JP2013228232A - 基板外観検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】画像処理による検査と検査者による目視検査の双方を並列的に行うこと可能とし、全体としての検査時間を短縮すること。
【解決手段】基板外観検査方法は、被検査基板をエリア毎にカメラにより順次撮像する撮像ステップと、撮像ステップにより得られたエリア毎の画像を順次処理して、被検査基板における欠陥候補を画像認識する画像認識ステップと、遅くとも画像認識ステップによる最後のエリアの画像認識処理が終了する前に実行され、ユーザによる目視検査が可能となるように、画像認識ステップにより欠陥候補が認識されたエリアの画像であって、最後のエリアよりも前に画像認識処理されたエリアの画像を表示する欠陥候補エリア画像表示ステップとを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、カメラを用いた基板外観検査方法に関する。

従来から、この種の基板外観検査方法は知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許第４４３６５２３号明細書

ところで、被検査基板をカメラで撮像して画像処理により欠陥候補を認識する構成では、一般的に、欠陥候補が画像認識された後に、検査者による目視検査が実行される。しかしながら、例えば被検査基板が比較的大型である場合等、１つの被検査基板に対してカメラで複数の画像を撮像する必要がある場合、それら全ての画像に対する画像認識処理が終了するまで、検査者による目視検査を開始することができず、全体としての検査時間が長くなるという問題があった。

そこで、本発明は、画像処理による検査と検査者による目視検査の双方を並列的に行うこと可能とし、全体としての検査時間を短縮することが可能な基板外観検査方法の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一局面によれば、被検査基板をエリア毎にカメラにより順次撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップにより得られたエリア毎の画像を順次処理して、前記被検査基板における欠陥候補を画像認識する画像認識ステップと、
遅くとも前記画像認識ステップによる最後のエリアの画像認識処理が終了する前に実行され、ユーザによる目視検査が可能となるように、前記画像認識ステップにより欠陥候補が認識されたエリアの画像であって、前記最後のエリアよりも前に画像認識処理されたエリアの画像を表示する欠陥候補エリア画像表示ステップとを備えることを特徴とする、基板外観検査方法が提供される。

本発明によれば、画像処理による検査と検査者による目視検査の双方を並列的に行うこと可能とし、全体としての検査時間を短縮することが可能な基板外観検査方法が得られる。

本発明による基板外観検査方法の一例を示すフローチャートである。 図１に示す基板外観検査方法を実行する基板外観検査システム１の一例を示す構成図である。 被検査基板の各エリアの一例を概略的に示す平面図である。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。

図１は、本発明による基板外観検査方法の一例を示すフローチャートである。図２は、図１に示す基板外観検査方法を実行する基板外観検査システム１の一例を示す構成図である。図３は、被検査基板の各エリアの一例を概略的に示す平面図である。尚、基板外観検査方法は、被検査基板が製品とされる製造過程中の検査工程で実行される。

被検査基板は、例えばガラス、有機ＥＬパネル、フィルム等のような、有限の外形を有する任意の基板であってよい。或いは、被検査基板は、実質的に無限に連続する基板であってもよい。また、ガラスの場合、ガラスそのものであってもよいし、膜付きガラスであってもよい。後者の場合、ガラスの欠陥の有無及び／又は膜の欠陥の有無が検査工程で検査されてよい。膜は、任意の機能を有してよく、例えば断熱機能を有する膜であってもよい。また、被検査基板のサイズは、任意であってよいが、後述の如くカメラ１０の１ショットで全域を撮像できないような（即ち複数のエリアに分割してエリア毎に撮像する必要がある）大型サイズであることが好適である。また、被検査基板は、ガラスのような透明な基板であってもよいし、不透明な基板であってもよい。

ここでは、先ず、図２を参照して、基板外観検査システム１について説明する。

基板外観検査システム１は、カメラ１０と、照明装置１２と、ＸＹ２軸ステージ１４と、制御装置１８とを含む。

カメラ１０は、CCD素子が縦横方向に配列されたエリアセンサであってもよいし、CCD素子が横一列に配列されたラインセンサであってもよい。尚、エリアセンサでは、二次元的に画像の撮影ができ、ラインセンサでは、一次元的な画像の撮影ができる。撮像素子は、ＣＣＤ以外にも、ＣＭＯＳ等が使用されてもよい。尚、以下では、カメラ１０は、エリアセンサである場合について説明する。カメラ１０の向きは、検出対象の欠陥や被検査基板の種類等に応じて決定され、被検査基板に対して面直方向に光軸が向くように配置されてもよいし、被検査基板に対して斜め方向に光軸が向くように配置されてもよい。また、カメラ１０は、被検査基板の表面を撮像する位置に配置されてもよいし、被検査基板の裏面を撮像する位置に配置されてもよいし、被検査基板の表面及び裏面を撮像するように２台以上配置されてもよい。

照明装置１２は、被検査基板における欠陥を画像認識できるように、カメラ１０に対して適切な位置関係で配置される。照明装置１２の配置・向き・数は、検出対象の欠陥や被検査基板の種類、カメラ１０の位置や向き等に応じて変化しうる。照明装置１２は、例えば被検査基板に対してカメラ１０と同じ側に配置されてもよいし、被検査基板に対してカメラ１０と逆側に配置されてもよい。

ＸＹ２軸ステージ１４は、被検査基板が上に載せられるステージであり、直交する２軸（ＸＹ軸）のそれぞれに沿って可動する。ＸＹ２軸ステージ１４は、典型的には、水平面内の２軸で可動する。この場合、ＸＹ２軸ステージ１４のステージ（被検査基板の支持面）は、水平面を提供する。

制御装置１８は、コンピューターから構成され、カメラ１０、照明装置１２及びＸＹ２軸ステージ１４を制御する。制御装置１８は、例えば、カメラ１０に撮像命令等を出力する。また、制御装置１８は、ＸＹ２軸ステージ１４にステージ移動命令等を出力する。ステージ移動命令は、撮像命令と協調して出力される。

本実施例では、カメラ１０及びＸＹ２軸ステージ１４は、被検査基板がエリア毎にカメラ１０により撮像されるように制御される。図３に示す例では、被検査基板７０は、２０個のエリアに分割されている。尚、エリアは、１回の撮像でカメラ１０により撮像される被検査基板の領域に対応する。従って、エリアの大きさや形状は、カメラ１０の画素構成や、被検査基板７０とカメラ１０との間の垂直方向の距離等の位置関係に応じて異なりうる。

図３に示す例では、例えば第１エリアから第２０エリアまで昇順に各エリアが順次撮像されるようにカメラ１０及びＸＹ２軸ステージ１４が制御されてもよい。この場合、カメラ１０は、先ず、第１エリアを撮像し、次いで、ＸＹ２軸ステージ１４により被検査基板７０がＹ方向（左向き）に移動され、カメラ１０は第２エリアを撮像する。その後同様にＸＹ２軸ステージ１４により被検査基板７０がＹ方向に移動されて第３，４，５エリアが順次撮像されると、ＸＹ２軸ステージ１４により被検査基板７０がＸ方向に移動され、第６エリアが撮像される。次いで、ＸＹ２軸ステージ１４により被検査基板７０がＹ方向（右向き）に移動され、カメラ１０は第７エリアを撮像する。このようにして、被検査基板がエリア毎にカメラ１０により撮像される。

尚、以上の説明では、カメラ１０を固定し、ＸＹ２軸ステージ１４により被検査基板７０を移動させることで、カメラ１０と被検査基板７０との位置関係を変化させているが、カメラ１０のみを移動させてもよいし、カメラ１０と被検査基板７０との双方を移動させてもよい。また、各エリアの撮像順序も任意である。また、図３に示す各エリアは、互いに独立であるが、隣接するエリアに対して一部がオーバーラップしていてもよい。

基板外観検査システム１は、更に、画像処理装置２０と、表示装置２２と、目視結果入力装置２４と、検査データ記憶装置２６とを含む。

画像処理装置２０は、コンピューターから構成される。画像処理装置２０は、カメラ１０から得られる画像を処理して、被検査基板に存在しうる欠陥を画像認識する。画像認識対象の欠陥は、任意であるが、典型的には、被検査基板の品質上問題となる欠陥である。例えば膜付きのガラスの場合、膜の欠陥（例えば膜内の気泡、異物）やガラスの欠陥（例えばガラス内の異物等）であってもよい。また、積層基板の場合は、積層のずれ、異物（汚れ）の付着、欠損等であってもよい。欠陥の画像認識方法は、欠陥の種類（特徴）に応じて任意の方法が使用されてもよい。例えば、欠陥の画像認識方法は、欠陥の無い被検査基板を撮像して得られる基準画像データと比較することで、欠陥（異常部分）を画像認識する方法であってもよい。尚、画像処理装置２０により画像認識される欠陥は、最終的には、人目により欠陥であるか否かが判断（検査）される。従って、以下では、画像処理装置２０により画像認識される欠陥は、「欠陥候補」と称する。

画像処理装置２０は、カメラ１０から得られる各エリアの画像毎に順次画像認識処理を実行する。画像処理装置２０による欠陥候補認識結果（欠陥候補の有無や、欠陥候補の位置等）は、各エリアの画像毎に得られる。欠陥候補認識結果は、各エリアの画像と共に所定の記憶装置に順次記憶されてよい。

表示装置２２は、検査者に対して画像を表示するための表示装置である。表示装置２２は、任意の表示装置であってよく、例えば液晶ディスプレイであってよい。表示装置２２は、表示機能のみを有する表示装置であってもよいし、内部に制御装置（コンピューター）を含む表示装置であってもよい。表示機能のみを有する表示装置である場合、表示装置２２の表示状態は、例えば目視結果入力装置２４により制御されてよい。尚、以下では、表示装置２２の表示状態は、目視結果入力装置２４により制御されるものとして説明を続ける。

表示装置２２は、カメラ１０から得られる画像であって、画像処理装置２０により欠陥候補が画像認識されたエリアに係る画像（以下、「欠陥候補エリア画像」ともいう）を表示する。尚、表示装置２２は、ユーザ（典型的には、検査者）からの要求に応じて欠陥候補エリア画像を表示してもよいし、画像処理装置２０により欠陥候補が画像認識された場合に目視結果入力装置２４の指令を受けて（自動的に）、当該欠陥候補に係る欠陥候補エリア画像を表示してもよい。表示装置２２は、ユーザからの要求に応じて欠陥候補エリア画像を拡大表示する機能等を有してよい。尚、表示装置２２上に表示される欠陥候補エリア画像は、カメラ１０から得られる画像そのものであってもよいし、カメラ１０から得られる画像に、欠陥候補の位置をユーザに知らせるためのマーク等が重畳された画像であってもよい。

目視結果入力装置２４は、コンピューターから構成される。目視結果入力装置２４には、ユーザインターフェース２５が接続される。ユーザインターフェース２５は、任意のユーザインターフェース２５であってよく、例えばマウスやキーボード、タッチパネルディスプレイ、音声認識装置等であってよい。また、目視結果入力装置２４とユーザインターフェース２５との接続態様は、任意であり、無線通信や有線通信又はその組み合わせであってもよい。

目視結果入力装置２４は、ユーザインターフェース２５を介して入力される検査者による目視検査結果を処理する。尚、目視結果入力装置２４のユーザインターフェース２５は、典型的には、表示装置２２の近くに配置される。検査者は、表示装置２２上に表示される欠陥候補エリア画像を目視によりチェックし、そこに表示される欠陥候補が欠陥であるか否かを判断し、その判断結果（目視検査結果）をユーザインターフェース２５から入力する。目視結果入力装置２４は、入力された欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果（例えば欠陥（ＮＧ）、欠陥でない（ＯＫ）の２種類、又は、欠陥、欠陥でない、保留の３種類）を検査データ記憶装置２６に記憶する。

尚、一例として、本例では、目視結果入力装置２４は、表示装置２２の表示状態を制御する。この場合、目視結果入力装置２４がアクセス可能な記憶装置に、カメラ１０から得られる画像（欠陥候補エリア画像を含む）が記憶されていればよい。例えば目視結果入力装置２４内部の主記憶装置には、画像処理装置２０を介して順次供給されるカメラ１０からの各画像が順次記憶されてよい。また、この場合、目視結果入力装置２４には、画像処理装置２０から各エリアの画像と共に、欠陥候補認識結果が随時供給されてよい。

検査データ記憶装置２６は、補助記憶装置であり、例えばＨＤＤ（ハードディスクドライブ）により構成される。検査データ記憶装置２６は、目視結果入力装置２４に内蔵される補助記憶装置であってもよいし、アクセス可能な外部の補助記憶装置であってもよい。検査データ記憶装置２６は、目視結果入力装置２４を介して入力される目視検査結果を記憶する。検査データ記憶装置２６に記憶される目視検査結果は、当該検査工程よりも後の工程で使用される。例えば、検査工程よりも後の工程は、検査工程の検査結果に応じて基板の補修等の保全や基板の廃棄を行う工程であってよい。検査データ記憶装置２６には、目視検査結果に加えて、欠陥の位置情報（基板上のどの位置かを示す情報）が記憶されてもよい。欠陥の位置情報は、例えば基板に対して定義された所定の座標系での座標で表現されてもよい。この欠陥の位置情報は、検査者により目視検査結果と共に入力される情報であってあってもよいし、画像処理装置２０により算出された位置情報（算出された時点では欠陥候補の位置情報）であってもよい。これにより、検査工程よりも後の工程において、例えば補修を行う際、対応する欠陥を容易に特定することができる。尚、補修等の保全は、作業者によるマニュアル作業であってもよいし、ロボットにより自動作業であってもよいし、その組み合わせであってもよい。また、検査データ記憶装置２６には、目視検査結果に加えて、欠陥の種類や程度等を表す付加情報が記憶されてもよい。また、検査データ記憶装置２６には、目視検査結果に加えて、対応する欠陥候補エリア画像が記憶されてもよい。

次に、図１を参照して、上述した図２に示す基板外観検査システム１により実現される基板外観検査方法の一例について説明する。

図１には、カメラ１０、画像処理装置２０、表示装置２２、及び、検査データ記憶装置２６の各動作と共に、目視検査者による作業が、同じ時系列で示されている。図１は、ある１つの被検査基板に対して実行される基板外観検査方法のタイミングチャートを示す。

先ず、カメラ１０は、時刻ｔ０から動作開始し、被検査基板の各エリアを順次撮像していく。図１に示す例では、カメラ１０は、第１エリアから第Ｎエリアまで順に撮像し、第Ｎエリアを撮像し終えた時刻ｔ１にて動作終了となる。尚、カメラ１０の動作時間（＝ｔ１−ｔ０）は、エリア数（Ｎ）や、１ショット当たりのカメラ１０の撮像時間やＸＹ２軸ステージ１４の動作時間等に依存する。

画像処理装置２０は、時刻ｔ０以後、カメラ１０からの第１エリアの画像の入力を受けて動作開始する。画像処理装置２０は、カメラ１０が順次撮像する被検査基板の各エリアの画像を順次処理する。尚、図１に示す例では、画像処理装置２０は、カメラ１０が第２エリアの画像を撮像する前に、第１エリアの画像の処理を開始している。但し、画像処理装置２０の処理（欠陥候補認識処理）は、カメラ１０の撮像と並列的に順次実行されている限り、どのようなタイミングで実行されてもよい。尚、典型的には、画像処理装置２０は、カメラ１０による画像の取得順（本例では、第１エリアから第Ｎエリアまでの昇順）に同期した順に各エリアの画像を処理する。この場合、画像処理装置２０の動作は、第Ｎエリアの画像を処理し終えた時点（図１に示す例では、時刻ｔ２）で動作終了となる。

尚、画像処理装置２０による欠陥候補認識処理は、図１に示すように、目視結果入力装置２４の処理（例えば、目視検査者からの目視結果の検査データ記憶装置２６への記憶処理や、表示装置２２上への欠陥候補エリア画像の表示処理）と並列して実行される。即ち、画像処理装置２０と検査データ記憶装置２６とは別々のコンピューターにより構成されているので、画像処理装置２０は、検査データ記憶装置２６の処理に影響されずに、各エリアの画像に対する欠陥候補認識処理を継続的に順次実行することができる。

表示装置２２は、時刻ｔ０以後、所定のタイミングで、画像処理装置２０により欠陥候補が画像認識されたエリアに係る画像（欠陥候補エリア画像）を表示する。欠陥候補エリア画像は、画像処理装置２０により欠陥候補が画像認識される度に、自動的に順次表示されてもよいし、ユーザ（典型的には、検査者）からの要求が入力された場合に、その要求に応じて表示されてもよい。後者の場合、表示装置２２は、新たな欠陥候補エリア画像が発生した場合に、その旨を表示し、それに応答してユーザからの表示要求が入力された場合に、当該欠陥候補エリア画像を表示することとしてよい。尚、ユーザからの要求は、表示装置２２の表示を制御する制御装置（本例では、目視結果入力装置２４）により処理される。例えば、ユーザからの要求は、ユーザインターフェース２５を介して入力され、これを受けて、目視結果入力装置２４は、表示装置２２上に欠陥候補エリア画像を表示させてもよい。尚、図１に示す例では、第２エリアの画像に欠陥候補が認識され、それを受けて、表示装置２２は、画像処理装置２０による当該欠陥候補の認識後直ぐに、当該欠陥候補に係る欠陥候補エリア画像を表示している。表示装置２２は、典型的には、全ての欠陥候補エリア画像を表示し、それに対応した目視検査結果が入力された段階で、実質的に動作終了となる。

尚、図１に示す例では、表示装置２２は、１つの被検査基板に対して複数の欠陥候補エリア画像を表示している。この場合、欠陥候補エリア画像の切換は、ユーザからの切換要求に応じて実行されてよい。例えば、目視結果入力装置２４は、ユーザインターフェース２５を介してユーザからの切換要求が入力された場合に、表示装置２２上に、次の欠陥候補エリア画像を表示することとしてよい。

目視検査者は、表示装置２２上に表示された欠陥候補エリア画像を目視により検査する。即ち、目視検査者は、表示装置２２上に表示された欠陥候補エリア画像を目視し、欠陥候補が欠陥であるか否かを判断し、その判断結果（目視検査結果）をユーザインターフェース２５により入力する。尚、目視検査は、表示装置２２上の欠陥候補エリア画像の拡大表示等の表示切替を伴ってもよい。目視検査者による目視検査は、表示装置２２上に表示される欠陥候補エリア画像毎に実行される。目視検査者による目視検査は、表示装置２２上での欠陥候補エリア画像の表示に同期して実行される。尚、表示装置２２上に欠陥候補エリア画像が表示されると、その時点から、当該欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果が入力可能な状態（目視検査結果の入力待ち状態）が形成されてよい。実際には、目視検査結果は、表示装置２２上に欠陥候補エリア画像が表示されてから、ある程度の時間（目視検査に要する時間）が経過した後に入力されることになる。尚、図１に示す例では、１つ目の欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力と、２つ目の欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力は、画像処理装置２０による最後のエリア（第Ｎエリア）の画像処理が終了する前に実行されている。他方、最後の欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力は、画像処理装置２０による最後のエリア（第Ｎエリア）の画像処理が終了した後（即ち時刻ｔ２以降）に実行されている。

検査データ記憶装置２６は、目視検査者により入力された目視検査結果を随時記憶する。即ち、目視結果入力装置２４は、視検査者により目視検査結果が入力される毎に、入力された目視検査結果を検査データ記憶装置２６に記憶する。尚、目視結果入力装置２４は、視検査者により入力された複数の欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果（但し、同一の被検査基板に係る目視検査結果）を主記憶装置に記憶しておき、最後の欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果が入力された時点にて、一括で検査データ記憶装置２６に記憶することとしてもよい。いずれにしても、検査データ記憶装置２６が最後の欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果を記憶した時点（図１の時刻ｔ３）にて、ある特定の１つの被検査基板に係る基板外観検査が完了となる。尚、図１に示す例では、ある特定の１つの被検査基板に対して、３つの欠陥候補エリア画像に対応して３つの目視検査結果が記憶されているが、当然ながら、欠陥候補エリア画像の数は多様でありうる。例えば、１つの被検査基板に対して、欠陥候補エリア画像が１つも存在しない場合もありうる。

このように図１に示す基板外観検査は、ある特定の１つの被検査基板に対して、カメラ１０が第１エリアの画像を撮像した時点（時刻ｔ０）から実質的に開始し、検査データ記憶装置２６が最後の欠陥候補エリア画像に係る目視検査結果を記憶した時点（時刻ｔ３）にて終了となる。

ここで、図１に示す基板外観検査方法によれば、上述の如く、欠陥候補エリア画像が得られ次第、欠陥候補エリア画像が表示装置２２上に表示可能となる。これにより、画像処理装置２０による最後のエリア（本例の場合、第Ｎエリア）の画像処理が終了する前に、検査者による目視検査を開始することができる。例えば、図１に示す例では、画像処理装置２０による第Ｎエリアの画像処理が終了する時刻ｔ２よりも前に、表示装置２２上に、第Ｎエリアよりも前のエリア（例えば第２エリア）に係る欠陥候補エリア画像が表示されている。これにより、第１エリアの画像から第Ｎエリアの画像までの全部の欠陥候補認識処理を経てから、第Ｎエリアよりも前のエリアに係る欠陥候補エリア画像を表示する場合に比べて、早期に検査者による目視検査を開始することができる。これにより、多数のエリアに分けて画像を撮像する必要があり、その全ての画像を撮像するのに比較的長い時間を要するような大型の被検査基板に対しても、画像処理装置２０による欠陥候補認識処理と検査者による目視検査とを協調して実行すること可能であり、この結果、全体として要する検査時間を短縮することができる。

尚、図１に示す例では、１つ目の欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力と、２つ目の欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力は、画像処理装置２０による最後のエリア（第Ｎエリア）の画像処理が終了する時点（時刻ｔ２）よりも前に実行されている。しかしながら、エリア数Ｎや画像処理時間、目視検査時間、欠陥候補エリア画像の現れ方等に依存して、欠陥候補エリア画像に対する目視検査結果入力は、画像処理装置２０による最後のエリアの画像処理が終了する時点よりも前に完了しない場合もありうる。例えば図１に示す例において、Ｎ＝２であり、１つ目の欠陥候補エリア画像が第１エリアの画像である場合、当該第１エリアの画像に対する目視検査結果は、最後のエリア（第２エリア）の画像処理が終了する時点よりも前に入力できない場合もありうる。この場合であっても、本実施例によれば、第１エリアの画像に対する目視検査は、最後のエリア（第２エリア）の画像処理が終了する時点よりも前に開始することができるので（即ち第１エリアの欠陥候補認識処理の終了直後から開始することができるので）、最後のエリア（第２エリア）の欠陥候補認識処理が終了する時点から第１エリアの画像に対する目視検査を開始する構成に比べて、目視検査を早期に開始することができ、その分だけ検査時間を短縮することができる。

以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。

例えば、上述した実施例では、画像処理装置２０及び目視結果入力装置２４は、それぞれ別のコンピューターにより実現されているが、単一のコンピューターにより実現されてもよい。この場合、その単一のコンピューターは、マルチコアプロセッサであり、各ＣＰＵコアが、画像処理装置２０及び目視結果入力装置２４のそれぞれの機能を実現する。また、画像処理装置２０の機能は、複数のコンピューターにより実現されてもよいし、目視結果入力装置２４の機能は、複数のコンピューターにより実現されてもよい。

また、上述した実施例では、カメラ１０は、第Ｎエリアの画像を取得した時点で動作終了となっているが、例えばユーザインターフェース２５を介したユーザからの要求に応じて、指定のエリアの画像を再度撮像するように動作してもよい。この場合、最後の欠陥候補エリア画像に係る目視検査が終了する前に、かかる再撮像を受け付けることで、全ての目視検査が終了してから再度特定のエリアだけ撮像して再検査を行う場合に比べて、全体として検査時間を短縮することができる。この場合、画像処理装置２０は、再撮像されたエリアについて、再度、欠陥候補認識処理を行うこととしてもよい。尚、カメラ１０のレンズが切り換え可能な構成（即ち、カメラ１０が倍率可変のレンズを装備する構成）では、欠陥候補の拡大観察が可能なようにカメラ１０のレンズを、より高い倍率のものに切り換えてから指定のエリアの画像を再度撮像することとしてもよい。あるいは、カメラ１０を主カメラとし、カメラ１０とは別のカメラを副カメラとして用い、指定のエリアの画像を副カメラにより再度撮像することとしてもよい。この場合、副カメラは、欠陥候補の拡大観察が可能なように、主カメラ（カメラ１０）よりも高い倍率のレンズを備えてもよいし、倍率可変のレンズを備えてよい。かかる構成によれば、カメラ１０の撮像動作中に（即ち第Ｎエリアの撮像が完了する前に）副カメラによる撮像動作（指定のエリアの画像の再度撮像）を開始することができ、その分だけ検査時間を短縮することができる。この場合、副カメラは、平面型のモータの上に載置され、平面型のモータの駆動により副カメラの平面運動（特定のエリアの撮像位置への移動）が実現されてもよい。

また、上述した実施例では、検査工程の終了後（全ての欠陥候補に関して目視検査が完了した後）に、補修等の保全が実行されているが、検査工程の最中に補修の保全を行ってもよい。即ち、検査工程で入力される目視検査結果に応じた保全作業は、当該検査工程中に実行されてもよい。尚、保全作業は、人手によるものであってもよいし、ロボットによる作業であってもよいし、それらの組み合わせであってもよい。ロボットによる作業である場合は、カメラ１０の撮像動作に干渉しない態様で、保全用ロボットを制御すればよい。この場合、カメラ１０による撮像動作中に（即ち第Ｎエリアの撮像が完了する前に）保全作業を開始することができる。

また、上述した実施例では、制御装置１８及び目視結果入力装置２４は、別々のコンピューターにより実現されているが、制御装置１８の機能は、目視結果入力装置２４のコンピューターにより実現されてもよい。

また、上述した実施例では、カメラ１０はエリアセンサであったが、上述の如くラインセンサであってもよい。この場合、各エリアは、ラインセンサにより一回の撮像で撮像できる範囲に対応する。画像処理装置１０は、同様に、ラインセンサにより順次撮像される画像を順次処理すればよい。また、表示装置２２は、同様に、欠陥候補エリア画像を表示すればよい。但し、この場合、検査者による視認性（検査のしやすさ）を考慮して、画像処理装置１０により認識された欠陥候補を含む画像領域が予め拡大表示されるようにしてもよいし、複数のエリアの画像（それ以前に撮像された画素）が結合されて表示されてもよい。

また、上述した実施例では、画像処理装置２０は、欠陥候補エリア画像を表示しているが、必要に応じて、欠陥候補が検出されないエリアの画像を表示してもよい。例えば、画像処理装置２０は、カメラ１０から各エリアの画像が得られる度に、そのエリアの画像を順次表示する構成であってもよい。但し、検査者による目視検査が容易に行えるように、画像処理装置２０上に欠陥候補エリア画像を検査者が容易に呼び出すことができる構成であることが望ましい。

１０ カメラ
１２ 照明装置
１４ ＸＹ２軸ステージ
１８ 制御装置
２０ 画像処理装置
２２ 表示装置
２４ 目視結果入力装置
２５ ユーザインターフェース
２６ 検査データ記憶装置
７０ 被検査基板

Claims (4)

1. 被検査基板をエリア毎にカメラにより順次撮像する撮像ステップと、
   前記撮像ステップにより得られたエリア毎の画像を順次処理して、前記被検査基板における欠陥候補を画像認識する画像認識ステップと、
   遅くとも前記画像認識ステップによる最後のエリアの画像認識処理が終了する前に実行され、ユーザによる目視検査が可能となるように、前記画像認識ステップにより欠陥候補が認識されたエリアの画像であって、前記最後のエリアよりも前に画像認識処理されたエリアの画像を表示する欠陥候補エリア画像表示ステップとを備えることを特徴とする、基板外観検査方法。
2. 前記欠陥候補画像表示ステップは、表示した前記エリアの画像に対する目視検査結果の入力待ち状態を形成することを含む、請求項１に記載の基板外観検査方法。
3. 遅くとも前記画像認識ステップによる最後のエリアの画像認識処理が終了する前に開始され、前記欠陥候補エリア画像表示ステップにより表示された画像に基づいて、ユーザが前記被検査基板における欠陥の有無を判断する目視検査ステップを更に含む、請求項１又は２に記載の基板外観検査方法。
4. 遅くとも前記画像認識ステップによる最後のエリアの画像認識処理が終了する前に実行され、前記欠陥候補エリア画像表示ステップにより表示された画像に係る欠陥候補に対するユーザによる目視検査結果を記録する目視検査結果記録ステップを更に含む、請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の基板外観検査方法。

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