JP2013230580A - 液滴噴射装置、及び、圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータは、圧力室24と対向して配置された圧電層30と、圧電層30に設けられた個別電極32及び共通電極33とを有する。駆動信号が印加される個別電極32は、圧電層30に接して配置された第1電極層38と、この第1電極層38に積層された第2電極層39を有する。第1電極層38は金で形成されている。第2電極層39は、第1電極層38よりも幅が小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成されている。
【選択図】 図3
Description
前記圧電アクチュエータは、前記圧力室と対向して配置された圧電層と、前記圧電層に設けられた低電位電極と、同じく前記圧電層に設けられ、前記低電位電極よりも高い電位が付与される高電位電極と、を有し、
前記高電位電極は、前記圧電層に接して配置され、金で形成された第1電極層と、前記第1電極層に積層され、所定方向に延びるとともに前記所定方向と直交する方向の長さが前記第1電極層よりも小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成された第2電極層と、を有することを特徴とするものである。
前記複数の高電位電極の各々は、前記圧力室と対向する主電極部と、前記主電極部から前記圧力室の外側まで引き出された引出電極部と、前記引出電極部に形成され、前記高電位電極に電位を付与するための配線部材と接続される接続端子と、を有し、複数の前記引出電極部のうちの一部の引出電極部は、他の引出電極部と形状が異なっており、形状が異なる引出電極部間で、電極面積が等しいことを特徴とするものである。
前記高電位電極は、前記圧電層に接して配置され、金で形成された第1電極層と、前記第1電極層に積層され、所定方向に延びるとともに前記所定方向と直交する方向の長さが前記第1電極層よりも小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成された第2電極層と、を有することを特徴とするものである。
16 ノズル
20 流路ユニット
21 圧電アクチュエータ
24 圧力室
30 圧電層
32 個別電極
32a 主電極部
32b 引出電極部
32c 接続端子
33 共通電極
38 第1電極層
39 第2電極層
60 圧電層
Claims (10)
- 液滴を噴射するノズルとこのノズルに連通する圧力室とを有する流路構造体と、
前記流路構造体に設けられ、前記圧力室内の液体に噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室と対向して配置された圧電層と、
前記圧電層に設けられた低電位電極と、
同じく前記圧電層に設けられ、前記低電位電極よりも高い電位が付与される高電位電極と、を有し、
前記高電位電極は、
前記圧電層に接して配置され、金で形成された第1電極層と、
前記第1電極層に積層され、所定方向に延びるとともに前記所定方向と直交する方向の長さが前記第1電極層よりも小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成された第2電極層と、
を有することを特徴とする液滴噴射装置。 - 前記圧力室は、一方向に長い形状を有し、
前記第1電極層は、前記圧力室の長手方向に長い形状に形成され、
前記第2電極層は、前記圧力室の長手方向に沿って延在していることを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。 - 前記第2電極層の、前記圧力室の短手方向における長さは、前記第1電極層の前記短手方向の長さよりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の液滴噴射装置。
- 前記第2電極層は、前記第1電極層の長手方向の全長にわたって形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の液滴噴射装置。
- 前記第2電極層を形成する導電材料にガラス粉末が添加されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液滴噴射装置。
- 前記高電位電極は、この高電位電極に電位を付与するための配線部材に接続される接続端子を有し、
前記接続端子は、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成され、
さらに前記接続端子は、金で形成された前記第1電極層に積層されており、前記圧電層とは直接接触していないことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の液滴噴射装置。 - 前記第2電極層と前記接続端子が同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項6に記載の液滴噴射装置。
- 前記流路構造体は、複数の前記圧力室を有し、
前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室にそれぞれ対応した複数の前記高電位電極を有し、
前記複数の高電位電極の各々は、
前記圧力室と対向する主電極部と、
前記主電極部から前記圧力室の外側まで引き出された引出電極部と、
前記引出電極部に形成され、前記高電位電極に電位を付与するための配線部材と接続される接続端子と、を有し、
複数の前記引出電極部のうちの一部の引出電極部は、他の引出電極部と形状が異なっており、
形状が異なる引出電極部間で、電極面積が等しいことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の液滴噴射装置。 - 前記第2電極層は、銀、又は、銀−パラジウム合金によって形成されていることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の液滴噴射装置。
- 圧電層と、
前記圧電層に設けられた低電位電極と、
同じく前記圧電層に設けられ、前記低電位電極よりも高い電位が付与される高電位電極と、を有し、
前記高電位電極は、
前記圧電層に接して配置され、金で形成された第1電極層と、
前記第1電極層に積層され、所定方向に延びるとともに前記所定方向と直交する方向の長さが前記第1電極層よりも小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成された第2電極層と、
を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
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