JP2013191333A - 荷電粒子線装置用防音カバー及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、以下に荷電粒子線装置を包囲する防音カバーにおいて、当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、当該筒状部の他端は閉じられている防音カバー、及び当該防音カバーに包囲される荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】 図6
Description
101 カラム
102 収束器
103 試料室
104 ステージ
105 ホルダ
106 試料
107 検出器
108 架台
109 除振台
110 電子銃
200 防音カバー
210 筒状空洞部
211 筒状空洞部の開口部
212 多孔板
Claims (15)
- 荷電粒子線装置を包囲する防音カバーにおいて、
当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、当該筒状部の他端は閉じられていることを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、複数の前記筒状体を、前記防音カバーの内壁に沿って配列するように、当該筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、前記開口が当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の少なくとも1つに位置するように、前記筒状体を形成していることを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項3において、
前記筒状体は、前記側壁の高さ方向に、少なくとも4つ配列され、天板に一番近い筒状体は、前記第1の空間に開口を持ち、天板に2番目と3番目に近い筒状体は、前記第2の空間に開口を持ち、天板から4番目に近い筒状体は、前記第3の空間に開口を持つことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項4において、前記筒状体の空洞部の長さを、前記防音カバーの高さの1/4程度としたことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。
- 請求項1において、
前記開口に多孔板を設置したことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの天板に前記筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの底部に前記筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、前記筒状体を、前記防音カバーの内側、外側、あるいはその両方に対して、多段重ねて形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、前記筒状体を、前記防音カバーの内側の空間に対して、一段もしくは多段重ねて形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線が照射される試料を保持する試料台を備えた荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置を包囲する防音カバーを有し、当該防音カバーは、当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、当該筒状部の他端は閉じられていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記空洞部形成部材は、複数の前記筒状体を、前記防音カバーの内壁に沿って配列するように、当該筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、前記開口が、当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の少なくとも1つに位置するように、前記筒状体を形成していることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、前記開口が、当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の内、少なくとも第2の空間に位置するように、前記筒状体を形成していることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項14において、
前記試料台は、前記第2の空間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
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