチングで形成する場合、第１面１２又は第２面１４から水晶基板６０の中心に向かって開口径が徐々に小さくなる形状に形成されてもよい。

次に、図７及び図８を参照して、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明する。ここで、図７は、本実施形態に係る水晶振動デバイスの平面図を示したものであり、図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。なお、図７ではリッド部材は省略している。

図７に示すように、本実施形態に係る水晶振動デバイス１００は、上記水晶振動デバイス１と、水晶振動デバイス１が収容されたパッケージ部材１１０とを備える。

パッケージ部材１１０は、ベース部材１２０とリッド部材１３０とを有する。水晶振動子１は、ベース部材１２０とリッド部材１３０が接続されることによって構成された、密封した内部空間（キャビティ）１１２に収容されている。具体的には、水晶振動子１は、接続電極２４，３４が配置された一方端が固定端となるようにパッケージ部材１１０（ベース部材１２０）に支持され、水晶振動子１の他方端が自由端となるように収容されている。ベース部材１２０は、アルミナなどの絶縁性セラミックスにより形成されてもよいし、あるいは、合成樹脂等の他の絶縁材料により形成されてもよい。また、リッド部材１３０は、例えば金属で形成してもよいし、絶縁性セラミックスや合成樹脂などの絶縁性材料で形成してもよいし、あるいは、それらの複合材から構成してもよい。

ベース部材１２０には、水晶振動子１が実装される上面に複数の電極１２２，１２４が形成されている。複数の電極１２２，１２４はそれぞれ水晶振動子１の接続電極２４，３４に導電性接着剤１１６を介して電気的に接続されている。ベース部材１２０の電極１２２は、延出電極１２２ａを介してベース部材１２０のコーナー部の裏面に設けられた外部電極１２３に電気的に接続され、他方、ベース部材１２０の電極１２４は、延出電極１２４ａを介してベース部材１２０の他のコーナー部の裏面に設けられた外部電極１２５に電気的に接続されている。外部電極１２３，１２５は、水晶振動子１のＸＹ平面視において互いに向かい合う位置（例えば図６に示すように略矩形の外形の対角線上の位置）に設けられていてもよい。また、図６に示す例では、外部電極１２３，１２５が設けられたコーナー部以外の他のコーナー部においても、外部電極１２６，１２８が形成されていてもよい。これらの外部電極１２６，１２８は接地されていてもよいし、あるいは電気的に接続されていないダミー電極であってもよい。

リッド部材１３０は、図７に示すように、内部空間１１２を形成するための開口を有する。リッド部材１３０は例えばキャップであり、リッド部材１３０の開口端部が、絶縁性接着剤１１４によってベース部材１２０の外周端部に接着されることにより、密封した内部空間１１２を形成可能であってもよい。あるいは、ベース部材１２０及びリッド部材１３０の接続態様は接着剤などの樹脂材によるものに限られず、例えば溶接封止やガラス封止を適用してもよい。

なお、図７に示す例では、リッド部材１３０が内部空間１１２を形成するための開口を有する形状としたが、他の例として、外部電極が形成されたベース部材１２０のほうを内部空間１１２を形成するための開口を有する形状に形成してもよい。

このような水晶振動デバイス１００においては、外部端子１２３，１２５を介して、水晶振動子１における一対の第１及び第２励振電極２０，３０の間に交流電圧を印加することにより、厚みすべりモードで水晶振動素子１０が振動し、該振動に伴う共振特性が得られる。

本実施形態に係る水晶振動デバイス１００によれば、上記した水晶振動子１を備えるので、安定した品質を維持しつつ、振動エネルギー閉じ込め性が高い水晶振動デバイスを提供することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。また、上記各実施形態（又は変形例）で説明した内容は、他の実施形態で説明した内容と適宜組み合わせて適用することが可能である。

なお、以上の説明においては、水晶基板は略直方体の形状を前提として本発明の開口部を形成する態様を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばメサ型構造、べベル構造又はコンベックス構造のような、中央部から端部に向かって徐々に厚さを小さくした形状を前提として本発明の開口部を形成する態様を排除するものではない。

なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

１ 水晶振動子
１０ 水晶基板
１１ 水晶基板
１２ 第１面
１４ 第２面
１６ 第１端部
１８ 第２端部
２０ 第１励振電極
２２ 延出電極
３０ 第２励振電極
３２ 延出電極
４０ 凹部
４２ 凹部
４４ 凹部
５０ 水晶基板
５２ 凹部
５４ 凹部
６０ 水晶基板
６２ 凹部
７０ 水晶基板
７２ 貫通穴
１００ 水晶振動デバイス
１１２ 内部空間
１２０ ベース部材
１３０ リッド部材

Claims (10)

1. 厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子であって、
   長手方向及び短手方向を有し、当該長手方向の一方の端部である第１端部と他方の端部である第２端部とを有する、ＡＴカット水晶基板と、
   前記ＡＴカット水晶基板の第１面及び当該第１面とは反対の第２面に設けられた励振電極と、
   前記励振電極に電気的に接続された延出電極と、
   前記励振電極及び前記延出電極に電気的に接続された接続電極と、
   を備え、
   前記ＡＴカット水晶基板には、前記第１端部及び前記第２端部の少なくとも一方と前記励振電極との間に、複数の開口部が長手方向に並んで、前記延出電極及び前記接続電極の配置を避けて形成され、
   前記複数の開口部の開口面積は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって大きくなっており、
   前記複数の開口部の開口数は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって多くなる、水晶振動子。
2. 前記複数の開口部は、前記第１端部と前記励振電極との間、及び、前記第２端部と前記励振電極との間の両方に形成された、請求項１に記載の水晶振動子。
3. 前記延出電極は、前記ＡＴカット水晶基板の長手方向の前記第２端部に向かって延出され、
   前記複数の開口部は、前記第１端部と前記励振電極との間に形成された、請求項１に記載の水晶振動子。
4. 前記複数の開口部のそれぞれの開口径は、前記励振電極から前記長手方向の端部に向かって大きくなる、請求項１から３のいずれか一項に記載の水晶振動子。
5. 前記複数の開口部は、凹部である、請求項１から４のいずれか一項に記載の水晶振動子。
6. 前記複数の凹部は、前記ＡＴカット水晶基板の前記第１面及び前記第２面に形成された、請求項５に記載の水晶振動子。
7. 前記ＡＴカット水晶基板の前記第１面に形成されたいずれか一つの凹部が、前記ＡＴカット水晶基板の前記第２面に形成された他の複数の凹部のそれぞれと全部が重なることがないように配置された、請求項６に記載の水晶振動子。
8. 前記複数の開口部のそれぞれは、前記ＡＴカット水晶基板の前記第１面及び前記第２面を貫通する貫通穴である、請求項１から４のいずれか一項に記載の水晶振動子。
9. 前記複数の開口部は、エッチングによって形成された、請求項１から８のいずれか一項に記載の水晶振動子。
10. ベース部材と、
    密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、
    前記内部空間に収容された、請求項１から９のいずれか一項に記載の水晶振動子と、
    を備える水晶振動デバイス。

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