JP2013231631A5 - - Google Patents
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また、別の光子計数法の一例として、多数のアバランシェフォトダイオード画素を配列
して構成した検出器の、各画素への光子の入射により発生するパルス電流の合計を計測す
る方法が知られている。この検出器はSi−PM(Silicon Photomult
iplier)、PPD(Pixelated Photon Detector)、あ
るいはMPPC(Multi−Pixel Photon Counter、登録商標、商標権者:浜松ホトニクス株式会社)などと呼ばれる。この方法によれば、前述の単一の光電子増倍管やアバランシェフォトダイオードを用いた光子計数と異なり、応答速度が早いので短い時間内に複数個の光子が入射した場合も光量を計測することが可能である。ただし、多数のアバランシェフォトダイオードを配列したものが一つの「画素」を持つ検出器として動作するため、複数の画素の並列検出により高速あるいは高感度の欠陥検査においてこの方法を適用することができなかった。
して構成した検出器の、各画素への光子の入射により発生するパルス電流の合計を計測す
る方法が知られている。この検出器はSi−PM(Silicon Photomult
iplier)、PPD(Pixelated Photon Detector)、あ
るいはMPPC(Multi−Pixel Photon Counter、登録商標、商標権者:浜松ホトニクス株式会社)などと呼ばれる。この方法によれば、前述の単一の光電子増倍管やアバランシェフォトダイオードを用いた光子計数と異なり、応答速度が早いので短い時間内に複数個の光子が入射した場合も光量を計測することが可能である。ただし、多数のアバランシェフォトダイオードを配列したものが一つの「画素」を持つ検出器として動作するため、複数の画素の並列検出により高速あるいは高感度の欠陥検査においてこの方法を適用することができなかった。
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WO2019159334A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置 |
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US20220291140A1 (en) * | 2019-08-02 | 2022-09-15 | Hitachi High-Tech Corporation | Defect inspection device and defect inspection method |
US20230175978A1 (en) * | 2020-04-02 | 2023-06-08 | Hitachi High-Tech Corporation | Defect inspection apparatus and defect inspection method |
CN111811441B (zh) * | 2020-06-19 | 2023-03-21 | 广东电网有限责任公司 | 一种表面施工工艺检测装置及方法 |
US11803960B2 (en) * | 2020-08-12 | 2023-10-31 | Kla Corporation | Optical image contrast metric for optical target search |
GB202014596D0 (en) * | 2020-09-16 | 2020-10-28 | Third Dimension Software Ltd | Optical triangulation measurement apparatus and method |
US20240044806A1 (en) * | 2021-02-18 | 2024-02-08 | Hitachi High-Tech Corporation | Optical foreign matter inspection device |
CN113589117B (zh) * | 2021-08-16 | 2024-05-07 | 国网江苏省电力有限公司泰州供电分公司 | 一种电力设备缺陷检测***及检测方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2747921B2 (ja) * | 1989-02-23 | 1998-05-06 | 株式会社ユ−ハ味覚糖精密工学研究所 | 光散乱法による超微粒子の粒径測定装置 |
US5251010A (en) * | 1991-06-07 | 1993-10-05 | Glasstech, Inc. | Optical roller wave gauge |
JP3520356B2 (ja) | 1995-05-02 | 2004-04-19 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置 |
JP4008168B2 (ja) * | 1999-11-26 | 2007-11-14 | アンリツ株式会社 | プリント基板検査装置 |
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US6617603B2 (en) * | 2001-03-06 | 2003-09-09 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Surface defect tester |
JP2006515676A (ja) * | 2003-01-09 | 2006-06-01 | オーボテック リミテッド | 2−dおよび表面凹凸形状の同時検査のための方法および装置 |
WO2005015284A1 (de) * | 2003-08-12 | 2005-02-17 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung zum nachweis von photonen eines lichtstrahls |
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JP2010197352A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
JP4698766B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2011-06-08 | 三井造船株式会社 | 蛍光検出装置および蛍光検出方法 |
JP5331586B2 (ja) * | 2009-06-18 | 2013-10-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置および検査方法 |
JP5520737B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-06-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
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