JP2013207270A - 実装装置、実装位置の補正方法、プログラム及び基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本技術に係る実装装置は、実装部と、撮像部と、制御部とを具備する。前記実装部は、移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する。前記撮像部は、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する。前記制御部は、前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲の異なる位置で、前記実装部又は実装部によって保持された保持物を撮像し、撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて、前記電子部品の実装位置を補正する。
【選択図】図6
Description
前記実装部は、移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する。
前記撮像部は、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する。
前記制御部は、前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲の異なる位置で、前記実装部又は実装部によって保持された保持物を撮像し、撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて、前記電子部品の実装位置を補正する。
この場合、前記制御部は、前記移動範囲内での各位置で、前記保持部材を回転させて、前記保持部材又は前記保持部材によって保持された保持物を複数回撮像し、取得された複数の画像に基づいて、前記各位置における前記保持部材の回転中心を算出し、前記回転中心に基づいて、前記各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出してもよい。
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量が算出される。
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正が行われる。
前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像するステップと、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出するステップと、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行うステップと
を実行させる。
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量が算出される。
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正が行われ、前記基板上に前記電子部品が実装される。
図1は、本技術の第1実施形態に係る実装装置100を示す正面図である。図2は、実装装置100の側面図であり、図3は、実装装置100の上面図である。図4は、実装装置100の構成を示すブロック図である。
次に、実装装置100の動作について説明する。
実装ヘッド30及び撮像部36の相対的な位置関係の変化の影響を除去するために、まず、実装装置100は、電子部品2の基板1上への実装に先立って、移動範囲内での各位置で、実装ヘッド30及び撮像部36の相対的な位置関係についてのデータを収集する。
次に、電子部品2を基板1上に実装するときの動作について説明する。図11は、電子部品2を基板1上に実装するときの処理を示すフローチャートである。
以上説明したように、本技術に係る実装装置100では、電子部品2の実装に先立って、予め、XY平面における実装ヘッド30及び撮像部36の移動範囲内での各位置で、実装部と撮像部36との相対的なずれ量(ΔX、ΔY)が算出される。そして、電子部品2の実装時に、算出されたずれ量(ΔX、ΔY)に基づいて、電子部品2の実装位置が補正される。従って、実装部と、撮像部36との相対的な位置関係が、移動範囲内の各位置で変化するような場合にも、基板1上の正確な位置に電子部品2を実装することができる。
上述の説明では、実装ヘッド30及び撮像部36の移動範囲内における各位置で、ずれ量(ΔX、ΔY)のデータを収集するとき、吸着ノズル32によって保持された電子部品2(あるいは、ダミー部品など)を撮像部36によって撮像する場合について説明した。一方、ずれ量のデータ収集をときに撮像部36よって撮像される対象物は、吸着ノズル32それ自体(実装ヘッドそれ自体)であっても構わない。
(1) 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、
前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部と、
前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲の異なる位置で、前記実装部又は実装部によって保持された保持物を撮像し、撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて、前記電子部品の実装位置を補正する制御部と
を具備する実装装置。
(2) 上記(1)に記載の実装装置であって、
前記実装部は、回転可能であり、前記電子部品を保持して前記基板上に実装する保持部材を有し、
前記制御部は、前記移動範囲内での各位置で、前記保持部材を回転させて、前記保持部材又は前記保持部材によって保持された保持物を複数回撮像し、取得された複数の画像に基づいて、前記各位置における前記保持部材の回転中心を算出し、前記回転中心に基づいて、前記各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出する
実装装置。
(3) 上記(2)に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記移動範囲内における基準位置で撮像された前記複数の画像に基づいて算出された前記保持部材の回転中心である基準位置回転中心と、基準位置以外の位置で撮像された前記複数の画像に基づいて算出された前記保持部材の回転中心との差を、前記ずれ量として算出する
実装装置。
(4) 上記(1)乃至(3)のうちいずれか1つに記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記実装装置と前記撮像部との第1の方向への第1のずれ量及び前記第1の方向に直交する第2の方向への第2のずれ量のうち、少なくとも一方に基づいて、前記電子部品の実装位置の補正を行う
実装装置。
(5) 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置による前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像し、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行う
実装位置の補正方法。
(6) 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置に、
前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像するステップと、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出するステップと、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行うステップと
を実行させるプログラム。
(7) 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置による前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像し、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行って、前記基板上に前記電子部品を実装する
基板の製造方法。
2…電子部品
5…制御部
15…搬送部
20…バックアップ部
25…供給部
30…実装ヘッド
31…ターレット
32…吸着ノズル
36…撮像部
37…第1の撮像部
38…第2の撮像部
39…ミラー
40…ヘッド移動機構
51…支持体
100…実装装置
Claims (7)
- 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、
前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部と、
前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲の異なる位置で、前記実装部又は実装部によって保持された保持物を撮像し、撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて、前記電子部品の実装位置を補正する制御部と
を具備する実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記実装部は、回転可能であり、前記電子部品を保持して前記基板上に実装する保持部材を有し、
前記制御部は、前記移動範囲内での各位置で、前記保持部材を回転させて、前記保持部材又は前記保持部材によって保持された保持物を複数回撮像し、取得された複数の画像に基づいて、前記各位置における前記保持部材の回転中心を算出し、前記回転中心に基づいて、前記各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出する
実装装置。 - 請求項2に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記移動範囲内における基準位置で撮像された前記複数の画像に基づいて算出された前記保持部材の回転中心である基準位置回転中心と、基準位置以外の位置で撮像された前記複数の画像に基づいて算出された前記保持部材の回転中心との差を、前記ずれ量として算出する
実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記実装装置と前記撮像部との第1の方向への第1のずれ量及び前記第1の方向に直交する第2の方向への第2のずれ量のうち、少なくとも一方に基づいて、前記電子部品の実装位置の補正を行う
実装装置。 - 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置による前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像し、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行う
実装位置の補正方法。 - 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置に、
前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像するステップと、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出するステップと、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行うステップと
を実行させるプログラム。 - 移動範囲内で移動可能であり、電子部品を保持して基板上に実装する実装部と、前記実装部と共に移動可能であり、前記電子部品の実装時に前記実装部によって保持された電子部品を撮像する撮像部とを有する実装装置による前記電子部品の実装に先立って、前記撮像部により、前記移動範囲内の異なる位置で、前記実装部又は前記実装部によって保持された保持物を撮像し、
撮像によって得られた画像に基づいて、前記移動範囲内での各位置における前記実装部と前記撮像部との相対的なずれ量を算出し、
前記電子部品の実装時に、前記ずれ量に基づいて前記電子部品の実装位置の補正を行って、前記基板上に前記電子部品を実装する
基板の製造方法。
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