JP2013211072A - 磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置 - Google Patents

磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、磁気ヘッドを2次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載された第2微動アクチュエータと、前記第2微動アクチュエータに搭載された第1微動アクチュエータと、を有し、前記第1微動アクチュエータは、ピエゾアクチュエータを備える固定部と、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(HGA)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記HGAを移動させる可動部と、前記HGAを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたHGA交換機構と、を有する。
【選択図】 図3

Description

本発明は、磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に係り、特に磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に関する。
磁気ヘッド検査装置を、図1に示す本発明の実施形態を参照して説明する。磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド5をスピンドルSにより回転された磁気ディスクH上で浮上させながら、磁気ディスクへのデータの記録,再生を行い、磁気ヘッドの試験を行なう。
磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド6を搭載して移動する第1微動アクチュエータ100と、この第1微動アクチュエータ100を搭載して移動する第2微動アクチュエータ9と、第2微動アクチュエータ9を搭載して移動するX方向粗動アクチュエータであるX方向キャリッジ3及びY方向粗動アクチュエータであるY方向キャリッジ10とからなっている。
第1微動アクチュエータ100は、カートリッジベース9dに取り付けられた固定部1と、一端が固定部1に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ2と、このピエゾアクチュエータ2の伸縮により移動される可動部7とを有している。可動部7は、ビーム部42と、ビーム部の先端側に設けられ、磁気ヘッド6をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12を保持するヘッド固定部であるアーム5とを有する。
磁気ヘッド6の試験は、HGA12を次々と交換して行なわれる。そのために、HGA12を交換できるHGA交換機構が必要である。従来のHGA交換機構としては、例えば、図8に模式的に示す特許文献1で開示されたものがある。図8に示すHGA交換機構は、HGA12を保持するためにHGA12をストッパ63に押付ける板バネ81と、HGA12を次のHGA12に交換するために、当該押付けを解除する一端が板バネに固定された固定棒83を回転させる操作レバー82とを可動部7のアーム5に設けている。
特開2010−225247号公報
昨今の磁気ディスクの高密度化に伴い、より一層の磁気ヘッドの位置決め精度が要求されるようになってきた。この要求に応えるためには、可動部の軽量化、共振周波数の高周波化が望まれる。従来の磁気ヘッド検査装置では、HGA交換機構が磁気ヘッド位置決め装置の可動部に設けられているため、その分だけ可動部の重量が重くなり、慣性力が大きくなる。また、その板バネは、共振周波数の低下を齎す一因となっていた。
本発明の目的は、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、磁気ヘッドを2次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載された第2微動アクチュエータと、前記第2微動アクチュエータに搭載された第1微動アクチュエータと、を有し、前記第1微動アクチュエータは、ピエゾアクチュエータを備える固定部と、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(HGA)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記HGAを移動させる可動部と、前記HGAを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたHGA交換機構と、を有することを第1の特徴とする。
また、本発明は、前記固定部が、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた2つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記2つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、を有することを第2の特徴とする。
さらに、本発明は、前記2つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを第3の特徴とする。
また、本発明は、前記押付力発生部が、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記HGAに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記HGAを保持するHGA保持部と、前記押付力によって前記HGAを係止するストッパとを有することを第4の特徴とする。
さらに、本発明は、前記押付力発生手段が、ねじりコイルバネであり、前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、ことを第5の特徴とする。
また、本発明は、前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、を有することを第6の特徴とする。
さらに、本発明は、前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを第7の特徴とする。
また、本発明は、第1乃至第7の特徴のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記HGAの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、を有することを第8の特徴とする。
本発明によれば、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供できる。
本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。 本実施形態における第1微動アクチュエータの構成と動作を示す説明図である。 図2に示した第1微動アクチュエータ及びHGA交換機構の概観図である。 HGA交換機構の第1の実施例を示す図である。 図4(a)の断面図である。 HGA交換機構の第2の実施例を示す図である。 HGA交換機構の第3の実施例を示す図である。 従来のHGA交換機構を模式的に示す図である。
以下、図面を用いて本発明の実施の形態説明をする。図1は、本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。
磁気ヘッド検査装置200は、磁気ヘッド位置決め装置20と、磁気ヘッド位置決め装置20を制御し、磁気ヘッド6からデータを読み取り磁気ヘッド6の良否を判定する制御処理装置30とを有する。
磁気ヘッド位置決め装置20は、第1微動アクチュエータ100と第2微動アクチュエータ9と、第2微動アクチュエータ9を搭載して移動するX方向粗動アクチュエータであるX方向キャリッジ3及びY方向粗動アクチュエータであるY方向キャリッジ10と、記録媒体である磁気ディスクHを高速に回転するスピンドルS、X方向キャリッジ3、Y方向キャリッジ10及びスピンドルSを搭載する定盤21と、磁気ディスクHに面する基面に設けられ、HGA12を交換するHGA交換機構70とを有する。なお、本実施形態では、磁気ヘッド位置決め装置20を横置きにして図1を平面図としているが、磁気ヘッド位置決め装置20を縦置きとしてもよい。
記録媒体である磁気ディスクHは、スピンドルSに着脱可能に装着されており、トラック幅が狭小化された高密度記録面を有するものである。スピンドルSはスピンドルモータ(図示せず)に装着され、スピンドルモータの回転に伴って高速に回転される。スピンドルモータは、定盤21に固定され、後部の左右中央部に設置されている。定盤21は薄型の矩形状に形成されており、その長手方向(前後方向)がX方向、その短手方向(左右方向)がY方向となる。
X方向キャリッジ3は、スピンドルSの前方に隣接して配置され、定盤21上に搭載されている。このX方向キャリッジ3は、定盤21に固定されたXモータ3aと、Xモータ3aの回転軸に固定されX方向に延びたXスクリュー3bと、Xスクリュー3bに移動可能に取り付けられたX移動部材3cと、X移動部材3cの遊端部に固定されこのX移動部材3cと共に移動可能なX移動ベース3dとからなっている。Xスクリュー3bとX移動ベース3dとは左右に並置されている。Xモータ3aの回転軸が回転することによりXスクリュー3bが回転し、これによってX移動部材3c及びX移動ベース3dが矢印X方向に移動する。X方向キャリッジ3は、磁気ヘッド6をX方向に移動するための粗動アクチュエータである。
Y方向キャリッジ10は、X移動ベース3d上に搭載されて固定されたYモータ10aと、Yモータ10aの回転軸に固定されY方向に延びたYスクリュー10bと、Yスクリュー10bに移動可能に取り付けられたY移動部材10cと、Y移動部材10cの遊端部に固定されこのY移動部材10cと共に移動可能なY移動ベース10dとからなっている。Yスクリュー10bとY移動ベース10dとは、前後に並置されている。Yモータ10aの回転軸が回転することによりYスクリュー10bが回転し、これによってY移動部材10c及びY移動ベース10dがY方向(矢印B方向)に移動する。Y方向キャリッジ10は、磁気ヘッドをY方向に移動するための粗動アクチュエータである。なお、X方向キャリッジ3及びY方向キャリッジ10は、上述した構成に限るものではなく、直動モータ等においても代用可能である。
第2微動アクチュエータ9は、第1微動アクチュエータ100を搭載する第2ヘッドユニット9bと、第2ヘッドユニット9bを駆動する第2駆動手段9aとを有する。
第1微動アクチュエータ100は、カートリッジベース9dに取り付けられた固定部1と、一端が固定部1に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ2と、このピエゾアクチュエータ2の伸縮により、アセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12をE方向に移動させる可動部7とを有している。可動部7は、ピエゾアクチュエータ2の伸縮により、HGA12を方向Eに移動させるビーム部42と、ビーム部の先端側には、磁気ヘッド6をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12を保持するアーム5とを有する。ピエゾアクチュエータ2は、第2微動アクチュエータ9より軽量で高速に駆動できるように構成されている。
このような構成によって、Xキャリッジ3とYキャリッジ10が磁気ディスクH上面まで移動し、第2微動アクチュエータ9が微動することで検査位置まで磁気ヘッド6を運ぶ。そして、第1微動アクチュエータ100を磁気ディスクの回転周波数と同期して方向Eに動き、磁気ヘッド6の検査を行う。
図2は、本実施形態における第1微動アクチュエータ100の構成と動作を示す説明図である。図3は、図2に示した第1微動アクチュエータ100及びHGA交換機構70の概観図である。第1微動アクチュエータ100において、磁気ディスクHに面する方を基面とし、その反対側を上面とすると、図2は、上面から見た図であり、図3は基面側から見た鳥瞰図である。なお、図3の2aは、ピエゾアクチュエータ2を設置する場所を示す。
図2及び図3に示すように、第1微動アクチュエータ100は、固定部1に取り付けられた1つのピエゾアクチュエータ2と、ピエゾアクチュエータ2の先端に圧接されているビーム結合部43とを有する。また、第1微動アクチュエータ100は、ピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16に対して左右に配置したヒンジ4a、ヒンジ4bと、それぞれのヒンジ4a、4bが設けられ前記ビーム結合部43と結合し、ビーム部42を構成するpushビーム42a及びpullビーム42bと、pushビーム42a又はpullビーム42bに接続されているヒンジ接続部8a、8bとを有する。
さらに、第1微動アクチュエータ100は、ヒンジ接続部8a、8bの先に接続されているヘッド固定部であるアーム5と、ヒンジ接続部8a、8bの近傍で、アーム5と固定部1との間に追加ヒンジ41と、を有する。ヒンジ接続部8a、8bはアーム5の根元5aにおいてアーム5の長手方向の中心線5cに対して左右に接続されている。また、ヒンジ接続部8a、8b間の距離L9に対しアームの長さL1が大きくなっており、HGA12の先端121の移動距離(以下ストロークと呼ぶ)を大きくできる。
HGA交換機構70(70A)は、アーム5に隣接した固定部1に設けられ、HGA12を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部50(50A)と、可動部7のアーム5に設けられ、HGA12を保持するヘッド保持部60(60A)とを有する。このHGA交換機構70によって、HGA12をアーム5に着脱可能である。なお、HGA交換機構70の詳細は後述する。
図2に示すように、ピエゾアクチュエータ2が伸びると、pushビーム42a及びpullビーム42bがそれぞれ矢印13a、13bの様に左右に開く。左右に開いたpushビーム42a又はpullビーム42bに接続されたヒンジ接続部8a、8bは、一方が押され、他方は引っ張られ、アーム5が回動し、それに取り付けられたHGA12は矢印15のように変位する。
本実施形態では、ピエゾアクチュエータ2がニュートラルの状態にあるときは、pushビーム42a及びpullビーム42bは固定部1に対して平行で、且つピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16と直交している。従って、磁気ヘッド位置決めに使用するときは、第1微動アクチュエータ100を所定のバイアス角度を持って設置する。勿論、ピエゾアクチュエータ2がニュートラルの状態にあるときに、pushビーム42a及びpullビーム42bを、互いに平行で、且つピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16と直交を維持しながら、固定部1に対して所定のバイアス角度を持って設置しても良い。
第1微動アクチュエータ100において、ヒンジ4a、4bを押すアクチュエータとしてピエゾアクチュエータ2を利用する理由は、ピエゾアクチュエータの特徴が位置決め用のアクチュエータとして適しているためである。ピエゾアクチュエータの特徴としては、発生力が大きくかつ小形であることや高い変位分解能を有すること、電磁式と比較して消費電力が小さい、磁界を必要としないため漏洩磁束の問題がないことがある。
本実施形態においては、追加ヒンジ41を有することにより、磁気ヘッド位置決め微動アクチュエータ100の共振周波数を高めている。例えば、図2において追加ヒンジ41を設けることで、設けないときに比べ共振周波数を30%高めることができる。また、追加ヒンジ位置がHGA12の先端121に近づく、即ちL2が小さくなるほど、先端121のストロークが低下し、逆に遠くなるほど共振周波数は小さくなる。しかし、L2を適切な位置に設定することで、ストロークを然程小さくすることなく、共振周波数を高めることができる。
(HGA交換機構の実施例1)
図4は、HGA交換機構70の第1の実施例70Aを示す図である。図4(a)は、図3において矢印A方向から見た図である。図4(b)は、図4(a)において矢印Bから見た図である。図5は、図4(a)の断面図である。以下、図4を主体に、図3及び図5と合わせて実施例1であるHGA交換機構70Aを説明する。
HGA交換機構70Aは、前述したように、アーム5に隣接した固定部1に設けられ、HGA12を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部50Aと、アーム5に設けられ、HGA12を保持するヘッド保持部60Aとを有する。
押付力発生部50Aは、押付力発生手段であるねじりコイルバネ52と、ねじりコイルバネ52を矢印Hの反対方向に回転させ、押付力を解除する操作手段である操作部51と、一端が操作部51に固定され、他端側でHGA12を保持するL字状の保持棒54と、保持棒54を矢印Hの方向に回転可能する貫通孔53hを備える交換機構固定部53とを有する。保持棒54は、貫通孔53hを通る貫通棒部54aと、貫通棒部54aと直交し、HGA12を保持する保持棒部54bとを有する。
ねじりコイルバネ52は、その一端側を操作部51に、その他端側を交換機構固定部53に固定されており、常に矢印H方向にねじり力を発生させている。
なお、実施例では、操作部51を固定部1側に設けたが、実施例1で説明した操作部51をねじりコイルバネ52の単なるバネ固定部とし、アーム5、即ちヘッド保持部を挟んで固定部1とは反対側に貫通棒部54aを延在し、その端部に実際の操作部を設けてもよい。この場合は、保持棒54はT字状となり、Tの横棒を形成する貫通棒部54aは2つの端部を有する。
また、本実施例では、ねじりコイルバネ52は枠52wで保持されているが、ねじりコイルバネ52自体に操作部51を保持する保持力があれば、或いは、貫通孔53hに貫通棒部54aを保持する保持機構を設け、操作部51を保持することよって、枠52wを設けなくともよい。保持機構としては、ベアリングを設けてもよいし、貫通孔53の内面を摩擦抵抗の小さい摺動面としてもよい。
一方、ヘッド保持部60Aは、アーム5の両側に設けられたHGA保持部61と、アーム5に固定され、保持棒54を内在する保持棒枠62と、アーム5に固定されたHGA12のストッパ63とを有する。保持棒枠62は、貫通棒部54aが通る孔62hを備え、アーム5は、保持棒部54bの矢印Hの方向に回転を可能とする保持棒部可動孔5hを備えている。なお、保持棒枠62は必ず設ける必要がなく、保持棒部54bを裸の状態にしてもよい。
このような構成によるHGA交換機構70Aの動作を説明する。ねじりコイルバネ52は、常に、H方向にねじり力を発生させている。従って、図4(b)に示すように、保持棒部54bは、常にH’方向に押付力を発生させている。それ故、HGA保持部61にHGA12が載置されていれば、HGA12は、その有する保持孔12hに内在する保持棒部54bの押付力によって、HGA12を係止するストッパ63に押付けられ、HGA保持部61に保持される。
HGA12をHGA保持部61から取り出すときは、操作部51をH方向とは反対方向に回転させ、押付力を解除することにより、保持棒部54bをHGA12から離間させ,HGA12を取り出す。
従って、以上説明した実施例1によれば、HGA交換機構70Aの押付力発生部50Aを第1微動アクチュエータ100の固定部1に設けることにより、可動部7を軽くすることができる。その結果、可動部7の慣性力が小さくなり磁気ヘッド6の位置決め精度を向上することができる。それに伴い、ピエゾアクチュエータの出力も小さくなり、その結果ピエゾアクチュエータを小さくすることができ、省エネにもつながる。
さらに、以上説明した実施例1によれば、HGA12を固定するのに板ばねを使用しないため、装置の共振周波数を高くすることができ、磁気ヘッドの位置決め精度が向上することができる。
(HGA交換機構の実施例2)
図6は、HGA交換機構70の第2の実施例70Bを示す図である。図6(a)は、図4(b)に対応する図で、ヘッド保持部60Bを図4(a)に示す矢印Bから見た図である。図6(b)は、図4(a)に対応する実施例2において、図4(a)示す矢印Cから見た図である。なお、実施例2において、実施例1と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
実施例2の実施例1と異なる点は、ストッパ63をHGA12の中心側に設けた点である。それに伴い、次の2点を変更している。第1に、HGA12の中心側に、ストッパ63が通りストッパ63との接触部を有するストッパ貫通孔12sを設けた点である。第2に、ねじりコイルバネ52bが常にねじり力の発生する方向を、実施例1のH方向とは反対方向とした点である。その他の点は、実施例1と同じである。
実施例2においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。
(HGA交換機構の実施例3)
図7は、HGA交換機構70の第3の実施例70Cを示す図である。図7(a)は、図4(a)に対応する実施例3において矢印Bから見た図である。図7(b)は、ヘッド保持部60Cを図7(a)において矢印Dから見た図である。なお、実施例3において、実施例1と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
実施例3の実施例1と異なる点は、保持棒部54bのストッパ63への押付力の発生の仕方が異なる。実施例1では、ねじりコイルバネ52bで発生させていたのに対し、実施例3では、引張バネ57で押付力を矢印G方向に発生させている。引張バネ57は、その一端側が保持棒部54bに、その他端側を操作部51に固定されている。操作手段は、操作部51と、図示しない磁石を有し操作部51を磁力的に保持し、固定部1又は交換機構固定部53に固定された操作部保持部57sとを有する。また、貫通棒部54aは回転支点54cを有し、回転支点を中心に紙面内で回転し、それに伴い保持棒部54bは回転支点を中心に紙面に垂直な面で回転する。
なお、操作部保持部57は、フック又は粘着材によって操作部51を保持する構成としてもよい。
その他の点は実施例1と同じである。
このような構成によるHGA交換機構70Cの動作を説明する。引張バネ57は、操作部51が操作部保持部57sに保持されているときには、G方向の引張力を発生させている。その結果、保持棒部54bは、支点54cを中心に、H’方向に押付力を発生させている。それ故、HGA保持部61にHGA12が載置されていれば、HGA12は、その有する保持孔12hに内在する保持棒部54bの押付力によってストッパ63に押付けられ、HGA保持部61に保持される。
HGA12をHGA保持部61から取り出すときは、操作部51を操作部保持部57sから離間させGと反対方向に押し込むことにより、保持棒部54bをHGA12から離間させ、HGA12を取り出す。
なお、引張バネの替わりに圧縮バネを使用する場合は、図7(a)に示すバネの位置を貫通棒部54aに対して線対称の位置に設ければよい。
実施例3においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。
(HGA交換機構の他の実施例)
押付力発生手段として、図7(a)に示す引張バネの替わりに、エアシリンダを用いてもよい。この場合は、シリンダロッド又はエアシリンダの本体を貫通棒部54aに、逆にシリンダの本体又はシリンダロッドを操作部51に接続する。操作手段の構成は実施例3と同様な構成とする。シリンダを操作部に接続した状態でHGA12を保持するように押付力を矢印G方向に発生させる。
また、実施例3では、支点54cを中心とした貫通棒部54の回転によって、引張バネの引張力を、HGA12に対する押付力を変換しているが、支点を設ける替わりに貫通棒部54aを平行移動させるリニアガイドを設けて押付力を発生してもよい。
さらに、以上説明した実施例においては、押付力発生部50を第1微動アクチュエータの固定部1の基面に設けたが、図1に破線で示した位置の表面に設けてもよい。その場合、保持棒部54bは、基面に設けた場合に比べ長くなる。
1:固定部 2:ピエゾアクチュエータ
3:X方向キャリッジ(X方向粗動アクチュエータ)
4a、4b:ヒンジ 5:アーム(ヘッド固定部)
6:磁気ヘッド 7:可動部
8a、8b:ヒンジ接続部 9:第2微動アクチュエータ
10:Y方向キャリッジ(Y方向粗動アクチュエータ)
12:HGA(ヘッドジンバルアセンブリ) 20:磁気ヘッド位置決め装置
21:定盤 30:制御処理装置
41:追加ヒンジ 42:ビーム部
42a:pushビーム 42b:pullビーム
50、50A、50C:押付力発生部 51:操作部
52:ねじりコイルバネ 53:交換機構固定部
53h:貫通孔 54:保持棒
54a:貫通棒部 54b:保持棒部
57;引張バネ 57s:操作部保持部
60、60A、60B、60C:ヘッド保持部
61:HGA保持部 62:保持棒枠
63:ストッパ
70、70A、70B、70C:HGA交換機構
81:板ばね 82:操作レバー
83:板バネ押付棒 100:第1微動アクチュエータ
200:磁気ヘッド検査装置 H:磁気ディスク
S:スピンドル

Claims (10)

  1. 磁気ヘッドを2次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、
    前記粗動アクチュエータに搭載された第2微動アクチュエータと、
    前記第2微動アクチュエータに搭載された第1微動アクチュエータと、を有し、
    前記第1微動アクチュエータは、
    ピエゾアクチュエータを備える固定部と、
    先端側にヘッドジンバルアセンブリ(HGA)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記HGAを移動させる可動部と、
    前記HGAを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたHGA交換機構と、
    を有することを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
  2. 前記固定部は、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、
    前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた2つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記2つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、
    を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  3. 前記2つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを特徴とする請求項2に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  4. 前記押付力発生部は、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記HGAに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、
    前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記HGAを保持するHGA保持部と、前記押付力によって前記HGAを係止するストッパとを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  5. 前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、
    前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、
    前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、
    ことを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  6. 前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、他端を固定するバネ固定部を有し、
    前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定されたバネ固定部と、前記押付力を解除する操作部とを有し、
    前記保持棒は、その他端側が前記バネ固定部に固定され、前記ヘッド保持部を挟んで前記バネ固定部とは反対側に設けられたもう一つの他端部に前記操作部を有する、
    ことを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  7. 前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、
    前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、
    前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、
    前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
    を有することを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  8. 前記押付力発生手段はエアシリンダであり、
    前記保持棒は他端側がシリンダロッド又は前記エアシリンダの本体に固定され、
    前記操作手段は、逆に前記シリンダの本体又は前記シリンダロッドに固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
    を特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  9. 前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。
  10. 請求項1乃至9のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、
    前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記HGAの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、
    を有することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
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