JP2013168274A - Ultraviolet ray irradiation device, luminance adjustment method, and luminance distribution measurement tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、紫外線照射装置の照度調整技術に関する。 The present invention relates to an illuminance adjustment technique for an ultraviolet irradiation device.
従来、液晶パネルの製造工程においては、液晶パネルの基板を貼り合わせる紫外線硬化樹脂を硬化させたり、液晶パネルの液晶配向特性を付加したりするために、紫外線照射装置が用いられている。 Conventionally, in a manufacturing process of a liquid crystal panel, an ultraviolet irradiation device is used to cure an ultraviolet curable resin to which a substrate of the liquid crystal panel is bonded or to add liquid crystal alignment characteristics of the liquid crystal panel.
ランプを紫外線光源とした紫外線照射装置では、ランプの照射範囲や照度分布によって、均一な照度が得られる照射エリアが制限される。そこで近年では、ランプから放射される光の一部を反射する反射部材を紫外線照射装置に設け、当該反射部材の形状や傾斜角度を適宜に調整することで、均一な照度で照射可能なエリアを拡大し、液晶パネル等の比較的大きな照射対象の全面を均一な照度で紫外線照射可能にする技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 In an ultraviolet irradiation device using a lamp as an ultraviolet light source, an irradiation area where uniform illuminance can be obtained is limited by the irradiation range and illuminance distribution of the lamp. Therefore, in recent years, an ultraviolet irradiating device is provided with a reflecting member that reflects a part of the light emitted from the lamp, and an area that can be irradiated with uniform illuminance can be obtained by appropriately adjusting the shape and inclination angle of the reflecting member. There has been proposed a technique that expands and makes it possible to irradiate ultraviolet rays with uniform illuminance on the entire surface of a relatively large irradiation target such as a liquid crystal panel (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、光源と照射エリアの間に、干渉フィルタを配置すると、当該干渉フィルタが有する光学特性の入射角依存性により、照射エリアでの照度分布が崩れてしまい、均一な照射ができなかった。 However, when an interference filter is disposed between the light source and the irradiation area, the illumination distribution in the irradiation area is destroyed due to the incident angle dependency of the optical characteristics of the interference filter, and uniform irradiation cannot be performed.
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、均一な照度での照射を可能にする紫外線照射装置、照度調整方法、及び照度分布測定用具を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an ultraviolet irradiation device, an illuminance adjustment method, and an illuminance distribution measurement tool that enable irradiation with uniform illuminance.
上記目的を達成するために、本発明は、紫外線を放射する光源と、前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、前記光源、及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射することを特徴とする。 To achieve the above object, the present invention is disposed between a light source that emits ultraviolet light, a semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet light emitted from the light source, the light source, and an irradiation area. At least one or more types of filters through which the ultraviolet rays reflected from the reflection mirror pass, and the ultraviolet rays that are arranged around the irradiation area and go out of the irradiation area through the filter have an illuminance within the irradiation area. An auxiliary reflection mirror that reflects to a low location, and uniformly irradiates the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays that are reflected by the auxiliary reflection mirror. And
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記フィルタの内、少なくとも1種類が干渉フィルタであることを特徴とする。 In the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention, at least one of the filters is an interference filter.
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記フィルタの内、少なくとも1種類が吸収フィルタであることを特徴とする。 The present invention is also characterized in that, in the ultraviolet irradiation device, at least one of the filters is an absorption filter.
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記フィルタが、前記光源及び照射エリアの間で互いに上下に配置される吸収フィルタ、及び干渉フィルタを含み、前記干渉フィルタのエリア内に前記吸収フィルタを部分的に配置し、又は、前記吸収フィルタのエリア内に前記干渉フィルタを部分的に配置したことを特徴とする。 Further, the present invention provides the ultraviolet irradiation device, wherein the filter includes an absorption filter and an interference filter that are disposed above and below the light source and the irradiation area, and the absorption filter is partially included in the area of the interference filter. Or the interference filter is partially arranged in the area of the absorption filter.
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記補助反射ミラーの反射面がアルミニウム材から形成されたことを特徴とする。 According to the present invention, in the above ultraviolet irradiation device, the reflection surface of the auxiliary reflection mirror is formed of an aluminum material.
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記補助反射ミラーが干渉膜ミラーであることを特徴とする。 In the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention, the auxiliary reflection mirror is an interference film mirror.
また本発明は、上記紫外線照射装置において、前記補助反射ミラーが、複数の波長ごとに異なる反射特性をもつ干渉膜ミラーを備えることを特徴とする。 In the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention, the auxiliary reflection mirror includes an interference film mirror having different reflection characteristics for each of a plurality of wavelengths.
また上記目的を達成するために、本発明は、紫外線を放射する光源と、前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、前記光源及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射する紫外線照射装置の照度調整方法において、応答感度の波長域が異なる複数の照度計のそれぞれで照射エリア内の照度分布を測定し、それぞれの照度分布の測定結果で均一な照度分布となるように前記補助反射ミラーの反射を調整したことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention is disposed between a light source that emits ultraviolet light, a semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet light emitted from the light source, and the light source and an irradiation area. At least one or more types of filters through which the ultraviolet rays reflected from the reflection mirror pass, and the ultraviolet rays that are arranged around the irradiation area and go out of the irradiation area through the filter have an illuminance within the irradiation area. An auxiliary reflection mirror that reflects to a low location, and an ultraviolet irradiation device that uniformly irradiates the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflection mirror In each illuminance adjustment method, measure the illuminance distribution in the irradiation area with each of multiple illuminometers with different response sensitivity wavelength ranges, and each illuminance distribution Characterized in that to adjust the reflection of the auxiliary reflecting mirror so as to be uniform illuminance distribution measurement results.
また本発明は、上記照度調整方法において、第1の照度計で測定した照度分布に基づいて前記補助反射ミラーの傾斜角度を調整して照射エリア内の照度分布を均一に調整した後、第2の照度計で照射エリア内の照度分布を測定し、照度が高い、若しくは低い箇所に反射光を照射している前記補助反射ミラーを特定し、当該特定した補助反射ミラーについて、前記第2の照度計の応答感度の波長域に対する反射率を低下若しくは向上させて照度分布を調整することを特徴とする。 In the illuminance adjustment method according to the present invention, after the illuminance distribution in the irradiation area is uniformly adjusted by adjusting the tilt angle of the auxiliary reflection mirror based on the illuminance distribution measured by the first illuminometer, The illuminance distribution in the irradiation area is measured with the illuminance meter, the auxiliary reflection mirror that irradiates the reflected light to the portion where the illuminance is high or low is specified, and the second illuminance is determined for the specified auxiliary reflection mirror It is characterized in that the illuminance distribution is adjusted by reducing or improving the reflectance with respect to the wavelength range of the response sensitivity of the meter.
また本発明は、上記照度調整方法において、前記フィルタが、前記光源及び照射エリアの間で互いに上下に配置される吸収フィルタ、又は干渉フィルタを含み、第1の照度計を用いて照射エリア内の照度分布を均一にした後、第2の照度計で測定した照度分布に基づいて、照度が高いもしくは低い箇所を特定し、当該特定した箇所について、前記第2の照度計で測定する照度分布が均一となるように前記干渉フィルタ、又は吸収フィルタの大きさを調整し、照度を低下もしくは向上させて照度分布を調整することを特徴とする。 Further, the present invention provides the illuminance adjustment method, wherein the filter includes an absorption filter or an interference filter that are arranged above and below each other between the light source and the irradiation area. After making the illuminance distribution uniform, based on the illuminance distribution measured by the second illuminometer, a location where the illuminance is high or low is identified, and the illuminance distribution measured by the second illuminometer is determined for the identified location. The size of the interference filter or the absorption filter is adjusted so as to be uniform, and the illuminance distribution is adjusted by reducing or improving the illuminance.
また上記目的を達成するために、本発明は、紫外線を放射する光源と、前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、前記光源及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射する紫外線照射装置の照度分布測定用具であって、応答感度が異なる第1及の照度計、及び第2の照度計と、前記照射エリアに配置され、前記第1の照度計、及び第2の照度計が移動可能に、なおかつ、前記第1の照度計、及び第2の照度計が同一の箇所の照度を測定可能に支持する支持機構と、を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention is disposed between a light source that emits ultraviolet light, a semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet light emitted from the light source, and the light source and an irradiation area. At least one or more types of filters through which the ultraviolet rays reflected from the reflection mirror pass, and the ultraviolet rays that are arranged around the irradiation area and go out of the irradiation area through the filter have an illuminance within the irradiation area. An auxiliary reflection mirror that reflects to a low location, and an ultraviolet irradiation device that uniformly irradiates the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflection mirror The first and second illuminometers having different response sensitivities, and the first illuminometer arranged in the irradiation area And second illuminance meter movable, yet, characterized by comprising the first luminometer, and a support mechanism for the second illuminance meter measures supporting the illuminance of the same location, the.
本発明によれば、照射エリアの周囲に配置され、フィルタを通って照射エリアの外に向かう紫外線を、照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、フィルタを通って照射エリアを直接照射する紫外線と、補助反射ミラーで反射された紫外線とで照射エリアを均一に照射するため、フィルタが配置されている場合でも、均一な照度での照射が可能になる。 According to the present invention, the auxiliary reflection mirror that is arranged around the irradiation area and reflects the ultraviolet rays that pass through the filter and go out of the irradiation area to a portion with low illuminance in the irradiation area, and passes through the filter. Since the irradiation area is uniformly irradiated with the ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area and the ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflection mirror, irradiation with uniform illuminance is possible even when a filter is provided.
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本実施形態に係る紫外線照射装置1の概略構成を示す斜視図であり、図2は紫外線照射装置1の概略構成を示す正面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an
これらの図に示すように、紫外線照射装置1は、紫外線を直下のワーク2に照射する複数の照射器3と、それぞれの照射器3ごとにワーク2との間に配設された干渉フィルタ4とを備え、照射器3が照射する紫外線をワーク2に干渉フィルタ4を通して照射するとともに、更に、2つの照度計20A、20Bを有する照度分布測定用具21、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23を備えている。
As shown in these drawings, an
ワーク2は、幅Wが約620mm、長さLが約750mmの照射エリア2Aを有する矩形状を成し、この照射エリア2Aに例えば液晶パネルが載置されて紫外線が照射される。このワーク2は、ワーク冷却ステージ7に載置固定されて照射エリア2Aの全面が一様に冷却されている。
The
照射器3は、図2に示すように、底面開放型の直方体状の照射器筐体10を有し、この照射器筐体10には、波長約200nm〜600nmの紫外線を線状に放射する線状紫外線光源たるメタルハライドランプ11と、このメタルハライドランプ11を包囲する半楕円筒状(シリンドリカル状)の反射ミラー12とが内設され、メタルハライドランプ11から放射される紫外線を反射ミラー12で反射して照射器筐体10の底面から線状に紫外線を照射する。
As shown in FIG. 2, the
干渉フィルタ4は、誘電体多層膜から成る透過フィルタであり、図1及び図2に示すように、照射器3の底面全体を十分に覆う面積を有し、当該照射器3とワーク2(すなわち、照射エリア2A)の間であって、照射器3の底面に近付けて配置されている。
The
干渉フィルタ4が透過する透過波長域は、紫外線照射装置1の使用用途に応じて適宜に設定され、本実施形態では、液晶パネルの製造(液晶の配向制御や貼り合わせなど)に最適な帯域が設定されている。
The transmission wavelength range that the
具体的には、本実施形態の干渉フィルタ4は、図3に示すように、干渉フィルタ4は、約390nm付近を中心波長λcとし、約100nmの半値幅Δλを有している。なお、図3に示す透過特性の入射角依存性については後述する。
Specifically, as shown in FIG. 3, the
この紫外線照射装置1では、前掲図2に示すように、3つの照射器3、及び干渉フィルタ4がワーク2の幅方向に所定の間隔Mでワーク2の幅Wの方向に並列に設けられている。このとき、横並びの照射器3のうちの両端の照射器3は、内蔵のメタルハライドランプ11がワーク2の幅W(すなわち、照射エリア2A)の若干外側に位置するように配置されている。すなわち、ワーク2の照射エリア2Aの略全域が中央の照射器3により照射され、また幅W方向の両端部で照度が低下する箇所については、中央の照射器3を挟んだ両端の照射器3の照射によって照度の低下が補われる。なお、中央の照射器3(すなわち、ワーク2の幅W内に内蔵のメタルハライドランプ11が配置される照射器3)は1つに限らず、複数の照射器3を並設して構成しても良く、これにより、照射エリア2Aの幅Wを拡張できる。また、両端の照射器3(すなわち、ワーク2の幅Wの外に内蔵のメタルハライドランプ11が配置される照射器3)についても同様に、各端部に複数の照射器3を並設しても良い。
In this
ただし、両端の照射器3については、内蔵のメタルハライドランプ11の直下にワーク2が位置しないため、ワーク2の照射エリア2Aに照射されずに外に漏れる紫外線が比較的多く、効率が悪い。
However, with respect to the
そこで、この紫外線照射装置1では、図1及び図2に示すように、ワーク2の幅Wの方向に並列に並んだ照射器3のうちの両端の照射器3の直下のそれぞれに、照射器3から照射された紫外線をワーク2の照射エリア2Aに反射する第1補助反射ミラー22が設けられている。これにより、図2に矢印K1で示すように、両端の照射器3からワーク2の外側に向かう光K2が第1補助反射ミラー22でワーク2に向けて反射され、ワーク2が効率良く照射される。
Therefore, in this
また、照射器3の長手方向両端部のそれぞれには(すなわち、ワーク2の長さL方向の両端のそれぞれには)、図1及び図2に示すように、3つの照射器3に亘る長さの上記第2補助反射ミラー23がワーク2の長さL方向の両端に当該長さL方向に沿って設けられている。これらの第2補助反射ミラー23は、干渉フィルタ4の出射側に近接して配置され、各照射器3のメタルハライドランプ11から長手方向に放射されてワーク2の長さLの外に漏れる光(図示略)を当該ワーク2に向けて反射する。これにより、各照射器3からワーク2の長さL方向の外に漏れる光がワーク2の照射に使われ、ワーク2が効率良く照射されることとなる。
Further, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the length over the three
このように、並設された複数の照射器3の周囲を囲むように第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23を備えることにより、ワーク2の外側に漏れる光が、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23のいずれかでワーク2に反射されることから、複数の照射器3を用いて比較的大きな照度で、かつ、効率良くワーク2を照射することができる。
As described above, by providing the first
本実施形態では、これら第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23には、特定の波長域の反射率を高めて照射エリア2Aの照度を高めるべく、誘電体多層膜から成る増反射膜(干渉膜)が反射面にコーティングされた干渉膜ミラーとして構成されている。また、後に詳述するが、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23は、不要な波長域を反射せずに透過させてカットするダイクロイックミラーの一態様としてのメタルダイクロミラーとしても構成されている。
In the present embodiment, the first
ここで、複数の照射器3を並べてワーク2を照射する場合、ワーク2の中央部(換言すれば、並設された複数の照射器3の並び中央の直下部分)に対しては、図2に示すように、両端の照射器3の光K2も照射されることから、照度が他の箇所よりも突出して大きくなり易い。これに対して、例えば、両端の照射器3のメタルハライドランプ11の出力を中央の照射器3よりも下げることで、ワーク2の中央部での照度を抑えることができるものの、そうすると、両端の照射器3で照らされているワーク2の両端部の照度も低下してしまう。
Here, when irradiating the
そこで、本実施形態では、並設された複数の照射器3のメタルハライドランプ11の出力を略同一としつつ、両端の照射器3の放射光のうちワーク2を直射照射する直射光K2の成分を減衰させる吸収フィルタ30を設けた構成としている。この吸収フィルタ30は、所定の波長域(本実施形態では、後述の照度計20Aが応答感度を有する波長域)の光を吸収して減衰させるものであり、吸収特性に入射角度依存性を有しないものが用いられている。かかる吸収フィルタ30は、両端の照射器3に対応して設けられた各干渉フィルタ4の底面(照射エリア2Aとの対向面)に、直射光K2が通る範囲のみを覆い、ワーク2の外側に向かう光、すなわち第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23で反射される光が通る範囲を避けて配置されている。
Therefore, in the present embodiment, the components of the direct light K2 that directly irradiates the
これにより、ワーク2の中央部の照度を抑えつつ、ワーク2の縁部での照度低下が防止され、ワーク2の全面に亘り均一、かつ高照度な紫外線照射が可能になる。
Thereby, the illumination intensity fall in the edge part of the workpiece |
なお、吸収フィルタ30を干渉フィルタ4の上面(照射器3との対向面)に設けても良い。
The
上記照度分布測定用具21は、ワーク2の照射エリア2Aの照度分布を測定するための器具であり、紫外線照射装置1の製造時や、メタルハライドランプ11の交換等のメンテナンス時にワーク2に載置して使用され、照度分布の測定後には、ワーク2から取り除かれる。
The illuminance
具体的には、照度分布測定用具21は、図1に示すように、照度計20A、20Bと、ワーク2内を照度計20A、20Bが移動可能に、なおかつ、これらの照度計20A、20Bが同一の箇所の照度を測定可能に支持する支持機構38とを備えている。
Specifically, as shown in FIG. 1, the illuminance
支持機構38は、ワーク2に載置される矩形の枠体35と、この枠体35の対向する1対の辺で支持される2本の支持棒36、37とを有し、これら支持棒36、37は、互いに直交するように枠体35に設けられており、支持棒36、37の交点に、2つの照度計20A、20Bが並設されている。支持棒36、37のそれぞれは、枠体35の辺にガイドされて当該辺に沿って所定長単位で1ステップずつ移動可能に構成されており、これにより、照度計20A、20Bがワーク2の幅Wの方向、長さLの方向の任意の位置に配置可能に成されている。また、照度計20Aと照度計20Bとは、支持棒36、37の1ステップの移動距離と等しい離間だけ離間配置されており、支持棒36、37を1ステップ分だけずらすことで、照度計20Aと照度計20Bとで同じ箇所で照度を測定可能になっている。
The
なお、支持棒36、37の交点に、照度計20A、20Bのいずれかを両者を交換自在に設ける構成とすることで、照度計20A、20Bの両方で同一箇所を測定可能にしてもよい。
In addition, you may make it possible to measure the same location by both
図4は照度計20A、20Bの応答感度を示す図である。なお、この図では、照度計20A、20Bの応答感度を両者の相対値で示している。また、以下の説明では、各照射器3から干渉フィルタ4への入射角は最大50度以下であるものとする。
FIG. 4 is a diagram showing the response sensitivity of the
照度計20A、20Bは、それぞれ紫外波長域の照度を測定する器具であり、図4に示すように、照度計20A、20Bのそれぞれは、所定の応答感度を有する波長域、及び応答感度がピークとなるピーク波長が異なっている。
The
具体的には、照度計20Aは、波長300nm〜390nmに応答感度を有し、約365nmの波長に応答感度のピークを有し、また照度計20Bは、波長290nm〜340nmに応答感度を有し、約313nmの波長に応答感度のピークを有している。
Specifically, the
これらの照度計20A、20Bのピーク波長は、当該紫外線照射装置1を液晶パネルの液晶配向特性の付加に用いる際に、高い均斉度が要求される波長に合わせて決定されたものである。本実施形態の紫外線照射装置1にあっては、上記の照度計20A、20Bを用いてワーク2の照射エリア2Aの照度分布を測定した際に、照度計20Aで測定したときに照度の平均値が100mW/cm2、均斉度が10%以内、照度計20Bで測定したときに照度の平均値0.1〜0.25mW/cm2、均斉度が16%以内という数値が実現されている。
The peak wavelengths of the
なお、紫外線照射装置1を他の用途に用いる場合に、その用途において高い均斉度が求められる波長に応答感度のピークを有した照度計が上記照度計20A、20Bとして用いられる。
In addition, when using the
ところで、照射器3が放射する光は、干渉フィルタ4を通してワーク2の照射エリア2Aに照射されているが、干渉フィルタ4は、図3に示すように、透過特性に入射角度依存性を有しており、光の入射角度が大きくなるほど、矢印Xで示すように、透過波長域が短波長側にシフトする。したがって、照射器3から干渉フィルタ4に斜入射してワーク2に到達する光については、透過特性の角度依存により、直入射時よりも短波長の成分が多く含まれることとなる。
By the way, the light emitted from the
このため、照度計が干渉フィルタ4の中心波長λcに応答感度を有する場合、当該照度計でワーク2の照度分布を測定し、ワーク2の照度分布を均一に調整したとしても、干渉フィルタ4に斜入射することで透過した短波長側の光成分については、照度分布の均一性が担保されておらず、例えば液晶パネルの液晶配向特性に影響が生じたりする。
For this reason, when the illuminance meter has response sensitivity at the center wavelength λc of the
特に、本実施形態の紫外線照射装置1のように、ワーク2の幅Wの外側にも照射器3を配置する構成にあっては、この照射器3からワーク2に届く光は干渉フィルタ4に斜入射して透過した成分を多く含むため、短波長の成分が多くなる。
In particular, in the configuration in which the
さらに係る問題は、反射面が干渉膜ミラーとして構成された第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23にも同様に生じる。特に、これら第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23のうち、メタルハライドランプ11と直交して配置される第2補助反射ミラー23については、当該メタルハライドランプ11から入射する光の入射角が大きくなることから、短波長の成分が多くなる。
Such a problem also occurs in the first
そこで本実施形態の紫外線照射装置1にあっては、上記の2つの照度計20A、20Bを備えた照度分布測定用具21によりワーク2の照度分布を測定し、これらの測定結果に基づいて、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の反射特性、並びに吸収フィルタ30の配置の調整を行うことで、紫外波長域のうち、液晶パネルの液晶配向特性の付与に必要な少なくとも2つの波長について高い均斉度を実現している。
Therefore, in the
図5は、照度計20A、20Bを用いたワーク2の照度分布調整手順を示すフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing the illuminance distribution adjustment procedure of the
この図に示すように、先ず、照度分布測定用具21をワーク2に載置し(ステップS1)、応答感度のピーク波長が異なる上記照度計20A、20Bのそれぞれでワーク2の照射エリア2Aの照度分布を測定する(ステップS2)。そして、両方の照度計20A、20Bの照度分布に基づいて、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の傾斜角度(取付角度)を適宜に調整することで、照射エリア2Aの全域で必要な照度が得られるように反射角度を調整する(ステップS3)。具体的には、上述の通り、ワーク2の照射エリア2Aの照度分布は、中央部が高く周辺部で低くなる傾向があることから、周辺部の照度を補うように、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の傾斜角度を調整する。
As shown in this figure, first, the illuminance
このステップS3の調整により、照度計20A、20Bの各波長域について照射エリア2Aで必要な照度が確保される。
By adjusting in step S3, necessary illuminance is secured in the
次いで、照度計20A、20Bのうち、高波長側に応答感度を有する照度計20Aで照度分布を測定し(ステップS4)、この測定結果に基づいて、照度が高い箇所への直射光K2の照射を抑え、また照度が低い箇所に向かう直射光K2の吸収を抑えるように吸収フィルタ30の配置位置、及び/又は大きさを調整する(ステップS5)。
Next, among the
このとき、照度分布の均一性の指標としては、照射エリア2Aの各測定点で測定した照度値の最大と最小を用いて求められる均斉度が用いられる。この均斉度は、照度値の最大を最大照度値、最小を最小照度値とすると次式により示される。
At this time, as an index of the uniformity of the illuminance distribution, the uniformity obtained using the maximum and minimum illuminance values measured at each measurement point in the
均斉度=[(最大照度値−最小照度値)/(最大照度値+最小照度値)×100%]
本実施形態では、この均斉度が約10%以下となるように照度分布を調整することとしている。
Uniformity = [(maximum illumination value−minimum illumination value) / (maximum illumination value + minimum illumination value) × 100%]
In the present embodiment, the illuminance distribution is adjusted so that the uniformity is about 10% or less.
ここで、上述の通り、干渉フィルタ4、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23での透過波長域の短波長側へのシフトによって、これら干渉フィルタ4、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23での制御対象外の短波長成分が照射エリア2Aに照射される。この結果、照度計20A、20Bのうち、高波長側に応答感度を有する照度計20Aで照度分布を測定して高い均斉度が得られた状態であっても(ステップS5の調整後の状態)、低波長側に応答感度を有する照度計20Bで照度分布を測定すると均斉度が低い状態となる。
Here, as described above, the
そこで、照度計20Bで照射エリア2Aの照度分布を測定して照度が高い箇所を特定し(ステップS6)、特定した箇所での照度を抑えるように、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の分光反射特性を調整する(ステップS7)。
Therefore, the
具体的には、本実施形態では、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の面内において、照度計20Aの応答感度に対応する波長域での分光反射特性を維持しつつ、照度計20Bの応答感度に対応する波長域での分光反射特性を、当該照度計20Bによる照度分布の測定結果に基づいて、照度が高い箇所への反射光の光量を抑えるように変更する。
Specifically, in this embodiment, while maintaining the spectral reflection characteristics in the wavelength range corresponding to the response sensitivity of the
上述の通り、制御対象外の短波長成分は、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23への入射角度が大きいほど多くなることから、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の面内では、少なくとも入射光の入射角度が大きくなる箇所において、照度計20Bの応答感度に対応する波長域の反射率が小さくなるように(或いはカット(透過)するように)分光反射特性が設定される。
As described above, the short wavelength component that is not to be controlled increases as the incident angle with respect to the first
また、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23への入射角度が小さい箇所であっても、干渉フィルタ4への入射角度が大きい光が入射する箇所についても、照度計20Bの応答感度に対応する波長域の反射率が小さくなるように(或いはカット(透過)するように)分光反射特性が設定される。
In addition, even if the incident angle to the first
そして、このように設定した分光反射特性となるように、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の反射面に形成する誘電多層膜の膜厚や積層数を代える等して反射特性を調整する。かかる調整により、照度計20Bで測定した場合でも、照射エリア2Aでの上記均斉度を約20%以下にできる。
The reflection is performed by changing the film thickness and the number of laminated layers of the dielectric multilayer films formed on the reflection surfaces of the first
なお、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の反射面においては、照度計20Aの応答感度の波長域に対しては増反射(反射率が高い)するように反射特性が調整されており、これにより、照度計20Aで測定される波長域の光量の低下を防止している。
The reflection characteristics of the reflection surfaces of the first
このように、上記ステップ7の調整は、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の傾斜角度を固定した状態で行われ当該傾斜角度が変更されることがないため、これら第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23が分光反射特性に角度依存を有していても、このときの傾斜角度に応じて適切に、照度計20Bの応答感度の波長域について照度分布が調整される。
Thus, the adjustment in
そして、図5のフローチャートに従った調整により、照度計20A、20Bの両方の応答感度の波長域について照射エリア2Aでの照度分布を均一にすることができる。これにより、例えば液晶パネルの液晶配向特性の付加といったように、光の波長の影響を受けやすい製造プロセスの光源として、この紫外線照射装置1を好適に用いることができる。
And the illumination distribution in 2 A of irradiation areas can be made uniform about the wavelength range of the response sensitivity of both
なお、図5に示したフローチャートにおいて、吸収フィルタ30が吸収率(透過率)に入射角依存性を有しないため、ステップS4、S5での吸収フィルタ30による照度分布の調整を、ステップS6、S7での第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の分光反射特性の調整の後に行うこともできる。この場合、吸収フィルタ30としては、照度計20Aの応答感度の波長域を吸収する吸収フィルタと、照度計20Bの応答感度の波長域を吸収する吸収フィルタとのそれぞれを用いることができる。すなわち、ステップS6、S7の後に、照度計20A、及び照度計20Bの両方で照度分布を測定し、照度計20Aの測定結果に基づいて当該照度計20Aの応答感度の波長域を吸収する吸収フィルタを照度が高い箇所への照射を抑えるように設置し、同様に、照度計20Bの測定結果に基づいて当該照度計20Bの応答感度の波長域を吸収するフ吸収フィルタを照度が高い箇所への照射を抑えるように設置する。
In the flowchart shown in FIG. 5, since the
以上説明したように、本実施形態によれば、照射エリア2Aの周囲に配置され、干渉フィルタ4を通って照射エリア2Aの外に向かう紫外線を、照射エリア2A内で照度が低い箇所に反射する第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23を備え、干渉フィルタ4を通って照射エリア2Aを直接照射する紫外線と、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23で反射された紫外線とで照射エリア2Aを均一に照射するため、干渉フィルタ4が配置されている場合でも、均一な照度での照射が可能になる。
As described above, according to the present embodiment, the ultraviolet light that is disposed around the
特に本実施形態によれば、照射器3の反射ミラー12から反射された紫外線が通るフィルタを干渉フィルタ4とすることで所望の波長域の光だけを効率良く照射することができる。
In particular, according to the present embodiment, the
また本実施形態によれば、照射器3の反射ミラー12から反射された紫外線が通るフィルタに吸収フィルタ30を含むことで、照度が高い箇所への照射光量を適切に抑えることができる。
Moreover, according to this embodiment, the light quantity irradiated to the location with high illuminance can be suppressed appropriately by including the
特に、吸収フィルタ30として、吸収特性(透過特性)に入射角依存性を有しないものを用いることで、当該吸収フィルタ30が照射器3と照射エリア2Aの間に介在しても、この吸収フィルタ30に斜入射した光によって照射エリア2Aでの均斉度が劣化することもない。
In particular, by using an
また本実施形態によれば、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23を干渉膜ミラーから構成し、当該干渉膜ミラーが上記照度計20A、20Bの各応答感度の波長域ごとに異なる反射特性を有する構成とした。
Moreover, according to this embodiment, the 1st auxiliary | assistant
これにより、干渉フィルタ4、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23への斜入射に起因する短波長シフトによって生じた短波長の光をカット(透過、或いは低反射)する反射特性を第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23に持たせることで、当該短波長の光による照射エリア2Aの均斉度の劣化が抑えられる。
Thereby, the reflection characteristic of cutting (transmitting or low-reflecting) short-wavelength light caused by a short-wavelength shift caused by oblique incidence on the
なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を例示したものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形及び応用が可能である。 The above-described embodiment is merely an example of one aspect of the present invention, and can be arbitrarily modified and applied without departing from the spirit of the present invention.
例えば、上述した実施形態では、紫外線照射装置1が2つの照度計を備える場合を例示したが、これに限らず、応答感度のピーク波長が互いに異なる3以上の照度計を備え、それぞれで照射領域内の照度分布を測定し、それぞれの照度分布の測定結果で均一な照度分布となるように調整しても良い。
For example, in the above-described embodiment, the case where the
また例えば、上述した実施形態では、干渉フィルタ4を各照射器3の底面を覆うように設けた上で、吸収フィルタ30を照射エリア2Aの照度分布に基づいて、高い照度の箇所への照射を抑えるように干渉フィルタ4の底面(照射エリア2Aとの対向面)に部分的に配置する構成とした。しかしながら、これに限らず、吸収フィルタ30を各照射器3の底面を覆うように設けた上で、干渉フィルタ4を吸収フィルタ30の上面又は底面に部分的に配置する構成としても良い。
Further, for example, in the above-described embodiment, the
また、例えば本実施形態では、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23をメタルダイクロミラーとし、誘電多層膜の素性を変更することで、照度計20Bの応答感度の波長域の光の反射を抑える構成とした。
Further, for example, in the present embodiment, the first
しかしながら、これに限らず、例えばアルミニウム材から成る金属ミラーとし、反射面に照度計20Bの応答感度の波長域の光を吸収する吸収フィルタを設けることで光の反射を抑える構成としても良い。
However, the present invention is not limited to this. For example, a metal mirror made of an aluminum material may be used, and a reflection filter may be provided to suppress light reflection by providing an absorption filter that absorbs light in the wavelength range of response sensitivity of the
また例えば本実施形態において、第1補助反射ミラー22、及び第2補助反射ミラー23の反射面の分光反射特性を変えるに際して、反射面内の必要な箇所について部分的に反射率を変えて分光反射特性を変える構成としても良い。
Further, for example, in the present embodiment, when changing the spectral reflection characteristics of the reflection surfaces of the first
1 紫外線照射装置
2 ワーク
2A 照射エリア
4 干渉フィルタ(フィルタ)
11 メタルハライドランプ(光源)
12 反射ミラー
20A、20B 照度計
21 照度分布測定用具
22 第1補助反射ミラー
23 第2補助反射ミラー
30 吸収フィルタ(フィルタ)
1
11 Metal halide lamp (light source)
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、
前記光源、及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、
前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、
前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射する
ことを特徴とする紫外線照射装置。 A light source that emits ultraviolet light;
A semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet rays emitted from the light source;
At least one or more types of filters that are disposed between the light source and the irradiation area and through which ultraviolet rays reflected from the reflection mirror pass;
An auxiliary reflection mirror that is arranged around the irradiation area and reflects ultraviolet rays that pass through the filter and go out of the irradiation area to a portion with low illuminance in the irradiation area; and
The ultraviolet irradiation apparatus characterized by uniformly irradiating the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflection mirror.
前記干渉フィルタのエリア内に前記吸収フィルタを部分的に配置し、又は、前記吸収フィルタのエリア内に前記干渉フィルタを部分的に配置した
ことを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。 The filter includes an absorption filter and an interference filter arranged one above the other between the light source and the irradiation area,
The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the absorption filter is partially arranged in the area of the interference filter, or the interference filter is partially arranged in the area of the absorption filter.
前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、
前記光源及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、
前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、
前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射する紫外線照射装置の照度調整方法において、
応答感度の波長域が異なる複数の照度計のそれぞれで照射エリア内の照度分布を測定し、それぞれの照度分布の測定結果で均一な照度分布となるように前記補助反射ミラーの反射を調整した
ことを特徴とする照度調整方法。 A light source that emits ultraviolet light;
A semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet rays emitted from the light source;
At least one or more types of filters that are disposed between the light source and the irradiation area and through which the ultraviolet rays reflected from the reflecting mirror pass;
An auxiliary reflection mirror that is arranged around the irradiation area and reflects ultraviolet rays that pass through the filter and go out of the irradiation area to a portion with low illuminance in the irradiation area; and
In the method of adjusting the illuminance of an ultraviolet irradiation device that uniformly irradiates the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflecting mirror,
The illuminance distribution in the irradiation area was measured with each of a plurality of illuminometers with different response sensitivity wavelength ranges, and the reflection of the auxiliary reflecting mirror was adjusted so that the illuminance distribution was uniform according to the measurement result of each illuminance distribution. An illuminance adjustment method characterized by.
第2の照度計で照射エリア内の照度分布を測定し、照度が高い、若しくは低い箇所に反射光を照射している前記補助反射ミラーを特定し、当該特定した補助反射ミラーについて、前記第2の照度計の応答感度の波長域に対する反射率を低下若しくは向上させて照度分布を調整する
ことを特徴とする請求項8に記載の照度調整方法。 After adjusting the inclination angle of the auxiliary reflection mirror based on the illuminance distribution measured by the first illuminometer to uniformly adjust the illuminance distribution in the irradiation area,
An illuminance distribution in the irradiation area is measured with a second illuminometer, the auxiliary reflection mirror that irradiates reflected light to a portion with high or low illuminance is specified, and the second auxiliary reflection mirror is identified with respect to the second auxiliary reflection mirror The illuminance adjustment method according to claim 8, wherein the illuminance distribution is adjusted by reducing or improving the reflectance with respect to the wavelength range of the response sensitivity of the illuminometer.
第1の照度計を用いて照射エリア内の照度分布を均一にした後、
第2の照度計で測定した照度分布に基づいて、照度が高いもしくは低い箇所を特定し、当該特定した箇所について、前記第2の照度計で測定する照度分布が均一となるように前記干渉フィルタ、又は吸収フィルタの大きさを調整し、照度を低下もしくは向上させて照度分布を調整する
ことを特徴とする請求項8または9に記載の照度調整方法。 The filter includes an absorption filter or an interference filter arranged one above the other between the light source and the irradiation area,
After making the illuminance distribution in the irradiation area uniform using the first illuminometer,
Based on the illuminance distribution measured by the second illuminometer, a location where the illuminance is high or low is identified, and the interference filter is configured so that the illuminance distribution measured by the second illuminometer is uniform at the identified location. The illuminance adjustment method according to claim 8 or 9, wherein the illuminance distribution is adjusted by adjusting the size of the absorption filter to reduce or improve the illuminance.
前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、
前記光源及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る少なくとも1または複数種類のフィルタと、
前記照射エリアの周囲に配置され、前記フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する補助反射ミラーと、を備え、
前記フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで前記照射エリアを均一に照射する紫外線照射装置の照度分布測定用具であって、
応答感度が異なる第1及の照度計、及び第2の照度計と、
前記照射エリアに配置され、前記第1の照度計、及び第2の照度計が移動可能に、なおかつ、前記第1の照度計、及び第2の照度計が同一の箇所の照度を測定可能に支持する支持機構と、
を備えることを特徴とする照度分布測定用具。 A light source that emits ultraviolet light;
A semi-elliptical cylindrical reflection mirror that reflects ultraviolet rays emitted from the light source;
At least one or more types of filters that are disposed between the light source and the irradiation area and through which the ultraviolet rays reflected from the reflecting mirror pass;
An auxiliary reflection mirror that is arranged around the irradiation area and reflects ultraviolet rays that pass through the filter and go out of the irradiation area to a portion with low illuminance in the irradiation area; and
An illuminance distribution measuring tool of an ultraviolet irradiation device that uniformly irradiates the irradiation area with ultraviolet rays that directly irradiate the irradiation area through the filter and ultraviolet rays reflected by the auxiliary reflection mirror,
A first illuminometer and a second illuminometer having different response sensitivities;
Arranged in the irradiation area, the first illuminance meter and the second illuminance meter can be moved, and the first illuminance meter and the second illuminance meter can measure the illuminance at the same location. A supporting mechanism to support;
An illuminance distribution measuring tool comprising:
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