JP2013167468A - 圧力センサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力に感応するダイヤフラム2aと、ダイヤフラム2aに対向する接着部3と、接着部3を貫通する圧力導入孔3aとを有し、接着部3のダイヤフラム2aと反対側に位置する底面が、圧力導入孔3aが配置される第1面3cと、第1面3cを囲んで設けられる第2面3dと、からなると共に、第1面3cが第2面3dから凸設されてなり、第1面3cの外周3f及び第2面3dの内周3gが、平面視で、凹状となる部分を含まない滑らかに繋がる曲線である圧力センサ1。
【選択図】図2
Description
よって、本発明によれば、接着剤が圧力導入孔を塞ぐことを防止する圧力センサの製造方法を提供することが可能である。
第1の実施形態について、図1、図2、図3、及び図4を参照して説明する。図1は、第1の実施形態における圧力センサの平面略図である。図2は、図1に示す圧力センサのA−A線に沿って切断し矢印方向から視る断面略図である。図3は、第1の実施形態における圧力センサを下方向から視る平面略図である。図4は、第1の実施形態の圧力センサがパッケージ等の基板部材に接合された状態を示す断面略図である。
2 センサチップ
2a ダイヤフラム
2b 側壁
2c 側壁の外周面
3 接着部
3a 圧力導入孔
3b 下底面
3c 第1面
3d 第2面
3e 側面
3f 外周
3g 内周
4 キャビティ
5 接着剤
6 基板部材
6a 開口部
7 溝部
8 空間
9 面
10 ディスペンサ
11 ボンディングワイヤ
12 段差部
Claims (10)
- 圧力に感応するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに対向する接着部と、
前記接着部を貫通する圧力導入孔と、を有し、
前記接着部の前記ダイヤフラムと反対側に位置する底面が、前記圧力導入孔が配置される第1面と、前記第1面を囲んで設けられる第2面と、からなると共に、前記第1面が前記第2面から凸設されてなり、
前記第1面の外周及び前記第2面の内周が、平面視で、凹状となる部分を含まない滑らかに繋がる曲線であることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力センサが圧力を導入する開口部を備えた基板部材を有し、前記圧力導入孔と前記開口部とを連接させて、前記圧力センサと前記基板部材とを接着剤を用いて接合されてなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記曲線が、円形状、楕円形状、または直線と外方に膨らんだ円弧とからなり前記直線の両端が前記円弧に連設されている形状、であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1面と前記第2面とに連接する側面が傾斜していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 前記第2面の内周が前記第1面の外周より前記貫通孔側に位置するように、前記側面が傾斜していることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記第1面に前記圧力導入孔を囲んで溝部が設けられてなり、前記溝部の内周及び外周が、平面視で、凹状となる部分を含まない滑らかに繋がる曲線であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 前記曲線が、円形状、楕円形状、または直線と外方に膨らんだ円弧とからなり前記直線の両端が前記円弧に連設されている形状、であることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入孔の内周面に段差部を有し、前段差部が前記ダイヤフラムと反対側を向いた面を有していることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 前記第1面が平坦であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 圧力に感応するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに対向する接着部と、
前記接着部を貫通する圧力導入孔と、を有し、
前記接着部の前記ダイヤフラムと反対側に位置する底面が、前記圧力導入孔が配置される第1面と、前記第1面を囲んで設けられる第2面と、からなると共に、前記第1面が前記第2面から凸設されてなる圧力センサであって、
前記第1面の外周及び前記第2面の内周を、平面視で、凹状となる部分を含まない滑らかに繋がる曲線状に形成する工程(a)と、
圧力を導入する開口部を有する基板部材に接着剤を塗布する工程(b)と、
前記開口部に前記圧力導入孔を連接させて、前記基板部材に前記圧力センサを載置する工程(c)と、
前記接着剤を硬化させて前記基板部材に前記圧力センサを接合する工程(d)と、
を含むことを特徴とする圧力センサの製造方法。
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JP2012029368A JP2013167468A (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | 圧力センサとその製造方法 |
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