JP2013229751A - 音叉型屈曲水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表側溝部14A及び裏側溝部には、それぞれ表側隔壁16A及び裏側隔壁16Bが設けられている。表側隔壁16Aは、基部11側から先端121側に沿って表側溝部14Aを二分するとともに、ウェットエッチングを抑制する構造からなる。表側溝部14Aは二分された表側溝部141,142からなる。表側溝部14Aの底面と裏側溝部の底面とは、互いに対向している。
【選択図】 図1
Description
平板形状の基部と、
この基部の側面から同一の方向に延びる、二本の平板形状の振動腕部と、
前記基部側から前記振動腕部の先端側に沿って前記振動腕部の長さ方向に設けられ、前記振動腕部の厚み方向に窪んだ溝部と、
を備えた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
前記溝部は、前記振動腕部の表主面に開口する表側溝部と、前記振動腕部の裏主面に開口する裏側溝部との、少なくとも一組からなり、
前記表側溝部の底面と前記裏側溝部の底面とは互いに対向し、
前記表側溝部及び前記裏側溝部には、前記基部側から前記先端側に沿って当該表側溝部及び当該裏側溝部をそれぞれ二分するとともに、当該表側溝部及び当該裏側溝部の前記長さ方向の中央付近におけるウェットエッチングを抑制する構造からなる、表側隔壁及び裏側隔壁がそれぞれ設けられた、
ことを特徴とする。
11 基部
11A 表主面
11B 裏主面
12 振動腕部
121 先端
14 溝部
14A 表側溝部
141,142 表側溝部
145,146 底面
16A,16A’ 表側隔壁
12A 斜め方向
14B 裏側溝部
143,144 裏側溝部
147,148 底面
16B,16B’ 裏側隔壁
12B 斜め方向
13 振動腕部
131 先端
15 溝部
15A 表側溝部
151,152 表側溝部
17A 表側隔壁
17B 裏側隔壁
181,182 電極
191,192 配線
21 基部
21A 表主面
21B 裏主面
22 振動腕部
221 先端
24 溝部
24A 表側溝部
241,242 表側溝部
245,246 底面
26A 表側隔壁
22A 幅
24B 裏側溝部
243,244 裏側溝部
247,248 底面
26B 裏側隔壁
22B 幅
23 振動腕部
231 先端
25 溝部
25A 表側溝部
251,252 表側溝部
27A 表側隔壁
23A 幅
281,282 電極
291,292 配線
81 基部
81A 表主面
81B 裏主面
82 振動腕部
84 溝部
841,842 表側溝部
845,846 底面
861,862 突条
843,844 裏側溝部
847,848 底面
863,864 突条
83 振動腕部
85 溝部
851,852 表側溝部
871,872 突条
Claims (4)
- 平板形状の基部と、
この基部の側面から同一の方向に延びる、二本の平板形状の振動腕部と、
前記基部側から前記振動腕部の先端側に沿って前記振動腕部の長さ方向に設けられ、前記振動腕部の厚み方向に窪んだ溝部と、
を備えた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
前記溝部は、前記振動腕部の表主面に開口する表側溝部と、前記振動腕部の裏主面に開口する裏側溝部との、少なくとも一組からなり、
前記表側溝部の底面と前記裏側溝部の底面とは互いに対向し、
前記表側溝部及び前記裏側溝部には、前記基部側から前記先端側に沿って当該表側溝部及び当該裏側溝部をそれぞれ二分するとともに、当該表側溝部及び当該裏側溝部の前記長さ方向の中央付近におけるウェットエッチングを抑制する構造からなる、表側隔壁及び裏側隔壁がそれぞれ設けられた、
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記表側隔壁は、前記ウェットエッチングを抑制する構造としての、前記振動腕部の長さ方向に対して第一の斜め方向に前記表側溝部を二分する構造からなり、
前記裏側隔壁は、前記ウェットエッチングを抑制する構造としての、前記振動腕部の長さ方向に対して第二の斜め方向に前記裏側溝部を二分する構造からなり、
前記第一の斜め方向と前記第二の斜め方向とは、前記表主面から見て互いに交差する、
請求項1記載の音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記第一の斜め方向と前記第二の斜め方向とが交差する部分における前記表側隔壁及び前記裏側隔壁の幅は、他の部分よりも広くなっている、
請求項2記載の音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記表側隔壁及び裏側隔壁は、いずれも前記ウェットエッチングを抑制する構造としての、前記基部側と前記先端側との中間から前記基部側及び前記先端側に沿ってそれぞれ幅が狭くなる構造からなる、
請求項1記載の音叉型屈曲水晶振動素子。
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2012
- 2012-04-25 JP JP2012100294A patent/JP5902546B2/ja active Active
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