JP2013221877A - 異常検査方法および異常検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置の複雑化を招かずに、被検査物を検査できる異常検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、第１センサで検出した回転体の振動に応じた振動信号を前記第１センサから取得する工程と、前記第１センサからの前記振動信号に基いて前記回転体の異音検査を実施する工程と、前記第１センサからの前記振動信号から前記回転体の回転数を算出する工程と、ＡＥセンサで検出した前記回転体で発生するＡＥに応じたＡＥ信号を前記ＡＥセンサから取得する工程と、前記回転数と前記ＡＥ信号とに基いて前記回転体の回転によって発生する固有ＡＥ信号を検出する工程と、前記固有ＡＥ信号に基づいて前記回転体のＡＥ検査を実施する工程と、前記異音検査と前記ＡＥ検査との結果に基いて前記回転体の異常の有無を判定する工程と、を含む異常検査方法を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、回転体の異常を検査する異常検査技術に関するものである。

モータなどの回転体の異常検査技術として、ＡＥ（アコースティックエミッション）センサを用いてＡＥ検査を実施する従来のＡＥ検査装置１００が知られている（例えば特許文献１参照）。この従来のＡＥ検査装置１００を図５に示し、その動作を説明する。

被検査物である回転体１０１に対して、ＡＥを検出するＡＥセンサ１０２が取り付けられる。このＡＥセンサ１０２は、検出したＡＥの強度に応じたＡＥ信号を比較器１０３へ出力する。比較器１０３は、入力されたＡＥ信号がしきい値を超えたときに、パルスをＰＣ１０４へ出力する。ＰＣ１０４は、入力されたパルスの相互時間から、しきい値を超えたＡＥ信号の発生頻度を求める。さらに、ＰＣ１０４は、求めたＡＥ信号の発生頻度が回転体１０１の回転数に同期しているか否かを判定し、同期していると判定した場合に回転体１０１に異常があると判定する。ＰＣ１０４による異常検査の結果は、表示部１０５に表示される。なお、回転体１０１の回転数は、回転体１０１に取り付けられた回転数センサ１０６よりＰＣ１０４に入力される。

また、別の異常検査手技術として、振動型マイクロホンを用いて回転体からの異音を検査する従来の異音検査装置２００がある（例えば特許文献２参照）。この異音検査装置２００を図６に示す。以下に、従来の異音検査装置２００を用いた異音検査方法について説明する。

回転体２０１に接触する振動型マイク２０２によって、回転体２０１の振動の情報が波形データとして検出される。検出された波形データは、ＦＦＴ演算処理回路２０３によって周波数スペクトラムに変換される。変換された周波数スペクトラムの周波数成分について、正常時と比較して大きくなっている部分が存在するか否かをＰＣ２０４で判定する。判定の結果、正常時と比べて高いレベルの周波数成分が検出された場合に、ＰＣ２０４は、回転体２０１に異常ありの判定を行う。

特開平１−２３２２３０号公報 特開平８−２１０９０９号公報

回転体の異常を高精度に検出するために、従来のＡＥ検査装置と従来の異音検査装置とを組み合わせてＡＥ検査と異音検査とを同時に実施することが考えられる。

しかしながら、両者を組み合わせると、被検査物である回転体に対してＡＥセンサ、回転数センサ、振動型マイクロホンの３つのセンサを配置する必要があり、装置が複雑になる。

そこで、本発明は、複雑な装置を用いずに被検査物に対してＡＥ検査と異音検査とを同時に実施可能な異常検査方法及び異常検査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の異常検査方法は、第１センサで検出した回転体の振動に応じた振動信号を前記第１センサから取得する工程と、前記第１センサからの前記振動信号に基いて前記回転体の異音検査を実施する工程と、前記第１センサからの前記振動信号から前記回転体の回転数を算出する工程と、ＡＥセンサで検出した前記回転体で発生するＡＥに応じたＡＥ信号を前記ＡＥセンサから取得する工程と、前記回転数と前記ＡＥ信号とに基いて前記回転体の回転によって発生する固有ＡＥ信号を検出する工程と、前記固有ＡＥ信号に基づいて前記回転体のＡＥ検査を実施する工程と、前記異音検査と前記ＡＥ検査との結果に基いて前記回転体の異常の有無を判定する工程と、を含むことを特徴とする。

また、本発明の異常検査装置は、回転体の振動を検出して、検出した前記振動に応じた振動信号を出力する第１センサと、前記第１センサからの前記振動信号に基いて前記回転体の異音検査を実施する異音検査ユニットと、前記第１センサからの前記振動信号から前記回転体の回転数を算出する回転数算出ユニットと、前記回転体で発生するＡＥを検出して、検出した前記ＡＥに応じたＡＥ信号を出力するＡＥセンサと、前記回転数と前記ＡＥ信号とに基いて前記回転体の回転によって発生する固有ＡＥ信号を検出すると共に、該固有ＡＥ信号に基いて前記回転体のＡＥ検査を実施するＡＥ検査ユニットと、前記異音検査と前記ＡＥ検査との結果に基づいて前記回転体の異常の有無を判定する判定ユニットと、を備えることを特徴とする。

以上のように、本発明によれば、複雑な装置を用いずに被検査物に対してＡＥ検査と異音検査とを同時に実施できる。

実施の形態に係る異常検査装置の模式図 実施の形態に係る加速度センサからの振動信号を示す図 実施の形態に係る加速度センサからの振動信号を周波数解析した際のピークを示す図 実施の形態に係る異常検査装置による異常検査方法を示すフローチャート 特許文献１に記載された従来のＡＥ検査装置を示す図 特許文献２に記載された従来の異音検査装置を示す図

以下に実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、本実施の形態に係る異常検査装置１を示した模式図である。

異常検査装置１は、被検査物の一例である回転体２の振動に応じた出力信号（振動信号）を出力する加速度センサ８（第１センサ）と、この振動信号に基いて回転体２の異音検査を実施する異音検査ユニット１１と、振動信号から回転体２の回転数（固有周波数）を算出する回転数算出ユニット１２を備える。更に、異常検査装置１は、回転体２で生じるＡＥ（アコースティックエミッション）に応じたＡＥ信号を出力するＡＥセンサ４と、回転体２の回転数とＡＥ信号とに基いて回転体２の回転に依存して発生するＡＥ信号（固有ＡＥ信号）を検出すると共にこの固有ＡＥ信号に基いて回転体２のＡＥ検査を実施するＡＥ検査ユニット７を備える。また、異常検査装置１は、異音検査ユニット１１による異音検査とＡＥ検査ユニット７によるＡＥ検査との結果に基いて回転体２の異常の有無を判定する判定ユニット１３と、判定ユニット１３による判定結果を表示する表示器１４とを備える。

本実施の形態では、このように構成することで、異音検査とＡＥ検査とを同時に実施できる。そして、本実施の形態は、異音検査を行うと同時にＡＥ検査を行うことで検査の信頼性を向上できる。なぜなら、異音検査とＡＥ検査とを別々に実施すると、各検査時における被検査物の条件が変化する場合があったが、異音検査とＡＥ検査とを同時にすれば、両方の検査を同じ条件で実施できるからである。

本実施の形態において、異音検査とＡＥ検査とを同時に実施するために、加速度センサ８からの振動信号を、ＡＥ検査ユニット７と異音検査ユニット１１との両方の検査に用いる。加速度センサ８からの振動信号を異音検査とＡＥ検査との両方に用いることで、検査に必要なセンサの数を最小限に抑えることが可能である。センサ数が増加すると、増加したセンサを設置するために十分な領域を有さないような小型の被検査物を検査することができなくなる。つまり、センサ数の増加に伴う設備の複雑化により、検査を実行可能な被検査物に制約が課せられる。そこで、本実施の形態では、加速度センサ８からの振動信号を異音検査とＡＥ検査との両方に用いて設備の複雑化を防止する。

続いて、図１の異常検査装置１の構成毎に説明する。

被検査物である回転体２は、例えば、回転軸と軸受を備えるモータである。回転軸は、回転体２および軸受により支持される。軸受は、転動体、内輪、外輪にて構成される。

ＰＣ５は、ＡＥ検査ユニット７と、異音検査ユニット１１と、回転数算出ユニット１２と、判定ユニット１３とを備えるコンピュータである。各構成は後述する。

加速度センサ８は、回転体２の振動に応じて変化する振動信号を、異音検査ユニット１１と回転数算出ユニット１２とに出力する。１つの加速度センサ８から２つのユニットに情報を出力することで装置の複雑化を防止できる。なお、加速度センサ８は、回転体２が磁性体の場合にはマグネットで、それ以外の場合には両面テープなどで回転体２に取り付ける。加速度センサ８からの振動信号は、アンプとＡ／Ｄ変換器とを介して異音検査ユニット１１と回転数算出ユニット１２とに出力しても良い。なお、振動信号は、電気信号そのもの（例えば電圧の変化）や、電気信号に対応する符号、数値、データ等の信号でも良い。

なお、加速度センサ８の代わりに振動信号を取得できるセンサを異常検査装置１に適用しても良い。具体例として、加速度センサ８よりも感度は下がるが、振動センサなどの接触式のセンサや、レーザ変位計などの非接触式のセンサが挙げられる。

異音検査ユニット１１は、加速度センサ８からの振動信号を時間の情報と共に集録する。これにより、振動信号は波形データとして異音検査ユニット１１に取得される。このとき取得される波形データを図２に示す。図２は、横軸に時間（ｓ）、縦軸に強度としての電圧（Ｖ）を示したものである。図１の異音検査ユニット１１は、図２に示した振動信号である波形データを周波数解析することにより心理音響パラメータを算出する。そして、その心理音響パラメータに基づいて異音検査ユニット１１は異音検査を実施する。心理音響パラメータの算出は、異音検査ユニット１１の心理音響パラメータ算出部１１ａにより実施される。心理音響パラメータを用いた異音検査は異音検査ユニット１１の異音検査部１１ｂにより実施される。

ここで、異音検査に用いられる心理音響パラメータについて説明する。心理音響パラメータとは、機械による定量的な検査の精度を人の聴覚による官能検査の精度と同水準にするために考案されたものである。心理音響パラメータの具体例には、ラウドネスやノイジネス等がある。ラウドネスは人の聴覚で感じる音の大きさに高い相関を示し、ノイジネスは人が感じる音のうるささに高い相関を示す数値とされている。これらの心理音響パラメータは、波形データを周波数解析することで算出できる。心理音響パラメータの算出方法の詳細は、Ｅ．Ｚｗｉｃｋｅｒ著、山田由紀子訳「心理音響学」に掲載されている。また、ラウドネスの求め方についてはＩＳＯ５３２Ｂ、ノイジネスの求め方についてはＩＳＯ３８９１で規格化されている。以上が心理音響パラメータの説明である。

図１の異常検査装置１の構成の説明に戻る。

ＡＥセンサ４は、回転体２で発生したＡＥを、このＡＥの強度に応じて電圧値で表されるＡＥ信号としてＰＣ５のＡＥ検査ユニット７に出力する。ＡＥセンサ４は、回転体２が磁性体の場合にはマグネットで、それ以外の場合にはエポキシ系接着剤で回転体２に取り付けられる。このとき、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号は、アンプとＡ／Ｄ変換器とを介してＡＥ検査ユニット７に入力しても良い。なお、ＡＥ信号は、電気信号そのもの（例えば電圧の変化）や、電気信号に対応する符号、数値、データ等の信号でも良い。

ＡＥ検査ユニット７は、ＡＥセンサ４から入力されるＡＥ信号を一定時間集録することで波形データとして取得する。更に、このＡＥ検査ユニット７は、波形データとして取得されたＡＥ信号の中から回転体２の異常に起因して発生する固有ＡＥ信号を検出する。固有ＡＥ信号とは、クラック、割れ、剥離、偏心等の異常の発生が原因となって回転体２の回転に依存してＡＥセンサ４から出力されるＡＥ信号のことである。

この固有ＡＥ信号の発生頻度は、回転体２の固有周波数と一致することが発明者らによって見出されている。このため、ＡＥ検査ユニット７は、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号の中から、回転体２の固有周波数と一致する発生頻度のＡＥ信号を、固有ＡＥ信号として検出する。

固有周波数とは、回転体２の回転挙動を示す特徴量であり、回転体２を構成する部材によって決定される。ここでは、回転体２の固有周波数の一例として、回転軸の回転周波数に依存する軸回転周波数ｆ_ｒ（ｓ^−１）を（式１）に示す。（式１）においてＮ（ｒｐｍ）は、回転体２の回転数である。

（式１）で示したように、固有周波数は回転体２の回転数Ｎによって決定される。回転数Ｎは、回転体２の仕様によりある程度の予測は可能であるが、実際はばらつきが生じるため、回転数Ｎを回転体２から実測する必要がある。回転数Ｎを実測するためには、新たに回転数センサを設けることが考えられる。しかし、この場合、回転数センサはその構成上ある程度の大きさが必要なため設備の大型化を招いてしまう。設備が大型化すると、被検査物である回転体２にセンサを配置するために十分な領域が存在しない場合に異常検査を実施できなくなる場合生じる。例えば、ＡＥセンサ４と加速度センサ８と以外のセンサを設置するのが困難なような小型のモータが被検査物の場合、新たに回転数センサを採用した異常検査装置ではこの被検査物に対してＡＥ検査と異音検査とを同時に実施できない。本実施の形態では新たに回転数センサは採用しない代わりに、上述の加速度センサ８からの振動信号（図２参照）を用いて回転数Ｎを算出する。

回転数Ｎの算出方法としては、まず、図２に示した振動信号に対してフーリエ変換により時間―周波数変換を行い、周波数毎の振幅を算出する。図３はその結果得られたグラフであり、横軸に周波数（Ｈｚ）、縦軸に振幅（ｄＢ）を示す。この図３から、ピークの位置を検出し、ピークの位置における周波数を算出する。そして、算出した周波数から回転数Ｎを算出する。なお、回転体２の仕様から、ピークの存在する領域（ピークの位置を含むと推定される領域）は予測できる。この領域を回転周波数存在領域として予め設定し、この回転数周波数領域内に存在するピークを検出してもよい。ちなみに、図３は、回転数周波数領域を４０〜５８（Ｈｚ）に設定して取得したグラフであり、ピークが５５．７５（Ｈｚ）に位置する状態を示す。このように、ピークの存在する領域を予め限定することでノイズの影響を低減可能となり、より正確に回転体２の回転数Ｎを算出できる。算出した回転数Ｎは（式１）に代入することで回転体２の固有周波数を算出できる。ここでは、回転数Ｎは３３４５（ｒｐｍ）となる。

この回転数Ｎの算出は図１の回転数算出ユニット１２により実施される。回転数算出ユニット１２で算出された回転数Ｎは、ＡＥ検査ユニット７へ入力される。ＡＥ検査ユニット７は、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号の中から入力された回転数Ｎを用いて回転体２の回転に依存して発生する固有ＡＥ信号を検出する。そして、ＡＥ検査ユニット７は、一定の値を超える固有ＡＥ信号を検出した場合に回転体２にＡＥ異常ありと判定する。なお、固有ＡＥ信号の発生回数を検出し、検出した発生回数が所定の回数を上回った場合に、回転体２に異常ありと判定しても良い。

なお、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号の中から回転体２の固有周波数と一致する発生頻度の固有ＡＥ信号を検出するためには、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号の発生頻度を求める必要がある。これは、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号を周波数解析することでＡＥセンサ４からのＡＥ信号の発生頻度を算出できる。

ただし、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号に多くのノイズが含まれる場合は次の処理を実施する。まず、取得したＡＥ信号を短時間の区間毎に切り出して、切り出した区間毎にフーリエ変換により時間−周波数変換を行い、各区間において含まれる周波数を算出する。そして、フーリエ変換後の各区間を時間に沿って結合することで検出される周波数が時間変化に対応してどのように変化するかを示す周波数毎の時間変化信号を算出する。次に、算出した周波数毎の時間変化信号から周波数毎にＡＥ信号の発生頻度を算出する。各周波数におけるＡＥ信号の発生頻度は、フーリエ変換により時間−周波数変換することで算出可能である。これにより、ノイズの影響を除去して、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号の発生頻度を算出できる。このＡＥ信号の発生頻度の算出は、ＡＥ検査ユニット７にて実施される。ＡＥ検査ユニット７は、算出したＡＥ信号の発生頻度を用いてＡＥ検査を実施し、その結果を判定ユニット１３へ出力する。

判定ユニット１３には、ＡＥ検査ユニット７によるＡＥ検査の結果と、異音検査ユニット１１による異音検査の結果とが入力される。判定ユニット１３は、両者の結果に基いて回転体２の異常の有無を判定する。具体的には、判定ユニット１３は、異音検査とＡＥ検査との両方で異常なしと判定された場合に、最終的に、回転体２に異常なしとの判定を行う。一方、判定ユニット１３は、ＡＥ検査か異音検査かのいずれかで異常ありと判定された場合は、最終的に、回転体２に異常ありとの判定を行う。ＡＥ検査と異音検査の両方で異常なしと判定された場合のみを良品と判定することで高精度な検査を実現できる。

以上が異常検査装置１の構成毎の説明である。

続いて、図１の異常検査装置１の動作について図１と図４とを用いて説明する。

図４は、本実施の形態に係る異常検査方法を実施する際の異常検査装置１の動作を示すフローチャートである。

図４のステップＳ１は、回転体２に取り付けたＡＥセンサ４にて回転体２で発生するＡＥを検出し、検出したＡＥに応じて出力されるＡＥ信号をＡＥセンサ４から取得する工程である。

ステップＳ２は、回転体２に取り付けた加速度センサ８にて回転体２の振動を検出し、検出した振動に応じて出力される振動信号を加速度センサ８から取得する工程である。

ステップＳ３は、加速度センサ８からの振動信号について、周波数解析を行うことで心理音響パラメータを算出する工程である。このステップＳ３は、異音検査ユニット１１の心理音響パラメータ算出部１１ａにて行われる。

ステップＳ４は、ステップＳ３で算出した心理音響パラメータに基づいて回転体２の異音検査を実施する工程である。ステップＳ３で算出した心理音響パラメータの値を予め定めたしきい値と比較することで、異常判定を行う。例えば、心理音響パラメータの一例であるラウドネスの値に４０［ｓｏｎｅ］のしきい値を設ける。この場合、ステップＳ３で振動信号からラウドネスを算出し、算出したラウドネスがしきい値を上回るか否かで異音検査を実施する。算出したラウドネスがしきい値を上回った場合、回転体２に異常ありと判定する。このステップＳ４は、異音検査ユニット１１の異音検査部１１ｂにて行われる。しきい値は予め異音検査部１１ｂに記憶させておく。

ステップＳ５は、加速度センサ８からの振動信号から回転体２の回転数を算出する工程である。このステップＳ５は、回転数算出ユニット１２にて行われる。ステップＳ２で加速度センサ８を用いて取得した振動信号は、ステップＳ３とステップＳ５との両方の工程に採用される。

ステップＳ６は、ＡＥセンサ４からのＡＥ信号とステップＳ５で算出した回転体２の回転数とに基いて回転体２の回転に依存して発生する固有ＡＥ信号を検出する工程である。このステップＳ６は、ＡＥ検査ユニット７にて実施される。より詳細には、ＡＥ検査ユニット７に備わる固有周波数算出部７ａにて、ステップＳ５で算出した回転数から回転体２の固有周波数を算出する。また、ＡＥ検査ユニット７に備わるＡＥ信号発生周期算出ユニット７ｂにて、ステップＳ１で取得したＡＥ信号からＡＥ信号の発生周期を算出する。続いて、ＡＥ検査ユニット７に備わる固有ＡＥ検出部７ｃにて、発生周期を算出したＡＥ信号の中から算出した回転体２の固有周波数と一致するものを固有ＡＥ信号として検出する。

ステップＳ７は、ステップＳ６で検出した固有ＡＥ信号に基いて回転体２のＡＥ検査を実施する工程である。このステップＳ７では、ＡＥ検査ユニット７のＡＥ検査部７ｄにて、検出した固有ＡＥ信号がしきい値を上回るか否かを判定することでＡＥ検査を実施する。しきい値は、ＡＥ信号の振幅に対して設定し、その値は、例えば２０（ｄＢ）とする。

ステップＳ８は、ステップＳ４での異音検査と、ステップＳ７でのＡＥ検査との結果に基いて回転体２の異常の有無を判定する工程である。異音検査とＡＥ検査との両方で異常なしと判定された場合はステップＳ９に進む（ステップＳ８のＮｏ）。一方、異音検査かＡＥ検査の少なくとも一方で異常ありと判定された場合はステップＳ１０に進む（ステップＳ８のＹｅｓ）。なお、ステップＳ８は判定ユニット１３にて行われる。

ステップＳ９は、回転体２に異常が含まれないとして、正常である旨を表示器１４に表示する工程である。

ステップＳ１０は、回転体２で異常がある旨を表示器１４に表示する工程である。

以上が図１の異常検査装置１の動作の説明である。この動作により、異常検査装置１は、設備の複雑化を招くことなくＡＥ検査と異音検査とを同時に実施し、被検査物である回転体２の異常検査を高精度に行うことが可能である。さらに、２つのセンサでＡＥ検査と異音検査とを同時に実施できるため、センサを最大２つしか設置できないような小型の被検査物に対しても異常検査を実施できる。

なお、回転体２を構成する軸受が複数存在するよう比較的大型の被検査物の場合、各軸受にＡＥセンサ４と加速度センサ８とを１つずつ取り付ける。

なお、回転体２の固有周波数は、回転体２を構成する部材によって異なる。例えば、回転体２に備わる転動体の自転に関する固有周波数（転動体自転周波数）ｆ_ｂ（ｓ^−１）は、（式２）で表される。また、回転体２に備わる内輪に関する固有周波数（内輪転動体通過周波数）ｆ_ｉ（ｓ^−１）は（式３）で表される。このとき、固有ＡＥ信号の発生頻度が（式１）〜（式３）のいずれかの固有周波数と一致した場合、一致した固有周波数を示す部材に異常があることが理解できる。このため、ＡＥ検査によって、異常の箇所を特定することが可能である。なお、以下の（式２）、（式３）において、Ｚは転動体の個数、Ｄ_ａは転動体の直径（ｍｍ）、ｄ_ｍは軸受のピッチ円径（ｍｍ）である。

本発明は、換気扇、空気清浄機、モータ等、回転体を有する製品の異常検査に適用することが可能である。

１ 異常検査装置
２ 回転体
４ ＡＥセンサ
７ ＡＥ検査ユニット
８ 加速度センサ
１１ 異音検査ユニット
１２ 回転数算出ユニット
１３ 判定ユニット

Claims (6)

1. 第１センサで検出した回転体の振動に応じた振動信号を前記第１センサから取得する工程と、
   前記第１センサからの前記振動信号に基いて前記回転体の異音検査を実施する工程と、
   前記第１センサからの前記振動信号から前記回転体の回転数を算出する工程と、
   ＡＥセンサで検出した前記回転体で発生するＡＥに応じたＡＥ信号を前記ＡＥセンサから取得する工程と、
   前記回転数と前記ＡＥ信号とに基いて前記回転体の回転によって発生する固有ＡＥ信号を検出する工程と、
   前記固有ＡＥ信号に基づいて前記回転体のＡＥ検査を実施する工程と、
   前記異音検査と前記ＡＥ検査との結果に基いて前記回転体の異常の有無を判定する工程と、を含む異常検査方法。
2. 前記異音検査は、前記振動信号を周波数解析して心理音響パラメータを算出し、該心理音響パラメータに基づいて実施される、請求項１に記載の異常検査方法。
3. 前記第１センサは、加速度センサである、請求項１又は２に記載の異常検査方法。
4. 回転体の振動を検出して、検出した前記振動に応じた振動信号を出力する第１センサと、
   前記第１センサからの前記振動信号に基いて前記回転体の異音検査を実施する異音検査ユニットと、
   前記第１センサからの前記振動信号から前記回転体の回転数を算出する回転数算出ユニットと、
   前記回転体で発生するＡＥを検出して、検出した前記ＡＥに応じたＡＥ信号を出力するＡＥセンサと、
   前記回転数と前記ＡＥ信号とに基いて前記回転体の回転によって発生する固有ＡＥ信号を検出すると共に、該固有ＡＥ信号に基いて前記回転体のＡＥ検査を実施するＡＥ検査ユニットと、
   前記異音検査と前記ＡＥ検査との結果に基づいて前記回転体の異常の有無を判定する判定ユニットと、を備える異常検査装置。
5. 前記異音検査ユニットは、前記振動信号を周波数解析して心理音響パラメータを算出すると共に、該心理音響パラメータに基いて前記異音検査を実施する、請求項４に記載の異常検査装置。
6. 前記第１センサは、加速度センサである、請求項４又は５に記載の異常検査装置。

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