JP2013191453A - Light-emitting device and method for manufacturing light-emitting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、発光デバイスおよび発光デバイスの製造方法に関する。 The present invention relates to a light emitting device and a method for manufacturing the light emitting device.
陽極上の複数の領域に複数の発光部を含む発光層を有し、複数の発光部毎に発光層上に陰極が配置された発光デバイスが知られている(例えば、特許文献1、特許文献2、および特許文献3参照)。
特許文献1 特開2000−231992号公報
特許文献2 特開2006−339157号公報
特許文献3 特表2010−528448号公報
A light emitting device having a light emitting layer including a plurality of light emitting portions in a plurality of regions on an anode and having a cathode disposed on the light emitting layer for each of the plurality of light emitting portions is known (for example,
上記のような複数の発光部毎に発光層上に陰極が配置された発光デバイスにおいて、製造工程を簡略化し、製造コストを削減することが望まれている。 In a light emitting device in which a cathode is disposed on a light emitting layer for each of a plurality of light emitting units as described above, it is desired to simplify the manufacturing process and reduce the manufacturing cost.
本発明の一態様に係る発光デバイスは、第1電極、第1取出電極、および第2取出電極を有する第1電極層と、第1電極の上方の異なる領域に配置されている第1発光部および第2発光部を有し、第1電極層の上方に配置されている発光層と、第1発光部の上方に配置されている第2電極および第2発光部の上方に配置されている第3電極を有し、発光層の上方に配置されている第2電極層と、発光層を貫通する第1貫通部を介して、第1取出電極と第2電極とを電気的に接続する第1電気接続部と、発光層を貫通する第2貫通部を介して、第2取出電極と第3電極とを電気的に接続する第2電気接続部とを備える。 A light emitting device according to an aspect of the present invention includes a first electrode layer having a first electrode, a first extraction electrode, and a second extraction electrode, and a first light emitting unit disposed in different regions above the first electrode. And a second light emitting part, and a light emitting layer disposed above the first electrode layer, a second electrode disposed above the first light emitting part, and a second light emitting part. The first extraction electrode and the second electrode are electrically connected via a second electrode layer having a third electrode and disposed above the light emitting layer, and a first through portion penetrating the light emitting layer. A first electrical connection portion; and a second electrical connection portion that electrically connects the second extraction electrode and the third electrode via a second penetration portion that penetrates the light emitting layer.
上記発光デバイスは、発光層を貫通する第3貫通部を介して第1電極に電気的に接続する第3電気接続部をさらに備え、第2電極層は、第3電気接続部を介して第1電極に電気的に接続する第1補助電極をさらに有してもよい。 The light-emitting device further includes a third electrical connection portion that is electrically connected to the first electrode via a third penetration portion that penetrates the light-emitting layer, and the second electrode layer is connected to the first electrode via the third electrical connection portion. You may further have the 1st auxiliary electrode electrically connected to 1 electrode.
上記発光デバイスは、第1電極層の下方に配置されている基板をさらに備え、第1電極、第1取出電極、および第2取出電極は、基板の周縁部に隣接してもよい。 The light-emitting device may further include a substrate disposed below the first electrode layer, and the first electrode, the first extraction electrode, and the second extraction electrode may be adjacent to a peripheral portion of the substrate.
上記発光デバイスにおいて、第1電極は、第1部分電極および第2部分電極を有し、第1取出電極および第2取出電極は、第1部分電極と第2部分電極との間に配置され、第1電気接続部は、第1発光部を貫通する第1貫通部を介して、第2電極と第1取出電極とを電気的に接続し、第2電気接続部は、第2発光部を貫通する第2貫通部を介して、第3電極と第2取出電極とを電気的に接続してもよい。 In the light emitting device, the first electrode has a first partial electrode and a second partial electrode, and the first extraction electrode and the second extraction electrode are disposed between the first partial electrode and the second partial electrode, The first electrical connecting portion electrically connects the second electrode and the first extraction electrode via the first penetrating portion penetrating the first light emitting portion, and the second electrical connecting portion connects the second light emitting portion to the second light emitting portion. You may electrically connect a 3rd electrode and a 2nd extraction electrode via the 2nd penetration part which penetrates.
上記発光デバイスにおいて、発光層は、複数の第1発光部および複数の第2発光部を有し、第2電極層は、複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極と、複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極とを有し、発光デバイスは、複数の第1発光部をそれぞれ貫通する複数の第1貫通部のそれぞれを介して、第1取出電極と複数の第2電極のそれぞれとを電気的に接続する複数の第1電気接続部と、複数の第2発光部をそれぞれ貫通する複数の第2貫通部のそれぞれを介して、第2取出電極と複数の第3電極のそれぞれとを電気的に接続する複数の第2電気接続部とを備えてもよい。 In the light emitting device, the light emitting layer includes a plurality of first light emitting units and a plurality of second light emitting units, and the second electrode layer includes a plurality of first light emitting units disposed above each of the plurality of first light emitting units. The light emitting device includes two electrodes and a plurality of third electrodes disposed above each of the plurality of second light emitting units, and the light emitting device includes a plurality of first through portions that respectively penetrate the plurality of first light emitting units. A plurality of first electrical connection portions that electrically connect the first extraction electrode and each of the plurality of second electrodes, and a plurality of second penetration portions that respectively penetrate the plurality of second light emitting portions. You may provide the some 2nd electrical connection part which electrically connects a 2nd extraction electrode and each of a some 3rd electrode through each.
上記発光デバイスは、第2電極層上に配置されている絶縁層と、絶縁層上に、配置されている第2補助電極および第3補助電極と、絶縁層、第2電極、および第1発光部を貫通する複数の第4貫通部を介して、第2補助電極と第1取出電極とを電気的に接続する第4電気接続部と、絶縁層、第3電極、および第2発光部を貫通する複数の第5貫通部を介して、第3補助電極と第2取出電極とを電気的に接続する第5電気接続部とをさらに備えてもよい。 The light emitting device includes an insulating layer disposed on the second electrode layer, a second auxiliary electrode and a third auxiliary electrode disposed on the insulating layer, the insulating layer, the second electrode, and the first light emission. A fourth electrical connecting portion that electrically connects the second auxiliary electrode and the first extraction electrode via a plurality of fourth penetrating portions that penetrate the portion, an insulating layer, a third electrode, and a second light emitting portion. You may further provide the 5th electrical connection part which electrically connects a 3rd auxiliary electrode and a 2nd extraction electrode via the some 5th penetration part which penetrates.
上記発光デバイスにおいて、複数の第1発光部、複数の第2発光部、複数の第2電極、および複数の第3電極は、第1方向に帯状に延伸しており、第1発光部および第2電極と、第2発光部および第3電極とは、第1方向に垂直な第2方向に交互に配置されており、第1取出電極および第2取出電極は、第2方向に帯状に延伸しており、第2補助電極および第3補助電極は、第2方向に帯状に延伸していてもよい。 In the light emitting device, the plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of second electrodes, and the plurality of third electrodes extend in a strip shape in the first direction, and the first light emitting unit and the first light emitting unit The two electrodes, the second light emitting unit, and the third electrode are alternately arranged in a second direction perpendicular to the first direction, and the first extraction electrode and the second extraction electrode extend in a strip shape in the second direction. In addition, the second auxiliary electrode and the third auxiliary electrode may extend in a strip shape in the second direction.
上記発光デバイスにおいて、発光層は、複数の第1発光部および複数の第2発光部を有し、第2電極層は、複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極と、複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極と、複数の第2電極を電気的に接続する第1基部電極と、複数の第3電極を電気的に接続する第2基部電極とを有し、第1電気接続部は、第1取出電極と第1基部電極とを電気的に接続し、第2電気接続部は、第2取出電極と第2基部電極とを電気的に接続してもよい。 In the light emitting device, the light emitting layer includes a plurality of first light emitting units and a plurality of second light emitting units, and the second electrode layer includes a plurality of first light emitting units disposed above each of the plurality of first light emitting units. Two electrodes, a plurality of third electrodes disposed above each of the plurality of second light emitting units, a first base electrode that electrically connects the plurality of second electrodes, and the plurality of third electrodes. A second base electrode that is electrically connected, the first electrical connection portion electrically connects the first extraction electrode and the first base electrode, and the second electrical connection portion is connected to the second extraction electrode and the second extraction electrode. Two base electrodes may be electrically connected.
上記発光デバイスにおいて、複数の第1発光部、複数の第2発光部、複数の第2電極、および複数の第3電極は、第1方向に帯状に延伸しており、第2電極と第3電極とは、第2電極層の面方向において交互に配置されており、第1基部電極は、第1方向における第2電極層の一端側で、複数の第2電極に接続されており、第2基部電極は、第1方向における第2電極層の他端側で、複数の第3電極に接続されていてもよい。 In the light emitting device, the plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of second electrodes, and the plurality of third electrodes extend in a band shape in the first direction, and the second electrode and the third electrode The electrodes are alternately arranged in the surface direction of the second electrode layer, and the first base electrode is connected to the plurality of second electrodes on one end side of the second electrode layer in the first direction, The two base electrodes may be connected to the plurality of third electrodes on the other end side of the second electrode layer in the first direction.
上記発光デバイスにおいて、第1電極層は、第3取出電極をさらに有し、発光層は、第1電極の上方の第1発光部および第2発光部とは異なる領域に第3発光部をさらに有し、第2電極層は、第3発光部の上方に第4電極をさらに有し、発光デバイスは、第3発光部を貫通する第6貫通部を介して、第3取出電極と第4電極とを電気的に接続する第6電気接続部をさらに備えてもよい。 In the light emitting device, the first electrode layer further includes a third extraction electrode, and the light emitting layer further includes the third light emitting unit in a region different from the first light emitting unit and the second light emitting unit above the first electrode. The second electrode layer further includes a fourth electrode above the third light emitting unit, and the light emitting device includes a third extraction electrode and a fourth electrode through a sixth penetrating portion penetrating the third light emitting unit. You may further provide the 6th electrical connection part which electrically connects with an electrode.
上記発光デバイスにおいて、第3発光部および第4電極は、第1発光部および第2電極、並びに第2発光部および第3電極より面積が広くてもよい。 In the light emitting device, the third light emitting unit and the fourth electrode may have a larger area than the first light emitting unit and the second electrode, and the second light emitting unit and the third electrode.
上記発光デバイスにおいて、第1電極層の下方に配置されている基板をさらに備え、第1電極、第1取出電極、第2取出電極、および第3取出電極は、基板の周縁部に隣接しており、第1取出電極および第2取出電極は対向する位置に配置されており、第3取出電極は、第1取出電極と第2取出電極との間に配置されてもよい。 The light emitting device further includes a substrate disposed below the first electrode layer, wherein the first electrode, the first extraction electrode, the second extraction electrode, and the third extraction electrode are adjacent to the peripheral portion of the substrate. In addition, the first extraction electrode and the second extraction electrode may be disposed at opposing positions, and the third extraction electrode may be disposed between the first extraction electrode and the second extraction electrode.
上記発光デバイスにおいて、発光層は、複数の第1発光部、複数の第2発光部、および複数の第3発光部を有し、第2電極層は、複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極と、複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極と、複数の第3発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第4電極と、複数の第2電極を電気的に接続する第1基部電極と、複数の第3電極を電気的に接続する第2基部電極と、複数の第4電極に電気的に接続される第3基部電極とを有し、第1電気接続部は、第1取出電極と第1基部電極とを電気的に接続し、第2電気接続部は、第2取出電極と第2基部電極とを電気的に接続し、第6電気接続部は、第3取出電極と第3基部電極とを電気的に接続し、当該発光デバイスは、複数の第3発光部をそれぞれ貫通する複数の第7貫通部のそれぞれを介して、複数の第4電極のそれぞれと第3取出電極とを電気的に接続する複数の第7電気接続部をさらに備えてもよい。 In the light emitting device, the light emitting layer includes a plurality of first light emitting units, a plurality of second light emitting units, and a plurality of third light emitting units, and the second electrode layer is above each of the plurality of first light emitting units. A plurality of second electrodes disposed on each other, a plurality of third electrodes disposed above each of the plurality of second light emitting units, and a plurality disposed above each of the plurality of third light emitting units. A fourth base electrode, a first base electrode that electrically connects the plurality of second electrodes, a second base electrode that electrically connects the plurality of third electrodes, and an electrical connection to the plurality of fourth electrodes A third base electrode, the first electrical connection portion electrically connects the first extraction electrode and the first base electrode, and the second electrical connection portion includes the second extraction electrode and the second base portion. The electrode is electrically connected, and the sixth electrical connection portion electrically connects the third extraction electrode and the third base electrode, and emits the light. The vice has a plurality of seventh electrical connections that electrically connect each of the plurality of fourth electrodes and the third extraction electrode via each of the plurality of seventh through parts that respectively penetrate the plurality of third light emitting parts. A part may be further provided.
上記発光デバイスにおいて、複数の第1発光部、複数の第2発光部、複数の第3発光部、複数の第2電極、複数の第3電極、および複数の第4電極は、第1方向に帯状に延伸しており、複数の第2電極、複数の第3電極、および複数の第4電極は、第2電極層の面方向において、第2電極、第3電極、第4電極の順に配置されており、第1基部電極は、第1方向における第2電極層の一端側で、複数の第2電極に接続されており、第2基部電極は、第1方向における第2電極層の他端側で、複数の第3電極に接続されており、第3基部電極は、第1方向と略垂直な第2方向における第2電極層の端部に配置されてもよい。 In the light emitting device, the plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of third light emitting units, the plurality of second electrodes, the plurality of third electrodes, and the plurality of fourth electrodes are arranged in the first direction. The plurality of second electrodes, the plurality of third electrodes, and the plurality of fourth electrodes are arranged in the order of the second electrode, the third electrode, and the fourth electrode in the surface direction of the second electrode layer. The first base electrode is connected to the plurality of second electrodes on one end side of the second electrode layer in the first direction, and the second base electrode is connected to the second electrode layer in the first direction. On the end side, the third base electrode may be connected to the plurality of third electrodes, and the third base electrode may be disposed at an end of the second electrode layer in a second direction substantially perpendicular to the first direction.
上記発光デバイスにおいて、発光層は、複数の第1発光部および複数の第2発光部を有し、複数の第1発光部は、第1スペクトルの光で発光し、複数の第2発光部は、第1スペクトルとは異なる第2スペクトルの光で発光し、複数の第1発光部のそれぞれおよび複数の第2発光部のそれぞれは、交互に配置されていてもよい。上記発光デバイスにおいて、発光デバイスから予め定められた距離以上離れて観察する観察者に、複数の第1発光部および複数の第2発光部から照射された光を、予め定められた色の光として認識させてもよい。 In the light emitting device, the light emitting layer includes a plurality of first light emitting units and a plurality of second light emitting units, the plurality of first light emitting units emit light with light of the first spectrum, and the plurality of second light emitting units are The light of the second spectrum different from the first spectrum is emitted, and each of the plurality of first light emitting units and each of the plurality of second light emitting units may be alternately arranged. In the above light emitting device, the light emitted from the plurality of first light emitting units and the plurality of second light emitting units to the observer who observes at a predetermined distance or more from the light emitting device as light of a predetermined color It may be recognized.
上記発光デバイスにおいて、第2電極層は、複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極と、複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極とを有し、発光デバイスは、複数の第2電極および複数の第3電極に印加される電流または電圧を制御する制御部をさらに備えてもよい。 In the light emitting device, the second electrode layer includes a plurality of second electrodes disposed above each of the plurality of first light emitting units and a plurality of second electrodes disposed above each of the plurality of second light emitting units. The light emitting device may further include a controller that controls current or voltage applied to the plurality of second electrodes and the plurality of third electrodes.
本発明の一態様に係る発光デバイスの製造方法は、第1電極、第1取出電極、および第2取出電極を有する第1電極層を形成する第1電極層形成工程と、第1電極の上方の異なる領域に第1発光部および第2発光部を有する発光層を、第1電極層の上方に形成する発光層形成工程と、発光層に第1取出電極まで貫通する第1貫通部および第2取出電極まで貫通する第2貫通部を形成する貫通部形成工程と、第1貫通部内、第2貫通部内、および発光層上に導電材料を堆積させて、第1取出電極に電気的に接続する第2電極を第1発光部上に形成し、および第2取出電極に電気的に接続する第3電極を第2発光部上に形成する第2電極層形成工程とを含む。 The manufacturing method of the light-emitting device which concerns on 1 aspect of this invention WHEREIN: The 1st electrode layer formation process which forms the 1st electrode layer which has a 1st electrode, a 1st extraction electrode, and a 2nd extraction electrode, Above 1st electrode A light emitting layer forming step of forming a light emitting layer having a first light emitting portion and a second light emitting portion in a different region above the first electrode layer, and a first through portion and a first penetrating through the light emitting layer to the first extraction electrode A through-hole forming step for forming a second through-hole penetrating to the two extraction electrodes; and a conductive material is deposited in the first through-hole, the second through-hole, and the light-emitting layer to be electrically connected to the first extraction electrode Forming a second electrode on the first light-emitting portion, and forming a third electrode electrically connected to the second extraction electrode on the second light-emitting portion.
上記発光デバイスの製造方法において、貫通部形成工程は、発光層に第1電極まで貫通する第3貫通部を形成する工程を含み、第2電極層形成工程は、第3貫通部内に導電材料を堆積させて、第1電極に電気的に接続する第1補助電極を形成する工程を含んでもよい。 In the method for manufacturing a light emitting device, the through portion forming step includes a step of forming a third through portion that penetrates to the first electrode in the light emitting layer, and the second electrode layer forming step includes a conductive material in the third through portion. A step of depositing and forming a first auxiliary electrode electrically connected to the first electrode may be included.
上記発光デバイスの製造方法において、第1電極層形成工程は、第1部分電極および第2部分電極を有する第1電極と、第1部分電極と第2部分電極との間に第1取出電極および第2取出電極を形成する工程を含み、貫通部形成工程は、第1発光部に第1取出電極まで貫通する第1貫通部を形成し、第2発光部に第2取出電極まで貫通する第2貫通部を形成する工程を含んでもよい。 In the method for manufacturing a light emitting device, the first electrode layer forming step includes a first electrode having a first partial electrode and a second partial electrode, a first extraction electrode between the first partial electrode and the second partial electrode, and Including a step of forming a second extraction electrode, wherein the through portion formation step includes forming a first through portion that penetrates to the first extraction electrode in the first light emitting portion and penetrating the second light emission portion to the second extraction electrode. You may include the process of forming 2 penetration part.
上記発光デバイスの製造方法において、第2電極上および第3電極上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、絶縁層および第1発光部に第1取出電極まで貫通する第4貫通部を形成し、絶縁層および第2発光部に第2取出電極まで貫通する第5貫通部を形成する第2貫通部形成工程と、絶縁層上に、第4貫通部を覆い、第4貫通部を介して第1取出電極と電気的に接続される第2補助電極と、第5貫通部を覆い、第5貫通部を介して第2取出電極と電気的に接続される第3補助電極とを形成する補助電極形成工程とをさらに含んでもよい。 In the manufacturing method of the light emitting device, an insulating layer forming step of forming an insulating layer on the second electrode and the third electrode, and a fourth through portion penetrating to the first extraction electrode are formed in the insulating layer and the first light emitting portion. And a second penetration part forming step of forming a fifth penetration part penetrating to the second extraction electrode in the insulating layer and the second light emitting part, and the fourth penetration part is covered on the insulation layer via the fourth penetration part. Forming a second auxiliary electrode that is electrically connected to the first extraction electrode and a third auxiliary electrode that covers the fifth penetration part and is electrically connected to the second extraction electrode via the fifth penetration part. And an auxiliary electrode forming step.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.
図1は、第1の実施形態に係る発光デバイス100の陰極側から見た図を示す。図2Aは、図1に示すA−A断面図を示す。図2Bは、図1に示すB−B断面図を示す。図2Cは、図1に示すC−C断面図を示す。図2Dは、図1に示すD−D断面図を示す。
FIG. 1 shows a view from the cathode side of the
発光デバイス100は、基板10、第1電極層20、発光層30、および第2電極層40を備える。第1の実施形態において、発光デバイス100は、いわゆるボトムエミッション型の有機EL発光デバイスである。なお、発光デバイス100は、いわゆるトップエミッション型の有機EL発光デバイス、または両面光取出し型の有機EL発光デバイスでもよい。
The
第1電極層20の下方に配置されている基板10は、ガラスまたは高分子フィルムなどの光透過性を有する板材である。第1電極層20は、陽極となる第1電極22と、陰極の取出電極となる第1取出電極24および第2取出電極26とを有する。第1電極22、第1取出電極24、および第2取出電極26は、基板10の周縁部に隣接している。さらに言えば、第1取出電極24および第2取出電極26は、第1方向Xにおいて互いに対向する基板10のそれぞれの側面に隣接している。第1電極22は、第1方向Yに垂直な第2方向Yにおける基板10の一方の側面に隣接している。
The
第1電極22、第1取出電極24、および第2取出電極26は、それぞれ電気的に絶縁されている。第1電極層20は、光透過性導電性材料により構成してもよい。ここで、「光透過性」とは、光を透過する性質を有することを意味する。光透過性導電性材料は、可視光域(350nm〜780nm)における光の透過率が概ね50%を超える性質を有し、かつ表面抵抗値が107Ω以下の材料のことをいう。具体的には、光透過性導電性材料として、インジウムドープの酸化錫(ITO)、インジウムドープの酸化亜鉛(IZO)、酸化錫、酸化亜鉛などを用いることができる。表面抵抗の低さの観点からは、インジウムドープの酸化錫を用いて第1電極層20を構成することが好ましい。第1電極層20は、例えば、スパッタ法、蒸着法、パルスレーザー堆積法などにより基板10上にITO薄膜を形成することにより形成される。
The
発光層30は、第1電極22の上方の異なる領域に配置されている複数の第1発光部32および複数の第2発光部34を有し、第1電極層20の上方に配置されている。第1発光部32および第2発光部34は、一般の有機EL素子において陽極と陰極とに狭持された部分を示し、電子注入層、電子輸送層、有機層、正孔注入層、および正孔輸送層などを有する。第1発光部32および第2発光部34は、有機化合物のほかに、薄膜のアルカリ金属または無機材料を用いて構成されてもよい。
The
また、第1発光部32および第2発光部34は、異なる色で発光してもよい。第1発光部32および第2発光部34は、異なるスペクトル波長の光を放射してもよい。第1発光部32は、赤色、黄色、または橙色で発光し、第2発光部34は、青色で発光してもよい。これにより、発光デバイス100は、第1発光部32および第2発光部34が放射する光を受けた人に、白色の光として認識させることができる。第1発光部32および第2発光部34を構成する各層は、目的に応じて適宜選択される方法により形成されてよい。例えば、低分子有機化合物などは蒸着法で形成されてもよい。高分子有機化合物は印刷法で形成されてもよい。
Further, the first
第1発光部32および第2発光部34は、正孔輸送層の厚さを異ならせ、正孔輸送層以外の各層の厚さを略同一とすることで、異なる色で発光してもよい。この場合、第1発光部32は、第1正孔注入層と、第1正孔注入層の上方に配置されている第1正孔輸送層と、第1正孔輸送層の上方に配置されている第1有機層と、第1有機層の上方に配置されている第1電子輸送層とを有する。また、第2発光部34は、第2正孔注入層と、第2正孔注入層の上方に配置されている第2正孔輸送層と、第2正孔輸送層の上方に配置されている第2有機層と、第2有機層の上方に配置されている第2電子輸送層とを有する。そして、第1正孔輸送層および第2正孔輸送層を異なる厚さにすることで、第1発光部32および第2発光部34は、異なる色で発光してもよい。
The first
また、第1発光部32および第2発光部34は、有機層の下方または上方に、正孔または電子の移動をブロックするブロック層を有し、ブロック層の厚さを異ならせ、ブロック層以外の各層の厚さを略同一とすることで、異なる色で発光してもよい。この場合、第1発光部32は、第1正孔注入層と、第1正孔注入層の上方に配置されている第1正孔輸送層と、第1正孔輸送層の上方に配置されている第1有機層と、第1有機層の上方に配置されている第1電子輸送層と、第1有機層の下方または上方に配置され、正孔または電子の移動をブロックする第1ブロック層とを有する。また、第2発光部34は、第2正孔注入層と、第2正孔注入層の上方に配置されている第2正孔輸送層と、第2正孔輸送層の上方に配置されている第2有機層と、第2有機層の上方に配置されている第2電子輸送層と第1有機層の下方または上方に配置され、正孔または電子の移動をブロックする第2ブロック層とを有する。そして、第1ブロック層および第2ブロック層を異なる厚さにすることで、第1発光部32および第2発光部34は、異なる色で発光してもよい。
In addition, the first
上記のように、正孔輸送層またはブロック層の厚さのみを異ならせることで第1発光部32および第2発光部34に異なる色で発光させることで、他の層の形成工程を共通化できる。例えば、正孔注入層材料を積層することで、第1発光部32を構成する第1正孔注入層および第2発光部34を構成する第2正孔注入層を同時に形成する。次いで、マスクを用いて正孔輸送層を積層することで、第1の厚みであって第1発光部32を構成する第1正孔輸送層を第1正孔注入層の上方に形成する。さらに、マスクを用いて正孔輸送層を積層することで、第1の厚みとは異なる第2の厚みであって第2発光部34を構成する第2正孔輸送層を第2正孔注入層の上方に形成する。続いて、有機層材料を積層することで、第1発光部32を構成する第1有機層および第2発光部34を構成する第2有機層のそれぞれを第1正孔輸送層および第2正孔輸送層のそれぞれの上方に同時に形成する。また、電子輸送層材料を積層することで、第1発光部32を構成する第1電子輸送層および第2発光部34を構成する第2電子輸送層のそれぞれを第1有機層および第2有機層のそれぞれの上方に同時に形成する。
As described above, the first light-emitting
厚さの異なるブロック層を形成する場合にも、第1発光部32および第2発光部34を構成するブロック層以外の各層を同時に形成できる。上記のように、正孔輸送層またはブロック層の厚さのみを異ならせることで、例えば若干赤っぽい白を発光する第1発光部32および若干青っぽい白を発光する第2発光部34を容易に製造することができる。よって、製造コストを抑制できる。
When forming block layers having different thicknesses, layers other than the block layers constituting the first
第1発光部32および第2発光部34は、例えば、440nmと520nmとの間の第1の波長帯域、520nmと600nmとの間の第2の波長帯域および600nmと680nmとの間の第3の波長帯域を含む3つのそれぞれの波長帯域内の光を放射する。そして、若干赤っぽい白を発光する場合、第1発光部32は、第3の波長帯域中の積分スペクトルパワーが第2の波長帯域の積分スペクトルパワーに比べて高く、第2の波長帯域中の積分スペクトルパワーが第1の波長帯域中の積分スペクトルパワーに比べて高い光を照射するように、正孔輸送層またはブロック層の厚さを調整する。また、若干青っぽい白を発光する場合、第2発光部34は、第1の波長帯域中の積分スペクトルパワーが第2の波長帯域に比べて高く、第2の波長帯域中の積分スペクトルパワーが第3の波長帯域に比べて高い光を照射するように、正孔輸送層またはブロック層の厚さを調整する。
The first
また、第1発光部32は、第1スペクトルの光を照射し、第2発光部34は、第1スペクトルとは異なる第2スペクトルの光を照射してもよい。第1発光部32は、520nmと600nmとの間の波長帯域または、および600nmと680nmとの間の波長帯域を含む光を照射してもよい。第2発光部34は、440nmと520nmとの間の波長帯域を含む光を発光してもよい。また、第1発光部32は、赤色、黄色、または橙色で発光し、第2発光部34は、青色で発光してもよい。これにより、第1発光部32および第2発光部34のそれぞれから照射された光を、発光デバイス100から予め定められた距離以上離れた位置で観察する観察者に対して、予め定められた色温度の予め定められた色、例えば予め定められた色温度の白色として認識させることができる。
In addition, the first
第2電極層40は、発光層30の上方に配置されている。第2電極層40は、複数の第1発光部32のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極42を有する。複数の第2電極42は、複数の第1発光部32の陰極である。また、第2電極層40は、複数の第2発光部34のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極44を有する。複数の第3電極44は、複数の第2発光部34の陰極である。さらに、第2電極層40は、複数の第2電極42を電気的に接続する第1基部電極42dと、複数の第3電極44を電気的に接続する第2基部電極44dとを有する。
The
複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、複数の第2電極42、および複数の第3電極44は、第1方向Xに帯状に延伸している。また、第2電極42と第3電極44とは、第2電極層40の面方向において交互に配置されている。第1基部電極42dは、第1方向Xにおける第2電極層40の一端側で、複数の第2電極42に接続されており、第1基部電極42dと複数の第2電極42とにより櫛形形状が形成される。第2基部電極44dは、第1方向Xにおける第2電極層40の他端側で、複数の第3電極44に接続されており、第2基部電極44dと複数の第3電極44とにより櫛形形状が形成される。
The plurality of first
第2電極層40は、例えば、AlまたはAgなどの導電性材料を用いて、蒸着法、スパッタ法などの方法により発光層30上に形成される。基板10側から光を取り出すボトムエミッション型の有機EL発光デバイスの場合、第2電極層40は光透過性である必要はない。一方、トップエミッション型または両面取出し型の有機EL発行デバイスの場合、第2電極層40は、光透過性導電材料により構成される。この場合、第2電極層40は、第1電極層20で用いられる材料と同一の材料により構成されてもよい。なお、本実施形態においては、第2電極層40は、発光層30上に配置されている。しかし、発光デバイス100の製造工程において、吸湿によって発光層30を構成する各層が劣化するのを抑制する観点から、発光層30の最表面(第2電極層40との界面)に第2電極層40とは別に、バッファ層として導電性の他の層を形成してもよい。
For example, the
さらに、発光デバイス100は、発光層30を貫通する第1貫通部35を介して、第1取出電極24と第2電極42とを電気的に接続する第1電気接続部42aを備える。第1電気接続部42aは、第1取出電極24と第1基部電極42dとを電気的に接続する。これにより、第1取出電極24と第2電極42とが電気的に接続される。第2電極42に対する駆動電圧は、第1取出電極24を介して第2電極42に印加される。加えて、発光デバイス100は、発光層30を貫通する第2貫通部37を介して、第2取出電極26と第3電極44とを電気的に接続する第2電気接続部44aを備える。第2電気接続部44aは、第2取出電極26と第2基部電極44dとを電気的に接続する。これにより、第2取出電極26と第3電極44とが電気的に接続される。第3電極44に対する駆動電圧は、第2取出電極26を介して第3電極44に印加される。第1電気接続部42aおよび第2電気接続部44aは、第2電極層40と同一の導電性材料で構成されてよい。
Furthermore, the
さらに、発光デバイス100は、発光層30を貫通する第3貫通部39を介して第1電極22に電気的に接続する第3電気接続部46aを備える。そして、第2電極層40は、第3電気接続部46aを介して第1電極22に電気的に接続する第1補助電極46をさらに有する。第1電極22を例えばITO薄膜で構成する場合、表面抵抗が比較的高いので、電圧が印加される位置からの距離に応じて第1電極22の表面の電圧にばらつきが生じやすい。そこで、表面抵抗が比較的低い第2電極層40の一部を第1電極22のための補助電極として用いる。これにより、第1電極22の表面の電圧のばらつきを抑制できる。
Furthermore, the
以上のように構成された発光デバイス100において、発光デバイス100が備える制御部が、第1電極22の基板10の周縁部から第1駆動電圧を印加し、第1取出電極24から第2駆動電圧を印加し、かつ第2取出電極26から第3駆動電圧を印加する。これにより、複数の第1発光部32は、第1駆動電圧と第2駆動電圧との電位差に応じた輝度の光を放射する。また、複数の第2発光部34は、第1駆動電圧と第3駆動電圧との電位差に応じた輝度の光を放射する。第2駆動電圧および第3駆動電圧の大きさを調整することで、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34から放射される光の輝度を調整することができる。例えば、発光デバイス100が、第1スペクトルの光を発光する複数の第1発光部32および第1スペクトルの光とは異なる第2スペクトルの光を発光する複数の第2発光部34から放射される光を受けた人に白色を認識させる場合、制御部が第2駆動電圧および第3駆動電圧の大きさを調整することで、放射される光の色温度の大きさを調整することができる。これにより、発光デバイス100が照射する光を調色できる。
In the
図3A、図3B、図3C、図3D、および図3Eは、第1の実施形態に係る発光デバイス100をレーザースクライブ法により製造する場合の製造方法の各工程の一例を示す。
3A, FIG. 3B, FIG. 3C, FIG. 3D, and FIG. 3E show an example of each step of the manufacturing method when the
まず、第1電極層形成工程において、ITO薄膜が形成された基板10の発光面側からレーザーを照射し、ITO薄膜の一部を除去し、溝28を形成する。これにより、電気的に絶縁された第1電極22、第1取出電極24、および第2取出電極26を有する第1電極層20を形成する(図3A)。次いで、発光層形成工程において、第1電極22の上方の異なる領域に複数の第1発光部32および複数の第2発光部34を有する発光層30を、第1電極層20の上方に形成する。第2電極42および第3電極44は、第2電極層40の面方向において交互に配置されるように形成される。そして、第1電極層20上に発光層30を積層することにより、溝28に発光層30を構成する発光層材料が堆積される(図3B)。これにより、溝28に堆積された発光層材料が絶縁壁として機能するので、第1電極22、第1取出電極24、および第2取出電極26がそれぞれ電気的に短絡することを防止できる。
First, in the first electrode layer forming step, laser is irradiated from the light emitting surface side of the
さらに、貫通部形成工程において、基板10の発光面側からレーザーを照射し、基板10の第1方向Xにおいて互いに対向するそれぞれの側面および第2方向Yにおける一方の側面に沿って発光層30の一部を除去する。これにより、発光層30に第1取出電極24まで貫通する第1貫通部35および第2取出電極26まで貫通する第2貫通部37を形成する。加えて、基板10の発光面側からレーザーを照射し、第2方向Yの他方の側面に沿って発光層30の一部を除去し、発光層30に第1電極22まで貫通する第3貫通部39を形成する(図3C)。
Further, in the penetrating portion forming step, laser is irradiated from the light emitting surface side of the
次いで、第2電極層形成工程において、第1貫通部35内、第2貫通部37内、第3貫通部39内および発光層30上にAgなどの導電材料を蒸着法などにより堆積することで、第2電極層40を形成する(図3D)。さらに、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30および第2電極層40の一部を除去することにより、第1取出電極24に電気的に接続し、かつ第1基部電極42dとともに櫛形形状を成す第2電極42を複数の第1発光部32上に形成する。また、第2取出電極26に電気的に接続し、かつ第2基部電極44dとともに櫛形形状を成す第3電極44を複数の第2発光部34上に形成する。加えて、第1電極22に電気的に接続する第1補助電極46を形成する(図3E)。
Next, in the second electrode layer forming step, a conductive material such as Ag is deposited by vapor deposition or the like in the first through
以上のように、各層の一部をレーザーにより除去することで、電極などを形成することで、発光デバイス100の製造工程を簡素化できる。よって、発光デバイス100の製造コストを大幅に抑制できる。
As described above, the manufacturing process of the
図4は、第2の実施形態に係る発光デバイス100の陰極側から見た図を示す。図5Aは、図4に示すA−A断面図を示す。図5Bは、図4に示すB−B断面図を示す。図5Cは、図4に示すC−C断面図を示す。図5Dは、図4に示すD−D断面を示す。図5Eは、図4に示すE−E断面図を示す。
FIG. 4 is a view of the
第2の実施形態に係る発光デバイス100は、第1電極層20が、第1電極22、第1取出電極24、および第2取出電極26の他に第3取出電極27を有する点で第1の実施形態に係る発光デバイス100とは異なる。また、第2の実施形態に係る発光デバイス100は、第1発光部32および第2発光部34の他に、第1電極22の上方の第1発光部32および第2発光部34とは異なる領域に第3発光部36を有する点で、第1の実施形態に係る発光デバイス100とは異なる。
The
第1電極22、第1取出電極24、第2取出電極26、および第3取出電極27は、基板10の周縁部に隣接している。第1取出電極24および第2取出電極26は、第1方向Xにおいて対向する位置に配置されている。第3取出電極27は、第1取出電極24と第2取出電極26との間の略中央部分に第1方向Xに垂直な第2方向Yに沿って配置されている。
The
発光層30は、複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、および複数の第3発光部36を有する。第1発光部32、第2発光部34、および第3発光部36は、それぞれ異なる色で発光してもよい。第1発光部32、第2発光部34、および第3発光部36は、それぞれ異なるスペクトル波長の光を放射してもよい。第1発光部32は、第1スペクトルの光を照射し、第2発光部34は、第1スペクトルとは異なる第2スペクトルの光を照射し、第3発光部36は、第1スペクトルおよび第2スペクトルを含む光を照射してもよい。第1発光部32は、520nmと600nmとの間の波長帯域または、および600nmと680nmとの間の波長帯域を含む光を照射してもよい。第2発光部34は、440nmと520nmとの間の波長帯域を含む光を照射してもよい。第3発光部36は、440nmと520nmとの間の波長帯域、520nmと600nmとの間の波長帯域、および600nmと680nmとの間の波長帯域を含む光を照射してもよい。第1発光部32は、赤色、黄色、または橙色で発光し、第2発光部34は、青色で発光し、第3発光部36は、白色で発光してもよい。これにより、発光デバイス100は、第1発光部32および第2発光部34が放射するそれぞれの光を第3発光部36が放射する光に混合することにより、色温度が微調整された白色の光を照射することができる。
The
第2電極層40は、複数の第1発光部32のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極42、複数の第2発光部34のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極44、および複数の第3発光部36のそれぞれの上方に配置されている複数の第4電極48を有する。さらに、第2電極層40は、複数の第2電極42を電気的に接続する第1基部電極42dと、複数の第3電極44を電気的に接続する第2基部電極44dと、複数の第4電極48に電気的に接続される第3基部電極48dとを有する。
The
複数の第3発光部36および複数の第4電極48の少なくとも一部は、複数の第1発光部32および複数の第2電極42、並びに複数の第2発光部34および複数の第3電極44より面積が広くてもよい。また、複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、複数の第3発光部36、複数の第2電極42、複数の第3電極44、および複数の第4電極48は、第1方向Xに帯状に延伸している。複数の第2電極42、複数の第3電極44、および複数の第4電極48は、第2電極層40の面方向において、第2電極42、第3電極44、第4電極48の順に配置されている。第1基部電極42dは、第1方向Xにおける第2電極層40の一端側で、複数の第2電極42に接続されている。第2基部電極44dは、第1方向Xにおける第2電極層40の他端側で、複数の第3電極44に接続されている。第3基部電極48dは、第1方向Xと垂直な第2方向Yにおける第2電極層40の一端部に配置されている。
At least some of the plurality of third
発光デバイス100は、発光層30を貫通する第1貫通部35を介して、第1取出電極24と第2電極42とを電気的に接続する第1電気接続部42aを備える。発光デバイス100は、発光層30を貫通する第2貫通部37を介して、第2取出電極26と第3電極44とを電気的に接続する第2電気接続部44aを備える。さらに、発光デバイス100は、第3発光部36を貫通する第6貫通部38を介して、第3取出電極27と第4電極48とを電気的に接続する第6電気接続部48aを備える。また、発光デバイス100は、発光層30を貫通する第3貫通部39を介して第1電極22に電気的に接続する第3電気接続部46aを備える。第2電極層40は、第3電気接続部46aを介して第1電極22に電気的に接続する第1補助電極46をさらに有する。第1補助電極46は、第1方向Xと垂直な第2方向Yにおける第2電極層40の他端部に配置されている。
The
第1電気接続部42aは、第1取出電極24と第1基部電極42dとを電気的に接続する。第2電気接続部44aは、第2取出電極26と第2基部電極44dとを電気的に接続する。第6電気接続部48aは、第3取出電極27と第3基部電極48dとを電気的に接続する。
The first
発光デバイス100は、複数の第3発光部36をそれぞれ貫通する複数の第7貫通部33のそれぞれを介して、複数の第4電極48のそれぞれと第3取出電極27とを電気的に接続する複数の第7電気接続部43aをさらに備える。
The
以上のように構成された発光デバイス100において、第1電極22の基板10の周縁部から第1駆動電圧を印加し、第1取出電極24から第2駆動電圧を印加する。さらに、第2取出電極26から第3駆動電圧を印加し、第3取出電極27から第4駆動電圧を印加する。これにより、複数の第1発光部32は、第1駆動電圧と第2駆動電圧との電位差に応じた輝度の光を放射する。また、複数の第2発光部34は、第1駆動電圧と第3駆動電圧との電位差に応じた輝度の光を放射する。さらに、複数の第3発光部36は、第1駆動電圧と第4駆動電圧との電位差に応じた輝度の光を放射する。例えば、第2駆動電圧および第3駆動電圧の大きさを調整することで、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34から放射される光の輝度を調整することができる。これにより、発光デバイス100が照射する複数の第1発光部32、複数の第2発光部34および複数の第3発光部36からの光を受けた人に認識させる光の色温度の大きさを微調整できる。よって、発光デバイス100は、例えば、第3発光部36が放射する白色の光を赤っぽい白色または青っぽい白色に変化させて、変化後の光を照射できる。
In the
図6A、図6B、図6C、図6D、および図6Eは、第1の実施形態に係る発光デバイス100をレーザースクライブ法により製造する場合の製造方法の各工程の一例を示す。
6A, FIG. 6B, FIG. 6C, FIG. 6D, and FIG. 6E show an example of each step of the manufacturing method when the
まず、第1電極層形成工程において、ITO薄膜が形成された基板10の発光面側からレーザーを照射し、ITO薄膜の一部を除去し、溝28を形成する。これにより、電気的に絶縁された第1電極22、第1取出電極24、第2取出電極26、第3取出電極27を有する第1電極層20を形成する(図3A)。第1取出電極24は、第1方向Xにおける第1電極層20の一端側に形成される。第2取出電極26は、第1方向Xにおける第1電極層20の他端側に形成される。第3取出電極27は、第1取出電極24と第2取出電極26との間にT字形状に形成され、T字の横棒部分が第1方向Xに垂直な第2方向における第1電極層20の一端側に形成される(図6A)。
First, in the first electrode layer forming step, laser is irradiated from the light emitting surface side of the
次いで、発光層形成工程において、第1電極22の上方の異なる領域に複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、および複数の第3発光部36を有する発光層30を、第1電極層20の上方に形成する。複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、および複数の第3発光部36のそれぞれは、発光層30の面方向において、第1発光部32、第2発光部34、および第3発光部36の順に形成される。複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、および複数の第3発光部36は、第1方向に帯状に延伸するように形成される。発光層形成工程において、第1電極層20上に発光層30を積層することにより、溝28に発光層30を構成する発光層材料が堆積される(図6B)。これにより、溝28に堆積された発光層材料が絶縁壁として機能するので、第1電極22、第1取出電極24、第2取出電極26、および第3取出電極27がそれぞれ電気的に短絡することを防止できる。
Next, in the light emitting layer forming step, the
さらに、貫通部形成工程において、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30の一部を第1方向Xにおける基板10のそれぞれの側面に沿って除去することにより、発光層30に第1取出電極24まで貫通する第1貫通部35および第2取出電極26まで貫通する第2貫通部37を形成する。加えて、発光層30の一部を第2方向Yにおける基板10の一側面に沿って除去することにより、発光層30に第1電極22まで貫通する第3貫通部39を形成する。また、発光層30の一部を第2方向Yにおける基板10の他側面に沿って除去することにより、発光層30に第3取出電極27まで貫通する第6貫通部38を形成する。さらに、第2方向Yにおける基板10の他側面の略中央部分から第2方向Yにおける基板10の一側面に向かって、発光層30の複数の第3発光部36に対応する部分を除去することで、複数の第7貫通部33を形成する(図6C)。
Further, in the penetration portion forming step, the
次いで、第2電極層形成工程において、第1貫通部35内、第2貫通部37内、第3貫通部39内、第6貫通部38内、複数の第7貫通部33内および発光層30上にAgなどの導電材料を蒸着法などにより堆積することで、第2電極層40を形成する(図6D)。さらに、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30および第2電極層40の一部を除去することにより、第1取出電極24に電気的に接続し、かつ第1基部電極42dとともに櫛形形状を成す第2電極42を複数の第1発光部32上に形成する。また、第2取出電極26に電気的に接続し、かつ第2基部電極44dとともに櫛形形状を成す第3電極44を複数の第2発光部34上に形成する。さらに、第3取出電極27に電気的に接続する複数の第4電極48を複数の第3発光部36上に形成し、第3基部電極48dを第3取出電極27のT字の横棒部分の上方に形成する。加えて、第1電極22に電気的に接続する第1補助電極46を形成する(図3E)。
Next, in the second electrode layer forming step, the first through
以上のように、各層の一部をレーザースクライブ法により除去することで、電極などを形成することで、発光デバイス100の製造工程を簡素化できる。よって、発光デバイス100の製造コストを大幅に抑制できる。
As described above, the manufacturing process of the
図7は、第3の実施形態に係る発光デバイス100の陰極側から見た図を示す。図8Aは、図7に示すA−A断面図を示す。図8Bは、図7に示すB−B断面図を示す。図8Cは、図7に示すC−C断面図を示す。図8Dは、図7に示すD−D断面図を示す。図8Eは、図7に示すE−E断面図を示す。
FIG. 7 shows a view from the cathode side of the
第3の実施形態に係る発光デバイス100は、第1電極22が第1部分電極22−1および第2部分電極22−2を有し、第1取出電極24および第2取出電極26が第1部分電極22−1と第2部分電極22−2との間に配置されている点で、第1の実施形態に係る発光デバイス100とは異なる。
In the
発光層30は、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34を有する。第2電極層40は、複数の第1発光部32のそれぞれの上方に配置されている複数の第2電極42と、複数の第2発光部34のそれぞれの上方に配置されている複数の第3電極44とを有する。
The
発光デバイス100は、複数の第1発光部32をそれぞれ貫通する複数の第1貫通部35のそれぞれを介して、第1取出電極24と複数の第2電極42のそれぞれとを電気的に接続する複数の第1電気接続部42aを備える。さらに、発光デバイス100は、複数の第2発光部34をそれぞれ貫通する複数の第2貫通部37のそれぞれを介して、第2取出電極26と複数の第3電極44のそれぞれとを電気的に接続する複数の第2電気接続部44aを備える。
The
複数の第1発光部32、複数の第2発光部34、複数の第2電極42、および複数の第3電極44は、第1方向Xに帯状に延伸している。また、第1発光部32および第2電極42と、第2発光部34および第3電極44とは、第1方向Xに垂直な第2方向Yに交互に配置されている。そして、第1取出電極24および第2取出電極26は、第2方向Yに帯状に基板10の第2方向Yにおける両端まで延伸している。
The plurality of first
第2の実施形態に係る発光デバイス100の構成によれば、4組以上の発光部にそれぞれ異なる陰極を設けることは困難である。一方、第3の実施形態に係る発光デバイス100の構成によれば、第1部分電極22−1と第2部分電極22−2との間に発光部毎の取出電極を配置すればよいので、4組以上の発光部にそれぞれ異なる陰極を設けることができる。
According to the configuration of the
図9は、第4の実施形態に係る発光デバイス100の陰極側から見た図を示す。図10Aは、図9に示すA−A断面図を示す。図10Bは、図9に示すB−B断面図を示す。図10Cは、図9に示すC−C断面図を示す。図10Dは、図9に示すD−D断面図を示す。図10Eは、図9に示すE−E断面図を示す。図10Fは、図9に示すF−F断面図を示す。図10Gは、図9に示すG−G断面図を示す。
FIG. 9 shows a view from the cathode side of the
第4の実施形態に係る発光デバイス100は、第1取出電極24および第2取出電極26のそれぞれに対して第2補助電極62および第3補助電極64を備える点で、第3の実施形態に係る発光デバイス100と異なる。
The
発光デバイス100は、第2電極層40上に配置されている絶縁層50と、絶縁層50上に配置されている第2補助電極62および第3補助電極64とを備える。第2補助電極62および第3補助電極64は、第2方向Yに帯状に延伸している。また、発光デバイス100は、絶縁層50、複数の第2電極42のそれぞれ、および複数の第1発光部32のそれぞれを貫通する複数の第4貫通部55を介して、第2補助電極62と第1取出電極24とを電気的に接続する複数の第4電気接続部62aを備える。さらに、発光デバイス100は、絶縁層50、複数の第3電極44のそれぞれ、および複数の第2発光部34のそれぞれを貫通する複数の第5貫通部57を介して、第3補助電極64と第2取出電極26とを電気的に接続する複数の第5電気接続部64aを備える。
The
第1取出電極24および第2取出電極26をそれぞれ例えばITO薄膜で構成し、第1取出電極24および第2取出電極26のそれぞれの一端側から駆動電圧を印加する場合、ITO薄膜の表面抵抗が比較的高いので、第1取出電極24および第2取出電極26のそれぞれの一端側と他端側とで、電位差が生じることがある。この場合、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34のそれぞれが放射する光の輝度にばらつきが生じる。そこで、表面抵抗が比較的低い第2補助電極62および第3補助電極64を第1取出電極24および第2取出電極26に電気的に接続することで、第1取出電極24および第2取出電極26のそれぞれの一端側と他端側との間で生じる電位差を抑制できる。よって、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34のそれぞれが放射する光の輝度にばらつきが生じることを抑制できる。
When each of the
図11A、図11B、図11C、図11D、および図11Eは、第4の実施形態に係る発光デバイス100をレーザースクライブ法により製造する場合の製造方法の各工程の一例を示す。
FIG. 11A, FIG. 11B, FIG. 11C, FIG. 11D, and FIG. 11E show an example of each step of the manufacturing method when the
まず、第1電極層形成工程において、ITO薄膜が形成された基板10の発光面側からレーザーを照射し、ITO薄膜の一部を除去し、第2方向Yに沿った複数の溝28を基板10の第1方向Xの略中央部分に形成する。これにより、第1部分電極22−1および第2部分電極22−2を有する第1電極22と、第1部分電極22−1と第2部分電極22−2との間に第1取出電極24および第2取出電極26を形成する。これにより、電気的に絶縁された第1電極22、第1取出電極24、第2取出電極26を有する第1電極層20を形成する(図11A)。第1取出電極24の両端および第2取出電極26の両端は、基板10の第2方向Yの両端に隣接している。
First, in the first electrode layer forming step, a laser is irradiated from the light emitting surface side of the
次いで、発光層形成工程において、第1電極22の上方の異なる領域に、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34を有する発光層30を、第1電極層20の上方に形成する。複数の第1発光部32、および複数の第2発光部34のそれぞれは、第1方向に帯状に延伸するように、発光層30の面方向において、第1発光部32および第2発光部34が交互に形成される。発光層形成工程において、第1電極層20上に発光層30を積層することにより、溝28に発光層30を構成する発光層材料が堆積される。これにより、溝28に堆積された発光層材料が絶縁壁と機能することで、第1電極22、第1取出電極24、第2取出電極26、および第3取出電極27がそれぞれ電気的に短絡することを防止できる。さらに、貫通部形成工程において、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30の一部を除去することにより、発光層30の複数の第1発光部32に第1取出電極24まで貫通する複数の第1貫通部35を形成する。さらに、発光層30の複数の第2発光部34に第2取出電極26まで貫通する複数の第2貫通部37を形成する。加えて、発光層30に第1電極22まで貫通する第3貫通部39を基板10の周縁部を囲繞するように、形成する(図11B)。
Next, in the light emitting layer forming step, the
次いで、第2電極層形成工程において、第1貫通部35内、第2貫通部37内、第3貫通部39内および発光層30上にAgなどの導電材料を蒸着法などにより堆積することで、第2電極層40を形成する。さらに、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30および第2電極層40の一部を除去することにより、溝41を形成する。溝41を形成することで、第1取出電極24に電気的に接続する複数の第2電極42を複数の第1発光部32上に形成する。また、第2取出電極26に電気的に接続する複数の第3電極44を複数の第2発光部34上に形成する(図11C)。
Next, in the second electrode layer forming step, a conductive material such as Ag is deposited by vapor deposition or the like in the first through
続いて、絶縁層形成工程において、第2電極上および第3電極上に絶縁層50を形成する。さらに、第2貫通部形成工において、基板10の発光面側からレーザーを照射し、発光層30、第2電極層40、および絶縁層50の一部を除去することにより、絶縁層50および第1発光部32に第1取出電極24まで貫通する複数の第4貫通部55を形成し、絶縁層50および第2発光部34に第2取出電極26まで貫通する第5貫通部57を形成する(図11D)。
Subsequently, in the insulating layer forming step, the insulating
絶縁層50は、有機化合物により構成してもよい。レーザー加工の観点から、用いられるレーザーの波長(例えば、532nmまたは355nm)に合せて、可視光波長域に吸収を有する有機化合物であることが好ましい。絶縁層50は、低分子有機化合物、高分子有機化合物などがあり、低分子有機化合物の場合は蒸着法、高分子有機化合物の場合は印刷等で形成できる。絶縁層50の具体例としては、例えば、[トリス(8−ハイドロキシキノリナート)]アルミニウム(III)(以下、Alq3と略す)、Perylene、4,4'−ビス[N−(2−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(以下、α−NPDと略す)、4,4'-ビス(N−カルバゾリル)ビフェニル(以下、CBPと略す)、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−3,5−ヘプタンジオナト)カルシウム(以下、Ca(DPM)2と略す)、などが例示される。中でも絶縁抵抗の高さの観点から、Alq3、Perylene、α−NPD、CBP、Ca(DPM)2を少なくとも1つ含有することが好ましい。
The insulating
次いで、補助電極形成工程において、絶縁層50上に、第4貫通部55を覆い、第4貫通部55を介して第1取出電極24と電気的に接続される第2補助電極62と、第5貫通部を覆い、第5貫通部57を介して第2取出電極26と電気的に接続される第3補助電極64とを形成する。第2補助電極62および第3補助電極64は、第2電極層40と同一の導電性材料を用いてもよい。また、第2補助電極62および第3補助電極64はマスク蒸着により導電性材料を絶縁層50上に堆積させることで形成してもよい。
Next, in the auxiliary electrode forming step, the second
以上のように、各層の一部をレーザーにより除去することで、電極などを形成することで、発光デバイス100の製造工程を簡素化できる。よって、発光デバイス100の製造コストを大幅に抑制できる。また、第2補助電極62および第3補助電極64を設けることで、第1取出電極24および第2取出電極26のそれぞれの一端側と他端側との間で生じる電位差を抑制できる。よって、複数の第1発光部32および複数の第2発光部34のそれぞれが放射する光の輝度にばらつきが生じることを抑制できる。
As described above, the manufacturing process of the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.
10 基板
20 第1電極層
22 第1電極
22−1 第1部分電極
22−2 第2部分電極
24 第1取出電極
26 第2取出電極
27 第3取出電極
30 発光層
32 第1発光部
33 第7貫通部
34 第2発光部
35 第1貫通部
37 第2貫通部
36 第3発光部
40 第2電極層
42 第2電極
42a 第1電気接続部
42d 第1基部電極
43a 第1電気接続部
44 第3電極
44a 第2電気接続部
44d 第2基部電極
46 第1補助電極
46a 第3電気接続部
48 第4電極
48a 第6電気接続部
48d 第3基部電極
50 絶縁層
55 第4貫通部
57 第5貫通部
62 第2補助電極
62a 第4電気接続部
64 第3補助電極
64a 第5電気接続部
100 発光デバイス
DESCRIPTION OF
Claims (21)
前記第1電極の上方の異なる領域に配置されている第1発光部および第2発光部を有し、前記第1電極層の上方に配置されている発光層と、
前記第1発光部の上方に配置されている第2電極および前記第2発光部の上方に配置されている第3電極を有し、前記発光層の上方に配置されている第2電極層と、
前記発光層を貫通する第1貫通部を介して、前記第1取出電極と前記第2電極とを電気的に接続する第1電気接続部と、
前記発光層を貫通する第2貫通部を介して、前記第2取出電極と前記第3電極とを電気的に接続する第2電気接続部と
を備える発光デバイス。 A first electrode layer having a first electrode, a first extraction electrode, and a second extraction electrode;
A light emitting layer having a first light emitting part and a second light emitting part disposed in different regions above the first electrode, and disposed above the first electrode layer;
A second electrode layer disposed above the light emitting layer, having a second electrode disposed above the first light emitting unit and a third electrode disposed above the second light emitting unit; ,
A first electrical connection portion for electrically connecting the first extraction electrode and the second electrode via a first penetration portion penetrating the light emitting layer;
A light emitting device comprising: a second electrical connection portion that electrically connects the second extraction electrode and the third electrode through a second penetration portion that penetrates the light emission layer.
前記第2電極層は、前記第3電気接続部を介して前記第1電極に電気的に接続する第1補助電極をさらに有する請求項1に記載の発光デバイス。 A third electrical connection part electrically connected to the first electrode through a third penetration part penetrating the light emitting layer;
The light emitting device according to claim 1, wherein the second electrode layer further includes a first auxiliary electrode that is electrically connected to the first electrode through the third electrical connection portion.
前記第1電極、前記第1取出電極、および前記第2取出電極は、前記基板の周縁部に隣接している請求項1または請求項2に記載の発光デバイス。 A substrate disposed below the first electrode layer;
The light emitting device according to claim 1, wherein the first electrode, the first extraction electrode, and the second extraction electrode are adjacent to a peripheral edge of the substrate.
前記第1取出電極および前記第2取出電極は、前記第1部分電極と前記第2部分電極との間に配置され、
前記第1電気接続部は、前記第1発光部を貫通する前記第1貫通部を介して、前記第2電極と前記第1取出電極とを電気的に接続し、
前記第2電気接続部は、前記第2発光部を貫通する前記第2貫通部を介して、前記第3電極と前記第2取出電極とを電気的に接続する請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の発光デバイス。 The first electrode has a first partial electrode and a second partial electrode,
The first extraction electrode and the second extraction electrode are disposed between the first partial electrode and the second partial electrode,
The first electrical connection part electrically connects the second electrode and the first extraction electrode via the first penetration part that penetrates the first light emitting part,
The said 2nd electrical connection part electrically connects the said 3rd electrode and the said 2nd extraction electrode via the said 2nd penetration part which penetrates the said 2nd light emission part. The light emitting device according to any one of the above.
前記第2電極層は、前記複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第2電極と、前記複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第3電極とを有し、
当該発光デバイスは、
前記複数の第1発光部をそれぞれ貫通する複数の前記第1貫通部のそれぞれを介して、前記第1取出電極と前記複数の第2電極のそれぞれとを電気的に接続する複数の第1電気接続部と、
前記複数の第2発光部をそれぞれ貫通する複数の前記第2貫通部のそれぞれを介して、前記第2取出電極と前記複数の第3電極のそれぞれとを電気的に接続する複数の第2電気接続部と
を備える請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の発光デバイス。 The light emitting layer includes a plurality of the first light emitting units and a plurality of the second light emitting units,
The second electrode layer includes a plurality of the second electrodes disposed above each of the plurality of first light emitting units, and a plurality of the plurality of the second light emitting units disposed above each of the plurality of second light emitting units. A third electrode,
The light emitting device is
A plurality of first electrics for electrically connecting the first extraction electrode and each of the plurality of second electrodes via each of the plurality of first penetration parts penetrating each of the plurality of first light emitting parts. A connection,
A plurality of second electrics for electrically connecting the second extraction electrode and each of the plurality of third electrodes via each of the plurality of second penetration parts penetrating each of the plurality of second light emitting parts. The light emitting device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a connection portion.
前記絶縁層上に、配置されている第2補助電極および第3補助電極と、
前記絶縁層、前記第2電極、および前記第1発光部を貫通する複数の第4貫通部を介して、前記第2補助電極と前記第1取出電極とを電気的に接続する第4電気接続部と、
前記絶縁層、前記第3電極、および前記第2発光部を貫通する複数の第5貫通部を介して、前記第3補助電極と前記第2取出電極とを電気的に接続する第5電気接続部と
をさらに備える請求項5に記載の発光デバイス。 An insulating layer disposed on the second electrode layer;
A second auxiliary electrode and a third auxiliary electrode arranged on the insulating layer;
A fourth electrical connection for electrically connecting the second auxiliary electrode and the first extraction electrode via the insulating layer, the second electrode, and a plurality of fourth penetration parts penetrating the first light emitting part. And
A fifth electrical connection for electrically connecting the third auxiliary electrode and the second extraction electrode via the insulating layer, the third electrode, and a plurality of fifth penetrating portions penetrating the second light emitting portion. The light emitting device according to claim 5, further comprising a unit.
前記第1発光部および前記第2電極と、前記第2発光部および前記第3電極とは、前記第1方向に垂直な第2方向に交互に配置されており、
前記第1取出電極および前記第2取出電極は、前記第2方向に帯状に延伸しており、
前記第2補助電極および前記第3補助電極は、前記第2方向に帯状に延伸している請求項6に記載の発光デバイス。 The plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of second electrodes, and the plurality of third electrodes extend in a band shape in a first direction,
The first light emitting unit and the second electrode, and the second light emitting unit and the third electrode are alternately arranged in a second direction perpendicular to the first direction,
The first extraction electrode and the second extraction electrode extend in a strip shape in the second direction,
The light emitting device according to claim 6, wherein the second auxiliary electrode and the third auxiliary electrode extend in a strip shape in the second direction.
前記第2電極層は、前記複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第2電極と、前記複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第3電極と、前記複数の第2電極を電気的に接続する第1基部電極と、前記複数の第3電極を電気的に接続する第2基部電極とを有し、
前記第1電気接続部は、前記第1取出電極と前記第1基部電極とを電気的に接続し、
前記第2電気接続部は、前記第2取出電極と前記第2基部電極とを電気的に接続する請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の発光デバイス。 The light emitting layer includes a plurality of the first light emitting units and a plurality of the second light emitting units,
The second electrode layer includes a plurality of the second electrodes disposed above each of the plurality of first light emitting units, and a plurality of the plurality of the second light emitting units disposed above each of the plurality of second light emitting units. A third base electrode, a first base electrode that electrically connects the plurality of second electrodes, and a second base electrode that electrically connects the plurality of third electrodes;
The first electrical connection portion electrically connects the first extraction electrode and the first base electrode,
The light emitting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second electrical connection portion electrically connects the second extraction electrode and the second base electrode.
前記第2電極と前記第3電極とは、前記第2電極層の面方向において交互に配置されており、
前記第1基部電極は、前記第1方向における前記第2電極層の一端側で、前記複数の第2電極に接続されており、
前記第2基部電極は、前記第1方向における前記第2電極層の他端側で、前記複数の第3電極に接続されている請求項8に記載の発光デバイス。 The plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of second electrodes, and the plurality of third electrodes extend in a band shape in a first direction,
The second electrode and the third electrode are alternately arranged in the surface direction of the second electrode layer,
The first base electrode is connected to the plurality of second electrodes on one end side of the second electrode layer in the first direction,
The light emitting device according to claim 8, wherein the second base electrode is connected to the plurality of third electrodes on the other end side of the second electrode layer in the first direction.
前記発光層は、前記第1電極の上方の前記第1発光部および前記第2発光部とは異なる領域に第3発光部をさらに有し、
前記第2電極層は、前記第3発光部の上方に第4電極をさらに有し、
当該発光デバイスは、
前記第3発光部を貫通する第6貫通部を介して、前記第3取出電極と前記第4電極とを電気的に接続する第6電気接続部をさらに備える請求項1または請求項2に記載の発光デバイス。 The first electrode layer further includes a third extraction electrode,
The light emitting layer further includes a third light emitting unit in a region different from the first light emitting unit and the second light emitting unit above the first electrode,
The second electrode layer further includes a fourth electrode above the third light emitting unit,
The light emitting device is
The 6th electric connection part which electrically connects the 3rd extraction electrode and the 4th electrode via the 6th penetration part which penetrates the 3rd light-emitting part is provided. Light emitting device.
前記第1電極、前記第1取出電極、前記第2取出電極、および前記第3取出電極は、前記基板の周縁部に隣接しており、
前記第1取出電極および前記第2取出電極は対向する位置に配置されており、
前記第3取出電極は、前記第1取出電極と前記第2取出電極との間に配置されている請求項10または11に記載の発光デバイス。 A substrate disposed below the first electrode layer;
The first electrode, the first extraction electrode, the second extraction electrode, and the third extraction electrode are adjacent to a peripheral edge of the substrate,
The first extraction electrode and the second extraction electrode are arranged at opposing positions,
The light emitting device according to claim 10 or 11, wherein the third extraction electrode is disposed between the first extraction electrode and the second extraction electrode.
前記第2電極層は、前記複数の第1発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第2電極と、前記複数の第2発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第3電極と、前記複数の第3発光部のそれぞれの上方に配置されている複数の前記第4電極と、前記複数の第2電極を電気的に接続する第1基部電極と、前記複数の第3電極を電気的に接続する第2基部電極と、前記複数の第4電極に電気的に接続される第3基部電極とを有し、
前記第1電気接続部は、前記第1取出電極と前記第1基部電極とを電気的に接続し、
前記第2電気接続部は、前記第2取出電極と前記第2基部電極とを電気的に接続し、
前記第6電気接続部は、前記第3取出電極と前記第3基部電極とを電気的に接続し、
当該発光デバイスは、
前記複数の第3発光部をそれぞれ貫通する複数の第7貫通部のそれぞれを介して、前記複数の第4電極のそれぞれと前記第3取出電極とを電気的に接続する複数の第7電気接続部をさらに備える請求項12に記載の発光デバイス。 The light emitting layer includes a plurality of the first light emitting units, a plurality of the second light emitting units, and a plurality of the third light emitting units,
The second electrode layer includes a plurality of the second electrodes disposed above each of the plurality of first light emitting units, and a plurality of the plurality of the second light emitting units disposed above each of the plurality of second light emitting units. A plurality of fourth electrodes disposed above each of the plurality of third light emitting units, a first base electrode that electrically connects the plurality of second electrodes, and the plurality of the plurality of fourth electrodes. A second base electrode that electrically connects the third electrode; and a third base electrode that is electrically connected to the plurality of fourth electrodes;
The first electrical connection portion electrically connects the first extraction electrode and the first base electrode,
The second electrical connection portion electrically connects the second extraction electrode and the second base electrode,
The sixth electrical connection portion electrically connects the third extraction electrode and the third base electrode,
The light emitting device is
A plurality of seventh electrical connections for electrically connecting each of the plurality of fourth electrodes and the third extraction electrode via each of a plurality of seventh penetration parts penetrating each of the plurality of third light emitting parts. The light emitting device according to claim 12, further comprising a unit.
前記複数の第2電極、前記複数の第3電極、および前記複数の第4電極は、前記第2電極層の面方向において、前記第2電極、前記第3電極、前記第4電極の順に配置されており、
前記第1基部電極は、前記第1方向における前記第2電極層の一端側で、前記複数の第2電極に接続されており、
前記第2基部電極は、前記第1方向における前記第2電極層の他端側で、前記複数の第3電極に接続されており、
前記第3基部電極は、前記第1方向と略垂直な第2方向における前記第2電極層の端部に配置されている請求項13に記載の発光デバイス。 The plurality of first light emitting units, the plurality of second light emitting units, the plurality of third light emitting units, the plurality of second electrodes, the plurality of third electrodes, and the plurality of fourth electrodes are in a first direction. It is stretched in a strip shape,
The plurality of second electrodes, the plurality of third electrodes, and the plurality of fourth electrodes are arranged in the order of the second electrode, the third electrode, and the fourth electrode in the surface direction of the second electrode layer. Has been
The first base electrode is connected to the plurality of second electrodes on one end side of the second electrode layer in the first direction,
The second base electrode is connected to the plurality of third electrodes on the other end side of the second electrode layer in the first direction;
The light emitting device according to claim 13, wherein the third base electrode is disposed at an end of the second electrode layer in a second direction substantially perpendicular to the first direction.
前記複数の第1発光部は、第1スペクトルの光を照射し、
前記複数の第2発光部は、前記第1スペクトルとは異なる第2スペクトルの光を照射し、
前記複数の第1発光部のそれぞれおよび前記複数の第2発光部のそれぞれは、交互に配置されている請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の発光デバイス。 The light emitting layer includes a plurality of the first light emitting units and a plurality of the second light emitting units,
The plurality of first light emitting units emit light of a first spectrum,
The plurality of second light emitting units emit light of a second spectrum different from the first spectrum,
4. The light emitting device according to claim 1, wherein each of the plurality of first light emitting units and each of the plurality of second light emitting units are alternately arranged. 5.
前記発光デバイスは、
前記複数の第2電極および前記複数の第3電極に印加される電流または電圧を制御する制御部をさらに備える請求項15または請求項16に記載の発光デバイス。 The second electrode layer includes a plurality of the second electrodes disposed above each of the plurality of first light emitting units, and a plurality of the plurality of the second light emitting units disposed above each of the plurality of second light emitting units. A third electrode,
The light emitting device is:
The light emitting device according to claim 15 or 16, further comprising a control unit that controls currents or voltages applied to the plurality of second electrodes and the plurality of third electrodes.
前記第1電極の上方の異なる領域に第1発光部および第2発光部を有する発光層を、前記第1電極層の上方に形成する発光層形成工程と、
前記発光層に前記第1取出電極まで貫通する第1貫通部および前記第2取出電極まで貫通する第2貫通部を形成する貫通部形成工程と、
前記第1貫通部内、前記第2貫通部内、および前記発光層上に導電材料を堆積させて、前記第1取出電極に電気的に接続する第2電極を前記第1発光部上に形成し、および第2取出電極に電気的に接続する第3電極を前記第2発光部上に形成する第2電極層形成工程と
を含む発光デバイスの製造方法。 A first electrode layer forming step of forming a first electrode layer having a first electrode, a first extraction electrode, and a second extraction electrode;
A light emitting layer forming step of forming a light emitting layer having a first light emitting part and a second light emitting part in different regions above the first electrode above the first electrode layer;
A penetration part forming step of forming a first penetration part penetrating to the first extraction electrode and a second penetration part penetrating to the second extraction electrode in the light emitting layer;
Depositing a conductive material in the first penetrating portion, in the second penetrating portion, and on the light emitting layer to form a second electrode on the first light emitting portion to be electrically connected to the first extraction electrode; And a second electrode layer forming step of forming a third electrode electrically connected to the second extraction electrode on the second light emitting portion.
前記第2電極層形成工程は、前記第3貫通部内に導電材料を堆積させて、前記第1電極に電気的に接続する第1補助電極を形成する工程を含む請求項18に記載の発光デバイスの製造方法。 The penetrating portion forming step includes a step of forming a third penetrating portion penetrating to the first electrode in the light emitting layer,
The light emitting device according to claim 18, wherein the second electrode layer forming step includes a step of depositing a conductive material in the third penetrating portion to form a first auxiliary electrode electrically connected to the first electrode. Manufacturing method.
前記貫通部形成工程は、前記第1発光部に前記第1取出電極まで貫通する前記第1貫通部を形成し、前記第2発光部に前記第2取出電極まで貫通する前記第2貫通部を形成する工程を含む請求項18または請求項19に記載の発光デバイスの製造方法。 The first electrode layer forming step includes the first electrode having a first partial electrode and a second partial electrode, and the first extraction electrode and the second electrode between the first partial electrode and the second partial electrode. Including a step of forming an extraction electrode;
The penetration part forming step forms the first penetration part penetrating to the first extraction electrode in the first light emitting part, and the second penetration part penetrating to the second extraction electrode in the second light emission part. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 18, comprising a forming step.
前記絶縁層および前記第1発光部に前記第1取出電極まで貫通する第4貫通部を形成し、前記絶縁層および前記第2発光部に前記第2取出電極まで貫通する第5貫通部を形成する第2貫通部形成工程と、
前記絶縁層上に、前記第4貫通部を覆い、前記第4貫通部を介して前記第1取出電極と電気的に接続される第2補助電極と、前記第5貫通部を覆い、前記第5貫通部を介して前記第2取出電極と電気的に接続される第3補助電極とを形成する補助電極形成工程とをさらに含む請求項20に記載の発光デバイスの製造方法。 An insulating layer forming step of forming an insulating layer on the second electrode and the third electrode;
A fourth through portion penetrating to the first extraction electrode is formed in the insulating layer and the first light emitting portion, and a fifth through portion penetrating to the second extraction electrode is formed in the insulating layer and the second light emitting portion. A second penetrating part forming step,
A second auxiliary electrode that covers the fourth penetration part, is electrically connected to the first extraction electrode via the fourth penetration part, covers the fifth penetration part, and covers the fifth penetration part. 21. The method of manufacturing a light emitting device according to claim 20, further comprising: an auxiliary electrode forming step of forming a third auxiliary electrode electrically connected to the second extraction electrode via a five through portion.
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