JP2013221775A - 計測装置および画像処理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】単純な構成で被検物の厚さを計測する。
【解決手段】計測装置は、基準物または被検物40を搭載するステージ50と、ステージに搭載された基準物または被検物を照明する照明光学系と、ステージに対して照明光学系の光軸方向に位置決めされ、基準物または被検物の表面からの反射光を受光する受光素子30と、基準物を照明した際に受光素子で得られる光強度分布と被検物を照明した際に受光素子で得られる光強度分布とに基づいて、基準物と被検物との厚さの差を取得する処理ユニット60と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】計測装置は、基準物または被検物40を搭載するステージ50と、ステージに搭載された基準物または被検物を照明する照明光学系と、ステージに対して照明光学系の光軸方向に位置決めされ、基準物または被検物の表面からの反射光を受光する受光素子30と、基準物を照明した際に受光素子で得られる光強度分布と被検物を照明した際に受光素子で得られる光強度分布とに基づいて、基準物と被検物との厚さの差を取得する処理ユニット60と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、被検物の厚さを計測する計測装置およびそれを利用した画像処理システムに関する。
従来、プレパラートに封入された生体組織のデジタル画像を取得する画像取得装置では、プレパラートのカバーガラスの厚さを規格で決められた一定値(0.17mm)として取り扱っていた。しかしながら、実際には、カバーガラスの厚みは製造ムラなどのために一定値ではなく、高画質が要求されるにつれ、カバーガラスの厚さを一定値とすることによる画質劣化が無視できなくなってきた。良好な画像を取得するためには、カバーガラスの厚さを撮像前に計測し、計測結果に基づいてカバーガラスの厚さに起因する収差変動を補正する必要がある。
被検物の厚さを計測する方法としては、干渉計を利用する方法(特許文献1)やレーザ変位計を利用する方法(特許文献2)が知られている。しかしながら、前者の方法は計測系が複雑であり、後者の方法は被検物の屈折率を事前に取得する必要があり、屈折率の計測系は複雑であるという問題がある。このため、いずれの方法も簡単な構成で被検物の厚さを計測することができるものではなかった。
本発明は、単純な構成で被検物の厚さを計測することが可能な計測装置およびそれを使用した画像処理システムを提供することを例示的な目的とする。
本発明の計測装置は、基準物または被検物を搭載するステージと、前記ステージに搭載された前記基準物または前記被検物を照明する照明光学系と、前記ステージに対して前記照明光学系の光軸方向に位置決めされ、前記基準物または前記被検物の表面からの反射光を受光する受光素子と、前記基準物を照明した際に前記受光素子で得られる光強度分布と前記被検物を照明した際に前記受光素子で得られる光強度分布とに基づいて、前記基準物と前記被検物との厚さの差を取得する取得部と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、単純な構成で被検物の厚さを計測することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
実施例1の計測装置は、照明光学系、受光素子30、ステージ50、処理ユニット60を有し、処理ユニット60がステージ50に搭載された被検物40の厚さを算出する。
照明光学系は、光源10からの光を利用して被検物40または基準物45を照明し、対物レンズ21、ピンホールプレート22、コリメータレンズ23、遮光部24、集光レンズ25を有する。照明光学系の光軸(図1に破線で示す)と平行な方向をZ方向(上向きを正とする)として設定している。
光源10としては、例えば、半導体レーザを用いるが、これに限定されず、水銀ランプなどを使用してもよい。レーザ光源の場合には光源10と対物レンズ21の間に偏光板が配置されてもよい。
対物レンズ21は、光源10からの光をピンホールプレート22のピンホール22aに集光させる集光レンズである。光源10からの光束が細い場合は、対物レンズ21から射出される光束は対物レンズの最大NAよりも小さくなる可能性があるので、必要に応じて光源10と対物レンズ21の間にビームエキスパンダが挿入されてもよい。
ピンホールプレート22は、ピンホール22aとその周囲の遮光部から構成されている。ピンホール22aは対物レンズ21からの集光光から波面の揃った理想球面波を生成する。
コリメータレンズ23は、ピンホール22aによって生成された球面波(発散光)を平行光に変換する(コリメートする)。
遮光板24は、コリメータレンズ23と集光レンズ25の間に配置される。遮光板24は、コリメータレンズ23によって生成された平行光の照明光を中抜け形状にする。遮光板24は、遮光部と光透過部から構成され、図1では、遮光板24の遮光部は照明光学系の光軸と中心が一致した直径2Dの円板形状を有する。なお、照明光の形状は輪帯に限定されず、二重極、四重極、六重極などほかの変形照明の形状であってもよく、遮光板24は挿入されなくてもよい。遮光板24が挿入されない場合には受光素子30が遮光板24の機能を果たす場合と、変形照明を使用しない場合がある。
集光レンズ25は、遮光板24を経た平行光を集光し、集光光は被検物40または基準物45に照射される。
被検物40または基準物45はステージ50に搭載可能であり、ステージ50は、不図示の移動手段によって3次元方向に移動可能に構成されている。本実施例の被検物40は光透過部材(カバーガラス)から構成されてプレート形状を有するが、表面反射をすれば光透過部材でなくても足りる。被検物40の厚さは未知である。被検物40をプレパラートのカバーガラスとする場合、まず、プレパラートのスライドガラスとして、その厚さL1を計測装置によって取得する。次に、スライドガラスとカバーガラスの厚さの和L2を被検物40として計測装置によって取得する。カバーガラス単独の厚さはL2−L1によって求めることができる。
基準物45は、ノギスやマイクロメータなど他の計測手段によって厚さdが既知の平板部材であり、光透過部材でもよいし、光透過部材でなくてもよいが、その表面は光を反射する必要がある。本実施例では、被検物40と同じ材質から構成され、同様にプレート形状を有するものとする。
受光素子30は、ステージ50に対して照明光学系の光軸方向に位置決めされ、集光レンズ25とステージ50の間に配置されている。受光素子30は、被検物40または基準物45の表面(ステージ50と反対側の上面)からの反射光を受光する、矩形形状を有する2次元センサであり、CCDやCMOSを用いることができる。
本実施例では、受光素子30は、輪帯照明の中央の暗部に対応する位置(照明光の中抜け部に対応する領域)に配置されているため、輪帯照明光を遮光しない。光束が中抜けで受光素子30を照明光束内に配置することができるため、計測系を小型で単純にすることができる。受光素子30自体に遮光板24の役割を持たせることによって遮光板24を取り除いてもよい。
受光素子30は処理ユニット60と接続され、受光素子30は基準物45に対して形成された光強度分布の情報と被検物40に対して形成された光強度分布の情報を出力信号として処理ユニット60に供給する。
処理ユニット60は、受光素子30の出力信号から得られる被検物40と基準物45との厚さの差Δdと基準物45の既知の厚さdから被検物40の厚さを取得する取得部であり、コンピュータから構成されている。被検物40の厚さはステージ50の上面から被検物40の上面までの距離で与えられる。
以下、実施例1の計測装置を使用した計測方法について説明する。図6は、計測装置を使用した計測方法のフローチャートであり、「S」は「ステップ(工程)」の略である。図6に示す計測方法はコンピュータによって各ステップの機能を実行させるためのプログラムとして具現化可能である。
まず、基準物45をステージ50に搭載して受光素子30とステージ50のZ方向の相対位置を調整する調整を行う(S110)。本実施例では、受光素子30は固定であり、ステージ50を駆動して調整ステップ110を行う。
図2(a)は、既知の厚みdを有する基準物45をステージ50に搭載した場合の計測装置の光路図(部分拡大断面図)である。図2(b)は図2(a)における受光素子30の平面図である。
焦点距離fの集光レンズ25により集光光は、基準物45とステージ50がなければ光束は像側焦点位置P’の位置に集光するように進む。そして、基準物45の上面で光束の一部は反射し、残りは透過・散乱光となる。反射光は、基準物45の上面に関してP’の対称な位置Pに集光するように進む。集光光の中抜け部の広がり角をθとすると、幾何学的関係により、次式が成立する。
tanθ=D/f …(1)
受光素子30の受光面をZ方向に調整してP点の位置と合致させることによって出力画像は図2(b)に示すような点像となる。また、図中に示すようにZ方向に直交する平面に光軸を原点としてr方向を定義すると、受光素子30におけるr方向に延びる直線上の光強度分布は図2(c)に示すようになる。横軸は受光素子上のr位置であり、縦軸は光強度である。即ち、基準物45を配置した場合は、受光素子上で点像ができ、強度Iがただひとつの最大値(ピーク)Imaxを持つように光学部品の配置を調整する。
受光素子30の受光面をZ方向に調整してP点の位置と合致させることによって出力画像は図2(b)に示すような点像となる。また、図中に示すようにZ方向に直交する平面に光軸を原点としてr方向を定義すると、受光素子30におけるr方向に延びる直線上の光強度分布は図2(c)に示すようになる。横軸は受光素子上のr位置であり、縦軸は光強度である。即ち、基準物45を配置した場合は、受光素子上で点像ができ、強度Iがただひとつの最大値(ピーク)Imaxを持つように光学部品の配置を調整する。
次に、厚さが未知である被検物40をステージ50に搭載して受光素子30によって反射光の分布を計測し、光強度分布が最大となる径の情報を取得する(S120)。
図3(a)は、未知の厚みを有する被検物40をステージ50に搭載した場合の計測装置の光路図(部分拡大断面図)であり、図3(b)は図3(a)における受光素子30の平面図である。図3では、被検物40が、基準物45の厚さdよりもΔdだけ厚いと仮定している。Δdは被検物40と基準物45の厚さの差であり、(被検物40の厚さ)−(基準物45の厚さ=d)で表わされる。
被検物40が基準物45よりもΔdだけ厚くなると、被検物40の上面で反射された反射光はP点よりも+2Δdだけ+Z方向に移動した位置P”に集光することになる。位置P”に集光する光束は、点像になる前のデフォーカス状態が受光素子30に受光される。この光束は中抜けであるので、図3(b)に示すような輪帯形状を有する(白い円形部分が暗部であり、黒い輪帯部分が明部である)。この時の輪帯の中心を通る円の径を2rとすると、幾何学的関係より、次式が成立する。
tanθ=r/2Δd …(2)
また、受光素子30におけるr方向に延びる直線上の光強度分布は図3(c)に示すようになる。横軸は受光素子上のr位置であり、縦軸は光強度である。輪帯の中心を通る円の半径rは、例えば、最大強度Imaxの1/e2となる位置と定義する。
また、受光素子30におけるr方向に延びる直線上の光強度分布は図3(c)に示すようになる。横軸は受光素子上のr位置であり、縦軸は光強度である。輪帯の中心を通る円の半径rは、例えば、最大強度Imaxの1/e2となる位置と定義する。
数式1、2より、次式が成立する。
r=2D/f×Δd …(3)
図5は、rとΔdの関係を示すグラフである。横軸はΔd、縦軸はrである。数式3は、Δdが増加すると輪帯の内側の半径rが傾き2D/fで増加することを示している。
図5は、rとΔdの関係を示すグラフである。横軸はΔd、縦軸はrである。数式3は、Δdが増加すると輪帯の内側の半径rが傾き2D/fで増加することを示している。
処理ユニット60は、受光素子30の出力信号から半径rの情報を取得して、予め不図示のメモリに格納されている図5の関係からΔdを算出し、Δdを基準物の厚さdに加算する演算を行うことによって被検物40の厚さをd+Δdとして算出する。
遮光板24の直径2Dと集光レンズ25の焦点距離fを適宜変更することによって、図5の直線の傾き2D/f、即ち、計測装置の精度を変化させることができる。Dを大きくするか、fを短くすることで傾きが大きくなるため、かずかなΔdの変化でもrが大きく変化する。また、受光素子30の面積を広げることにより、ダイナミックレンジを広げることができる。想定されるΔdや要求される精度に応じて2D、f、受光素子30の面積を適宜選択すればよい。
図3(a)ではΔd>0の場合を想定していたが、被検物40が基準物45よりも薄くなると(即ち、Δd>0の場合には)図4(a)に示すように、被検物上面で反射された集光光束はP点より−2ΔdだけZ方向に移動したP”に集光する。その後、発散光として受光素子30に入射する。図4(b)は図4(a)における受光素子30の平面図である。
図3(b)、図4(b)を比較すると分かるように、受光素子30に形成される反射光束の形状のみからはΔd>0とΔd<0を判別することが困難である。この問題を解決する手段として、基準物45を常に被検物40よりも薄いものにする(例えば、規格で0.17mmと決まっているカバーガラスに対して製造誤差を考慮して0.1mmとする)ことが考えられる。このように基準物45を適当に選択することで、常にΔd>0となり、判別を容易に行うことが可能となる。
即ち、この場合には、被検物40と基準物45の厚さのどちらが大きいかの情報が既知であり、処理ユニット60は、この情報に基づいて、差Δdを基準物45の既知の厚さdに加算または減算する。
被検物40と基準物45の厚さのどちらが大きいかの情報が未知であれば、処理ユニット60はこれを判別することができる。図4(c)は、被検物が基準物よりも厚いかどうかを検出する方法を説明するための断面図である。基準物45の上面位置をTで表している。図4(c)の左側は被検物40が基準物45よりも厚い場合を示しており、右側は被検物40が基準物45よりも薄い場合を示している。
ここでは、照明光が透過する開口部29aと照明光を遮光する遮光部29bを有する絞り29と、受光素子30とステージ50の間の光路に絞り29を挿入および退避させる不図示の移動手段が設けられている。そして、処理ユニット60は、絞り29が移動手段によって光路に挿入された場合の受光素子30に形成される光強度分布に基づいて、差Δdを基準物45の既知の厚さdに加算または減算する。
図4(c)の例では、絞り29の遮光部29bによって照明光の少なくとも一部が遮光される場合には被検物40が基準物45よりも厚いと判断することができ、処理ユニット60は、差Δdを厚さdに加算することによって被検物40の厚さを算出する。一方、絞り29の開口部29aを照明光が透過して照明光が遮光されない場合には被検物40が基準物45よりも薄いと判断することができ、処理ユニット60は、差Δdを厚さdから減算することによって被検物40の厚さを算出する。
なお、移動手段は、絞り29を照明光学系の光軸方向に更に移動してもよい。この場合、処理ユニット60は、移動手段が絞り29を光軸方向に移動した移動量と受光素子30に形成される光強度分布に基づいて、差Δdを基準物45の既知の厚さdに加算または減算すればよい。
本実施例では、被検物40の屈折率が未知であっても被検物40の厚さを取得することができる。なお、照明光として二重極や四重極を使用する場合には任意の2つの極の中心の間隔を使用して厚さの差Δdを算出すればよい。
本実施例では基準物45が配置された場合、光軸上(r=0)の光強度Iが最大になるように光学系の配置を決定しているが、これに限定されず、基準物45に対して点像を形成せずに図3(b)のような輪帯形状を形成してもよい。照明光が輪帯形状である場合、処理ユニット60は、基準物45を照明した際に受光素子30の受光面に形成される光強度分布の所定直線上におけるピーク位置と被検物40を照明した際の光強度分布の所定直線上におけるピーク位置との差を取得する。そして、その差に基づいて基準物45と被検物40との厚さの差Δdを取得すればよい。
また、上記説明では基準物45の厚さは既知としたが、相対的な厚さが分かればよい場合は基準物45の厚さは既知でなくともよい。この場合、受光素子30の出力信号から得られる半径rに対する基準物45と被検物40との相対的な厚さの差Δdの関係をテーブルとして記憶しておけば、処理ユニット60はΔdを演算により求めなくてもよい。
被検物40の厚みを計測する際に被検物40の表面形状を計測することが行われる場合も多い。この場合、図1に示す計測装置の構成をとることによって、被検物40の厚みと表面形状の計測を一つの計測装置で計測することが可能となり、構成が単純化される。
図7は、実施例2の計測装置のブロック図である。この計測装置は、被検物40の表面形状を取得する面形状取得部と被検物40の厚さを取得する厚さ取得部が一体となっている。幾つか光学部品を面形状取得部と厚さ取得部とで共通に使用することによって、本実施例の計測装置の構成は小型かつ単純になっている。
面形状取得部は、(レーザ)光源10、偏光板12、対物レンズ21、ピンホールプレート22、絞り26、ビームスプリッタ27、絞り71、コリメータレンズ72、対物レンズ73、シャックハルトマンセンサ74から構成される。
偏光板12は照明光の偏光状態を調整する。ビームスプリッタ27は、ピンホールプレート22のピンホール22aを通過した光を分岐する。分岐された一方の光である透過光(発散光)は絞り71に進み、光束径が狭められ(光量が調整され)、その後、コリメータレンズ72によって平行光に変換される。コリメータレンズ72によって変換された平行光の被検物40の表面からの反射光は前記ビームスプリッタによって反射され(前記ビームスプリッタを介して)対物レンズ73によって受光される。
対物レンズ73は被検面からの反射光(発散光)を平行光に変換する。シャックハルトマンセンサ74は、図8(a)、(b)に示すように複数の微小な集光レンズ74aと受光素子アレイ74bが設けられている。受光素子アレイ74bは、図8(b)に示すように、マトリクス状に配置された複数の受光素子74cを有する。
図8(b)において、被検物40の表面がうねりのない平坦な面であれば、各受光素子74cの中心(白丸部)が結像点(黒丸部)となるが、うねりがあると、図8(b)に示すように、結像位置が受光素子74の中心からずれる。そこで、各受光素子74cについて、このずれ量を計測することによって被検物40の表面形状を計測することができる。
なお、面形状取得部は、シャックハルトマンセンサ74を利用するものに限られない。例えば、図9に示すように、面形状取得部は、レーザ光を被検物40の表面に照射する発光部77、被検物40の表面で反射されたレーザ光を受光する受光部78、レーザ光が被検物の表面を走査するように発光部77を移動する手段を有してもよい。この場合の面形状取得部は、三角測量を利用して発光部77で被検物40の表面をスキャンすることによって、受光部78の受光位置から被検物40の表面形状を測定する。
厚さ取得部は、光源10、偏光板12、対物レンズ21、ピンホールプレート22、絞り26、ビームスプリッタ27、折り曲げミラー28、コリメータレンズ23、遮光板24、集光レンズ25、受光素子30、(不図示の)処理ユニット60から構成される。厚さ取得部は、ビームスプリッタ27によって分岐された他方の光を利用することによって面形状取得部によって面形状が取得された被検物40の厚さ(または基準物45と被検物40の厚さの差)を取得する。折り曲げミラー28によって折り曲げられた後の構成は図1と同様であるので説明は省略する。本実施例の計測装置は、ビームスプリッタ27によって反射された光を有効利用することができるという特徴を有する。
実施例1では、被検物40のうねりやチルトの面歪が無視できると仮定しているが、本実施例の計測装置の動作は図10に示すようになる。
以下、実施例2の計測装置を使用した計測方法について説明する。図10は、計測装置を使用した計測方法のフローチャートであり、「S」は「ステップ(工程)」の略である。図10に示す計測方法は、コンピュータによって各ステップの機能を実行させるためのプログラムとして具現化可能である。
まず、面形状取得部によって被検物40の表面形状を取得する(S210)。次に、処理ユニット60は、被検物40の表面形状を取得した後でうねりやチルトの面歪が無視できるレベルまで被検物40の表面形状(の面歪)の補正を行う(S220)。次に、実施例1と同様の計測方法で被検物40の厚さを取得する(S230)。S230の内容はS110、S120と同様である。なお、基準物45の計測を予め行っていれば、S220の後でS120に直ちに移行することができる。ステージ50が2つあればS220の際にS110を行うこともできる。
ここで、S220の表面形状の補正を行う場合、押したり引っ張ったりする等の物理的に表面形状の補正を行うことが可能であればよいが、カバーガラスのように物理的な補正では破損する可能性が高い場合がある。その場合の補正方法について述べる。まず、表面形状が歪んでいると、受光素子30で得られる光強度分布も歪み、例えば、図3(b)のようにきれいな輪帯形状は得られない。そのため、輪帯の中心を通る円の径2rを精度よく得ることが難しくなる。そこで、面形状取得部によって得られた表面形状を用いて受光素子30で得られる光強度分布を補正して、よりきれいな輪帯形状を得られるようにし、精度良く輪帯の中心を通る円の径2rを得られるようにする。このようにすれば、カバーガラスのように物理的な補正では破損する可能性が高い被検物に歪みが生じていても、より精度良く厚さを取得することが可能となる。
本実施例によれば、一つの計測装置が被検物40の表面形状と厚さを単純な構成で計測することができる。
また、実施例1や2の計測装置によって計測された結果を利用する画像処理装置では、計測装置の計測結果である厚さ情報または面形状と厚さ情報に基づいてカバーガラス(被検物40)に起因する収差を補正することができる。これによって、プレパラートに封入された生体組織などの観察対象の画像をより高画質で表示することができる。この画像処理装置は、実施例1、2の計測装置とネットワークで接続されて画像処理システムを構成してもよい。
図11は画像処理システムの構成例を示す図である。まず、上述した実施例1、2の計測装置110によって、ステージ50に載置されたカバーガラスである被検物40の厚さを計測する。次に、被検物40を含むプレパラート100の画像情報を、対物光学系120、撮像素子130を含む顕微鏡で取得する。そして、PC等の画像処理装置140では、計測装置110の計測結果に基づいて、顕微鏡で取得した画像情報から被検物40に起因する収差を補正し、補正した画像をモニター150に表示する。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
計測装置は、被検物の厚さを取得する用途に適用することができる。
10…光源、30…受光素子、40…被検物、45…基準物、50…ステージ、60…処理ユニット(算出部)
Claims (11)
- 基準物または被検物を搭載するステージと、
前記ステージに搭載された前記基準物または前記被検物を照明する照明光学系と、
前記ステージに対して前記照明光学系の光軸方向に位置決めされ、前記基準物または前記被検物の表面からの反射光を受光する受光素子と、
前記基準物を照明した際に前記受光素子で得られる光強度分布と前記被検物を照明した際に前記受光素子で得られる光強度分布とに基づいて、前記基準物と前記被検物との厚さの差を取得する取得部と、
を有することを特徴とする計測装置。 - 前記照明光学系は、
ピンホールを有するピンホールプレートと、
前記ピンホールを通過した発散光を平行光に変換するコリメータレンズと、
前記コリメータレンズによって変換された前記平行光を集光する集光レンズと、
を有し、
前記受光素子は、前記集光レンズと前記ステージとの間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の計測装置。 - 前記コリメータレンズと前記集光レンズとの間に配置され、照明光を中抜け形状にする遮光部を有し、
前記受光素子は、前記集光レンズと前記ステージとの間の前記照明光の中抜け部に対応する領域に配置されることを特徴とする請求項2に記載の計測装置。 - 前記照明光学系による照明光は輪帯形状であり、
前記取得部は、前記基準物を照明した際に前記受光素子の受光面に形成される光強度分布の所定直線上におけるピーク位置と前記被検物を照明した際に前記受光素子の受光面に形成される光強度分布の前記所定直線上におけるピーク位置との差に基づいて前記基準物と前記被検物との厚さの差を取得することを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測装置。 - 前記取得部は、前記基準物の厚さを取得し、前記基準物の厚さと前記基準物と前記被検物との厚さの差から前記被検物の厚さを取得することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記取得部は、前記被検物と前記基準物の厚さのどちらが大きいかについての情報を取得し、前記情報に基づいて、前記差を前記基準物の厚さに加算または減算することを特徴とする請求項5に記載の計測装置。
- 前記照明光が透過する光透過部と前記照明光を遮光する遮光部を有する絞りと、
前記受光素子と前記ステージとの間の光路に前記絞りを挿入および退避させる移動手段と、を更に有し、
前記取得部は、前記絞りが前記移動手段によって前記光路に挿入された状態で前記受光素子に形成される前記光強度分布に基づいて、前記差を前記基準物の厚さに加算または減算することを特徴とする請求項5に記載の計測装置。 - 前記照明光が透過する光透過部と前記照明光を遮光する遮光部を有する絞りと、
前記受光素子と前記ステージの間の光路に前記絞りを挿入および退避させるとともに前記絞りを前記照明光学系の光軸方向に移動する移動手段と、を更に有し、
前記取得部は、前記移動手段が前記絞りを前記光軸方向に移動した移動量と前記受光素子に形成される前記光強度分布に基づいて、前記差を前記基準物の厚さに加算または減算することを特徴とする請求項5に記載の計測装置。 - 前記取得部は、前記被検物の表面形状を取得する面形状取得部が取得した前記被検物の表面形状を補正して前記基準物と前記被検物との厚さの差を取得することを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記取得部は、前記被検物の表面形状を取得する面形状取得部が取得した前記被検物の表面形状を補正して前記被検物の厚さを取得することを特徴とする請求項5に記載の計測装置。
- 請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載の計測装置と、
前記被検物であるカバーガラスを有するプレパラートに封入された組織の画像情報を取得する顕微鏡と、
前記画像情報に対して、前記計測装置の計測結果に基づいて前記被検物に起因する収差を補正する画像処理装置と、
を有する画像処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012091830A JP2013221775A (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 計測装置および画像処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012091830A JP2013221775A (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 計測装置および画像処理システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013221775A true JP2013221775A (ja) | 2013-10-28 |
Family
ID=49592851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012091830A Pending JP2013221775A (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 計測装置および画像処理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013221775A (ja) |
-
2012
- 2012-04-13 JP JP2012091830A patent/JP2013221775A/ja active Pending
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